溶液法によるSiC単結晶製造装置
【課題】溶液法によりSiC単結晶を製造する際に、多結晶の生成を防止乃至は抑制することが可能であるSiC単結晶製造装置を提供する。
【解決手段】融液4に種結晶9を接触させてSiC単結晶を成長させる装置1であって、成長炉2内に断熱材3を介して備えられたSi含有融液4を収容する坩堝5、成長炉2の周囲に設けられ融液4を加熱して一定温度に維持するための高周波コイル6を含む外部加熱装置7および昇降可能な炭素棒8が備えられ炭素棒8の先端に種結晶9が設置され、炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置1。
【解決手段】融液4に種結晶9を接触させてSiC単結晶を成長させる装置1であって、成長炉2内に断熱材3を介して備えられたSi含有融液4を収容する坩堝5、成長炉2の周囲に設けられ融液4を加熱して一定温度に維持するための高周波コイル6を含む外部加熱装置7および昇降可能な炭素棒8が備えられ炭素棒8の先端に種結晶9が設置され、炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置1。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、溶液法によるSiC単結晶製造装置に関し、さらに詳しくは炭素棒に設置した種結晶近傍でのSiC多結晶の発生を抑制し得る溶液法によるSiC単結晶製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
SiC単結晶は、熱的、化学的に非常に安定であり、機械的強度に優れ、放射線に強く、しかもSi(シリコン)単結晶に比べて高い絶縁破壊電圧、高い熱伝導率などの優れた物性を有し、不純物の添加によってp、n伝導型の電子制御も容易にできるとともに、広い禁制帯幅(4H型の単結晶SiCで約3.3eV、6H型の単結晶SiCで約3.0eV)を有するという特長を備えている。このため、Si単結晶やGaAs(ガリウム砒素)単結晶などの既存の半導体材料では実現できない高温、高周波、耐電圧・耐環境性を実現することが可能であり、次世代の半導体材料として期待が高まっている。
【0003】
従来、SiC単結晶の成長法の1つとして溶液法が知られている。この溶液法は、溶媒を入れる坩堝、例えば黒鉛坩堝、溶媒、高周波コイルなどの外部加熱装置、断熱材、昇降可能な基板支持用の炭素棒および炭素棒の先端に取付けた基板からなる基本的構造を有するSiC単結晶の製造装置を用いて、坩堝中、Si融液又はさらに金属を融解したSi合金融液などのSi含有融液中にC(炭素)供給源、例えば黒鉛坩堝からCを溶解させて、例えば低温部に設置したSiC種結晶基板上にSiC結晶層を溶液析出によって成長させる方法である。
【0004】
この溶液法によるSiC単結晶の成長法では、他の成長法、例えば気相成長法に比べて結晶形の良好な単結晶が得られるが、融液に種結晶近傍の融液温度が他の部分の融液温度より低温になるように温度勾配を設けて成長させる方法、又は融液全体を徐冷して成長させる方法のいずれかのSiC単結晶成長法が用いられるが、いずれも融液の冷却の際の溶液中の温度分布や濃度分布によって多結晶の生成が避けられないことが知られている。
このため、多結晶の生成を防止乃至は抑制し得るSiC単結晶成長装置が求められている。
【0005】
特開平7−172998号公報には、成長炉内に断熱材で覆われて設けられた炭素質の坩堝、その上方に設けられ高周波コイルにより誘導加熱される炭素塊、坩堝の上端部の上方に設けられた断熱材ひさし部、坩堝を誘導加熱する成長路の周囲に設けられた高周波コイル、昇降可能なシードホルダーおよびその下端に取り付けられた種結晶を含む炭化ケイ素単結晶の成長装置および炭化ケイ素単結晶の製造方法が記載されている。
【0006】
また、特開2006−131433号公報には、坩堝、加熱手段、昇降可能なシード軸を備えたSiC単結晶において坩堝内の融液上に配置可能な断熱性構造物、シード軸の少なくとも一部の側面を断熱又は冷却する手段を備えたSiC単結晶の製造装置、およびこの製造装置を用いてSiC単結晶層を成長させるSiC単結晶の製造方法が記載されている。
【0007】
さらに、特開2008−30969号号公報には、原料融液が収容される坩堝と、下端に種結晶が保持されたシード軸と、第1電極と第2電極と、第1電極と第2電極との間に流れる電流を検出する電流計とを備え、種結晶がSiO2、Al2O3又はSi3N4などの絶縁膜で被覆されているSiC単結晶製造装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開平7−172998号公報
【特許文献2】特開2006−131433号公報
【特許文献3】特開2008− 30969号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかし、これら公知のSiC単結晶の製造装置を用いた溶液法では、融液温度が2000℃程度の高温で結晶成長を行うと多結晶の発生が避けられない。
従って、本発明の目的は、溶液法によりSiC単結晶を製造する際に、融液温度が2000℃程度の高温であっても多結晶の生成を防止乃至は抑制することが可能であるSiC単結晶製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、SiC単結晶の成長に用いる融液はSiを主成分とするものが多く、種結晶を設置した炭素棒と融液との接触により溶解反応が起こることが避けられずこれが多結晶の発生につながり、炭素棒への種結晶接触後に時間の経過と共に炭素棒に多量の多結晶が生成・付着すること、そしてその多結晶の付着量は成長時間の経過と共に顕著となり最終的には多結晶が成長結晶表面側に回り込み種結晶の結晶成長を阻害してしまうことを見出し、さらに研究を行った結果、本発明を完成した。
