流量計
【課題】接続される配管部材を含む配管構成による流量の精度悪化を防止することができる流量計を提供する。
【解決手段】分流式流量計１は、配管部材Ｐ１，Ｐ２に接続され、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２と連通する主流路１１が設けられた主流路保持体１０と、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２に関する情報が入力される入出力装置３５と、分流路２５を流れる流体の流量を検出する流れセンサ８と、入力された情報に基づいて、検出された流体の流量を補正する補正処理３０１と、を備える。
【解決手段】分流式流量計１は、配管部材Ｐ１，Ｐ２に接続され、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２と連通する主流路１１が設けられた主流路保持体１０と、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２に関する情報が入力される入出力装置３５と、分流路２５を流れる流体の流量を検出する流れセンサ８と、入力された情報に基づいて、検出された流体の流量を補正する補正処理３０１と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、例えば気体、液体などの流体の流量を検出する流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、主流路及びバイパス流路を備え、バイパス流路に熱式流量センサが配置された分流式流量センサ装置において、整流手段を備えたものが知られている。この分流式流量センサ装置は、主流路を形成する主流路モジュールの上流側に備えられた整流手段によって、分流前の主流路における流路断面内の流量分布が均一になり、測定精度が向上する。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３００３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、流量計では、所定範囲の精度で流量を検出するためには、十分に長い直線状の部分（以下、直管部という）を有し、かつ、所定の内径を有する配管部材に接続されることが推奨されている。
【０００５】
一方、近年、流量計を様々な配管構成に設ける要望が高まっており、流量計は必ずしも推奨される配管構成に接続されるとは限らなかった。その結果、推奨される配管構成に設置されなかった場合に、流量の精度が悪化するという問題があった。特に、分流式流量計において検出される流量の精度悪化が顕著であった。例えば、推奨される配管部材より小さい内径の配管部材に接続されると、主流路から分流路に分流するために設けられる差圧発生構造（例えば、オリフィスなど）によって、分流路へ分流される流量が少なくなり、分流路に設けられた流れセンサへの影響が大きかった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、接続される配管部材を含む配管構成による流量の精度悪化を防止することができる流量計を提供することを目的の１つとする。
尚、ここで接続された配管部材を含む配管構成とは、精度影響を及ぼす配管仕様、接続機器、配管レイアウト等を含む。配管仕様とは、配管の内径等があり、接続機器ではエルボ、整流部材、フィルタ、レギュレータ、弁、継手等があり、配管レイアウトでは直管部の長さや、Ｌ型などの配管等がある。また、蛇腹配管等の脈動を起こす配管部材、機器も含む。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る流量計は、配管部材に接続され、該接続された配管部材と連通する流路が設けられた流路保持体と、該接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力される入力手段と、流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、入力された情報に基づいて、前記検出された流体の流量を補正する補正手段と、を備える。
【０００８】
かかる構成によれば、接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力され、当該入力された情報に基づいて、検出された流体の流量（検出流量）が補正される。一般に、流量検出手段により検出された流路を流れる流体の流量（検出流量）は、当該流路が設けられた流路保持体に接続され、当該流路と連通する配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、検出された流体の流量（検出流量）を補正することが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る流量計によれば、流路保持体に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、検出された流量（検出流量）を補正することが可能となる。これにより、接続される配管構成による検出された流量（検出流量）の精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態における分流式流量計の斜視図である。
【図２】図１に示した分流式流量計の側方断面図である。
【図３】配管部材が接続された分流式流量計の一例を示す側方断面図である。
【図４】図１に示した主流路保持体の上面図である。
【図５】図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図である。
【図６】図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。
【図７】図２に示した流れセンサの斜視図である。
【図８】図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。
【図９】配管部材が接続された分流式流量計の他の例を示す側方断面図である。
【図１０】図２に示した補正処理の前後における流体の流量を示すグラフである。
【図１１】本発明の第２実施形態における分流式流量計の側方断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の変形例における分流式流量計の側方断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
（第１実施形態）
図１乃至図１０は、本発明に係る流量計の第１実施形態を示すものである。図１は、本発明の第１実施形態における分流式流量計の斜視図である。図１に示すように、第１実施形態における流量計は、例えば分流式流量計１である。分流式流量計１は、主流路１１が設けられた主流路保持体１０と、主流路保持体１０に対して着脱可能な分流路保持体３０とを備える。分流路保持体３０の上部には、入出力装置３５が配置される。入出力装置３５は、例えばＬＥＤなどの発光体や液晶ディスプレイなどから構成される出力部（図示せず）と、入力キーなどを有しており、各種設定や情報、特に後述の配管部材に関する情報を入力可能な入力部（図示せず）とを備える。
