照明システム
【課題】ＬＥＤ照明を、定電流駆動でも操作性に優れ、しかも安定して使用することがで
きて、定電流駆動における大電流駆動が容易であって効率がよい等の利点を生かせること
ができる照明システムを提供する。
【解決手段】ＬＥＤ照明４３を備えた照明システムである。被照明装置に付設されるＬＥ
Ｄ照明４３の最大電流値を設定する設定手段５５と、設定手段にて設定された最大電流値
の電流をＬＥＤ照明４３に印加するための定電流供給手段５０とを備える、判断手段５２
にて、実際に付設されているＬＥＤ照明４３が、予め設定されたＬＥＤ照明４３の判定値
に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する。
きて、定電流駆動における大電流駆動が容易であって効率がよい等の利点を生かせること
ができる照明システムを提供する。
【解決手段】ＬＥＤ照明４３を備えた照明システムである。被照明装置に付設されるＬＥ
Ｄ照明４３の最大電流値を設定する設定手段５５と、設定手段にて設定された最大電流値
の電流をＬＥＤ照明４３に印加するための定電流供給手段５０とを備える、判断手段５２
にて、実際に付設されているＬＥＤ照明４３が、予め設定されたＬＥＤ照明４３の判定値
に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個のＬＥＤ照明を定電流供給手段（定電流電源）からの電流でもって点灯させる照明システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する場合、被実装部材としてのリードフレームに半導体チップ（ダイ）を実装するダイボンディングが行なわれる。このダイボンディングには、チップを吸着するコレットを備えたダイボンダが使用される。
【０００３】
このようなダイボンダは、図９に示すように、供給部２の半導体チップ１を吸着するコレット３を有するボンディングアーム（図示省略）と、供給部２の半導体チップ１を観察する確認用カメラ（図示省略）と、ボンディング位置でリードフレーム４のアイランド部５を観察する確認用カメラ（図示省略）とを備える。
【０００４】
供給部２は半導体ウエハを備え、半導体ウエハが多数の半導体チップ１に分割されている。また、コレット３を保持しているボンディングアームは搬送手段を介して、ピックアップ位置とボンディング位置との間の移動が可能となっている。
【０００５】
また、このコレット３は、その下端面に開口した吸着孔を介してチップ１が真空吸引され、このコレット３の下端面にチップ１が吸着する。なお、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、コレット３からチップ１が外れる。
【０００６】
次にこのダイボンダを使用したダイボンディング方法を説明する。まず、供給部２の上方に配置される確認用カメラにてピックアップすべきチップ１を観察して、コレット３をこのピックアップすべきチップ１の上方に位置させた後、矢印Ａのようにコレット３を下降させてこのチップ１をピックアップする。その後、矢印Ｂのようにコレット３を上昇させる。
【０００７】
次に、ボンディング位置の上方に配置された確認用カメラにて、ボンディングすべきリードフレーム４のアイランド部５を観察して、コレット３を矢印Ｃ方向へ移動させて、このアイランド部５の上方に位置させた後、コレット３を矢印Ｄのように下降移動させて、このアイランド部５にチップ１を供給する。また、アイランド部５にチップを供給した後は、コレット３を矢印Ｅのように上昇させた後、矢印Ｆのように、ピップアップ位置の上方の待機位置に戻す。
【０００８】
すなわち、コレット３を、順次、矢印Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆのように移動させることによって、ピックアップ確認用カメラの観察に基づいて位置決めされたチップ１をコレット３でピックアップし、このチップ１をアイランド部５に実装することになる。
【０００９】
このようなダイボンダにおいては、画像認識のために照明システムが用いられる（特許文献１）。また、照明システムには、近年では、通常の電球や蛍光灯に比べて、低消費電力、長寿命、発熱が少ないと優れた特性をもったＬＥＤ照明が用いられる。ＬＥＤ照明とは発光ダイオード（ＬＥＤ）を使用した照明器具である。
【００１０】
ところで、ダイボンダにおいては、前記したように、チップをピックアップ位置でピックアップするとともに、このピックアップしたチップをボンディング位置でボンディングするものであるので、ピックアップ位置のチップ位置確認及びボンディング位置でのチップ位置確認等を必要とする。このため、ピックアップ位置とボンディング位置とで、照明する照度等を相違させることがある。このような場合、各位置において、複数個のＬＥＤ照明を用いたり、各ＬＥＤ照明において種類を相違させたりすることになる。
