樹脂供給機構及び樹脂供給方法
【課題】簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂の均一性が容易に調整・変更可能となる。
【解決手段】被成形品１６０を樹脂１０２にて圧縮封止する圧縮成形装置１５０に対して、樹脂１０２を計量し樹脂１０２を投下する計量部１０４と、計量部１０４の下方に配置され計量部１０４から投下された樹脂１０２を所定の場所に導くシュータ１１０と、を有する樹脂供給機構１００において、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備える第１、第２筒状部材１０６、１０８を備え、第１、第２筒状部材１０６、１０８が鉛直方向（Ｚ方向）で移動可能とされている。
【解決手段】被成形品１６０を樹脂１０２にて圧縮封止する圧縮成形装置１５０に対して、樹脂１０２を計量し樹脂１０２を投下する計量部１０４と、計量部１０４の下方に配置され計量部１０４から投下された樹脂１０２を所定の場所に導くシュータ１１０と、を有する樹脂供給機構１００において、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備える第１、第２筒状部材１０６、１０８を備え、第１、第２筒状部材１０６、１０８が鉛直方向（Ｚ方向）で移動可能とされている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等が搭載された基板（非被成形品）を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に用いられる樹脂供給機構及び樹脂供給方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被成形品（半導体チップを搭載した基板など）を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置では、被成形品とともに圧縮成形用金型に予め計量した樹脂を投入するため、成形品の精度（特に厚みの精度）は投入する樹脂の量によって変動することになる。そのため、投入される樹脂の量はできるだけ精度よく計量されることが重要となる。
【０００３】
圧縮封止に用いられる樹脂は、例えば粉状、粒状のものが使用される場合が多い。このような粉状、粒状の樹脂を正確に計量して供給する装置として、例えば、特許文献１に示す樹脂供給機構が提案されている。この樹脂供給機構１は、図７に示す如く、樹脂２を計量し樹脂２を投下する計量部（図示せず）と、円錐形の内面を備える傾斜部とその頂点に足となる管部とを有する漏斗部６を介して、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された樹脂２を所定の場所に導くシュータ１０と、を有する。樹脂供給機構１は、更にシュータ１０内に透過性を有する拡散体８を備えるので、漏斗部６を通過した樹脂２は拡散体８で拡散されシュータ１０により当該所定の場所に均一に導かれる（撒かれる）こととなる。なお、所定の場所としては、離型フィルム２０が配置された上であって、樹脂２を予め予備成形する場所や圧縮成形用金型内等が想定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２３４０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では、樹脂２の撒かれる範囲（散布範囲）や樹脂２の量が変わると、樹脂２を均一に撒くだけの目的であっても、シュータ１０を変更し（同時に拡散体８も変更）拡散体８とシュータ１０との位置関係等を新たに調整し直す必要がある。しかし、拡散体８がシュータ１０内にある関係上、樹脂を均一に撒くための拡散体８の位置調整等が容易ではなかった。
【０００６】
更には、通常、樹脂は均一に撒かれることが望ましいが、条件によっては逆に樹脂が散布範囲の一部に偏って撒かれることが望ましい場合もある。これに対して、特許文献１の拡散体８では、樹脂２を均一に撒くことは可能とされても、逆に散布範囲の一部に樹脂２を偏らせて撒くことが困難であった。
【０００７】
なお、上記拡散体の位置を調整可能（脱着含む）とすることで樹脂の均一性を変更可能とすることも考えられるが、そのためには構成が複雑になるおそれがある。
【０００８】
本発明は、これらの問題点を解消するべくなされたものであって、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂の均一性を容易に調整・変更可能な樹脂供給機構及び樹脂供給方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を有する樹脂供給機構において、前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材を備え、少なくとも１つの該筒状部材が該鉛直方向で移動可能とされていることで、上記課題を解決するものである。
【００１０】
本発明では、複数の筒状部材が、計量部から投下された樹脂をシュータに導くとともに、計量部から投下された樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備えている。そして、少なくとも１つの筒状部材は、鉛直方向で移動可能とされている。ここで、樹脂は落下する距離に応じてその拡散範囲（散布範囲）が拡がる。そして、少なくとも１つの筒状部材の位置を鉛直方向で変更することで、筒状部材間の距離が変更できる。そのため、筒状部材の内面と衝突する計量部から投下された樹脂の割合（衝突頻度）、シュータの内面で衝突する樹脂の割合（衝突頻度）、筒状部材の内面とは衝突しない樹脂を含めた計量部から投下された樹脂同士の衝突する割合（衝突頻度）のうち、少なくとも１つの衝突頻度を調整（変更）できる。即ち、少なくとも１つの筒状部材の位置を鉛直方向で変更することで、計量部から投下された樹脂の拡散の程度を変更でき、撒かれる樹脂の均一性を変更することが可能となる。
【００１１】
また、複数の筒状部材のうちの少なくとも１つが鉛直方向で移動可能とされているだけなので、樹脂供給機構を複雑な構成とすることがない。
【００１２】
なお、複数の前記筒状部材が、前記計量部と前記シュータとの間に直列に配置されている場合には、筒状部材の計量部とシュータとに対する位置関係を調整するのがより容易となる。
【００１３】
なお、複数の前記筒状部材が前記鉛直方向で移動可能とされている場合には、計量部から投下された樹脂の拡散の程度をより詳細に制御可能となり、撒かれる樹脂の均一性をより正確に変更することが可能となる。
【００１４】
なお、全ての前記筒状部材及び前記シュータが、前記鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている場合には、撒かれる樹脂の均一性を対称的にすることができ、特に撒かれた樹脂の均一性を更に高めることができる。
【００１５】
なお、更に、前記筒状部材の少なくとも１つは、該筒状部材に設けられた最小の内径で下方に伸びる管部を有する場合には、管部における樹脂の単位時間当たりの通過量（通過速度）と通過後の樹脂の拡散の程度をより安定化できる。
【００１６】
なお、前記筒状部材毎に設けられた最小の内径のうち、前記計量部の近くに配置された該筒状部材の該最小の内径が最も小さくされている場合には、計量部に近いその筒状部材で樹脂の通過速度を制限できるので、結果的により正確に樹脂の均一性の制御を行うことが可能となる。
【００１７】
なお、更に、前記筒状部材と前記シュータのうちの少なくとも１つに対して衝撃を与えるノッカーが設けられている場合には、ノッカーが設けられた筒状部材と前記シュータでは樹脂の付着を低減できるので、散布範囲に撒かれた樹脂量と計量された樹脂量との誤差（計量誤差）をより低減することができる。
【００１８】
なお、本発明は、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を用いる樹脂供給方法において、前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材のうちの少なくとも１つを該鉛直方向で移動させることで、前記計量部から投下された前記樹脂同士の衝突頻度、該樹脂と前記筒状部材の内面との衝突頻度、及び該樹脂と前記シュータの内面との衝突頻度のうち、少なくとも１つの衝突頻度を変更させることを特徴とする樹脂供給方法と捉えることもできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明を適用することにより、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂の均一性が容易に調整・変更可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る樹脂供給機構の一例を示す模式図
【図２】樹脂供給機構における樹脂同士の衝突や樹脂とシュータとの衝突などを説明するための模式図
【図３】樹脂供給機構で得られる撒かれた樹脂の均一性を説明するための模式図
【図４】樹脂供給機構を用いた予備成形工程の一例を示す模式図
【図５】樹脂供給機構で供給される樹脂が適用可能な圧縮成形装置の一例を示す模式図
【図６】本発明の第２、第３実施形態に係る樹脂供給機構の一例を示す模式図