【００１３】
図２は、図１に示した分流式流量計の側方断面図である。図２に示すように、主流路保持体１０には、主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂと、一対の分流孔４ａ，４ｂの間の主流路１１内に配置された差圧発生構造１２と、が設けられている。分流路保持体３０には、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられている。
【００１４】
また、分流式流量計１は、分流路２５を流れる流体の流量を検出するために分流路保持体３０に配置された流れセンサ８と、流れセンサ８に電気的に接続され、分流路保持体３０に配置された中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという）３００を備える。ＣＰＵ３００には、例えばＤＲＡＭなどの揮発性メモリから構成され、入出力装置３５が接続され、各種情報、例えば、流体の流量を補正するための計算式を記憶する計算式記憶装置４００とが接続されている。なお、図２に示すＣＰＵ３００及び計算式記憶装置４００は模式的に描かれており、実際には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、Ｉ／Ｏ回路などを含んで構成される。
【００１５】
図３は、配管部材が接続された分流式流量計の一例を示す側方断面図である。図１及び図２に示す六面体の主流路保持体１０において、対向する二面に注入口１３及び排出口１４が設けられている。図２に示す注入口１３及び排出口１４のそれぞれには、図３に示すように、ガスや液体などの流体を通す配管部材Ｐ１，Ｐ２が挿入される。これにより、主流路保持体１０の上流側（図３における左側）及び下流側（図３における右側）に配管部材Ｐ１，Ｐ２が接続される。主流路保持体１０の内部に設けられた主流路１１は、注入口１３から排出口１４に貫通しており、配管部材Ｐ１，Ｐ２と連通する。主流路保持体１０に接続される配管部材Ｐ１，Ｐ２のそれぞれは、分流式流量計１に推奨される配管部材であり、所定の長さの直管部（図示せず）を有するとともに、所定の内径ｒ１，ｒ２を有する。
【００１６】
主流路１１の一部に、主流路１１の内径を狭める差圧発生構造１２が設けられている。差圧発生構造１２によって、主流路１１の注入口１３側と排出口１４側の間で、流体の流速に応じた差圧が発生する。差圧発生構造１２は、例えばオリフィス又はベンチュリーである。
【００１７】
図４は図１に示した主流路保持体の上面図であり、図５は図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図であり、図６は図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。図４乃至図６に示すように、主流路保持体１０の主流路１１と平行な面には、凹部１６が設けられている。凹部１６から主流路１１の上流に分流孔４ａが貫通するとともに、凹部１６から主流路１１の下流に分流孔４ｂが貫通している。主流路保持体１０の材料としては、例えば、金属又は樹脂などが使用可能である。
【００１８】
主流路保持体１０の凹部１６を覆うように、図１及び図２に示した分流路保持体３０が着脱自在に配置される。このとき、分流路保持体３０で覆われた凹部１６が、分流孔４ａ，４ｂを接続する分流路２５の一部をなしてもよい。主流路１１の上流から流れてきた流体は、差圧発生構造１２によって一部が分流孔４ａに流入する。分流孔４ａに流入した流体は、分流路２５を流れ、分流孔４ｂから主流路１１に流出する。
【００１９】
ここで、分流孔４ａ，４ｂの断面積が相対的に小さい場合、主流路１１を流れる流体の流量に対する、分流孔４ａ、分流路２５、及び分流孔４ｂを流れる流体の流量の比率、すなわち、分流比は大きくなる。これに対し、分流孔４ａ，４ｂの断面積が相対的に大きい場合、主流路１１を流れる流体の流量に対する、分流孔４ａ、分流路２５、及び分流孔４ｂを流れる流体の流量の比率、すなわち、分流比は小さくなる。
【００２０】
図７は、図２に示した流れセンサの斜視図であり、図８は、図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。図２に示す分流路２５における流体の流速又は流量を検出する流れセンサ８は、分流路保持体３０の凹部１６を覆う面に配置されている。図７及び図８に示すように、流れセンサ８は、キャビティ６６が設けられた基板６０、基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５、絶縁膜６５に設けられたヒータ６１、ヒータ６１より上流側に設けられた上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に設けられた下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００２１】
図８に示すように、絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、熱容量が小さく、基板６０に対して断熱性を有するダイアフラムを構成している。周囲温度センサ６４は、図２に示す分流路２５に流入してきた流体の温度を測定する。図７及び図８に示すヒータ６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５の中心に配置されており、分流路２５に流れる流体を、周囲温度センサ６４が計測した流体の温度よりも一定温度、例えば１０℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の温度を検出するために用いられる。
【００２２】
ここで、図２に示す分流路２５中の流体が静止している場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図２に示す分流路２５中の流体が上流から下流に流れている場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図２に示す分流路２５中の流体の速度と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、分流路２５を流れる流体の流量が求められる。
【００２３】
図７及び図８に示す基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）などが使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）などが使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチングなどにより形成される。また、ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）などが使用可能であり、リソグラフィ法などにより形成可能である。
【００２４】