【００１１】
また、ＬＥＤ照明を点灯する場合に電源に定電流電源を使用する場合がある。ＬＥＤ照明を点灯する場合、照明の最大電流値を把握できないと、照度のコントロールができない。このため、このように、複数のＬＥＤ照明を点灯する場合には、図１０に示すシステムや図１１に示すシステムが用いられていた。
【００１２】
図１０に示すシステムは、種類の異なるＬＥＤを用いる照明１１、照明１２、照明１３を備える。この場合、予め、異なる各照明１１、１２，１３の最大電流値を電源（定電流電源）１０側において設定しておいて使用するものである。
【００１３】
また、図１１に示すシステムは、専用に設定された照明１５、１６、１７を備えるものである。この場合、最大電流値をある値に定めて数種類のバリエーションの照明を設計する方法と、特許文献２に記載されているようにフィードバック制御する方法等がある。なお、従来には、ＬＥＤの異常を検出するＬＥＤ異常検出回路等がある（特許文献３）。この場合、ＬＥＤのオープンやショート等の故障を検出するためものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００１−３１３３０３号公報
【特許文献２】特許第４１８７５６５号公報
【特許文献３】特開２０１０−２８７６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１０に示す方法では、設定を間違えれば、ＬＥＤの最大電流値を越えた電流値の電流を印加して、このＬＥＤを損傷させる場合や、ＬＥＤに印加する電流値が小さすぎて、十分な照度を得られなかったりする。また、設定する場合、手動にてスイッチ（デジタルスイッチ）で行うものであり、操作性に劣ることになる。しかも、設定が間違っていてもその間違いを検知することができない。また、図１１ に示す方法では、専用に設定された照明１５、１６、１７に限るものであるので、使用できる照明として限られるものであり、高コスト化を招くことになる。なお、特許文献３では、ＬＥＤのオープンやショート等の故障を検出するためのものであって、ＬＥＤ自体の故障を検知するものであって、接続されているＬＥＤ照明が間違っているかの判断を行えるものではない。
【００１６】
本発明は、上記課題に鑑みて、ＬＥＤ照明を、定電流駆動でも操作性に優れ、しかも接続されているＬＥＤ照明を間違えたまま使用することなく安定して使用することができて、定電流駆動における大電流駆動が容易であって効率がよい等の利点を生かせることができる照明システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の照明システムは、ＬＥＤ照明を備えた照明システムであって、被照明装置に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を設定する設定手段と、設定手段にて設定された最大電流値の電流をＬＥＤ照明に印加するための定電流供給手段と、実際に付設されているＬＥＤ照明が、予め設定されたＬＥＤ照明の判定値に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する判断手段とを備えたものである。
【００１８】
本発明の照明システムによれば、設定手段にて、被照明装置に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を自動的に設定することができるので、最大電流値の設定を手動で行う必要がなくなる。また、判断手段によって、実際に付設されているＬＥＤ照明が、被照明装置（機種）に対応したものかを判断することができるので、ＬＥＤ照明に対してＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値をＬＥＤ照明に印加させることがない。しかも、最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。
【００１９】
前記判定値は判定電流値と判定最小電圧値と判定最大電圧値とであり、定電流供給手段のＬＥＤ照明に印加する電流を判定電流値よりも小さい微小電流値から順次増加していき、前記判断手段は、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものとすることができる。