【0011】
本発明は、成長炉内に断熱材を介して備えられたSi含有融液を収容する坩堝、該成長炉の周囲に設けられ該融液を加熱して一定温度に維持するための高周波コイルを含む外部加熱装置および昇降可能な炭素棒が備えられ前記炭素棒の先端に種結晶が設置され、前記炭素棒下端の側面部に前記融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置に関する。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、溶液法によりSiC単結晶を製造する際に、融液温度が2000℃程度の高温であっても多結晶の生成を防止乃至は抑制することが可能であるSiC単結晶製造装置を得ることができる。
本明細書において融液温度が2000℃程度の高温であるとは、融液温度が約1800〜2100℃の範囲内の温度であることをいう。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】図1は、本発明の溶液法によるSiC単結晶成長装置の模式図である。
【図2】図2は、従来のSiC単結晶成長装置を用いて所定時間結晶成長後の種結晶近傍の状態を示す模式図である。
【図3】図3は、本発明の実施態様のSiC単結晶成長装置を用いて所定時間結晶成長後の種結晶近傍の状態を示す模式図である。
【図4】図4は、本発明の実施態様における多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの被覆状態を示す拡大写真の写しである。
【図5】図5は、本発明の実施態様における多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートを示す写真の写しである。
【0014】
【図6】図6は、本発明の実施態様における炭素棒の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの展開図である。
【図7】図7は、本発明の実施態様における炭素棒の他の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例のカーボンシート展開図である。
【図8】図8は、本発明の実施態様における炭素棒のさらに他の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの展開図である。
【0015】
【図9】図9は、本発明のSiC単結晶成長装置において融液の表面温度を測定する態様を示す模式図である。
【図10】図10は、本発明の実施例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後の状態を示す写真の写しである。
【図11】図11は、比較例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後の状態を示す写真の写しである。
【図12】図12は、本発明の実施例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後のカーボンシート被覆の侵食状態を示す写真の写しである。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳説する。
図1において、本発明のSiC単結晶成長装置1は、成長炉2内に断熱材3を介して備えられたSi含有融液4を収容する坩堝5、該成長炉2の周囲に設けられ該融液4を加熱して一定温度に維持するための高周波コイル6を含む外部加熱装置7および昇降可能な炭素棒(黒鉛棒ともいう)8が備えられ前記炭素棒8の先端に種結晶9が設置され、炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられている。
【0017】
図2および図3を参照すると、従来のSiC単結晶成長装置においては図2に示すように炭素棒下端の側面部が融液に直接接していて、炭素棒への種結晶接触後に時間の経過と共に炭素棒の下端部に多量の多結晶が生成・付着し、その多結晶の付着量は成長時間の経過と共に顕著となり最終的には多結晶が成長結晶表面側に回り込み始める。
これに対して、本発明のSiC単結晶成長装置においては、図3に示すように炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられていて、炭素棒への種結晶接触後に時間が経過してカーボンシートの変色、硬化が確認されても炭素棒への多結晶の生成・付着は認められない。
【0018】
図2における炭素棒の下端部への多量の多結晶の生成・付着は、1つには2000℃程度に加熱されたSi含有融液は粘性のない例えば水のような低粘度の液体であって、単結晶の成長のための温度制御に伴って融液表面で温度差や濃度差に起因するマラゴニー対流が起こり、粉末黒鉛をSIP成形して得られるソリッド黒鉛からなる炭素棒は融液との濡れ性を有するため、炭素棒に融液が接触して融液中に炭素棒の炭素(C)が溶解し、融液中のSiと炭素棒から溶解した炭素(C)とが反応(Si+C→SiC)すること、融液の表面張力により融液が炭素棒を吸いあがっていき多結晶の生成・付着が時間の経過とともに増大することに起因すると考えられる。
【0019】