【図７】従来例における樹脂供給機構を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００２２】
最初に、本発明の第１実施形態に係る樹脂供給機構で供給される樹脂が適用可能な圧縮成形装置について図５を用いて以下に説明する。
【００２３】
圧縮成形装置１５０は、圧縮成形用金型として、上型１５２と下型１５４とを有する。下型１５４にはプレス機構（図示しない）が連結されており、所定のタイミングで下型１５４を上型１５２に対して接近、離反することが可能とされている。下型１５４は、貫通孔を備えた枠状金型１５８と当該貫通孔に嵌合して配置される圧縮金型１５６とを有した構成とされている。また、上型１５２に対する下型１５４の対向面には、離型フィルム１２１が供給されている。この離型フィルム１２１は図示せぬ供給機構によって案内され、所定のタイミングで順次送られて使用される。被成形品１６０（半導体チップ１６２を搭載した基板）は、上型１５２に備わる吸着機構（図示しない）によって吸着保持される。そして、被成形品１６０は、下型１５４の対向面（上型１５２側表面）の一部に形成されるキャビティにおいて、予備成形部１３０で樹脂１０２を所定の大きさに予備成形した予備成形樹脂１０３（後述）にて圧縮封止される。圧縮封止作業が終了すると、上型１５２と下型１５４とはプレス機構によって離反（型開き）される。封止された被成形品１６０（成形品）は、離型フィルム１２１の存在によって下型１５４から容易に取り外すことが可能なため、上型１５２に吸着保持された態様で取り出される。被成形品１６０が図示せぬ搬送機構によって運びだされた後、次回の封止サイクルが行なわれる。
【００２４】
次に、予備成形部１３０について、図４を用いて説明する。
【００２５】
予備成形部１３０は、樹脂供給機構１００から供給される樹脂１０２を、圧縮成形装置１５０のキャビティの形状に合わせて予め所定の大きさに成形（予備成形）することを目的としている。予備成形部１３０は、樹脂供給機構１００と、ヒータ（図示しない）が備わった打錠プレス１３８と、当該打錠プレス１３８に隣接して配置される冷却部１４４とから構成される。樹脂供給機構１００は、所定の樹脂量を所定の場所に導く機構であり、詳細は後述する。打錠プレス１３８と冷却部１４４とは、それぞれ上下２つの型から構成されており、図示せぬプレス機構によって所定のタイミングで開閉可能とされている。また、打錠プレス１３８及び冷却部１４４の下型の位置と略同じ高さの位置に、第１支持ローラ１３２が設けられている（図４（Ｂ））。また、打錠プレス１３８及び冷却部１４４の上型の位置と略同じ高さの位置に第２支持ローラ１３６が設けられている。さらにこの第１支持ローラ１３２および第２支持ローラ１３６は水平方向（図４において左右方向）に位置が異なるように配置されている。その上で、第１支持ローラ１３２より上側且つ第２支持ローラ１３６より下側の位置に駆動ローラ１３４が設けられている。この駆動ローラ１３４は、自身が水平方向（図４において左右方向）に移動することが可能とされており、開いた状態の打錠プレス１３８と冷却部１４４の間に進入することが可能とされている。また、第１支持ローラ１３２、第２支持ローラ１３６および駆動ローラ１３４には（離型フィルム１２１とは異なる）離型フィルム１２０が係合している。この離型フィルム１２０は、例えば、ポリプロピレンフイルムが使用される。この離型フィルム１２０は、予備成形部１３０における樹脂１０２を搬送する機能および当該樹脂１０２が予備成形部１３０に付着すること等を防止する機能を発揮する。
【００２６】
次に、予備成形部１３０における予備成形工程について図４を用いて簡単に説明する。
【００２７】
まず、駆動ローラ１３４が第２支持ローラ１３６の近傍に位置され、樹脂供給機構１００から樹脂１０２が離型フィルム１２０上に供給される（図４（Ａ））。
【００２８】
次に、離型フィルム１２０上に供給された樹脂１０２を、打錠プレス１３８の位置にまで移動するように、駆動ローラ１３４を移動させる（図４において右側）。このとき樹脂１０２は、離型フィルム１２０によって上下が包まれた状態で移動する。樹脂１０２が打錠プレス１３８の位置まで運ばれると（図４（Ｂ））、打錠プレス１３８がプレス機構によって型閉じされ、目的とする形状（例えば、圧縮成形装置１５０のキャビティの形状と相似する形状）へと予備成形される。
【００２９】
次に、打錠プレス１３８によって成形された予備成形樹脂１０３を冷却部１４４の位置へと移動させるように、駆動ローラ１３４が移動する（図４において右側）。予備成形樹脂１０３が冷却部１４４の位置まで運ばれると（図４（Ｃ））、冷却部１４４が閉じられ、予備成形樹脂１０３が必要な程度にまで冷却される。
【００３０】
次に、冷却が終った段階で駆動ローラ１３４が第２支持ローラ１３６の近傍に（図４において第２支持ローラ１３６の下側）に戻り、冷却後の予備成形樹脂１０３を図示せぬ搬送機構によって搬送することが可能な位置にまで運び出す（図４（Ｄ））。
【００３１】
そして、樹脂供給機構１００から次の樹脂１０２が離型フィルム１２０上に供給される（図４（Ｅ））。
【００３２】
次に、樹脂供給機構１００について説明する。
【００３３】
樹脂供給機構１００は、被成形品１６０を樹脂１０２（予備成形樹脂１０３）にて圧縮封止する圧縮成形装置１５０に対して、樹脂１０２を計量し樹脂１０２を投下する計量部１０４と、計量部１０４の下方に配置され計量部１０４から投下された樹脂１０２を所定の場所に導くシュータ１１０と、を有する。そして、樹脂供給機構１００は、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備える２つの筒状部材（第１筒状部材１０６、第２筒状部材１０８）を備えている。そして、第１筒状部材１０６、第２筒状部材１０８それぞれが、鉛直方向で移動可能とされている。以下、図１を用いて詳細に説明する。
【００３４】
前記計量部１０４は、図１に示す如く、第１筒状部材１０６の鉛直方向上方に位置している。計量部１０４を、たとえば、ホッパとフィーダと計量カップから構成することができる（いずれも図示せず）。ホッパには、原料となる粉状、粒状の樹脂１０２が投入され、フィーダから定められた量の樹脂１０２が計量カップに充填される。計量カップに充填された樹脂１０２は計量カップの反転により投下される。
【００３５】
前記第１、第２筒状部材１０６、１０８は、計量部１０４とシュータ１１０との間に直列に配置されている。第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、円錐形の内面を備える傾斜部１０６Ａ、１０８Ａと、当該円錐形の頂点に接続されて鉛直方向下方に伸びる足である管部１０６Ｂ、１０８Ｂと、を有する（即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、漏斗形状とされている）。傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの水平方向（Ｘ方向）に対する角度θ１、θ２はそれぞれ、０度よりも大きく９０度よりも小さければよい。しかし、樹脂１０２の傾斜部１０６Ａ、１０８Ａへの付着を低減する観点から、角度θ１、θ２を樹脂１０２における安息角よりも大きくすることが望ましい。なお、傾斜部１０６Ａの上端部で占められる領域は計量部１０４から投下された樹脂１０２の拡散する領域をカバーし、傾斜部１０８Ａの上端部で占められる領域は第１筒状部材１０６を通過した樹脂１０２の拡散する領域をカバーするようにされている。管部１０６Ｂ、１０８Ｂはそれぞれ、傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの下端部に接続されており、それぞれの内径Ｄ１、Ｄ２が傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの最小の内径とされている。そして、内径Ｄ１は内径Ｄ２よりも小さくされている（即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部１０４の近くに配置された第１筒状部材１０６の最小の内径Ｄ１が最も小さくされている）。そして、管部１０６Ｂ、１０８Ｂはそれぞれ、鉛直方向に長さＬ１、Ｌ２とされている。
【００３６】
ここで、第１筒状部材１０６の内径Ｄ１を小さくすると樹脂１０２の第１筒状部材１０６を通過する通過速度が遅くなる。すると、樹脂１０２の粒子同士の衝突が多くなり、結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が向上する。この作用効果は第１筒状部材１０６の管部１０６Ｂの長さＬ１を長くすることによっても得ることができる。逆に、内径Ｄ１を大きく、若しくは長さＬ１を短くすると樹脂１０２の第１筒状部材１０６を通過する通過速度が速くなる。すると、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が低くなる。
【００３７】
また、第２筒状部材１０８の内径Ｄ２を大きくすることで、樹脂１０２の拡散の程度を大きくすることができ、結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が向上する。この作用効果は第２筒状部材１０８の管部１０８Ｂの長さＬ２を短くすることによっても得ることができる。逆に、内径Ｄ２を小さく、若しくは長さＬ２を長くすることで樹脂１０２の拡散の程度を小さくすることができる。すると、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が低くなる。