【００２０】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができる。従って、そのＬＥＤ照明に対する過度の電流値が印加されず、しかも、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものとすることができる。また、判定電流値に達する前に電圧が判定最大電圧値を越えれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応しないものといえる。
【００２１】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うのが好ましい。これによって、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００２２】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものでないと判断した場合に、警告を発する警告発生手段を備えたものであってもよい。ここで、警告発生手段として、警告用ランプを点灯させたり、警告音を発生させたりすることができる。
【００２３】
ＬＥＤ照明は、ＬＥＤと制限抵抗、又はＬＥＤのみからなり、このＬＥＤ照明に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗の抵抗値を求める演算手段を備え、この抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加するのが好ましい。
【００２４】
画像認識用照明に用いることができ、ＬＥＤ照明が付設される装置がダイボンダとすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の照明システムでは、最大電流値の設定を手動で行う必要がなく、作業者の手間を省くことができて、作業者の操作性の向上を図ることができる。また、ＬＥＤ照明に対してＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値を印加させることがなく、また最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。このため、接続されているＬＥＤ照明を間違えたまま使用することなく被照明装置に付設されるＬＥＤ照明は安定した照明を行うことができ、この被照明装置による作業（動作）が安定するとともに、ＬＥＤ照明の損傷を有効に防止できて、安心した使用が可能となる。しかも、本照明システムでは、大電流駆動が容易で効率がよい定電流駆動の利点を生かすことができる。
【００２６】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができようにすれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものであるかの判断を高精度に行うことができ、しかも、ＬＥＤ照明に対する過度の電流値が印加されず、ＬＥＤ照明の損傷を有効に防止できる。
【００２７】
ＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うようにしたものでは、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００２８】
警告発生手段を備えたものであれば、警告発生手段の警告発生によって、オペレータが付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応しないことを確認でき、接続間違いのままでの被照明装置での作業を有効に防止できる。
【００２９】
ＬＥＤ照明の制限抵抗の抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加するものであれば、接続間違いの検知率が向上する。すなわち、判断手段として、電流値と電圧値に加え、ＬＥＤ照明の種類に応じて相違する制限抵抗の抵抗値を判断要素に加えることによって、より精度の高い判断が可能となる。
【００３０】
本照明システムを画像認識用照明に用いれば、画像認識のための最適な照度でもって被画像認識物に対して照明することができ、高精度の画像認識が可能となる。また、本照明システムをダイボンダに用いれば、被照明装置に応じたＬＥＤ照明を接続でき、ダイボンディング工程を安定して行うことができ、高精度に半導体装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態を示す照明システムの簡略全体ブロック図である。
【図２】ダイボンダの斜視図である。
【図３】前記図１に示す照明システムの使用方法を示すフロチャート図である。
【図４】ＬＥＤ照明の回路図である。
【図５】ＬＥＤ照明のＬＥＤの電流・電圧特性を示すグラフ図である。