これに対して、本発明のSiC単結晶製造装置によれば、図3に示すように炭素棒下端の側面部に多結晶発生阻害部、例えばカーボンシートを設けることにより、融液に前記のマラゴニー対流が起こっても炭素棒の融液による濡れが抑制乃至は防止され、且つ融液中に炭素棒の炭素(C)の溶解が抑制乃至は防止されるため融液中のSiと炭素棒から溶解した炭素(C)との反応が起こらず、種結晶接触後に時間が経過しても炭素棒への多結晶の生成・付着が認められないと考えられる。
【0020】
本発明においては、前述のように炭素棒下端の側面部に融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部を設けることが必要である。
図4によれば、左側の図面に炭素棒の下端部が示されていて、下端部の先端に種結晶が設置されその上方の炭素棒は他の部分(図示せず)に比べて細くなっている。この細くなった炭素棒下端の側面部に炭素棒表面が露出しないようにカーボンシートを被覆して炭素棒より濡れ性の低いカーボンシートからなる多結晶発生阻害部が設けられる。
【0021】
図5には、図4で炭素棒の被覆に用いられたカーボンシートの一例が示されている。カーボンシートとしては特に制限はなく、市販のものが使用され得る。前述のカーボンシートは例えばカーボン繊維をローラーにかけて脱水することによって得ることができる。前記のカーボンシートは、異方性を有するカーボンシートであるものが一般的である。このような異方性を有するカーボンシートを本発明の多結晶発生祖外部用の基材として用いる場合、カーボンシートにおけるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に被覆すると炭素棒の融液による濡れが更に抑制乃至は防止されるので好適である。
【0022】
本発明における多結晶発生阻害部としてのカーボンシートは0.2〜0.6mm厚のものを必要に応じて選択、使用し得る。カーボンシートが厚いほど長い時間の炭素棒への多結晶の生成・付着を防止し得る。
本発明における前記の炭素棒は通常200〜260mm長であり、好適には種結晶が設置された先端部から10〜30mmの幅の部分を炭素棒が露出しないようにカーボンシートによって被覆する。
カーボンシートの炭素棒下端の側面部への被覆は、接着剤、好適にはカーボン接着剤を用いて硬化のために熱処理を行うことが好ましい。前記の熱処理は、加熱炉(脱脂炉および焼成炉からなる)を用いて真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気中、例えば典型的には200℃で1時間、次いで700℃で3時間加熱し、炉内冷却して行うことができる。
【0023】
本発明における多結晶発生阻害部としてのカーボンシートは、炭素棒および種結晶接着面の形状に対応してその形状を適宜選択し得る。
例えば、図6を参照すると、本発明における種結晶(シードともいう)接着面は円形又は四角形であり得て、炭素棒は円柱状又は角柱であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図6の右図に展開図を示す主要部が四角形で一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
【0024】
また、図7を参照すると、本発明における種結晶接着面は円形であり得て、炭素棒は円錐状であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図7の右図に展開図を示す主要部が扇状で一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
また、図8を参照すると、本発明における種結晶接着面は四角形であり得て、炭素棒は角錐状であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図8の右図に展開図を示す主要部が4個の台形からなり一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
【0025】
本発明におけるSi含有融液としては、SiとCとを必須成分とする任意の融液を挙げることができる。例えば、Si含有融液として、さらにTiおよび/又はCrを含むもの、例えばSi−Ti−C融液又はNiを含みとCrとの割合(原子比)(Ni/Cr)が0.2以下であるもの、例えば前記Si、Cr、NiおよびC以外の元素であって希土類元素、遷移金属元素およびアルカリ土類金属元素のうちから選ばれるいずれか1種の元素を含むもの、例えば前記の元素がCeであるものが挙げられる。また、半導体材料用に任意のドーパントを含有し得る。
前記のSiC融液の温度は1800〜2050℃、特に1850〜2050℃程度であり得る。
【0026】
前記の温度の制御は、高周波誘導加熱によって加熱し、例えば図9に示す放射温度計による融液面の温度観察および/又は炭素棒内側に設置した熱電対、例えばW−Re(タングステン/レニューム)熱電対を用いて温度測定を行って求められた測定温度に基づいて温度制御装置(図示せず)によって行うことができる。
【0027】
本発明のSiC単結晶製造装置を用いてiC単結晶を製造する方法においては、溶液法におけるそれ自体公知の製造法、例えば黒鉛坩堝の形状、加熱方法、加熱時間、雰囲気、昇温速度および冷却速度を適用することができる。
例えば、高周波誘導加熱による加熱時間(原料の仕込みからSiC飽和濃度に達するまでの凡その時間)としては坩堝の大きさにもよるが20分間〜10時間程度(例えば3〜7時間程度)で、雰囲気としては希ガス、例えばHe、Ne、Arなどの不活性ガスやそれらの一部をN2やメタンガスで置き換えたものが挙げられる。