【００３８】
なお、第１、第２筒状部材１０６、１０８それぞれの半径方向外側にはノッカー１１８が配置され、その外側から衝撃を与えるようにされている。ノッカー１１８は内部に図示せぬエアバルブを有して、エア供給により当該エアバルブを開閉させ、その際に衝撃を発生させている。
【００３９】
第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、支持部１１４Ａ、１１６Ａを介して第１、第２移動部１１４、１１６に取付けられている。第１、第２移動部１１４、１１６は、計量部１０４を固定的に支持する固定部１１２に鉛直方向（Ｚ方向）に移動可能に支持されている。即ち、本実施形態では、離型フィルム１２０から計量部１０４までの高さＨは固定されているが、離型フィルム１２０から第１筒状部材１０６までの高さＨ１と離型フィルム１２０から第２筒状部材１０８までの高さＨ２とは変更可能とされている。
【００４０】
前記シュータ１１０は、鉛直方向（Ｚ方向）に伸びる筒状の部材であり、上端部に円形開口を備える環状の屈曲部１１０Ａを備えている。このため、シュータ１１０の内部に投下された樹脂１０２の、シュータ１１０外部への拡散を効果的に防止することができる。シュータ１１０は離型フィルム１２０上に配置され、離型フィルム１２０上のシュータ１１０の内壁で囲まれる範囲に樹脂１０２は導かれることとなる（即ち、特定の場所は、図４に示す如く、離型フィルム１２０上の予備成形部１３０の第１支持ローラ１３２と第２支持ローラ１３６との間の場所となる）。なお、シュータ１１０の半径方向外側にもノッカー１１８が配置され、その外側から衝撃を与えるようにされている。また、図示していないが、シュータ１１０の鉛直方向と直交する方向の断面形状は、圧縮成形装置１５０におけるキャビティ（図示しない）の形状と相似の形状とされている。具体的には、圧縮成形装置１５０におけるキャビティの形状よりも僅かに小さな形状とされている。
【００４１】
本実施形態では、第１、第２筒状部材１０６、１０８及びシュータ１１０が、鉛直方向（Ｚ方向）に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている。
【００４２】
次に、樹脂供給機構１００における樹脂１０２の挙動について図２を用いて以下に説明する。
【００４３】
樹脂１０２は熱硬化性樹脂である。その平均粒径は１ｍｍを満たない大きさ（約７５０μｍ）であり、樹脂１０２は比重が軽いため計量部１０４から投下されると粒子同士の衝突などによりその落下範囲が拡散される。
【００４４】
このため、計量部１０４から投下された樹脂１０２は、計量部１０４と第１筒状部材１０６との距離（Ｈ−Ｈ１）に応じて拡散される。そして、第１筒状部材１０６の傾斜部１０６Ａに樹脂１０２の少なくとも一部が衝突する。傾斜部１０６Ａに衝突した樹脂１０２は集められ、傾斜部１０６Ａに衝突せずに直接的に内径Ｄ１の内側にくる樹脂１０２とともに管部１０６Ｂを通過する。
【００４５】
管部１０６Ｂを通過した樹脂１０２は再び第１筒状部材１０６と第２筒状部材１０８との距離（Ｈ１−Ｈ２）に応じて拡散される。そして、第２筒状部材１０８の傾斜部１０８Ａに樹脂１０２の少なくとも一部が衝突する。傾斜部１０８Ａに衝突した樹脂１０２の粒子は集められ、傾斜部１０８Ａに衝突せずに直接的に内径Ｄ２の内側にくる樹脂１０２とともに管部１０８Ｂを通過する。
【００４６】
そして、例えば、管部１０８Ｂを通過した樹脂１０２の粒子Ａは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返り、他の粒子と衝突することなく、シュータ１１０の内壁に近い離型フィルム１２０上に落下する（粒子Ａ１）。また、別の粒子Ｂは、計量部１０４から投下されたのちに第１、第２筒状部材１０６、１０８及び他の粒子に干渉されることなく、シュータ１１０の中心に近い離型フィルム１２０上に落下する（粒子Ｂ）。また、別の粒子Ｃは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返る。そして、計量部１０４から投下された後に第１、第２筒状部材１０６、１０８で干渉されることなく落下してきた別の粒子Ｄと粒子Ｃは衝突する。そして、粒子Ｃ、Ｄともシュータ１１０の内壁に近い場所に散乱される（粒子Ｃ１、Ｄ１）。また、別の粒子Ｅは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返る。そして、同じく第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返ってきた別の粒子Ｆと衝突する。そして、粒子Ｅ、Ｆともシュータ１１０の内壁に近い場所に散乱される（粒子Ｅ１、Ｆ１）。即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８の高さＨ１、Ｈ２を調整することで、樹脂１０２の拡散の程度を詳細に変更することができる。
【００４７】
例えば、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）を短くすることで、図３（Ａ）に示すように、撒かれる樹脂１０２の拡散の程度を小さくすることができる。つまり、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸（図３（Ａ）の一点鎖線の位置）の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性を低くすることができる。逆に、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）を長くすることで、図３（Ｂ）に示すように、撒かれる樹脂１０２の拡散の程度を大きくできる。つまり、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸（図３（Ｂ）の一点鎖線の位置）の付近に樹脂１０２が偏らず結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性を高くすることができる。即ち、樹脂１０２の散布範囲における均一性を自在に調整できる。このため、例えば樹脂１０２の均一性を低い状態とするときでも、予備成形樹脂１０３に生じるおそれのあるしわ（波打ちした状態の表面）を回避することができるよう、その均一性を詳細に調整することができる。
【００４８】
なお、樹脂供給機構１００のうち、シュータ１１０だけが交換可能とされている。即ち、樹脂１０２の散布範囲、即ち予備成形樹脂１０３の大きさを変更する場合には、その外延を定めるシュータ１１０だけを変更するだけでよい。即ち、それ以外の第１、第２筒状部材１０６、１０８は予備成形樹脂１０３の大きさに係らず、共通に使用される。
【００４９】
本実施形態では、第１、第２筒状部材１０６、１０８が、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備えている。そして、第１、第２筒状部材１０６、１０８は計量部１０４とシュータ１１０との間に直列に配置され、且つ鉛直方向で移動可能とされている。ここで、樹脂１０２は落下する距離に応じてその拡散範囲（散布範囲）が拡がる。そして、第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置関係を鉛直方向（Ｚ方向）で容易に調整・変更できる。そして第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置を変更することで、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）が変更できる。このため、第１、第２筒状部材１０６、１０８の内面と衝突する計量部１０４から投下された樹脂１０２の割合（衝突頻度）を調整（変更）でき、且つシュータ１１０の内面で衝突する樹脂１０２の割合（衝突頻度）も調整（変更）できる。同時に、第１、第２筒状部材１０６、１０８の内面とは衝突しない樹脂１０２を含めた計量部１０４から投下された樹脂１０２同士の衝突する割合（衝突頻度）を調整（変更）できる。即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置を鉛直方向（Ｚ方向）で変更することで、計量部１０４から投下された樹脂１０２の拡散の程度を詳細に制御でき、撒かれる樹脂１０２の均一性を正確に変更することが可能となる。
【００５０】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８が鉛直方向で移動可能とされているだけなので、樹脂供給機構１００を複雑な構成とすることがない。
【００５１】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８及びシュータ１１０が、鉛直方向（Ｚ方向）に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されているので、撒かれる樹脂１０２の均一性を対称的にすることができ、特に撒かれた樹脂１０２の均一性を更に高めることができる。
【００５２】