図２に示すように、流れセンサ８は、分流路保持体３０内部に配置されたＣＰＵ３００に接続されている。ＣＰＵ３００は、ＲＯＭ（図示せず）にあらかじめ書き込まれた各種制御プログラムや各種情報などを読み込み、種々の情報処理（演算処理）を実行したり、流量計１の各種電子機器を制御したりする。具体的には、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１、及び補正処理３０１などを実行する。
【００２５】
＜算出処理＞
所定の状態、例えば分流式流量計１が起動している状態において、流れセンサ８が検出した流体の流量が入力されると、ＣＰＵ３００は算出処理３０１を実行する。すなわち、ＣＰＵ３００は、流れセンサ８で検出した分流路２５を流れる流体の流量と、ＲＡＭ（図示せず）などにあらかじめ記憶された分流比とに基づいて、主流路１１を流れる流体の流量（以下、検出流量という）を算出する。
【００２６】
算出処理３０１により算出される検出流量は、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２が主流路保持体１０に接続された場合に、所定範囲の精度を満たす。これに対し、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の配管部材が主流路保持体１０に接続された場合に、検出流量は所定範囲の精度を満たさず、精度が悪化するおそれがある。
【００２７】
図９は、配管部材が接続された分流式流量計の他の例を示す側方断面図である。例えば図２に示す注入口１３に、すなわち主流路保持体１０の上流側（図２及び図９において左側）に、図９に示すように、配管部材Ｐ１に代えて配管部材Ｐ３が接続される。配管部材Ｐ３の内径ｒ３は、配管部材Ｐ１の内径ｒ１より小さい（ｒ３＜ｒ１）。ここで、上流側の配管部材の内径が小さくなると、差圧発生構造で分流する差圧が小さくなり、主流路１１を流れる流体が差圧発生構造１２によって分流され難くなる。この場合、分流比が低下（変化）してしまい、算出処理３０１により算出される検出流量の精度が悪化する。一般に、算出処理３０１により算出された検出流量は、主流路１１が設けられた流路保持体１０に接続され、主流路１１と連通する配管部材を含む配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体１０に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、算出処理３０１により算出された検出流量を補正することが可能となる。
【００２８】
すなわち、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の複数の配管部材について、それぞれ、主流路保持体１０に接続し、検出流量を算出処理３０１により算出する実験などを行う。当該実験の結果から、例えば、算出処理３０１により算出される検出流量を補正するための計算式を導き出す。そして、導き出した計算式を計算式記憶装置４００に記憶しておく。図９の例では、あらかじめ行った実験結果から、例えば、以下の一次関数の式（１）を得て計算式記憶装置４００に記憶させておく。
ｆ（ｘ）＝ａ×ｘ＋ｂ ・・・（１）
但し、ｘは算出処理３０１により算出される検出流量、ｆ（ｘ）は補正後の検出流量、ａ及びｂは係数を表す。
【００２９】
なお、図９の例では、主流路保持体１０の上流側に接続された図３に示す配管部材Ｐ１を配管部材Ｐ３に代えたが、これに限定されない。算出処理３０１により算出された検出流量ｘは、主流路保持体１０の上流側に接続された配管部材の方が顕著ではあるが、主流路保持体１０の下流側に接続された配管部材にも影響を受ける。また、図９の例では、推奨される配管部材Ｐ１と異なる内径を有する配管部材Ｐ３を接続したが、これに限定されない。算出処理３０１により算出された検出流量ｘは、例えば、直管部の長さや、Ｌ型などの配管レイアウトなどによっても影響を受ける。
【００３０】
また、主流路保持体１０に接続される配管部材は、整流板や整流ユニットなどの整流部材、フィルタ、弁（バルブ）、エルボ、レギュレータ、継手などを有していてもよい。それぞれの配管部材を含む配管構成が主流路１１を流れる流体の流量に及ぼす影響は、前述の場合と同様に、実験などを行うことにより知ることができる。また、蛇腹配管等の脈動を起こす配管部材、機器についても同様である。
【００３１】
配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の配管部材が主流路保持体１０に接続されたときに、分流式流量計１の利用者（ユーザ）は、接続された配管部材を含む配管構成に関する情報、例えば当該配管部材に対応するコード、型番、内径の大きさなどを、入出力装置３５の入力部を介して入力する。入出力装置３５の入力部を介して入力された情報は、ＣＰＵ３００によってＲＡＭ（図示せず）などに記憶される。入出力装置３５の入力部を介して入力された情報が記憶された状態において、算出処理３０１が終了すると、ＣＰＵ３００は補正処理３０２を実行する。
【００３２】
＜補正処理＞
すなわち、ＣＰＵ３００は、計算式記憶装置４００から式（１）を読み出し、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、式（１）における係数ａ，ｂを決定する。次に、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１により算出された検出流量ｘを、式（１）に代入して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出し、補正処理３０２を終了する。
【００３３】
図１０は、図２に示した補正処理の前後における流体の流量を示すグラフである。同図は、上流側に接続される配管部材として９．４ｍｍの内径を有する配管部材が推奨される分流式流量計１において、７．８ｍｍの内径を有する配管部材を接続したときの結果を示す。図１０に示すように、従来の分流式流量計のようにＣＰＵ３００が補正処理３０２を行わない場合に、算出処理３０１で算出された検出流量ｘは、流量（Ｌ／ｍｉｎ）が増加するにつれて一定の割合で線形的に精度が悪化している。これに対し、本発明の分流式流量計１のように補正処理３０２を行う場合に、補正後の検出流量ｆ（ｘ）は、略一定の範囲内の精度になる。なお、図１０における精度は、パーセントフルスケールで表したものである。
【００３４】
補正処理３０２の終了後、ＣＰＵ３００は、式（１）で算出した補正後の検出流量ｆ（ｘ）を、入出力装置３５の出力部に表示させる。
【００３５】
本実施形態では、一次関数である式（１）を計算式記憶装置４００に記憶するようにしたが、これに限定されない。実験などにより導き出される限り、二次関数など他の計算式であってもよい。また、計算式記憶装置４００に記憶される計算式は１つに限定されず、複数であってもよい。この場合、ＣＰＵ３００は、入力装置３５の入力部を介して入力された情報に基づいて、計算式記憶装置４００に記憶された複数の計算式から１つを読み出す。
【００３６】
また、本実施形態では、本発明に係る流量計として分流式流量計１を示したが、これに限定されず、他の方式の流量計でもあってもよい。分流式以外の流量計においても、流路に設けられた流量検出手段（例えば流れセンサ）によって検出された流体の流量は、当該流路が設けられた流路保持体に接続され、当該流路と連通する配管を含む配管構成の影響を受けるからである。
