板厚測定方法および板厚測定装置
【課題】高速で厚み測定が可能であり、厚み分布の画像が得られ、さらに離れた位置からの厚み測定を可能とする。
【解決手段】レーザー発振装置１から発振されたレーザー光が、アッテネーター２、ピンホール３、ガルバノスキャナー４を介して平板５に入射される。その入射したレーザー光の作用により平板５に超音波が発生され、それが平板５に沿って伝搬するラム波となる。斜角探触子６によってラム波Ａ０モードが受信され、アンプ７、ＡＤ変換ボード８を介しパソコン９内に収録され、パソコン９内のソフトウェアを使ってラム波Ａ０モードの振幅が測定される。ラム波Ａ０モードの振幅は板厚におおむね反比例している。レーザー照射地点を移動させることにより、板厚に対応する振幅分布が得られる。
【解決手段】レーザー発振装置１から発振されたレーザー光が、アッテネーター２、ピンホール３、ガルバノスキャナー４を介して平板５に入射される。その入射したレーザー光の作用により平板５に超音波が発生され、それが平板５に沿って伝搬するラム波となる。斜角探触子６によってラム波Ａ０モードが受信され、アンプ７、ＡＤ変換ボード８を介しパソコン９内に収録され、パソコン９内のソフトウェアを使ってラム波Ａ０モードの振幅が測定される。ラム波Ａ０モードの振幅は板厚におおむね反比例している。レーザー照射地点を移動させることにより、板厚に対応する振幅分布が得られる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板や配管などの板厚測定方法および板厚測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、平板や配管の厚み測定は、非特許文献１に示されるように、超音波探触子を表面に垂直に当てて、超音波エコー波形を取得することで測定していた。そのため、大型の平板や配管などの構造物全領域の厚み測定を行うことを考えると非常に多くの時間とコストを必要とした。さらに、遠隔にある構造材料などの厚み測定では、その領域まで人力やロボットなどで近づく必要があり、高所などの危険環境での作業が余儀なくされてきた。
【０００３】
また、遠隔から超音波を発生させ、受信する方法としてレーザー超音波法がある（非特許文献２）。この方法を適切に利用すれば、遠隔からの厚み測定が可能となると期待されている。しかしながら、レーザー利用による超音波の発生は実行可能であるものの、受信はレーザー干渉によるため、焦点位置を制御しなくてはならなかったり、材料表面から十分なレーザー光の反射がなくてはならず、制約が非常に多く実現できていなかった。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】JIS Z 2355 超音波パルス反射法による厚さ測定方法
【非特許文献２】［非破壊検査技術シリーズ］超音波非破壊試験III、p.206-p.210
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
探触子を用いる方法では、全領域を検査する際に非常に時間とコストがかかり、また検査領域が高所や遠隔にある場合、検査領域に探触子を当てるために足場を組み、通常人がその領域まで近づかなくてはならないため手間とコストがかかる。また、レーザー干渉を用いた超音波受信方法では、焦点の制御が必要であったり、表面状態がレーザー光が十分反射する程度の鏡面状態である必要があるなどで、多くの対象物に適用できない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させるステップと、前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信するステップと、この受信したＡ０モードの振幅を測定するステップとを有する板厚測定方法を第１の特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させる手段と、前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信する手段と、この受信したＡ０モードの振幅を測定する手段とを備えた板厚測定装置を第２の特徴とする。
【０００８】
上記した第１、第２の特徴において、Ａ０モードの振幅は、平板の板厚におおむね反比例するので、Ａ０モードの振幅の振幅を測定することにより、平板の板厚情報を得ることができる。また、Ａ０モードの振幅が板厚におおむね反比例するので、Ａ０モードの振幅から平板の板厚を求め、それを板厚情報としてもよい。
【０００９】
また、本発明は、配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させるステップと、前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信するステップと、この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定するステップとを有する板厚測定方法を第３の特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させる手段と、前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信する手段と、この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定する手段とを備えた板厚測定装置を第４の特徴とする。