また、更に、第１、第２筒状部材１０６、１０８は、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２で下方に伸びる管部１０６Ｂ、１０８Ｂをそれぞれ有する。このため、管部１０６Ｂ、１０８Ｂにおける樹脂１０２の通過速度と通過後の樹脂１０２の拡散の程度をより安定化できる。
【００５３】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部１０４の近くに配置された第１筒状部材１０６の最小の内径Ｄ１が最も小さくされている。このため、計量部１０４に近い第１筒状部材１０６で樹脂１０２の通過速度を制限できるので、結果的により正確に樹脂１０２の均一性の制御を行うことが可能となる。
【００５４】
また、更に、第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０に対して衝撃を与えるノッカー１１８が設けられている。このため、ノッカー１１８が設けられた第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０では樹脂１０２の付着を低減できるので、散布範囲に撒かれた樹脂量と計量された樹脂量との誤差（計量誤差）をより低減することができる。その際に、第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０の内面は、特許文献１の拡散体のように表面形状が複雑でないため、樹脂１０２の付着を低減可能である。更に、特許文献１の拡散体はシュータの内部に配置されているため、衝撃が伝わりにくく直接的に衝撃を与えることが困難であり、効果的に樹脂の付着を回避することが困難であった。しかし、本実施形態ではノッカー１１８により直接的に衝撃を第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０に与えることができ、効果的に樹脂１０２の付着を回避することができる。
【００５５】
即ち、本実施形態においては、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂１０２の均一性が容易に調整・変更可能となる。
【００５６】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いずれの実施形態で説明された構成要素や機能を適宜組み合わせることも可能である。
【００５７】
例えば、第１実施形態においては、第１、第２筒状部材１０６、１０８を備えて、第２筒状部材１０８も鉛直方向に移動可能とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図６（Ａ）に示す第２実施形態の如く、第２筒状部材２０８がシュータ２１０の屈曲部２１０Ａに固定されシュータ２１０の一部とみなされるような構成であってもよい。言い換えれば、第２筒状部材２０８とシュータ２１０との一部が水平方向で重なることで、第２筒状部材２０８が計量部とシュータ２１０との間に直列に配置されているとは言い難い構成であってもよい（計量部及びノッカーは省略）。この場合でも第１筒状部材２０６の高さを変えることで、第２筒状部材２０８との間の距離は変更可能なので、相応に樹脂２０２の均一性を変更することができる。
【００５８】
或いは、図６（Ｂ）に示す第３実施形態の如く、第２実施形態の第２筒状部材２０８の管部２０８Ｂを設けない第２筒状部材３０８が備えられていてもよい（計量部及びノッカーは省略）。もちろん、第１筒状部材が管部を備えなくてもよいし、筒状部材が２つだけではなく、３つ以上であってもよい。本発明は、樹脂が、投下されてから離型フィルム上に散布されるまでの間の衝突回数を制御可能とすることで、本発明の相応の作用効果を得ることができる。
【００５９】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材において傾斜部と管部とが両方とも水平面上で円形とされていたが、本発明はこれに限定されず、第１、第２筒状部材の断面が多角形形状等であってもよい。
【００６０】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部の近くに配置された第１筒状部材の最小の内径Ｄ１が最も小さくされていたが、本発明はこれに限定されず、第２筒状部材の内径Ｄ２のほうが小さくされていてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材及びシュータが、鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１、第２筒状部材及びシュータが、鉛直方向に対して軸対称に形成されていても同軸上になくてもよいし、第１、第２筒状部材及びシュータが全て非対称とされていてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材とシュータのすべてに対して衝撃を与えるノッカーが設けられていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１、第２筒状部材とシュータのうちのすくなくとも１つに対してノッカーが設けられていれば相応に樹脂の付着を防止できる。或いは、ノッカーを全く用いずに第１、第２筒状部材及びシュータを樹脂の付着しにくい内面（形状や表面膜形成）にすることで計量誤差を低減することも可能である。
【００６３】
また、上記実施形態においては、樹脂供給機構による樹脂の供給先は予備成形部であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、樹脂供給機構で圧縮成形装置におけるキャビティに対して直接（シュータを介して）樹脂を供給してもよい。その際に、シュータで１度にキャビティ全面に樹脂を供給してもよいし、シュータを水平方向で移動させて、キャビティ全面を走査するように供給してもよい。このとき、必ずしも、離型フィルム上に樹脂が供給されなくてもよい。
【００６４】
また、上記実施形態においては、シュータが鉛直方向に伸びていることで樹脂を均一に供給するという観点からは望ましいものであったが、本発明はこれに限定されない。例えば、場合によってはシュータが鉛直方向に対して多少の傾きを有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、半導体チップ等の被成形品を樹脂にて圧縮封止するための圧縮成形装置に用いられる樹脂供給機構として好適である。
【符号の説明】
【００６６】
１、１００、２００、３００…樹脂供給機構
２、１０２、２０２、３０２…樹脂
６…漏斗部
８…拡散体
１０、１１０、２１０、３１０…シュータ
２０、１２０、１２１、２２０、３２０…離型フィルム
１０３…予備成形樹脂
１０４…計量部
１０６、２０６、３０６…第１筒状部材
１０６Ａ、１０８Ａ、２０８Ａ、３０８Ａ…傾斜部
１０６Ｂ、１０８Ｂ、２０８Ｂ…管部
１０８、２０８、３０８…第２筒状部材
１１２、２１２、３１２…固定部
１１４、２１４、３１４…第１移動部
１１６…第２移動部
１１８…ノッカー
１３０…予備成形部
１３２…第１支持ローラ
１３４…駆動ローラ
１３６…第２支持ローラ
１３８…打錠プレス
１４４…冷却部
１５０…圧縮成形装置
１６０…被成形品（基板）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等が搭載された基板（非被成形品）を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に用いられる樹脂供給機構及び樹脂供給方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被成形品（半導体チップを搭載した基板など）を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置では、被成形品とともに圧縮成形用金型に予め計量した樹脂を投入するため、成形品の精度（特に厚みの精度）は投入する樹脂の量によって変動することになる。そのため、投入される樹脂の量はできるだけ精度よく計量されることが重要となる。
【０００３】
圧縮封止に用いられる樹脂は、例えば粉状、粒状のものが使用される場合が多い。このような粉状、粒状の樹脂を正確に計量して供給する装置として、例えば、特許文献１に示す樹脂供給機構が提案されている。この樹脂供給機構１は、図７に示す如く、樹脂２を計量し樹脂２を投下する計量部（図示せず）と、円錐形の内面を備える傾斜部とその頂点に足となる管部とを有する漏斗部６を介して、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された樹脂２を所定の場所に導くシュータ１０と、を有する。樹脂供給機構１は、更にシュータ１０内に透過性を有する拡散体８を備えるので、漏斗部６を通過した樹脂２は拡散体８で拡散されシュータ１０により当該所定の場所に均一に導かれる（撒かれる）こととなる。なお、所定の場所としては、離型フィルム２０が配置された上であって、樹脂２を予め予備成形する場所や圧縮成形用金型内等が想定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２３４０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では、樹脂２の撒かれる範囲（散布範囲）や樹脂２の量が変わると、樹脂２を均一に撒くだけの目的であっても、シュータ１０を変更し（同時に拡散体８も変更）拡散体８とシュータ１０との位置関係等を新たに調整し直す必要がある。しかし、拡散体８がシュータ１０内にある関係上、樹脂を均一に撒くための拡散体８の位置調整等が容易ではなかった。