【００３７】
このように、本実施形態の分流式流量計１によれば、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２に関する情報が入出力装置３５の入力部を介して入力され、入力された情報に基づいて、算出処理３０１により算出された流体の流量（検出流量）ｘが補正される。一般に、算出処理３０１により算出された主流路１１の流体の流量（検出流量）は、主流路１１が設けられた流路保持体１０に接続され、主流路１１と連通する配管部材を含む配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体１０に接続された配管部材に関する情報に基づいて、算出処理３０１により算出された流体の流量（検出流量）ｘを補正することが可能となる。これにより、接続される配管部材を含む配管構成による流量（検出流量）ｘの精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【００３８】
（第２実施形態）
図１１は、本発明に係る流量計の第２実施形態を示すものである。同図は、本発明の第２実施形態における分流式流量計の側方断面図である。なお、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。
【００３９】
第２実施形態と第１実施形態との相違点は、分流式流量計１が、計算式記憶装置４００に代えて、テーブル記憶装置４０１を、その補正手段の構成要素として備えたことである。
【００４０】
すなわち、図１１に示すように、テーブル記憶装置４０１は、例えばＤＲＡＭなどの揮発性メモリから構成され、ＣＰＵ３００に接続されている。テーブル記憶装置４０１は、検出流量ｘを補正するための複数の補正値（以下、テーブルという）を記憶する。テーブルは、主流路保持体１０に接続される配管部材ごとに作成され、各テーブルは、算出処理３０１により算出された検出流量ｘごとに補正値を有している。なお、各テーブルの各補正値は、第１実施形態と同様に、あらかじめ実験などを行うことより求められ、テーブル記憶装置４０１に記憶されている。
【００４１】
補正処理３０２におけるＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、算出処理３０１により算出された検出流量ｘと、入出力装置３５を介して入力された情報とに基づいて、テーブル記憶装置４０１から該当する補正値を読み出す。次に、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１により算出された検出流量ｘに、読み出した補正値を加算（又は減算）して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出し、補正処理３０２を終了する。
【００４２】
本実施形態では、テーブル記憶装置４０１に記憶した補正値を読み出し、算出処理３０１により算出された検出流量ｘに加算（又は減算）して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、あらかじめ実験などを行うことにより求められた補正後の検出流量ｆ（ｘ）自体を、補正値としてテーブル記憶装置４０１に記憶しておく。ＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報と、算出処理３０１により算出された検出流量ｘとに基づいて、テーブル記憶装置４０１から該当する補正値を読み出して、当該補正値を入出力装置３５の出力部に表示させるようにしてもよい。
【００４３】
このように、本実施形態の分流式流量計１によれば、テーブル記憶装置４０１に記憶された補正値と、入出力装置３５の入力部を介して入力された情報と、算出処理３０１により算出された主流路を流れる流体の流量（検出流量）ｘとに基づいて、補正後の流体の検出流量ｆ（ｘ）が算出されるので、第１実施形態と同様に、接続される配管部材を含む配管構成による流量（検出流量）ｘの精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【００４４】
（第２実施形態の変形例）
図１２は、本発明の第２実施形態の変形例における分流式流量計の側方断面図である。図１２に示すように、分流式流量計１は、計算式記憶装置４００及びテーブル記憶装置４０１の両方を備えていてもよい。この場合、補正処理３０２におけるＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、計算式記憶装置４００から計算式を読み出したり、テーブル記憶装置４０１から補正値を読み出したりすることが可能となる。これにより、例えば、主流路保持体１０に接続される配管部材によって、計算式による補正と、補正値による補正とを使い分けることができる。
【００４５】
なお、前述の各実施形態の構成は、組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本発明の構成は前述の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１…分流式流量計
８…流れセンサ
１０…主流路保持体
１１…主流路
２５…分流路
３０…分流路保持体
３５…入出力装置
３００…ＣＰＵ
３０１…算出処理
３０２…補正処理
４００…計算式記憶装置
４０１…テーブル記憶装置
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…配管部材。
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、例えば気体、液体などの流体の流量を検出する流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、主流路及びバイパス流路を備え、バイパス流路に熱式流量センサが配置された分流式流量センサ装置において、整流手段を備えたものが知られている。この分流式流量センサ装置は、主流路を形成する主流路モジュールの上流側に備えられた整流手段によって、分流前の主流路における流路断面内の流量分布が均一になり、測定精度が向上する。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３００３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、流量計では、所定範囲の精度で流量を検出するためには、十分に長い直線状の部分（以下、直管部という）を有し、かつ、所定の内径を有する配管部材に接続されることが推奨されている。
【０００５】
一方、近年、流量計を様々な配管構成に設ける要望が高まっており、流量計は必ずしも推奨される配管構成に接続されるとは限らなかった。その結果、推奨される配管構成に設置されなかった場合に、流量の精度が悪化するという問題があった。特に、分流式流量計において検出される流量の精度悪化が顕著であった。例えば、推奨される配管部材より小さい内径の配管部材に接続されると、主流路から分流路に分流するために設けられる差圧発生構造（例えば、オリフィスなど）によって、分流路へ分流される流量が少なくなり、分流路に設けられた流れセンサへの影響が大きかった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、接続される配管部材を含む配管構成による流量の精度悪化を防止することができる流量計を提供することを目的の１つとする。