【００１１】
上記した第３、第４の特徴において、Ｌ（０，１）モードの振幅は、配管の板厚におおむね反比例するので、Ｌ（０，１）モードの振幅を測定することにより、配管の板厚情報を得ることができる。また、Ｌ（０，１）モードの振幅が配管の板厚におおむね反比例するので、Ｌ（０，１）モードの振幅から板厚を求め、それを板厚情報としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態における板厚測定装置の全体構成を示す図である。
【図２】図１に示す板厚測定装置で得られた、板厚に対応する振幅分布を示す図である。
【図３】図１に示す板厚測定装置による、板厚に対応する振幅分布を得るための処理を示す図である。
【図４】平板に対する位相速度分散曲線を示す図である。
【図５】図１中の斜角探触子の内部構造を示す図である。
【図６】斜角探触子を複数にした実施形態を示す図である。
【図７】超音波励振用のレーザービームの照射領域を線状にした実施形態を示す図である。
【図８】複数の超音波探触子を並べて構成した実施形態を示す図である。
【図９】配管に対する位相速度分散曲線を示す図である。
【図１０】配管の板厚を測定する場合の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
平板や配管などに沿って伝搬する超音波モードをガイド波と呼ぶが、以下に説明する実施形態では、このガイド波の発振はレーザーによって行い、受信は斜角探触子を利用している。超音波発振用のレーザー光をミラーを用いて走査することによって材料表面上のあらゆる点でガイド波の励振を高速で可能にし、材料中を伝わった後に斜角探触子でこのガイド波が受信されるという構造となっている。
【００１４】
平板中を伝搬するガイド波（ラム波とも呼ばれる）のうち、Ａ０モードのある特定の周波数領域では、欠陥からの反射波やモード変換が起こりにくく、その領域を用いると、超音波を励振した箇所の板厚におおむね反比例する振幅が得られるという性質を発見し、それを利用している。
【００１５】
Ａ０モードの受信は斜角探触子の受信角を調整することによって効果的に受信でき、周波数は探触子の持つ特性やフィルターによって調整することができる。
【００１６】
この技術によって、従来の垂直探触子を用いる厚み測定に比べ、格段に高速で厚みを測定することができ、ある地点に斜角探触子を設置すれば、レーザーを遠方から構造に照射するだけで計測できるので、厚みを測定したい地点に近づく必要はない。レーザー干渉計による超音波の受信と異なり、安定した計測が可能である。
【００１７】
なお、板厚の測定は、平板のみならず配管への適用も可能である。
【００１８】
以下、本発明に係る板厚測定装置の実施形態について具体的に説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
レーザー発振装置１からレーザー光が発振され、アッテネーター２によってレーザーのエネルギーが調整される。その後、ピンホール３によってレーザーのスポットサイズを調整し、２軸のガルバノミラー４ａを有するガルバノスキャナー４でレーザー光が試験体表面でｘ，ｙ方向に走査される。
【００２０】
ある１点に入射したレーザー光の作用により試験体には超音波が発生され（レーザー光を当てると表面に熱応力が発生し、超音波が発生する：上記した非特許文献２参照）、平板５に沿って伝搬するラム波となる。ラム波Ａ０モードを受信するように角度を調整された斜角探触子６によってラム波Ａ０モードが受信され、アンプ７を通って信号が増幅されたのち、パソコン９内に接続されたＡＤ変換ボード８によってアナログ信号がデジタル化される。
【００２１】
パソコン９内に収録した波形は、Ａ０モードで損傷からの反射やモード変換が小さくなるような周波数領域のみを利用するため、適宜フィルターなどパソコン９内のソフトウェアを使って信号を加工する。信号収録のために、レーザー発振装置１などからトリガー信号が必要となる。ある地点で収録されたラム波Ａ０モードの振幅をパソコン９内のメモリや記録媒体に収録したのち、ガルバノスキャナー４を動かし、レーザー照射地点を次の計測位置に移動させる。以下、同様の計測をあらかじめ決めておいた点において繰り返し振幅の分布を表示させることで板厚に対応する振幅分布（図２）が取得できる。
【００２２】