【図６】ＬＥＤ照明の制限抵抗の電流・電圧特性を示すグラフ図である。
【図７】ＬＥＤ照明のＬＥＤと抵抗の合成電圧を示すグラフ図である。
【図８】ＬＥＤ照明の制限抵抗を判断要素に用いた場合のフローチャート図である。
【図９】ダイボンディング工程を示す簡略図である。
【図１０】従来の照明システムの簡略ブロック図である。
【図１１】他の従来の照明システムの簡略ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下本発明の実施の形態を図１〜図８に基づいて説明する。
【００３３】
図１に本発明にかかる照明システムの簡略全体ブロック図を示し、この照明システムは、例えば、図２等に示す被照明装置であるダイボンダの画像確認用に用いられる。ダイボンダは、リードフレーム２４に半導体チップ（ダイ）２１を実装するダイボンディングを行うものである。
【００３４】
このようなダイボンダは、供給部２２の半導体チップ（ダイ）２１を吸着するコレット２３を有するボンディングアーム３０と、供給部２２の半導体チップ２１を観察する確認用カメラ２６と、ボンディング位置でリードフレーム２４のアイランド部２５を観察する確認用カメラ３２とを備える。
【００３５】
供給部２２は、ウエハ支持装置２７に載置支持された半導体ウエハ２８を備えるものである。半導体ウエハ２８は多数の半導体チップ２１に分割されている。また、コレット２３はコレットホルダ２９に連結され、このコレット２３とコレットホルダ２９等でボンディングアーム３０が構成される。そして、このボンディングアーム３０は搬送手段３１を介して、ピックアップ位置とボンディング位置との間の移動が可能となっている。搬送手段３１は、ボンディングアーム３０をＸ、Ｙ、θ及びＺ方向に駆動させることができる。
【００３６】
また、このコレット２３は、その下端面に開口した吸着孔を介してチップ２１が真空吸引され、このコレット２３の下端面にチップ２１が吸着する。なお、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、コレット２３からチップ２１が外れる。
【００３７】
次に、このダイボンダを使用したダイボンディング方法を説明する。まず、供給部２２の上方に配置される確認用カメラ２６にてピックアップすべきチップ２１を観察して、コレット２３をこのピックアップすべきチップ２１の上方に位置させた後、このコレット２３を下降させてこのチップ２１をピックアップする。
【００３８】
また、ボンディング位置の上方に配置された確認用カメラ３２にて、ボンディングすべきリードフレーム２４のアイランド部２５を観察して、矢印Ａ１に示すように、このアイランド部２５上にコレット２３を移動させ、その後コレット２３を下降させてアイランド部２５にチップ２１を供給する。
【００３９】
このため、ピックアップ位置での確認用カメラ２６での観察の際、及びボンディング位置での確認用カメラ３２での観察の際において、観察部位を照明する照明装置が必要となる。この照明に本発明の照明システムを用いる。
【００４０】
照明システムは、図１に示すように、上位コントローラ４１と、電源ユニット４２と、電源ユニット４２に接続される複数個のＬＥＤ照明４３と、警告発生手段４４とを備える。
【００４１】
電源ユニット４２は、後述するデータを備えたテーブルが入力されるＣＰＵ（中央処理装置）４５と、複数の定電流駆動回路４６と、複数の電圧測定回路４７と、複数のＡＤＣ（アナログ-デジタル変換回路）４８とを備える。この場合、一つのＬＥＤ照明４３に対して、電流を印加するために定電流供給回路（定電流供給手段）５０が形成される。各定電流供給回路５０は、ＣＰＵ４５と、定電流駆動回路４６と、電圧測定回路４７と、ＡＤＣ４８等で構成される。なお、上位コントローラ４１と、電源ユニット４２のＣＰＵ４５とは通信ポート５１を介して接続されている。電源ユニット４２のＣＰＵ４５が最大電流値等のデータを備えた前記テーブルを設定する設定手段５５を構成する。
【００４２】
定電流供給回路５０は、ＣＰＵ４５からの指示で定電流駆動回路４６が所定の電流値をＬＥＤ照明４３に印加する。そして、この電流の印加による電圧を電圧測定回路４７で検知（測定）して、測定した電圧をＡＤＣ４８を介してＣＰＵ４５に入力する。ＣＰＵ４５では入力されているテーブルのデータを比較して、電流値が所定値に達するまで等において、印加する電流値を順次増加していくものである。また、このＣＰＵ４５は、後述するように、ＬＥＤ照明４３がそれに対応する装置（ダイボンダ等）に接続されているか否かを判断する判断手段５２も備える。
【００４３】