尚、ここで接続された配管部材を含む配管構成とは、精度影響を及ぼす配管仕様、接続機器、配管レイアウト等を含む。配管仕様とは、配管の内径等があり、接続機器ではエルボ、整流部材、フィルタ、レギュレータ、弁、継手等があり、配管レイアウトでは直管部の長さや、Ｌ型などの配管等がある。また、蛇腹配管等の脈動を起こす配管部材、機器も含む。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る流量計は、配管部材に接続され、該接続された配管部材と連通する流路が設けられた流路保持体と、該接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力される入力手段と、流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、入力された情報に基づいて、前記検出された流体の流量を補正する補正手段と、を備える。
【０００８】
かかる構成によれば、接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力され、当該入力された情報に基づいて、検出された流体の流量（検出流量）が補正される。一般に、流量検出手段により検出された流路を流れる流体の流量（検出流量）は、当該流路が設けられた流路保持体に接続され、当該流路と連通する配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、検出された流体の流量（検出流量）を補正することが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る流量計によれば、流路保持体に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、検出された流量（検出流量）を補正することが可能となる。これにより、接続される配管構成による検出された流量（検出流量）の精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態における分流式流量計の斜視図である。
【図２】図１に示した分流式流量計の側方断面図である。
【図３】配管部材が接続された分流式流量計の一例を示す側方断面図である。
【図４】図１に示した主流路保持体の上面図である。
【図５】図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図である。
【図６】図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。
【図７】図２に示した流れセンサの斜視図である。
【図８】図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。
【図９】配管部材が接続された分流式流量計の他の例を示す側方断面図である。
【図１０】図２に示した補正処理の前後における流体の流量を示すグラフである。
【図１１】本発明の第２実施形態における分流式流量計の側方断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の変形例における分流式流量計の側方断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
（第１実施形態）
図１乃至図１０は、本発明に係る流量計の第１実施形態を示すものである。図１は、本発明の第１実施形態における分流式流量計の斜視図である。図１に示すように、第１実施形態における流量計は、例えば分流式流量計１である。分流式流量計１は、主流路１１が設けられた主流路保持体１０と、主流路保持体１０に対して着脱可能な分流路保持体３０とを備える。分流路保持体３０の上部には、入出力装置３５が配置される。入出力装置３５は、例えばＬＥＤなどの発光体や液晶ディスプレイなどから構成される出力部（図示せず）と、入力キーなどを有しており、各種設定や情報、特に後述の配管部材に関する情報を入力可能な入力部（図示せず）とを備える。
【００１３】
図２は、図１に示した分流式流量計の側方断面図である。図２に示すように、主流路保持体１０には、主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂと、一対の分流孔４ａ，４ｂの間の主流路１１内に配置された差圧発生構造１２と、が設けられている。分流路保持体３０には、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられている。
【００１４】
また、分流式流量計１は、分流路２５を流れる流体の流量を検出するために分流路保持体３０に配置された流れセンサ８と、流れセンサ８に電気的に接続され、分流路保持体３０に配置された中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという）３００を備える。ＣＰＵ３００には、例えばＤＲＡＭなどの揮発性メモリから構成され、入出力装置３５が接続され、各種情報、例えば、流体の流量を補正するための計算式を記憶する計算式記憶装置４００とが接続されている。なお、図２に示すＣＰＵ３００及び計算式記憶装置４００は模式的に描かれており、実際には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、Ｉ／Ｏ回路などを含んで構成される。
【００１５】
図３は、配管部材が接続された分流式流量計の一例を示す側方断面図である。図１及び図２に示す六面体の主流路保持体１０において、対向する二面に注入口１３及び排出口１４が設けられている。図２に示す注入口１３及び排出口１４のそれぞれには、図３に示すように、ガスや液体などの流体を通す配管部材Ｐ１，Ｐ２が挿入される。これにより、主流路保持体１０の上流側（図３における左側）及び下流側（図３における右側）に配管部材Ｐ１，Ｐ２が接続される。主流路保持体１０の内部に設けられた主流路１１は、注入口１３から排出口１４に貫通しており、配管部材Ｐ１，Ｐ２と連通する。主流路保持体１０に接続される配管部材Ｐ１，Ｐ２のそれぞれは、分流式流量計１に推奨される配管部材であり、所定の長さの直管部（図示せず）を有するとともに、所定の内径ｒ１，ｒ２を有する。
【００１６】
主流路１１の一部に、主流路１１の内径を狭める差圧発生構造１２が設けられている。差圧発生構造１２によって、主流路１１の注入口１３側と排出口１４側の間で、流体の流速に応じた差圧が発生する。差圧発生構造１２は、例えばオリフィス又はベンチュリーである。
【００１７】
図４は図１に示した主流路保持体の上面図であり、図５は図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図であり、図６は図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。図４乃至図６に示すように、主流路保持体１０の主流路１１と平行な面には、凹部１６が設けられている。凹部１６から主流路１１の上流に分流孔４ａが貫通するとともに、凹部１６から主流路１１の下流に分流孔４ｂが貫通している。主流路保持体１０の材料としては、例えば、金属又は樹脂などが使用可能である。