図３に、板厚に対応する振幅分布を得るための処理を示す。まず、材料表面上のｘ，ｙ方向のレーザー照射点数ｎｘ，ｎｙとレーザー照射位置ｘｉ，ｙｊ（ｉ＝１，２．．．ｎｘ，ｊ＝１，２．．．ｎｙ）を決める（ステップ１０１）。そして、レーザー照射を開始する（ステップ１０２）。次に、ガルバノスキャナー４をパソコン９で制御してレーザー光を平板初期位置ｘ１，ｙ１に移動させる（ステップ１０３）。この後、パソコン9は、レーザー発振装置１からトリガーを取得し，波形を収録する(ステップ１０４）。次に、適切な周波数帯になるようフィルター処理を行い、ラム波Ａ０モードの振幅を測定する。具体的には、ラム波Ａ０モードの振幅最大値を取得する（ステップ１０６）。そして。メモリなどにレーザー照射位置とその点での振幅最大値を保存する（ステップ１０７）。この後、レーザー光位置が最後の点でないとき（ステップ１０８の判定がＮＯ）、レーザー光位置を次の点に移動させ(ステップ１０９）、上記したステップ１０３以降の処理を行う。レーザー光位置が最後の点になると（ステップ１０８の判定がＹＥＳ）、計測を終了し、結果を表示する（ステップ１１０）。
【００２３】
次に、受信する斜角探触子６について説明する。
【００２４】
まず、図４に示すように、平板５に対する位相速度分散曲線を計算などによって取得する。このときＡ１モードの伝搬限界周波数であるカットオフ周波数をｆｃとすると、本実施形態において効果的に利用できる周波数帯ｆは、ｆｃ／４＜ｆ＜ｆｃ以下の周波数帯である。そのため、斜角探触子６の周波数特性はこの範囲で設計する。この範囲内で設定した斜角探触子６の中心周波数をｆ０とした場合、図４のような分散曲線によりｆ０に対するＡ０モードの位相速度ｃＡ０が得られる。
【００２５】
図５に、斜角探触子６の内部構造を横から断面を取って示す。６ａは振動子で、厚み方向に振動する。６ｂは縦波音速ｃｗのウェッジ、６ｃは探触子内の残響を防ぐための吸音材、６ｄはインピーダンスマッチングのための回路、６ｅはケース、６ｆはコネクタである。平板５中のラム波Ａ０モードの位相速度がｃＡ０である場合、スネルの法則から求められる下記の式によってそのＡ０モードを効果的に受信できるように、ウェッジ６ｂの角度が設定されている。
【００２６】
θ＝ｓｉｎ−１（ｃｗ／ｃＡ０）
上記した実施形態によれば、高速で厚み測定が可能であり、厚み分布の画像が得られる。また、離れた位置からの厚み測定が可能である。
（他の実施形態）
図６に示すように、斜角探触子６を複数にし、画像を重ね合わせることで、より精度のよい厚み測定ができる。具体的には、２つの斜角探触子６で受信されたラム波Ａ０モードの振幅分布を平均化する。
【００２７】
また、超音波励振用のレーザービームは照射領域が小さな円形でなく、図７に示すように線状にしてもよい。その際、ライン上のビームの方向は、受信探触子の方向に法線が向くようにすると効果的に受信ができる。
【００２８】
また、受信探触子を斜角探触子でなく、図８に示すように複数の超音波探触子１０ａ〜１０ｄを並べ適切な遅延を与えて足し合わせる形態にすることも可能である。
【００２９】
さらに、本発明は、中空円筒の配管への適用も可能である。配管の場合、平板中のラム波とは異なる分散曲線を示すので、まず対象配管に対する分散曲線を計算等で導出する。軸対称モードのうち、Ｌ（０，１）モードと呼ばれるモードは、図９に示すように、ラム波Ａ０モードに似た伝搬挙動と分散曲線を示し、Ｌ（０，３）モードがＡ１モードに似た分散曲線を示す。同様にＬ（０，３）のカットオフ周波数をｆｃとして上述の周波数範囲のＬ（０，１）モードを収録することで、厚み測定が可能である。この実施形態の場合、探触子６は図１０のように円周方向全体に並べ、すべての信号を足し合わせることで、軸対称モードを効果的に受信する。
【符号の説明】
【００３０】
１ レーザー発振装置
２ アッテネーター
３ ピンホール
４ ガルバノスキャナー
５ 平板
６ 斜角探触子
７ アンプ
８ ＡＤ変換ボード
９ パソコン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板や配管などの板厚測定方法および板厚測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、平板や配管の厚み測定は、非特許文献１に示されるように、超音波探触子を表面に垂直に当てて、超音波エコー波形を取得することで測定していた。そのため、大型の平板や配管などの構造物全領域の厚み測定を行うことを考えると非常に多くの時間とコストを必要とした。さらに、遠隔にある構造材料などの厚み測定では、その領域まで人力やロボットなどで近づく必要があり、高所などの危険環境での作業が余儀なくされてきた。
【０００３】
また、遠隔から超音波を発生させ、受信する方法としてレーザー超音波法がある（非特許文献２）。この方法を適切に利用すれば、遠隔からの厚み測定が可能となると期待されている。しかしながら、レーザー利用による超音波の発生は実行可能であるものの、受信はレーザー干渉によるため、焦点位置を制御しなくてはならなかったり、材料表面から十分なレーザー光の反射がなくてはならず、制約が非常に多く実現できていなかった。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】JIS Z 2355 超音波パルス反射法による厚さ測定方法