ところで、上位コントローラ４１と、ＣＰＵ４５とで、この照明システムを後述するフローチャート図に示すように制御する制御手段４０を構成することになる。すなわち、制御手段４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターである。また、この制御手段４０は記憶手段としての記憶装置を備える。記憶装置は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。
【００４４】
警告発生手段４４としては、判断手段５２にて判断された結果が否である場合に、警告を発生させるためのものである。警告としては、警告音を発生させるものであっても、警告ランプを点灯させるようなものであってもよい。また、警告音の発生と、警告ランプの点灯とを行うものであってもよい。
【００４５】
前記テーブルのデータとしては、例えば、次の表１に示すものである。この場合、ＬＥＤ照明４３を１ｃｈ、２ｃｈ、３ｃｈの３種類とした。そして、各ＬＥＤ照明４３に、判定電流値、判定最小電圧値、判定最大電圧値を設定した。また、各ＬＥＤ照明４３には最大電流値がある。
【００４６】
【表１】
次に前記のように構成された照明システムの使用方法を図３に示すフローチャート図等に基づいて説明する。まず、複数種の相違している装置（この場合、ダイボンダ）にＬＥＤ照明４３をそれぞれ接続する。そして、本照明システムの主電源を投入する。このように電源が投入されれば、上位コントローラ４１からダイボンダの機種を表す設定番号を電源ユニット４２側、つまりＣＰＵ４５が受信する。その機種で採用されているＬＥＤ照明４３の組み合わせに合わせて、最大電流値を各チャンネルにおいて設定する。すなわち、図３のステップＳ１のように、本照明システムをセットする。
【００４７】
次に、ステップＳ２へ移行して、ＬＥＤ照明４３に微小電流値の電流を印加する。その後は、ステップＳ３へ移行して、順次電流値を判定電流値に達するまで増加させる。この判定電流値に達するまでに、判定最大電圧値に達する場合がある。このため、ステップＳ４に示すように、判定最大電圧値を越えたか否かを判定する。なお、電流値の増加は連続状に増加させても、ステップ状に増加させてもよい。
【００４８】
ステップＳ４で判定最大電圧値を越えた場合（判定電流値に達する前に判定最大電圧値を越えた場合）、ステップＳ５のように不合格と判定する。すなわち、各装置にＮｏ，１〜Ｎｏ，３のチャンネルが付され、各チャンネルには、前記表１に示すように、判定電流値、判定最小電圧値、判定最大電圧値、及び最大電流値が設定されている。このため、例えば、チャンネル１のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が１５００ｍＡに達する前に、１０．０Ｖを越えた場合である。チャンネル２のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が４００ｍＡに達する前に、１２．５Ｖを越えた場合である。チャンネル３のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が３５０ｍＡに達する前に、４．０Ｖを越えた場合である。
【００４９】
ステップＳ５で不合格と判定されれば、ステップＳ６へ移行して警告を発することになる。このように警告が発生されれば、作業者は、警告が発生された装置（ダイボンダ）にセットされているＬＥＤ照明がこのダイボンダに対応したものではないと認識することができる。これによって、このような対応しないＬＥＤ照明４３をセットしたままダイボンディング作業を行うのを防止できる。
【００５０】
また、ステップＳ４で最大判定電圧値を越えていない場合、ステップＳ７へ移行して、判定電流値になったかを判定する。ステップＳ４で判定電流値になっていなかったら、ステップＳ３に戻る。すなわち、判定電流値になるまで電流値を増加させる。そして、判定電流値になれば、ステップＳ８に移行して、その際の電圧値が判定電圧値が否かを判定する。すなわち、表１の判定最小電圧値と判定最大電圧値との間の範囲に入っているかを判定し、この範囲に入っていれば、合格とする。この範囲に入っていなければ、ステップＳ５に移行して、不合格と判定する。
【００５１】
この実施形態の場合、チャンネル１では、判定電流値が１５００ｍＡであり、電圧値が、８．０Ｖから１０．０Ｖの範囲であれば合格である。チャンネル２では、判定電流値が４００ｍＡであり、電圧値が、１０．０Ｖから１２．５Ｖの範囲であれば合格である。チャンネル２では、判定電流値が３５０ｍＡであり、電圧値が、２．５Ｖから４．０Ｖの範囲であれば合格である。
【００５２】
このように合格と判定されれば、被照明装置（ダイボンダ）にセットされている各ＬＥＤ照明がこのダイボンダに対応したものである。このため、このＬＥＤ照明をセットしたまま、このダイボンダにてダイボンディング工程を行うことができる。