【００１８】
主流路保持体１０の凹部１６を覆うように、図１及び図２に示した分流路保持体３０が着脱自在に配置される。このとき、分流路保持体３０で覆われた凹部１６が、分流孔４ａ，４ｂを接続する分流路２５の一部をなしてもよい。主流路１１の上流から流れてきた流体は、差圧発生構造１２によって一部が分流孔４ａに流入する。分流孔４ａに流入した流体は、分流路２５を流れ、分流孔４ｂから主流路１１に流出する。
【００１９】
ここで、分流孔４ａ，４ｂの断面積が相対的に小さい場合、主流路１１を流れる流体の流量に対する、分流孔４ａ、分流路２５、及び分流孔４ｂを流れる流体の流量の比率、すなわち、分流比は大きくなる。これに対し、分流孔４ａ，４ｂの断面積が相対的に大きい場合、主流路１１を流れる流体の流量に対する、分流孔４ａ、分流路２５、及び分流孔４ｂを流れる流体の流量の比率、すなわち、分流比は小さくなる。
【００２０】
図７は、図２に示した流れセンサの斜視図であり、図８は、図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。図２に示す分流路２５における流体の流速又は流量を検出する流れセンサ８は、分流路保持体３０の凹部１６を覆う面に配置されている。図７及び図８に示すように、流れセンサ８は、キャビティ６６が設けられた基板６０、基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５、絶縁膜６５に設けられたヒータ６１、ヒータ６１より上流側に設けられた上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に設けられた下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００２１】
図８に示すように、絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、熱容量が小さく、基板６０に対して断熱性を有するダイアフラムを構成している。周囲温度センサ６４は、図２に示す分流路２５に流入してきた流体の温度を測定する。図７及び図８に示すヒータ６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５の中心に配置されており、分流路２５に流れる流体を、周囲温度センサ６４が計測した流体の温度よりも一定温度、例えば１０℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の温度を検出するために用いられる。
【００２２】
ここで、図２に示す分流路２５中の流体が静止している場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図２に示す分流路２５中の流体が上流から下流に流れている場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図２に示す分流路２５中の流体の速度と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、分流路２５を流れる流体の流量が求められる。
【００２３】
図７及び図８に示す基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）などが使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）などが使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチングなどにより形成される。また、ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）などが使用可能であり、リソグラフィ法などにより形成可能である。
【００２４】
図２に示すように、流れセンサ８は、分流路保持体３０内部に配置されたＣＰＵ３００に接続されている。ＣＰＵ３００は、ＲＯＭ（図示せず）にあらかじめ書き込まれた各種制御プログラムや各種情報などを読み込み、種々の情報処理（演算処理）を実行したり、流量計１の各種電子機器を制御したりする。具体的には、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１、及び補正処理３０１などを実行する。
【００２５】
＜算出処理＞
所定の状態、例えば分流式流量計１が起動している状態において、流れセンサ８が検出した流体の流量が入力されると、ＣＰＵ３００は算出処理３０１を実行する。すなわち、ＣＰＵ３００は、流れセンサ８で検出した分流路２５を流れる流体の流量と、ＲＡＭ（図示せず）などにあらかじめ記憶された分流比とに基づいて、主流路１１を流れる流体の流量（以下、検出流量という）を算出する。
【００２６】
算出処理３０１により算出される検出流量は、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２が主流路保持体１０に接続された場合に、所定範囲の精度を満たす。これに対し、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の配管部材が主流路保持体１０に接続された場合に、検出流量は所定範囲の精度を満たさず、精度が悪化するおそれがある。
【００２７】
図９は、配管部材が接続された分流式流量計の他の例を示す側方断面図である。例えば図２に示す注入口１３に、すなわち主流路保持体１０の上流側（図２及び図９において左側）に、図９に示すように、配管部材Ｐ１に代えて配管部材Ｐ３が接続される。配管部材Ｐ３の内径ｒ３は、配管部材Ｐ１の内径ｒ１より小さい（ｒ３＜ｒ１）。ここで、上流側の配管部材の内径が小さくなると、差圧発生構造で分流する差圧が小さくなり、主流路１１を流れる流体が差圧発生構造１２によって分流され難くなる。この場合、分流比が低下（変化）してしまい、算出処理３０１により算出される検出流量の精度が悪化する。一般に、算出処理３０１により算出された検出流量は、主流路１１が設けられた流路保持体１０に接続され、主流路１１と連通する配管部材を含む配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体１０に接続された配管部材を含む配管構成に関する情報に基づいて、算出処理３０１により算出された検出流量を補正することが可能となる。
【００２８】
すなわち、分流式流量計１に推奨される配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の複数の配管部材について、それぞれ、主流路保持体１０に接続し、検出流量を算出処理３０１により算出する実験などを行う。当該実験の結果から、例えば、算出処理３０１により算出される検出流量を補正するための計算式を導き出す。そして、導き出した計算式を計算式記憶装置４００に記憶しておく。図９の例では、あらかじめ行った実験結果から、例えば、以下の一次関数の式（１）を得て計算式記憶装置４００に記憶させておく。