【非特許文献２】［非破壊検査技術シリーズ］超音波非破壊試験III、p.206-p.210
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
探触子を用いる方法では、全領域を検査する際に非常に時間とコストがかかり、また検査領域が高所や遠隔にある場合、検査領域に探触子を当てるために足場を組み、通常人がその領域まで近づかなくてはならないため手間とコストがかかる。また、レーザー干渉を用いた超音波受信方法では、焦点の制御が必要であったり、表面状態がレーザー光が十分反射する程度の鏡面状態である必要があるなどで、多くの対象物に適用できない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させるステップと、前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信するステップと、この受信したＡ０モードの振幅を測定するステップとを有する板厚測定方法を第１の特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させる手段と、前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信する手段と、この受信したＡ０モードの振幅を測定する手段とを備えた板厚測定装置を第２の特徴とする。
【０００８】
上記した第１、第２の特徴において、Ａ０モードの振幅は、平板の板厚におおむね反比例するので、Ａ０モードの振幅の振幅を測定することにより、平板の板厚情報を得ることができる。また、Ａ０モードの振幅が板厚におおむね反比例するので、Ａ０モードの振幅から平板の板厚を求め、それを板厚情報としてもよい。
【０００９】
また、本発明は、配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させるステップと、前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信するステップと、この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定するステップとを有する板厚測定方法を第３の特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させる手段と、前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信する手段と、この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定する手段とを備えた板厚測定装置を第４の特徴とする。
【００１１】
上記した第３、第４の特徴において、Ｌ（０，１）モードの振幅は、配管の板厚におおむね反比例するので、Ｌ（０，１）モードの振幅を測定することにより、配管の板厚情報を得ることができる。また、Ｌ（０，１）モードの振幅が配管の板厚におおむね反比例するので、Ｌ（０，１）モードの振幅から板厚を求め、それを板厚情報としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態における板厚測定装置の全体構成を示す図である。
【図２】図１に示す板厚測定装置で得られた、板厚に対応する振幅分布を示す図である。
【図３】図１に示す板厚測定装置による、板厚に対応する振幅分布を得るための処理を示す図である。
【図４】平板に対する位相速度分散曲線を示す図である。
【図５】図１中の斜角探触子の内部構造を示す図である。
【図６】斜角探触子を複数にした実施形態を示す図である。
【図７】超音波励振用のレーザービームの照射領域を線状にした実施形態を示す図である。
【図８】複数の超音波探触子を並べて構成した実施形態を示す図である。
【図９】配管に対する位相速度分散曲線を示す図である。
【図１０】配管の板厚を測定する場合の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
平板や配管などに沿って伝搬する超音波モードをガイド波と呼ぶが、以下に説明する実施形態では、このガイド波の発振はレーザーによって行い、受信は斜角探触子を利用している。超音波発振用のレーザー光をミラーを用いて走査することによって材料表面上のあらゆる点でガイド波の励振を高速で可能にし、材料中を伝わった後に斜角探触子でこのガイド波が受信されるという構造となっている。
【００１４】
平板中を伝搬するガイド波（ラム波とも呼ばれる）のうち、Ａ０モードのある特定の周波数領域では、欠陥からの反射波やモード変換が起こりにくく、その領域を用いると、超音波を励振した箇所の板厚におおむね反比例する振幅が得られるという性質を発見し、それを利用している。
【００１５】
Ａ０モードの受信は斜角探触子の受信角を調整することによって効果的に受信でき、周波数は探触子の持つ特性やフィルターによって調整することができる。
【００１６】