本発明のSiC単結晶製造装置を用いることによって、2000℃程度の高温、例えば1800〜2050℃、特に1850〜2050℃程度の融液温度で長時間、例えば2時間以上、多結晶の成長を防止乃至は抑制したSiC単結晶を得ることができる。
【実施例】
【0028】
以下、本発明の実施例を示す。
以下の各例において、SiC単結晶の成長は図1に示すSiC単結晶製造装置を用いて行った。また、Si含有融液の高温(2000〜2050℃)における温度確認は図9に模式図を表面温度を測定する態様によって行った。放射温度計は融液面を直接観察可能な融液面上方の観察窓に設置し、融液に種結晶を接触させる前後の温度を測定した。また、種結晶が接着された炭素棒内側(種結晶から2mmの位置)に熱電対を設置し融液接触直後からの温度を測定した。
【0029】
実施例1
軸径が12mmφの炭素棒の下端に、厚さが0.2mm、幅が10〜15mmのカーボンシートを表1に示すカーボン接着剤を用いて、カーボンシートにおけるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に一重に被覆した。
【0030】
【表1】
【0031】
このカーボンシート被覆を施し先端に種結晶が設置された炭素棒を用いて結晶成長を行った。結晶成長開始して1時間経過後、2時間経過後、3時間経過後、5時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。また、2時間経過後の状態およびカーボンシートを写真撮影した。2時間経過後の状態の写真のコピーを図10にカーボンシートの拡大写真のコピーを図12に示す。
【0032】
実施例2〜6
軸径が12mmφ、15mmφ、又は22mmφの炭素棒の下端に、厚さが0.2mm又は0.6mmのカーボンシートを前記の表1に示すカーボン接着剤を用いて一重に被覆した。
このカーボンシート被覆を施した炭素棒を用いて結晶成長を行った。結晶成長開始して1時間経過後、2時間経過後、3時間経過後、5時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。
【0033】
比較例1
軸径が12mmφの炭素棒の下端にカーボンシートを被覆しなかった他は実施例1と同様にして結晶成長を行った。所定時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。また、2時間経過後の状態を写真撮影し、写真のコピーを図11に示す。
【0034】
図10〜12から、炭素棒の下端にカーボンシート被覆を施した炭素棒はカーボンシート被覆を施さない場合に比べて2時間の結晶生長後でも炭素棒から扇状に広がる多結晶の発生が抑えられていることがわかる。また、カーボンシート被覆を施さない場合は発生した多結晶が種結晶の表面まで回りこんでおり、炭素棒断面とほぼ同じ面積の種結晶に対して成長を阻む状態になっている。また、カーボンシート被覆の侵食状態は不規則な部分もあるがその表面から侵食が起っていることがわかる。しかしながら、炭素棒表面が暴露している状態には至っておらず、多結晶の発生もない。
【0035】
【表2】
【0036】
○:侵食はなく単結晶が成長
一部侵食:一部侵食が起り始めるが多結晶の発生は認められず単結晶は成長
一部多結晶:一部から多結晶が発生しはじめるが単結晶は成長
×:多結晶が炭素棒のまわりに生成し単結晶が成長しない
【0037】
表2から、その下端にカーボンシート被覆を施した炭素棒はカーボンシートの厚みが0.2mmの場合、結晶成長開始して2時間ほどから一部侵食が起こり始めるが多結晶の発生にはいたっていない。そして、5時間を経過したものについてはその一部から多結晶が発生し始めることがわかった。これは結晶成長開始して5時間ほどで融液によってカーボンシートが侵食された結果、炭素棒表面に融液が接触したことによると考えられる。しかしながら、成長結晶に対して影響を及ぼすほどには多結晶は大きくなっていない。
【0038】
カーボンシートの厚みが0.6mmのものについては、結晶成長開始して3時間経過したあたりで侵食がみられるようになるが、5時間経過しても侵食は進んでいるが多結晶の発生は見られない。
以上のことから、炭素軸下端の側面部にカーボンシート被覆を施して多結晶発生阻害部を設けることにより、カーボンシート被覆を施さない場合に比べて5時間以上多結晶の発生が抑制され、SiC単結晶成長が可能となった。
【産業上の利用可能性】
【0039】
本発明のSiC単結晶の製造装置によって、従来不可能であった融液温度が2000℃程度の高温で結晶成長を行っても多結晶の発生を防止乃至は抑制することが可能となり、生産性高くSiC単結晶の製造をし得る。
【符号の説明】
【0040】
1 本発明のSiC単結晶成長装置
2 成長炉
3 断熱材
4 Si含有融液
5 坩堝
6 高周波コイル
7 外部加熱装置
8 炭素棒
9 種結晶
10 多結晶発生阻害部
11 磁界コイル
12 種結晶接着面
13 放射温度計
14 W−Re熱電対
【技術分野】
【0001】
本発明は、溶液法によるSiC単結晶製造装置に関し、さらに詳しくは炭素棒に設置した種結晶近傍でのSiC多結晶の発生を抑制し得る溶液法によるSiC単結晶製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
SiC単結晶は、熱的、化学的に非常に安定であり、機械的強度に優れ、放射線に強く、しかもSi(シリコン)単結晶に比べて高い絶縁破壊電圧、高い熱伝導率などの優れた物性を有し、不純物の添加によってp、n伝導型の電子制御も容易にできるとともに、広い禁制帯幅(4H型の単結晶SiCで約3.3eV、6H型の単結晶SiCで約3.0eV)を有するという特長を備えている。このため、Si単結晶やGaAs(ガリウム砒素)単結晶などの既存の半導体材料では実現できない高温、高周波、耐電圧・耐環境性を実現することが可能であり、次世代の半導体材料として期待が高まっている。