ｆ（ｘ）＝ａ×ｘ＋ｂ ・・・（１）
但し、ｘは算出処理３０１により算出される検出流量、ｆ（ｘ）は補正後の検出流量、ａ及びｂは係数を表す。
【００２９】
なお、図９の例では、主流路保持体１０の上流側に接続された図３に示す配管部材Ｐ１を配管部材Ｐ３に代えたが、これに限定されない。算出処理３０１により算出された検出流量ｘは、主流路保持体１０の上流側に接続された配管部材の方が顕著ではあるが、主流路保持体１０の下流側に接続された配管部材にも影響を受ける。また、図９の例では、推奨される配管部材Ｐ１と異なる内径を有する配管部材Ｐ３を接続したが、これに限定されない。算出処理３０１により算出された検出流量ｘは、例えば、直管部の長さや、Ｌ型などの配管レイアウトなどによっても影響を受ける。
【００３０】
また、主流路保持体１０に接続される配管部材は、整流板や整流ユニットなどの整流部材、フィルタ、弁（バルブ）、エルボ、レギュレータ、継手などを有していてもよい。それぞれの配管部材を含む配管構成が主流路１１を流れる流体の流量に及ぼす影響は、前述の場合と同様に、実験などを行うことにより知ることができる。また、蛇腹配管等の脈動を起こす配管部材、機器についても同様である。
【００３１】
配管部材Ｐ１，Ｐ２以外の配管部材が主流路保持体１０に接続されたときに、分流式流量計１の利用者（ユーザ）は、接続された配管部材を含む配管構成に関する情報、例えば当該配管部材に対応するコード、型番、内径の大きさなどを、入出力装置３５の入力部を介して入力する。入出力装置３５の入力部を介して入力された情報は、ＣＰＵ３００によってＲＡＭ（図示せず）などに記憶される。入出力装置３５の入力部を介して入力された情報が記憶された状態において、算出処理３０１が終了すると、ＣＰＵ３００は補正処理３０２を実行する。
【００３２】
＜補正処理＞
すなわち、ＣＰＵ３００は、計算式記憶装置４００から式（１）を読み出し、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、式（１）における係数ａ，ｂを決定する。次に、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１により算出された検出流量ｘを、式（１）に代入して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出し、補正処理３０２を終了する。
【００３３】
図１０は、図２に示した補正処理の前後における流体の流量を示すグラフである。同図は、上流側に接続される配管部材として９．４ｍｍの内径を有する配管部材が推奨される分流式流量計１において、７．８ｍｍの内径を有する配管部材を接続したときの結果を示す。図１０に示すように、従来の分流式流量計のようにＣＰＵ３００が補正処理３０２を行わない場合に、算出処理３０１で算出された検出流量ｘは、流量（Ｌ／ｍｉｎ）が増加するにつれて一定の割合で線形的に精度が悪化している。これに対し、本発明の分流式流量計１のように補正処理３０２を行う場合に、補正後の検出流量ｆ（ｘ）は、略一定の範囲内の精度になる。なお、図１０における精度は、パーセントフルスケールで表したものである。
【００３４】
補正処理３０２の終了後、ＣＰＵ３００は、式（１）で算出した補正後の検出流量ｆ（ｘ）を、入出力装置３５の出力部に表示させる。
【００３５】
本実施形態では、一次関数である式（１）を計算式記憶装置４００に記憶するようにしたが、これに限定されない。実験などにより導き出される限り、二次関数など他の計算式であってもよい。また、計算式記憶装置４００に記憶される計算式は１つに限定されず、複数であってもよい。この場合、ＣＰＵ３００は、入力装置３５の入力部を介して入力された情報に基づいて、計算式記憶装置４００に記憶された複数の計算式から１つを読み出す。
【００３６】
また、本実施形態では、本発明に係る流量計として分流式流量計１を示したが、これに限定されず、他の方式の流量計でもあってもよい。分流式以外の流量計においても、流路に設けられた流量検出手段（例えば流れセンサ）によって検出された流体の流量は、当該流路が設けられた流路保持体に接続され、当該流路と連通する配管を含む配管構成の影響を受けるからである。
【００３７】
このように、本実施形態の分流式流量計１によれば、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２に関する情報が入出力装置３５の入力部を介して入力され、入力された情報に基づいて、算出処理３０１により算出された流体の流量（検出流量）ｘが補正される。一般に、算出処理３０１により算出された主流路１１の流体の流量（検出流量）は、主流路１１が設けられた流路保持体１０に接続され、主流路１１と連通する配管部材を含む配管構成の影響を受ける。よって、流路保持体１０に接続された配管部材に関する情報に基づいて、算出処理３０１により算出された流体の流量（検出流量）ｘを補正することが可能となる。これにより、接続される配管部材を含む配管構成による流量（検出流量）ｘの精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【００３８】
（第２実施形態）
図１１は、本発明に係る流量計の第２実施形態を示すものである。同図は、本発明の第２実施形態における分流式流量計の側方断面図である。なお、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。
【００３９】
第２実施形態と第１実施形態との相違点は、分流式流量計１が、計算式記憶装置４００に代えて、テーブル記憶装置４０１を、その補正手段の構成要素として備えたことである。
【００４０】
すなわち、図１１に示すように、テーブル記憶装置４０１は、例えばＤＲＡＭなどの揮発性メモリから構成され、ＣＰＵ３００に接続されている。テーブル記憶装置４０１は、検出流量ｘを補正するための複数の補正値（以下、テーブルという）を記憶する。テーブルは、主流路保持体１０に接続される配管部材ごとに作成され、各テーブルは、算出処理３０１により算出された検出流量ｘごとに補正値を有している。なお、各テーブルの各補正値は、第１実施形態と同様に、あらかじめ実験などを行うことより求められ、テーブル記憶装置４０１に記憶されている。
【００４１】
補正処理３０２におけるＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、算出処理３０１により算出された検出流量ｘと、入出力装置３５を介して入力された情報とに基づいて、テーブル記憶装置４０１から該当する補正値を読み出す。次に、ＣＰＵ３００は、算出処理３０１により算出された検出流量ｘに、読み出した補正値を加算（又は減算）して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出し、補正処理３０２を終了する。
【００４２】