【０００６】
更には、通常、樹脂は均一に撒かれることが望ましいが、条件によっては逆に樹脂が散布範囲の一部に偏って撒かれることが望ましい場合もある。これに対して、特許文献１の拡散体８では、樹脂２を均一に撒くことは可能とされても、逆に散布範囲の一部に樹脂２を偏らせて撒くことが困難であった。
【０００７】
なお、上記拡散体の位置を調整可能（脱着含む）とすることで樹脂の均一性を変更可能とすることも考えられるが、そのためには構成が複雑になるおそれがある。
【０００８】
本発明は、これらの問題点を解消するべくなされたものであって、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂の均一性を容易に調整・変更可能な樹脂供給機構及び樹脂供給方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を有する樹脂供給機構において、前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材を備え、少なくとも１つの該筒状部材が該鉛直方向で移動可能とされていることで、上記課題を解決するものである。
【００１０】
本発明では、複数の筒状部材が、計量部から投下された樹脂をシュータに導くとともに、計量部から投下された樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備えている。そして、少なくとも１つの筒状部材は、鉛直方向で移動可能とされている。ここで、樹脂は落下する距離に応じてその拡散範囲（散布範囲）が拡がる。そして、少なくとも１つの筒状部材の位置を鉛直方向で変更することで、筒状部材間の距離が変更できる。そのため、筒状部材の内面と衝突する計量部から投下された樹脂の割合（衝突頻度）、シュータの内面で衝突する樹脂の割合（衝突頻度）、筒状部材の内面とは衝突しない樹脂を含めた計量部から投下された樹脂同士の衝突する割合（衝突頻度）のうち、少なくとも１つの衝突頻度を調整（変更）できる。即ち、少なくとも１つの筒状部材の位置を鉛直方向で変更することで、計量部から投下された樹脂の拡散の程度を変更でき、撒かれる樹脂の均一性を変更することが可能となる。
【００１１】
また、複数の筒状部材のうちの少なくとも１つが鉛直方向で移動可能とされているだけなので、樹脂供給機構を複雑な構成とすることがない。
【００１２】
なお、複数の前記筒状部材が、前記計量部と前記シュータとの間に直列に配置されている場合には、筒状部材の計量部とシュータとに対する位置関係を調整するのがより容易となる。
【００１３】
なお、複数の前記筒状部材が前記鉛直方向で移動可能とされている場合には、計量部から投下された樹脂の拡散の程度をより詳細に制御可能となり、撒かれる樹脂の均一性をより正確に変更することが可能となる。
【００１４】
なお、全ての前記筒状部材及び前記シュータが、前記鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている場合には、撒かれる樹脂の均一性を対称的にすることができ、特に撒かれた樹脂の均一性を更に高めることができる。
【００１５】
なお、更に、前記筒状部材の少なくとも１つは、該筒状部材に設けられた最小の内径で下方に伸びる管部を有する場合には、管部における樹脂の単位時間当たりの通過量（通過速度）と通過後の樹脂の拡散の程度をより安定化できる。
【００１６】
なお、前記筒状部材毎に設けられた最小の内径のうち、前記計量部の近くに配置された該筒状部材の該最小の内径が最も小さくされている場合には、計量部に近いその筒状部材で樹脂の通過速度を制限できるので、結果的により正確に樹脂の均一性の制御を行うことが可能となる。
【００１７】
なお、更に、前記筒状部材と前記シュータのうちの少なくとも１つに対して衝撃を与えるノッカーが設けられている場合には、ノッカーが設けられた筒状部材と前記シュータでは樹脂の付着を低減できるので、散布範囲に撒かれた樹脂量と計量された樹脂量との誤差（計量誤差）をより低減することができる。
【００１８】
なお、本発明は、被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を用いる樹脂供給方法において、前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材のうちの少なくとも１つを該鉛直方向で移動させることで、前記計量部から投下された前記樹脂同士の衝突頻度、該樹脂と前記筒状部材の内面との衝突頻度、及び該樹脂と前記シュータの内面との衝突頻度のうち、少なくとも１つの衝突頻度を変更させることを特徴とする樹脂供給方法と捉えることもできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明を適用することにより、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂の均一性が容易に調整・変更可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る樹脂供給機構の一例を示す模式図
【図２】樹脂供給機構における樹脂同士の衝突や樹脂とシュータとの衝突などを説明するための模式図
【図３】樹脂供給機構で得られる撒かれた樹脂の均一性を説明するための模式図
【図４】樹脂供給機構を用いた予備成形工程の一例を示す模式図
【図５】樹脂供給機構で供給される樹脂が適用可能な圧縮成形装置の一例を示す模式図
【図６】本発明の第２、第３実施形態に係る樹脂供給機構の一例を示す模式図
【図７】従来例における樹脂供給機構を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００２２】
最初に、本発明の第１実施形態に係る樹脂供給機構で供給される樹脂が適用可能な圧縮成形装置について図５を用いて以下に説明する。
【００２３】
圧縮成形装置１５０は、圧縮成形用金型として、上型１５２と下型１５４とを有する。下型１５４にはプレス機構（図示しない）が連結されており、所定のタイミングで下型１５４を上型１５２に対して接近、離反することが可能とされている。下型１５４は、貫通孔を備えた枠状金型１５８と当該貫通孔に嵌合して配置される圧縮金型１５６とを有した構成とされている。また、上型１５２に対する下型１５４の対向面には、離型フィルム１２１が供給されている。この離型フィルム１２１は図示せぬ供給機構によって案内され、所定のタイミングで順次送られて使用される。被成形品１６０（半導体チップ１６２を搭載した基板）は、上型１５２に備わる吸着機構（図示しない）によって吸着保持される。そして、被成形品１６０は、下型１５４の対向面（上型１５２側表面）の一部に形成されるキャビティにおいて、予備成形部１３０で樹脂１０２を所定の大きさに予備成形した予備成形樹脂１０３（後述）にて圧縮封止される。圧縮封止作業が終了すると、上型１５２と下型１５４とはプレス機構によって離反（型開き）される。封止された被成形品１６０（成形品）は、離型フィルム１２１の存在によって下型１５４から容易に取り外すことが可能なため、上型１５２に吸着保持された態様で取り出される。被成形品１６０が図示せぬ搬送機構によって運びだされた後、次回の封止サイクルが行なわれる。
【００２４】
次に、予備成形部１３０について、図４を用いて説明する。
【００２５】
予備成形部１３０は、樹脂供給機構１００から供給される樹脂１０２を、圧縮成形装置１５０のキャビティの形状に合わせて予め所定の大きさに成形（予備成形）することを目的としている。予備成形部１３０は、樹脂供給機構１００と、ヒータ（図示しない）が備わった打錠プレス１３８と、当該打錠プレス１３８に隣接して配置される冷却部１４４とから構成される。樹脂供給機構１００は、所定の樹脂量を所定の場所に導く機構であり、詳細は後述する。打錠プレス１３８と冷却部１４４とは、それぞれ上下２つの型から構成されており、図示せぬプレス機構によって所定のタイミングで開閉可能とされている。また、打錠プレス１３８及び冷却部１４４の下型の位置と略同じ高さの位置に、第１支持ローラ１３２が設けられている（図４（Ｂ））。また、打錠プレス１３８及び冷却部１４４の上型の位置と略同じ高さの位置に第２支持ローラ１３６が設けられている。さらにこの第１支持ローラ１３２および第２支持ローラ１３６は水平方向（図４において左右方向）に位置が異なるように配置されている。その上で、第１支持ローラ１３２より上側且つ第２支持ローラ１３６より下側の位置に駆動ローラ１３４が設けられている。この駆動ローラ１３４は、自身が水平方向（図４において左右方向）に移動することが可能とされており、開いた状態の打錠プレス１３８と冷却部１４４の間に進入することが可能とされている。また、第１支持ローラ１３２、第２支持ローラ１３６および駆動ローラ１３４には（離型フィルム１２１とは異なる）離型フィルム１２０が係合している。この離型フィルム１２０は、例えば、ポリプロピレンフイルムが使用される。この離型フィルム１２０は、予備成形部１３０における樹脂１０２を搬送する機能および当該樹脂１０２が予備成形部１３０に付着すること等を防止する機能を発揮する。
【００２６】
次に、予備成形部１３０における予備成形工程について図４を用いて簡単に説明する。