【0003】
従来、SiC単結晶の成長法の1つとして溶液法が知られている。この溶液法は、溶媒を入れる坩堝、例えば黒鉛坩堝、溶媒、高周波コイルなどの外部加熱装置、断熱材、昇降可能な基板支持用の炭素棒および炭素棒の先端に取付けた基板からなる基本的構造を有するSiC単結晶の製造装置を用いて、坩堝中、Si融液又はさらに金属を融解したSi合金融液などのSi含有融液中にC(炭素)供給源、例えば黒鉛坩堝からCを溶解させて、例えば低温部に設置したSiC種結晶基板上にSiC結晶層を溶液析出によって成長させる方法である。
【0004】
この溶液法によるSiC単結晶の成長法では、他の成長法、例えば気相成長法に比べて結晶形の良好な単結晶が得られるが、融液に種結晶近傍の融液温度が他の部分の融液温度より低温になるように温度勾配を設けて成長させる方法、又は融液全体を徐冷して成長させる方法のいずれかのSiC単結晶成長法が用いられるが、いずれも融液の冷却の際の溶液中の温度分布や濃度分布によって多結晶の生成が避けられないことが知られている。
このため、多結晶の生成を防止乃至は抑制し得るSiC単結晶成長装置が求められている。
【0005】
特開平7−172998号公報には、成長炉内に断熱材で覆われて設けられた炭素質の坩堝、その上方に設けられ高周波コイルにより誘導加熱される炭素塊、坩堝の上端部の上方に設けられた断熱材ひさし部、坩堝を誘導加熱する成長路の周囲に設けられた高周波コイル、昇降可能なシードホルダーおよびその下端に取り付けられた種結晶を含む炭化ケイ素単結晶の成長装置および炭化ケイ素単結晶の製造方法が記載されている。
【0006】
また、特開2006−131433号公報には、坩堝、加熱手段、昇降可能なシード軸を備えたSiC単結晶において坩堝内の融液上に配置可能な断熱性構造物、シード軸の少なくとも一部の側面を断熱又は冷却する手段を備えたSiC単結晶の製造装置、およびこの製造装置を用いてSiC単結晶層を成長させるSiC単結晶の製造方法が記載されている。
【0007】
さらに、特開2008−30969号号公報には、原料融液が収容される坩堝と、下端に種結晶が保持されたシード軸と、第1電極と第2電極と、第1電極と第2電極との間に流れる電流を検出する電流計とを備え、種結晶がSiO2、Al2O3又はSi3N4などの絶縁膜で被覆されているSiC単結晶製造装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開平7−172998号公報
【特許文献2】特開2006−131433号公報
【特許文献3】特開2008− 30969号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかし、これら公知のSiC単結晶の製造装置を用いた溶液法では、融液温度が2000℃程度の高温で結晶成長を行うと多結晶の発生が避けられない。
従って、本発明の目的は、溶液法によりSiC単結晶を製造する際に、融液温度が2000℃程度の高温であっても多結晶の生成を防止乃至は抑制することが可能であるSiC単結晶製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、SiC単結晶の成長に用いる融液はSiを主成分とするものが多く、種結晶を設置した炭素棒と融液との接触により溶解反応が起こることが避けられずこれが多結晶の発生につながり、炭素棒への種結晶接触後に時間の経過と共に炭素棒に多量の多結晶が生成・付着すること、そしてその多結晶の付着量は成長時間の経過と共に顕著となり最終的には多結晶が成長結晶表面側に回り込み種結晶の結晶成長を阻害してしまうことを見出し、さらに研究を行った結果、本発明を完成した。
【0011】
本発明は、成長炉内に断熱材を介して備えられたSi含有融液を収容する坩堝、該成長炉の周囲に設けられ該融液を加熱して一定温度に維持するための高周波コイルを含む外部加熱装置および昇降可能な炭素棒が備えられ前記炭素棒の先端に種結晶が設置され、前記炭素棒下端の側面部に前記融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置に関する。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、溶液法によりSiC単結晶を製造する際に、融液温度が2000℃程度の高温であっても多結晶の生成を防止乃至は抑制することが可能であるSiC単結晶製造装置を得ることができる。
本明細書において融液温度が2000℃程度の高温であるとは、融液温度が約1800〜2100℃の範囲内の温度であることをいう。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】図1は、本発明の溶液法によるSiC単結晶成長装置の模式図である。
【図2】図2は、従来のSiC単結晶成長装置を用いて所定時間結晶成長後の種結晶近傍の状態を示す模式図である。
【図3】図3は、本発明の実施態様のSiC単結晶成長装置を用いて所定時間結晶成長後の種結晶近傍の状態を示す模式図である。
【図4】図4は、本発明の実施態様における多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの被覆状態を示す拡大写真の写しである。
【図5】図5は、本発明の実施態様における多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートを示す写真の写しである。