本実施形態では、テーブル記憶装置４０１に記憶した補正値を読み出し、算出処理３０１により算出された検出流量ｘに加算（又は減算）して補正後の検出流量ｆ（ｘ）を算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、あらかじめ実験などを行うことにより求められた補正後の検出流量ｆ（ｘ）自体を、補正値としてテーブル記憶装置４０１に記憶しておく。ＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報と、算出処理３０１により算出された検出流量ｘとに基づいて、テーブル記憶装置４０１から該当する補正値を読み出して、当該補正値を入出力装置３５の出力部に表示させるようにしてもよい。
【００４３】
このように、本実施形態の分流式流量計１によれば、テーブル記憶装置４０１に記憶された補正値と、入出力装置３５の入力部を介して入力された情報と、算出処理３０１により算出された主流路を流れる流体の流量（検出流量）ｘとに基づいて、補正後の流体の検出流量ｆ（ｘ）が算出されるので、第１実施形態と同様に、接続される配管部材を含む配管構成による流量（検出流量）ｘの精度悪化を防止することができ、様々な設置状況の配管構成に設置することができる。
【００４４】
（第２実施形態の変形例）
図１２は、本発明の第２実施形態の変形例における分流式流量計の側方断面図である。図１２に示すように、分流式流量計１は、計算式記憶装置４００及びテーブル記憶装置４０１の両方を備えていてもよい。この場合、補正処理３０２におけるＣＰＵ３００は、入出力装置３５を介して入力された情報に基づいて、計算式記憶装置４００から計算式を読み出したり、テーブル記憶装置４０１から補正値を読み出したりすることが可能となる。これにより、例えば、主流路保持体１０に接続される配管部材によって、計算式による補正と、補正値による補正とを使い分けることができる。
【００４５】
なお、前述の各実施形態の構成は、組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本発明の構成は前述の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１…分流式流量計
８…流れセンサ
１０…主流路保持体
１１…主流路
２５…分流路
３０…分流路保持体
３５…入出力装置
３００…ＣＰＵ
３０１…算出処理
３０２…補正処理
４００…計算式記憶装置
４０１…テーブル記憶装置
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…配管部材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管部材に接続され、該接続された配管部材と連通する流路が設けられた流路保持体と、
該接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力される入力手段と、
前記流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、
前記入力された情報に基づいて、前記検出された流体の流量を補正する補正手段と、を備える
流量計。
【請求項２】
前記検出された流体の流量を補正するための所定の計算式を記憶する記憶手段を備え、
前記補正手段は、前記記憶された所定の計算式と、前記入力された情報と、前記検出された流体の流量とに基づいて、補正後の前記流体の流量を算出する
請求項１に記載の流量計。
【請求項３】
前記記憶された所定の計算式は、前記検出された流体の流量を独立変数とする一次関数を含む
請求項２に記載の流量計。
【請求項４】
前記検出された流体の流量を補正するための所定値を記憶する記憶手段を備え、
前記補正手段は、前記記憶された所定値と、前記入力された情報と、前記検出された流体の流量とに基づいて、補正後の前記流体の流量を算出する
請求項１乃至３の何れか一項に記載の流量計。
【請求項５】
前記入力手段により入力される情報は、前記流路保持体の上流側に接続された配管部材を含む配管構成に基づく情報である
請求項１乃至４の何れか一項に記載の流量計。
【請求項６】
前記入力手段により入力される情報は、前記接続された配管部材の内径に関する情報である
請求項１乃至５の何れか一項に記載の流量計。
【請求項７】
前記接続された配管部材を含む配管構成は、整流部材またはフィルタまたは弁（バルブ）またはエルボまたはレギュレータまたは継手を有する
請求項１乃至６の何れか一項に記載の流量計。
【請求項８】
前記接続された配管部材を含む配管構成は、脈動を起こす配管部材、機器を有する
請求項１乃至６の何れか一項に記載の流量計。
【請求項１】
配管部材に接続され、該接続された配管部材と連通する流路が設けられた流路保持体と、
該接続された配管部材を含む配管構成に関する情報が入力される入力手段と、
前記流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、
前記入力された情報に基づいて、前記検出された流体の流量を補正する補正手段と、を備える
流量計。
【請求項２】
前記検出された流体の流量を補正するための所定の計算式を記憶する記憶手段を備え、
前記補正手段は、前記記憶された所定の計算式と、前記入力された情報と、前記検出された流体の流量とに基づいて、補正後の前記流体の流量を算出する
請求項１に記載の流量計。
【請求項３】
前記記憶された所定の計算式は、前記検出された流体の流量を独立変数とする一次関数を含む
請求項２に記載の流量計。
【請求項４】
前記検出された流体の流量を補正するための所定値を記憶する記憶手段を備え、
前記補正手段は、前記記憶された所定値と、前記入力された情報と、前記検出された流体の流量とに基づいて、補正後の前記流体の流量を算出する
請求項１乃至３の何れか一項に記載の流量計。
【請求項５】
前記入力手段により入力される情報は、前記流路保持体の上流側に接続された配管部材を含む配管構成に基づく情報である
請求項１乃至４の何れか一項に記載の流量計。
【請求項６】
前記入力手段により入力される情報は、前記接続された配管部材の内径に関する情報である
請求項１乃至５の何れか一項に記載の流量計。
【請求項７】
前記接続された配管部材を含む配管構成は、整流部材またはフィルタまたは弁（バルブ）またはエルボまたはレギュレータまたは継手を有する
請求項１乃至６の何れか一項に記載の流量計。
【請求項８】
前記接続された配管部材を含む配管構成は、脈動を起こす配管部材、機器を有する
請求項１乃至６の何れか一項に記載の流量計。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１０−２３０３９４（Ｐ２０１０−２３０３９４Ａ）
【公開日】平成２２年１０月１４日（２０１０．１０．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−７６５５５（Ｐ２００９−７６５５５）
【出願日】平成２１年３月２６日（２００９．３．２６）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月１４日（２０１０．１０．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月２６日（２００９．３．２６）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
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