この技術によって、従来の垂直探触子を用いる厚み測定に比べ、格段に高速で厚みを測定することができ、ある地点に斜角探触子を設置すれば、レーザーを遠方から構造に照射するだけで計測できるので、厚みを測定したい地点に近づく必要はない。レーザー干渉計による超音波の受信と異なり、安定した計測が可能である。
【００１７】
なお、板厚の測定は、平板のみならず配管への適用も可能である。
【００１８】
以下、本発明に係る板厚測定装置の実施形態について具体的に説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
レーザー発振装置１からレーザー光が発振され、アッテネーター２によってレーザーのエネルギーが調整される。その後、ピンホール３によってレーザーのスポットサイズを調整し、２軸のガルバノミラー４ａを有するガルバノスキャナー４でレーザー光が試験体表面でｘ，ｙ方向に走査される。
【００２０】
ある１点に入射したレーザー光の作用により試験体には超音波が発生され（レーザー光を当てると表面に熱応力が発生し、超音波が発生する：上記した非特許文献２参照）、平板５に沿って伝搬するラム波となる。ラム波Ａ０モードを受信するように角度を調整された斜角探触子６によってラム波Ａ０モードが受信され、アンプ７を通って信号が増幅されたのち、パソコン９内に接続されたＡＤ変換ボード８によってアナログ信号がデジタル化される。
【００２１】
パソコン９内に収録した波形は、Ａ０モードで損傷からの反射やモード変換が小さくなるような周波数領域のみを利用するため、適宜フィルターなどパソコン９内のソフトウェアを使って信号を加工する。信号収録のために、レーザー発振装置１などからトリガー信号が必要となる。ある地点で収録されたラム波Ａ０モードの振幅をパソコン９内のメモリや記録媒体に収録したのち、ガルバノスキャナー４を動かし、レーザー照射地点を次の計測位置に移動させる。以下、同様の計測をあらかじめ決めておいた点において繰り返し振幅の分布を表示させることで板厚に対応する振幅分布（図２）が取得できる。
【００２２】
図３に、板厚に対応する振幅分布を得るための処理を示す。まず、材料表面上のｘ，ｙ方向のレーザー照射点数ｎｘ，ｎｙとレーザー照射位置ｘｉ，ｙｊ（ｉ＝１，２．．．ｎｘ，ｊ＝１，２．．．ｎｙ）を決める（ステップ１０１）。そして、レーザー照射を開始する（ステップ１０２）。次に、ガルバノスキャナー４をパソコン９で制御してレーザー光を平板初期位置ｘ１，ｙ１に移動させる（ステップ１０３）。この後、パソコン9は、レーザー発振装置１からトリガーを取得し，波形を収録する(ステップ１０４）。次に、適切な周波数帯になるようフィルター処理を行い、ラム波Ａ０モードの振幅を測定する。具体的には、ラム波Ａ０モードの振幅最大値を取得する（ステップ１０６）。そして。メモリなどにレーザー照射位置とその点での振幅最大値を保存する（ステップ１０７）。この後、レーザー光位置が最後の点でないとき（ステップ１０８の判定がＮＯ）、レーザー光位置を次の点に移動させ(ステップ１０９）、上記したステップ１０３以降の処理を行う。レーザー光位置が最後の点になると（ステップ１０８の判定がＹＥＳ）、計測を終了し、結果を表示する（ステップ１１０）。
【００２３】
次に、受信する斜角探触子６について説明する。
【００２４】
まず、図４に示すように、平板５に対する位相速度分散曲線を計算などによって取得する。このときＡ１モードの伝搬限界周波数であるカットオフ周波数をｆｃとすると、本実施形態において効果的に利用できる周波数帯ｆは、ｆｃ／４＜ｆ＜ｆｃ以下の周波数帯である。そのため、斜角探触子６の周波数特性はこの範囲で設計する。この範囲内で設定した斜角探触子６の中心周波数をｆ０とした場合、図４のような分散曲線によりｆ０に対するＡ０モードの位相速度ｃＡ０が得られる。
【００２５】
図５に、斜角探触子６の内部構造を横から断面を取って示す。６ａは振動子で、厚み方向に振動する。６ｂは縦波音速ｃｗのウェッジ、６ｃは探触子内の残響を防ぐための吸音材、６ｄはインピーダンスマッチングのための回路、６ｅはケース、６ｆはコネクタである。平板５中のラム波Ａ０モードの位相速度がｃＡ０である場合、スネルの法則から求められる下記の式によってそのＡ０モードを効果的に受信できるように、ウェッジ６ｂの角度が設定されている。
【００２６】
θ＝ｓｉｎ−１（ｃｗ／ｃＡ０）
上記した実施形態によれば、高速で厚み測定が可能であり、厚み分布の画像が得られる。また、離れた位置からの厚み測定が可能である。
（他の実施形態）
図６に示すように、斜角探触子６を複数にし、画像を重ね合わせることで、より精度のよい厚み測定ができる。具体的には、２つの斜角探触子６で受信されたラム波Ａ０モードの振幅分布を平均化する。
【００２７】
また、超音波励振用のレーザービームは照射領域が小さな円形でなく、図７に示すように線状にしてもよい。その際、ライン上のビームの方向は、受信探触子の方向に法線が向くようにすると効果的に受信ができる。
【００２８】
また、受信探触子を斜角探触子でなく、図８に示すように複数の超音波探触子１０ａ〜１０ｄを並べ適切な遅延を与えて足し合わせる形態にすることも可能である。