【0014】
【図6】図6は、本発明の実施態様における炭素棒の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの展開図である。
【図7】図7は、本発明の実施態様における炭素棒の他の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例のカーボンシート展開図である。
【図8】図8は、本発明の実施態様における炭素棒のさらに他の一例の模式図とその被覆に用いられ得る多結晶発生阻害部の一例であるカーボンシートの展開図である。
【0015】
【図9】図9は、本発明のSiC単結晶成長装置において融液の表面温度を測定する態様を示す模式図である。
【図10】図10は、本発明の実施例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後の状態を示す写真の写しである。
【図11】図11は、比較例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後の状態を示す写真の写しである。
【図12】図12は、本発明の実施例のSiC単結晶成長装置を用いた結晶成長後のカーボンシート被覆の侵食状態を示す写真の写しである。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳説する。
図1において、本発明のSiC単結晶成長装置1は、成長炉2内に断熱材3を介して備えられたSi含有融液4を収容する坩堝5、該成長炉2の周囲に設けられ該融液4を加熱して一定温度に維持するための高周波コイル6を含む外部加熱装置7および昇降可能な炭素棒(黒鉛棒ともいう)8が備えられ前記炭素棒8の先端に種結晶9が設置され、炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられている。
【0017】
図2および図3を参照すると、従来のSiC単結晶成長装置においては図2に示すように炭素棒下端の側面部が融液に直接接していて、炭素棒への種結晶接触後に時間の経過と共に炭素棒の下端部に多量の多結晶が生成・付着し、その多結晶の付着量は成長時間の経過と共に顕著となり最終的には多結晶が成長結晶表面側に回り込み始める。
これに対して、本発明のSiC単結晶成長装置においては、図3に示すように炭素棒8下端の側面部に融液4に対して炭素棒8より濡れ性の低い多結晶発生阻害部10が設けられていて、炭素棒への種結晶接触後に時間が経過してカーボンシートの変色、硬化が確認されても炭素棒への多結晶の生成・付着は認められない。
【0018】
図2における炭素棒の下端部への多量の多結晶の生成・付着は、1つには2000℃程度に加熱されたSi含有融液は粘性のない例えば水のような低粘度の液体であって、単結晶の成長のための温度制御に伴って融液表面で温度差や濃度差に起因するマラゴニー対流が起こり、粉末黒鉛をSIP成形して得られるソリッド黒鉛からなる炭素棒は融液との濡れ性を有するため、炭素棒に融液が接触して融液中に炭素棒の炭素(C)が溶解し、融液中のSiと炭素棒から溶解した炭素(C)とが反応(Si+C→SiC)すること、融液の表面張力により融液が炭素棒を吸いあがっていき多結晶の生成・付着が時間の経過とともに増大することに起因すると考えられる。
【0019】
これに対して、本発明のSiC単結晶製造装置によれば、図3に示すように炭素棒下端の側面部に多結晶発生阻害部、例えばカーボンシートを設けることにより、融液に前記のマラゴニー対流が起こっても炭素棒の融液による濡れが抑制乃至は防止され、且つ融液中に炭素棒の炭素(C)の溶解が抑制乃至は防止されるため融液中のSiと炭素棒から溶解した炭素(C)との反応が起こらず、種結晶接触後に時間が経過しても炭素棒への多結晶の生成・付着が認められないと考えられる。
【0020】
本発明においては、前述のように炭素棒下端の側面部に融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部を設けることが必要である。
図4によれば、左側の図面に炭素棒の下端部が示されていて、下端部の先端に種結晶が設置されその上方の炭素棒は他の部分(図示せず)に比べて細くなっている。この細くなった炭素棒下端の側面部に炭素棒表面が露出しないようにカーボンシートを被覆して炭素棒より濡れ性の低いカーボンシートからなる多結晶発生阻害部が設けられる。
【0021】
図5には、図4で炭素棒の被覆に用いられたカーボンシートの一例が示されている。カーボンシートとしては特に制限はなく、市販のものが使用され得る。前述のカーボンシートは例えばカーボン繊維をローラーにかけて脱水することによって得ることができる。前記のカーボンシートは、異方性を有するカーボンシートであるものが一般的である。このような異方性を有するカーボンシートを本発明の多結晶発生祖外部用の基材として用いる場合、カーボンシートにおけるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に被覆すると炭素棒の融液による濡れが更に抑制乃至は防止されるので好適である。
【0022】
本発明における多結晶発生阻害部としてのカーボンシートは0.2〜0.6mm厚のものを必要に応じて選択、使用し得る。カーボンシートが厚いほど長い時間の炭素棒への多結晶の生成・付着を防止し得る。
本発明における前記の炭素棒は通常200〜260mm長であり、好適には種結晶が設置された先端部から10〜30mmの幅の部分を炭素棒が露出しないようにカーボンシートによって被覆する。