【００２７】
まず、駆動ローラ１３４が第２支持ローラ１３６の近傍に位置され、樹脂供給機構１００から樹脂１０２が離型フィルム１２０上に供給される（図４（Ａ））。
【００２８】
次に、離型フィルム１２０上に供給された樹脂１０２を、打錠プレス１３８の位置にまで移動するように、駆動ローラ１３４を移動させる（図４において右側）。このとき樹脂１０２は、離型フィルム１２０によって上下が包まれた状態で移動する。樹脂１０２が打錠プレス１３８の位置まで運ばれると（図４（Ｂ））、打錠プレス１３８がプレス機構によって型閉じされ、目的とする形状（例えば、圧縮成形装置１５０のキャビティの形状と相似する形状）へと予備成形される。
【００２９】
次に、打錠プレス１３８によって成形された予備成形樹脂１０３を冷却部１４４の位置へと移動させるように、駆動ローラ１３４が移動する（図４において右側）。予備成形樹脂１０３が冷却部１４４の位置まで運ばれると（図４（Ｃ））、冷却部１４４が閉じられ、予備成形樹脂１０３が必要な程度にまで冷却される。
【００３０】
次に、冷却が終った段階で駆動ローラ１３４が第２支持ローラ１３６の近傍に（図４において第２支持ローラ１３６の下側）に戻り、冷却後の予備成形樹脂１０３を図示せぬ搬送機構によって搬送することが可能な位置にまで運び出す（図４（Ｄ））。
【００３１】
そして、樹脂供給機構１００から次の樹脂１０２が離型フィルム１２０上に供給される（図４（Ｅ））。
【００３２】
次に、樹脂供給機構１００について説明する。
【００３３】
樹脂供給機構１００は、被成形品１６０を樹脂１０２（予備成形樹脂１０３）にて圧縮封止する圧縮成形装置１５０に対して、樹脂１０２を計量し樹脂１０２を投下する計量部１０４と、計量部１０４の下方に配置され計量部１０４から投下された樹脂１０２を所定の場所に導くシュータ１１０と、を有する。そして、樹脂供給機構１００は、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備える２つの筒状部材（第１筒状部材１０６、第２筒状部材１０８）を備えている。そして、第１筒状部材１０６、第２筒状部材１０８それぞれが、鉛直方向で移動可能とされている。以下、図１を用いて詳細に説明する。
【００３４】
前記計量部１０４は、図１に示す如く、第１筒状部材１０６の鉛直方向上方に位置している。計量部１０４を、たとえば、ホッパとフィーダと計量カップから構成することができる（いずれも図示せず）。ホッパには、原料となる粉状、粒状の樹脂１０２が投入され、フィーダから定められた量の樹脂１０２が計量カップに充填される。計量カップに充填された樹脂１０２は計量カップの反転により投下される。
【００３５】
前記第１、第２筒状部材１０６、１０８は、計量部１０４とシュータ１１０との間に直列に配置されている。第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、円錐形の内面を備える傾斜部１０６Ａ、１０８Ａと、当該円錐形の頂点に接続されて鉛直方向下方に伸びる足である管部１０６Ｂ、１０８Ｂと、を有する（即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、漏斗形状とされている）。傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの水平方向（Ｘ方向）に対する角度θ１、θ２はそれぞれ、０度よりも大きく９０度よりも小さければよい。しかし、樹脂１０２の傾斜部１０６Ａ、１０８Ａへの付着を低減する観点から、角度θ１、θ２を樹脂１０２における安息角よりも大きくすることが望ましい。なお、傾斜部１０６Ａの上端部で占められる領域は計量部１０４から投下された樹脂１０２の拡散する領域をカバーし、傾斜部１０８Ａの上端部で占められる領域は第１筒状部材１０６を通過した樹脂１０２の拡散する領域をカバーするようにされている。管部１０６Ｂ、１０８Ｂはそれぞれ、傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの下端部に接続されており、それぞれの内径Ｄ１、Ｄ２が傾斜部１０６Ａ、１０８Ａの最小の内径とされている。そして、内径Ｄ１は内径Ｄ２よりも小さくされている（即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部１０４の近くに配置された第１筒状部材１０６の最小の内径Ｄ１が最も小さくされている）。そして、管部１０６Ｂ、１０８Ｂはそれぞれ、鉛直方向に長さＬ１、Ｌ２とされている。
【００３６】
ここで、第１筒状部材１０６の内径Ｄ１を小さくすると樹脂１０２の第１筒状部材１０６を通過する通過速度が遅くなる。すると、樹脂１０２の粒子同士の衝突が多くなり、結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が向上する。この作用効果は第１筒状部材１０６の管部１０６Ｂの長さＬ１を長くすることによっても得ることができる。逆に、内径Ｄ１を大きく、若しくは長さＬ１を短くすると樹脂１０２の第１筒状部材１０６を通過する通過速度が速くなる。すると、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が低くなる。
【００３７】
また、第２筒状部材１０８の内径Ｄ２を大きくすることで、樹脂１０２の拡散の程度を大きくすることができ、結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が向上する。この作用効果は第２筒状部材１０８の管部１０８Ｂの長さＬ２を短くすることによっても得ることができる。逆に、内径Ｄ２を小さく、若しくは長さＬ２を長くすることで樹脂１０２の拡散の程度を小さくすることができる。すると、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性が低くなる。
【００３８】
なお、第１、第２筒状部材１０６、１０８それぞれの半径方向外側にはノッカー１１８が配置され、その外側から衝撃を与えるようにされている。ノッカー１１８は内部に図示せぬエアバルブを有して、エア供給により当該エアバルブを開閉させ、その際に衝撃を発生させている。
【００３９】
第１、第２筒状部材１０６、１０８はそれぞれ、支持部１１４Ａ、１１６Ａを介して第１、第２移動部１１４、１１６に取付けられている。第１、第２移動部１１４、１１６は、計量部１０４を固定的に支持する固定部１１２に鉛直方向（Ｚ方向）に移動可能に支持されている。即ち、本実施形態では、離型フィルム１２０から計量部１０４までの高さＨは固定されているが、離型フィルム１２０から第１筒状部材１０６までの高さＨ１と離型フィルム１２０から第２筒状部材１０８までの高さＨ２とは変更可能とされている。
【００４０】
前記シュータ１１０は、鉛直方向（Ｚ方向）に伸びる筒状の部材であり、上端部に円形開口を備える環状の屈曲部１１０Ａを備えている。このため、シュータ１１０の内部に投下された樹脂１０２の、シュータ１１０外部への拡散を効果的に防止することができる。シュータ１１０は離型フィルム１２０上に配置され、離型フィルム１２０上のシュータ１１０の内壁で囲まれる範囲に樹脂１０２は導かれることとなる（即ち、特定の場所は、図４に示す如く、離型フィルム１２０上の予備成形部１３０の第１支持ローラ１３２と第２支持ローラ１３６との間の場所となる）。なお、シュータ１１０の半径方向外側にもノッカー１１８が配置され、その外側から衝撃を与えるようにされている。また、図示していないが、シュータ１１０の鉛直方向と直交する方向の断面形状は、圧縮成形装置１５０におけるキャビティ（図示しない）の形状と相似の形状とされている。具体的には、圧縮成形装置１５０におけるキャビティの形状よりも僅かに小さな形状とされている。
【００４１】
本実施形態では、第１、第２筒状部材１０６、１０８及びシュータ１１０が、鉛直方向（Ｚ方向）に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている。
【００４２】
次に、樹脂供給機構１００における樹脂１０２の挙動について図２を用いて以下に説明する。
【００４３】
樹脂１０２は熱硬化性樹脂である。その平均粒径は１ｍｍを満たない大きさ（約７５０μｍ）であり、樹脂１０２は比重が軽いため計量部１０４から投下されると粒子同士の衝突などによりその落下範囲が拡散される。
【００４４】
このため、計量部１０４から投下された樹脂１０２は、計量部１０４と第１筒状部材１０６との距離（Ｈ−Ｈ１）に応じて拡散される。そして、第１筒状部材１０６の傾斜部１０６Ａに樹脂１０２の少なくとも一部が衝突する。傾斜部１０６Ａに衝突した樹脂１０２は集められ、傾斜部１０６Ａに衝突せずに直接的に内径Ｄ１の内側にくる樹脂１０２とともに管部１０６Ｂを通過する。
【００４５】
管部１０６Ｂを通過した樹脂１０２は再び第１筒状部材１０６と第２筒状部材１０８との距離（Ｈ１−Ｈ２）に応じて拡散される。そして、第２筒状部材１０８の傾斜部１０８Ａに樹脂１０２の少なくとも一部が衝突する。傾斜部１０８Ａに衝突した樹脂１０２の粒子は集められ、傾斜部１０８Ａに衝突せずに直接的に内径Ｄ２の内側にくる樹脂１０２とともに管部１０８Ｂを通過する。
【００４６】