【００２９】
さらに、本発明は、中空円筒の配管への適用も可能である。配管の場合、平板中のラム波とは異なる分散曲線を示すので、まず対象配管に対する分散曲線を計算等で導出する。軸対称モードのうち、Ｌ（０，１）モードと呼ばれるモードは、図９に示すように、ラム波Ａ０モードに似た伝搬挙動と分散曲線を示し、Ｌ（０，３）モードがＡ１モードに似た分散曲線を示す。同様にＬ（０，３）のカットオフ周波数をｆｃとして上述の周波数範囲のＬ（０，１）モードを収録することで、厚み測定が可能である。この実施形態の場合、探触子６は図１０のように円周方向全体に並べ、すべての信号を足し合わせることで、軸対称モードを効果的に受信する。
【符号の説明】
【００３０】
１ レーザー発振装置
２ アッテネーター
３ ピンホール
４ ガルバノスキャナー
５ 平板
６ 斜角探触子
７ アンプ
８ ＡＤ変換ボード
９ パソコン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させるステップと、
前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信するステップと、
この受信したＡ０モードの振幅を測定するステップとを有することを特徴とする板厚測定方法。
【請求項２】
平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させる手段と、
前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信する手段と、
この受信したＡ０モードの振幅を測定する手段とを備えたことを特徴とする板厚測定装置。
【請求項３】
配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させるステップと、
前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信するステップと、
この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定するステップとを有することを特徴とする板厚測定方法。
【請求項４】
配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させる手段と、
前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信する手段と、
この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定する手段とを備えたことを特徴とする板厚測定装置。
【請求項１】
平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させるステップと、
前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信するステップと、
この受信したＡ０モードの振幅を測定するステップとを有することを特徴とする板厚測定方法。
【請求項２】
平板にレーザー光を照射して前記平板に超音波を発生させる手段と、
前記平板に沿って伝搬するラム波のうちＡ０モードを受信する手段と、
この受信したＡ０モードの振幅を測定する手段とを備えたことを特徴とする板厚測定装置。
【請求項３】
配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させるステップと、
前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信するステップと、
この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定するステップとを有することを特徴とする板厚測定方法。
【請求項４】
配管にレーザー光を照射して前記配管に超音波を発生させる手段と、
前記配管に沿って伝搬する軸対称モードのうちＬ（０，１）モードを受信する手段と、
この受信したＬ（０，１）モードの振幅を測定する手段とを備えたことを特徴とする板厚測定装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１０−１７５３４０（Ｐ２０１０−１７５３４０Ａ）
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１７０８８（Ｐ２００９−１７０８８）
【出願日】平成２１年１月２８日（２００９．１．２８）
【出願人】（３０４０２１２７７）国立大学法人 名古屋工業大学 (784)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月２８日（２００９．１．２８）
【出願人】（３０４０２１２７７）国立大学法人 名古屋工業大学 (784)
【Ｆターム（参考）】
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