カーボンシートの炭素棒下端の側面部への被覆は、接着剤、好適にはカーボン接着剤を用いて硬化のために熱処理を行うことが好ましい。前記の熱処理は、加熱炉(脱脂炉および焼成炉からなる)を用いて真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気中、例えば典型的には200℃で1時間、次いで700℃で3時間加熱し、炉内冷却して行うことができる。
【0023】
本発明における多結晶発生阻害部としてのカーボンシートは、炭素棒および種結晶接着面の形状に対応してその形状を適宜選択し得る。
例えば、図6を参照すると、本発明における種結晶(シードともいう)接着面は円形又は四角形であり得て、炭素棒は円柱状又は角柱であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図6の右図に展開図を示す主要部が四角形で一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
【0024】
また、図7を参照すると、本発明における種結晶接着面は円形であり得て、炭素棒は円錐状であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図7の右図に展開図を示す主要部が扇状で一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
また、図8を参照すると、本発明における種結晶接着面は四角形であり得て、炭素棒は角錐状であり得て、結晶発生阻害部としてのカーボンシートは図8の右図に展開図を示す主要部が4個の台形からなり一端にカーボンシートが重なり合う接着剤塗布用の台形部を有し得る。
【0025】
本発明におけるSi含有融液としては、SiとCとを必須成分とする任意の融液を挙げることができる。例えば、Si含有融液として、さらにTiおよび/又はCrを含むもの、例えばSi−Ti−C融液又はNiを含みとCrとの割合(原子比)(Ni/Cr)が0.2以下であるもの、例えば前記Si、Cr、NiおよびC以外の元素であって希土類元素、遷移金属元素およびアルカリ土類金属元素のうちから選ばれるいずれか1種の元素を含むもの、例えば前記の元素がCeであるものが挙げられる。また、半導体材料用に任意のドーパントを含有し得る。
前記のSiC融液の温度は1800〜2050℃、特に1850〜2050℃程度であり得る。
【0026】
前記の温度の制御は、高周波誘導加熱によって加熱し、例えば図9に示す放射温度計による融液面の温度観察および/又は炭素棒内側に設置した熱電対、例えばW−Re(タングステン/レニューム)熱電対を用いて温度測定を行って求められた測定温度に基づいて温度制御装置(図示せず)によって行うことができる。
【0027】
本発明のSiC単結晶製造装置を用いてiC単結晶を製造する方法においては、溶液法におけるそれ自体公知の製造法、例えば黒鉛坩堝の形状、加熱方法、加熱時間、雰囲気、昇温速度および冷却速度を適用することができる。
例えば、高周波誘導加熱による加熱時間(原料の仕込みからSiC飽和濃度に達するまでの凡その時間)としては坩堝の大きさにもよるが20分間〜10時間程度(例えば3〜7時間程度)で、雰囲気としては希ガス、例えばHe、Ne、Arなどの不活性ガスやそれらの一部をN2やメタンガスで置き換えたものが挙げられる。
本発明のSiC単結晶製造装置を用いることによって、2000℃程度の高温、例えば1800〜2050℃、特に1850〜2050℃程度の融液温度で長時間、例えば2時間以上、多結晶の成長を防止乃至は抑制したSiC単結晶を得ることができる。
【実施例】
【0028】
以下、本発明の実施例を示す。
以下の各例において、SiC単結晶の成長は図1に示すSiC単結晶製造装置を用いて行った。また、Si含有融液の高温(2000〜2050℃)における温度確認は図9に模式図を表面温度を測定する態様によって行った。放射温度計は融液面を直接観察可能な融液面上方の観察窓に設置し、融液に種結晶を接触させる前後の温度を測定した。また、種結晶が接着された炭素棒内側(種結晶から2mmの位置)に熱電対を設置し融液接触直後からの温度を測定した。
【0029】
実施例1
軸径が12mmφの炭素棒の下端に、厚さが0.2mm、幅が10〜15mmのカーボンシートを表1に示すカーボン接着剤を用いて、カーボンシートにおけるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に一重に被覆した。
【0030】
【表1】
【0031】
このカーボンシート被覆を施し先端に種結晶が設置された炭素棒を用いて結晶成長を行った。結晶成長開始して1時間経過後、2時間経過後、3時間経過後、5時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。また、2時間経過後の状態およびカーボンシートを写真撮影した。2時間経過後の状態の写真のコピーを図10にカーボンシートの拡大写真のコピーを図12に示す。
【0032】
実施例2〜6
軸径が12mmφ、15mmφ、又は22mmφの炭素棒の下端に、厚さが0.2mm又は0.6mmのカーボンシートを前記の表1に示すカーボン接着剤を用いて一重に被覆した。
このカーボンシート被覆を施した炭素棒を用いて結晶成長を行った。結晶成長開始して1時間経過後、2時間経過後、3時間経過後、5時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。
【0033】
比較例1
軸径が12mmφの炭素棒の下端にカーボンシートを被覆しなかった他は実施例1と同様にして結晶成長を行った。所定時間経過後の状態変化を目視観察し、結果をまとめて表2に示す。また、2時間経過後の状態を写真撮影し、写真のコピーを図11に示す。