そして、例えば、管部１０８Ｂを通過した樹脂１０２の粒子Ａは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返り、他の粒子と衝突することなく、シュータ１１０の内壁に近い離型フィルム１２０上に落下する（粒子Ａ１）。また、別の粒子Ｂは、計量部１０４から投下されたのちに第１、第２筒状部材１０６、１０８及び他の粒子に干渉されることなく、シュータ１１０の中心に近い離型フィルム１２０上に落下する（粒子Ｂ）。また、別の粒子Ｃは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返る。そして、計量部１０４から投下された後に第１、第２筒状部材１０６、１０８で干渉されることなく落下してきた別の粒子Ｄと粒子Ｃは衝突する。そして、粒子Ｃ、Ｄともシュータ１１０の内壁に近い場所に散乱される（粒子Ｃ１、Ｄ１）。また、別の粒子Ｅは、第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返る。そして、同じく第２円筒部材１０８を大きな角度で通過後にシュータ１１０の内面で跳ね返ってきた別の粒子Ｆと衝突する。そして、粒子Ｅ、Ｆともシュータ１１０の内壁に近い場所に散乱される（粒子Ｅ１、Ｆ１）。即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８の高さＨ１、Ｈ２を調整することで、樹脂１０２の拡散の程度を詳細に変更することができる。
【００４７】
例えば、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）を短くすることで、図３（Ａ）に示すように、撒かれる樹脂１０２の拡散の程度を小さくすることができる。つまり、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸（図３（Ａ）の一点鎖線の位置）の付近で樹脂１０２の量が多くなり結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性を低くすることができる。逆に、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）を長くすることで、図３（Ｂ）に示すように、撒かれる樹脂１０２の拡散の程度を大きくできる。つまり、第１、第２筒状部材１０６、１０８の中心軸（図３（Ｂ）の一点鎖線の位置）の付近に樹脂１０２が偏らず結果的に樹脂１０２の散布範囲における均一性を高くすることができる。即ち、樹脂１０２の散布範囲における均一性を自在に調整できる。このため、例えば樹脂１０２の均一性を低い状態とするときでも、予備成形樹脂１０３に生じるおそれのあるしわ（波打ちした状態の表面）を回避することができるよう、その均一性を詳細に調整することができる。
【００４８】
なお、樹脂供給機構１００のうち、シュータ１１０だけが交換可能とされている。即ち、樹脂１０２の散布範囲、即ち予備成形樹脂１０３の大きさを変更する場合には、その外延を定めるシュータ１１０だけを変更するだけでよい。即ち、それ以外の第１、第２筒状部材１０６、１０８は予備成形樹脂１０３の大きさに係らず、共通に使用される。
【００４９】
本実施形態では、第１、第２筒状部材１０６、１０８が、計量部１０４から投下された樹脂１０２をシュータ１１０に導くとともに、計量部１０４から投下された樹脂１０２の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向（Ｚ方向）に対して傾斜した内面を備えている。そして、第１、第２筒状部材１０６、１０８は計量部１０４とシュータ１１０との間に直列に配置され、且つ鉛直方向で移動可能とされている。ここで、樹脂１０２は落下する距離に応じてその拡散範囲（散布範囲）が拡がる。そして、第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置関係を鉛直方向（Ｚ方向）で容易に調整・変更できる。そして第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置を変更することで、第１、第２筒状部材１０６、１０８間の距離（Ｈ１−Ｈ２）が変更できる。このため、第１、第２筒状部材１０６、１０８の内面と衝突する計量部１０４から投下された樹脂１０２の割合（衝突頻度）を調整（変更）でき、且つシュータ１１０の内面で衝突する樹脂１０２の割合（衝突頻度）も調整（変更）できる。同時に、第１、第２筒状部材１０６、１０８の内面とは衝突しない樹脂１０２を含めた計量部１０４から投下された樹脂１０２同士の衝突する割合（衝突頻度）を調整（変更）できる。即ち、第１、第２筒状部材１０６、１０８の位置を鉛直方向（Ｚ方向）で変更することで、計量部１０４から投下された樹脂１０２の拡散の程度を詳細に制御でき、撒かれる樹脂１０２の均一性を正確に変更することが可能となる。
【００５０】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８が鉛直方向で移動可能とされているだけなので、樹脂供給機構１００を複雑な構成とすることがない。
【００５１】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８及びシュータ１１０が、鉛直方向（Ｚ方向）に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されているので、撒かれる樹脂１０２の均一性を対称的にすることができ、特に撒かれた樹脂１０２の均一性を更に高めることができる。
【００５２】
また、更に、第１、第２筒状部材１０６、１０８は、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２で下方に伸びる管部１０６Ｂ、１０８Ｂをそれぞれ有する。このため、管部１０６Ｂ、１０８Ｂにおける樹脂１０２の通過速度と通過後の樹脂１０２の拡散の程度をより安定化できる。
【００５３】
また、第１、第２筒状部材１０６、１０８に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部１０４の近くに配置された第１筒状部材１０６の最小の内径Ｄ１が最も小さくされている。このため、計量部１０４に近い第１筒状部材１０６で樹脂１０２の通過速度を制限できるので、結果的により正確に樹脂１０２の均一性の制御を行うことが可能となる。
【００５４】
また、更に、第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０に対して衝撃を与えるノッカー１１８が設けられている。このため、ノッカー１１８が設けられた第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０では樹脂１０２の付着を低減できるので、散布範囲に撒かれた樹脂量と計量された樹脂量との誤差（計量誤差）をより低減することができる。その際に、第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０の内面は、特許文献１の拡散体のように表面形状が複雑でないため、樹脂１０２の付着を低減可能である。更に、特許文献１の拡散体はシュータの内部に配置されているため、衝撃が伝わりにくく直接的に衝撃を与えることが困難であり、効果的に樹脂の付着を回避することが困難であった。しかし、本実施形態ではノッカー１１８により直接的に衝撃を第１、第２筒状部材１０６、１０８とシュータ１１０に与えることができ、効果的に樹脂１０２の付着を回避することができる。
【００５５】
即ち、本実施形態においては、簡易的な構成でありながら撒かれる樹脂１０２の均一性が容易に調整・変更可能となる。
【００５６】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いずれの実施形態で説明された構成要素や機能を適宜組み合わせることも可能である。
【００５７】
例えば、第１実施形態においては、第１、第２筒状部材１０６、１０８を備えて、第２筒状部材１０８も鉛直方向に移動可能とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図６（Ａ）に示す第２実施形態の如く、第２筒状部材２０８がシュータ２１０の屈曲部２１０Ａに固定されシュータ２１０の一部とみなされるような構成であってもよい。言い換えれば、第２筒状部材２０８とシュータ２１０との一部が水平方向で重なることで、第２筒状部材２０８が計量部とシュータ２１０との間に直列に配置されているとは言い難い構成であってもよい（計量部及びノッカーは省略）。この場合でも第１筒状部材２０６の高さを変えることで、第２筒状部材２０８との間の距離は変更可能なので、相応に樹脂２０２の均一性を変更することができる。
【００５８】
或いは、図６（Ｂ）に示す第３実施形態の如く、第２実施形態の第２筒状部材２０８の管部２０８Ｂを設けない第２筒状部材３０８が備えられていてもよい（計量部及びノッカーは省略）。もちろん、第１筒状部材が管部を備えなくてもよいし、筒状部材が２つだけではなく、３つ以上であってもよい。本発明は、樹脂が、投下されてから離型フィルム上に散布されるまでの間の衝突回数を制御可能とすることで、本発明の相応の作用効果を得ることができる。
【００５９】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材において傾斜部と管部とが両方とも水平面上で円形とされていたが、本発明はこれに限定されず、第１、第２筒状部材の断面が多角形形状等であってもよい。