【0034】
図10〜12から、炭素棒の下端にカーボンシート被覆を施した炭素棒はカーボンシート被覆を施さない場合に比べて2時間の結晶生長後でも炭素棒から扇状に広がる多結晶の発生が抑えられていることがわかる。また、カーボンシート被覆を施さない場合は発生した多結晶が種結晶の表面まで回りこんでおり、炭素棒断面とほぼ同じ面積の種結晶に対して成長を阻む状態になっている。また、カーボンシート被覆の侵食状態は不規則な部分もあるがその表面から侵食が起っていることがわかる。しかしながら、炭素棒表面が暴露している状態には至っておらず、多結晶の発生もない。
【0035】
【表2】
【0036】
○:侵食はなく単結晶が成長
一部侵食:一部侵食が起り始めるが多結晶の発生は認められず単結晶は成長
一部多結晶:一部から多結晶が発生しはじめるが単結晶は成長
×:多結晶が炭素棒のまわりに生成し単結晶が成長しない
【0037】
表2から、その下端にカーボンシート被覆を施した炭素棒はカーボンシートの厚みが0.2mmの場合、結晶成長開始して2時間ほどから一部侵食が起こり始めるが多結晶の発生にはいたっていない。そして、5時間を経過したものについてはその一部から多結晶が発生し始めることがわかった。これは結晶成長開始して5時間ほどで融液によってカーボンシートが侵食された結果、炭素棒表面に融液が接触したことによると考えられる。しかしながら、成長結晶に対して影響を及ぼすほどには多結晶は大きくなっていない。
【0038】
カーボンシートの厚みが0.6mmのものについては、結晶成長開始して3時間経過したあたりで侵食がみられるようになるが、5時間経過しても侵食は進んでいるが多結晶の発生は見られない。
以上のことから、炭素軸下端の側面部にカーボンシート被覆を施して多結晶発生阻害部を設けることにより、カーボンシート被覆を施さない場合に比べて5時間以上多結晶の発生が抑制され、SiC単結晶成長が可能となった。
【産業上の利用可能性】
【0039】
本発明のSiC単結晶の製造装置によって、従来不可能であった融液温度が2000℃程度の高温で結晶成長を行っても多結晶の発生を防止乃至は抑制することが可能となり、生産性高くSiC単結晶の製造をし得る。
【符号の説明】
【0040】
1 本発明のSiC単結晶成長装置
2 成長炉
3 断熱材
4 Si含有融液
5 坩堝
6 高周波コイル
7 外部加熱装置
8 炭素棒
9 種結晶
10 多結晶発生阻害部
11 磁界コイル
12 種結晶接着面
13 放射温度計
14 W−Re熱電対
【特許請求の範囲】
【請求項1】
成長炉内に断熱材を介して備えられたSi含有融液を収容する坩堝、該成長炉の周囲に設けられ該融液を加熱して一定温度に維持するための高周波コイルを含む外部加熱装置および昇降可能な炭素棒が備えられ前記炭素棒の先端に種結晶が設置され、前記炭素棒下端の側面部に前記融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置。
【請求項2】
多結晶発生阻害部が、異方性を有するカーボンシートである請求項1に記載のSiC単結晶製造装置。
【請求項3】
多結晶発生阻害部が、異方性を有するカーボンシートを該シートに含まれるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に被覆してなる請求項1又は2に記載のSiC単結晶製造装置。
【請求項1】
成長炉内に断熱材を介して備えられたSi含有融液を収容する坩堝、該成長炉の周囲に設けられ該融液を加熱して一定温度に維持するための高周波コイルを含む外部加熱装置および昇降可能な炭素棒が備えられ前記炭素棒の先端に種結晶が設置され、前記炭素棒下端の側面部に前記融液に対して炭素棒より濡れ性の低い多結晶発生阻害部が設けられてなる溶液法によるSiC単結晶製造装置。
【請求項2】
多結晶発生阻害部が、異方性を有するカーボンシートである請求項1に記載のSiC単結晶製造装置。
【請求項3】
多結晶発生阻害部が、異方性を有するカーボンシートを該シートに含まれるカーボン繊維の配向方向が融液面に平行となるように炭素棒に被覆してなる請求項1又は2に記載のSiC単結晶製造装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図4】
【図5】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図4】
【図5】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2010−184838(P2010−184838A)
【公開日】平成22年8月26日(2010.8.26)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−30327(P2009−30327)
【出願日】平成21年2月12日(2009.2.12)
【出願人】(000003207)トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年8月26日(2010.8.26)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年2月12日(2009.2.12)
【出願人】(000003207)トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Fターム(参考)】
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