【００６０】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材に設けられた最小の内径Ｄ１、Ｄ２のうち、計量部の近くに配置された第１筒状部材の最小の内径Ｄ１が最も小さくされていたが、本発明はこれに限定されず、第２筒状部材の内径Ｄ２のほうが小さくされていてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材及びシュータが、鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１、第２筒状部材及びシュータが、鉛直方向に対して軸対称に形成されていても同軸上になくてもよいし、第１、第２筒状部材及びシュータが全て非対称とされていてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態においては、第１、第２筒状部材とシュータのすべてに対して衝撃を与えるノッカーが設けられていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１、第２筒状部材とシュータのうちのすくなくとも１つに対してノッカーが設けられていれば相応に樹脂の付着を防止できる。或いは、ノッカーを全く用いずに第１、第２筒状部材及びシュータを樹脂の付着しにくい内面（形状や表面膜形成）にすることで計量誤差を低減することも可能である。
【００６３】
また、上記実施形態においては、樹脂供給機構による樹脂の供給先は予備成形部であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、樹脂供給機構で圧縮成形装置におけるキャビティに対して直接（シュータを介して）樹脂を供給してもよい。その際に、シュータで１度にキャビティ全面に樹脂を供給してもよいし、シュータを水平方向で移動させて、キャビティ全面を走査するように供給してもよい。このとき、必ずしも、離型フィルム上に樹脂が供給されなくてもよい。
【００６４】
また、上記実施形態においては、シュータが鉛直方向に伸びていることで樹脂を均一に供給するという観点からは望ましいものであったが、本発明はこれに限定されない。例えば、場合によってはシュータが鉛直方向に対して多少の傾きを有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、半導体チップ等の被成形品を樹脂にて圧縮封止するための圧縮成形装置に用いられる樹脂供給機構として好適である。
【符号の説明】
【００６６】
１、１００、２００、３００…樹脂供給機構
２、１０２、２０２、３０２…樹脂
６…漏斗部
８…拡散体
１０、１１０、２１０、３１０…シュータ
２０、１２０、１２１、２２０、３２０…離型フィルム
１０３…予備成形樹脂
１０４…計量部
１０６、２０６、３０６…第１筒状部材
１０６Ａ、１０８Ａ、２０８Ａ、３０８Ａ…傾斜部
１０６Ｂ、１０８Ｂ、２０８Ｂ…管部
１０８、２０８、３０８…第２筒状部材
１１２、２１２、３１２…固定部
１１４、２１４、３１４…第１移動部
１１６…第２移動部
１１８…ノッカー
１３０…予備成形部
１３２…第１支持ローラ
１３４…駆動ローラ
１３６…第２支持ローラ
１３８…打錠プレス
１４４…冷却部
１５０…圧縮成形装置
１６０…被成形品（基板）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を有する樹脂供給機構において、
前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材を備え、
少なくとも１つの該筒状部材が該鉛直方向で移動可能とされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項２】
請求項１において、
複数の前記筒状部材は、前記計量部と前記シュータとの間に直列に配置されている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項３】
請求項１または２において、
複数の前記筒状部材が前記鉛直方向で移動可能とされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
全ての前記筒状部材及び前記シュータが、前記鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、更に、
前記筒状部材の少なくとも１つは、該筒状部材に設けられた最小の内径で下方に伸びる管部を有する
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記筒状部材毎に設けられた最小の内径のうち、前記計量部の近くに配置された該筒状部材の該最小の内径が最も小さくされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、更に、
前記筒状部材と前記シュータのうちの少なくとも１つに対して衝撃を与えるノッカーが設けられている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項８】
被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を用いる樹脂供給方法において、
前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材のうちの少なくとも１つを該鉛直方向で移動させることで、
前記計量部から投下された前記樹脂同士の衝突頻度、該樹脂と前記筒状部材の内面との衝突頻度、及び該樹脂と前記シュータの内面との衝突頻度のうち、少なくとも１つの衝突頻度を変更させる
ことを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項１】
被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を有する樹脂供給機構において、
前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材を備え、
少なくとも１つの該筒状部材が該鉛直方向で移動可能とされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項２】
請求項１において、
複数の前記筒状部材は、前記計量部と前記シュータとの間に直列に配置されている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項３】
請求項１または２において、
複数の前記筒状部材が前記鉛直方向で移動可能とされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
全ての前記筒状部材及び前記シュータが、前記鉛直方向に対して軸対称に形成され、且つ同軸上に配置されている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、更に、
前記筒状部材の少なくとも１つは、該筒状部材に設けられた最小の内径で下方に伸びる管部を有する
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記筒状部材毎に設けられた最小の内径のうち、前記計量部の近くに配置された該筒状部材の該最小の内径が最も小さくされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、更に、
前記筒状部材と前記シュータのうちの少なくとも１つに対して衝撃を与えるノッカーが設けられている
ことを特徴とする樹脂供給機構。
【請求項８】
被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置に対して、該樹脂を計量し該樹脂を投下する計量部と、該計量部の下方に配置され該計量部から投下された前記樹脂を所定の場所に導くシュータと、を用いる樹脂供給方法において、
前記計量部から投下された前記樹脂を前記シュータに導くとともに、該計量部から投下された該樹脂の少なくとも一部と直接的に接触可能で且つ鉛直方向に対して傾斜した内面を備える複数の筒状部材のうちの少なくとも１つを該鉛直方向で移動させることで、
前記計量部から投下された前記樹脂同士の衝突頻度、該樹脂と前記筒状部材の内面との衝突頻度、及び該樹脂と前記シュータの内面との衝突頻度のうち、少なくとも１つの衝突頻度を変更させる
ことを特徴とする樹脂供給方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１２−１２５９５４（Ｐ２０１２−１２５９５４Ａ）
【公開日】平成２４年７月５日（２０１２．７．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２７７４３６（Ｐ２０１０−２７７４３６）
【出願日】平成２２年１２月１３日（２０１０．１２．１３）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年７月５日（２０１２．７．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月１３日（２０１０．１２．１３）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
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