【００５３】
本発明の照明システムでは、設定手段５５にて、被照明装置（ダイボンダ）に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を自動的に設定することができるので、最大電流値の設定を手動で行う必要がなくなる。このため、作業者の手間を省くことができて、作業者の操作性の向上を図ることができる。
【００５４】
また、判断手段５２によって、実際に付設されているＬＥＤ照明４３が、機種に対応したものかを判断することができるので、複数のＬＥＤ照明４３に対してＬＥＤ照明４３の最大電流値を越えた電流値を各ＬＥＤ照明４３に印加させることがなく、また最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。このため、各機種に付設される各ＬＥＤ照明４３は安定した照明を行うことができ、各装置による作業（動作）が安定するとともに、ＬＥＤ照明４３の損傷を有効に防止できて、安心した使用が可能となる。しかも、本照明システムでは、大電流駆動が容易で効率がよい定電流駆動の利点を生かすことができる。
【００５５】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明４３に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができる。従って、そのＬＥＤ照明４３に対する過度の電流値が印加されず、しかも、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものとすることができる。また、判定電流値に達する前に電圧が判定最大電圧値を越えれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応しないものといえる。このため、判定値を設定して、ＬＥＤ照明４３に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができようにすれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものであるかの判断を高精度に行うことができ、しかも、ＬＥＤ照明４３に対する過度の電流値が印加されず、ＬＥＤ照明４３の損傷を有効に防止できる。
【００５６】
判断手段５２にて、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明４３に定電流供給手段５０から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うのが好ましい。これによって、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００５７】
警告発生手段４４を備えているので、警告発生手段４４の警告発生によって、オペレータが、付設されているＬＥＤ照明がその機種に対応しないことを確認でき、接続間違いのままでの各装置での作業を有効に防止できる。
【００５８】
この実施形態のように、電源ユニット４２に前記表１に示すようなテーブルが入力されるものであれば、ＣＰＵ４５の処理速度を速めることができる。このため、各装置（ダイボンダ）におけるＬＥＤ照明４３のセット速度を速めることができ、作業性の向上を図ることができる。
【００５９】
ところで、ＬＥＤ照明４３は、一般には図４に示すように、ＬＥＤ６０とこれに直列に接続される制限抵抗６１とからなる。この図４の回路に流れる電流ＩをΔＩだけ増加させて、電圧ＶがΔＶだけ増加したとした場合、制限抵抗６１の抵抗値ｒは、ｒ≒ΔＶ／ΔＩで求めることができる。
【００６０】
図５はＬＥＤ照明４３のＬＥＤ６０の電流・電圧特性の一例を示している。この場合の電流Ｉ（ｍＡ）と電圧Ｖｆ（Ｖ）は次の表２の値である。また、図６はＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の電流・電圧特性の一例を示している。この場合の電流Ｉ（ｍＡ）と電圧Ｖｒ（Ｖ）は次の表３の値である。
【００６１】
【表２】
【００６２】
【表３】
このため、図５に示す電流・電圧特性と、図６に示す電流・電圧特性との合成電圧は図７に示す特性となる。すなわち、次の表４に示すように、電圧Ｖ（Ｖ）は、表２の値と表３の値との合成値となる。
【００６３】
【表４】
図７に示すように、ＬＥＤ６０と制限抵抗６１との関係のグラフが求まれば、このグラフの傾きが制限抵抗６１の抵抗値とほぼ一致することになる。そこで、前記判断手段５２においては、前記したように、電圧値Ｖを監視しながら、電流値Ｉを微小な値から順次増加させて、電流値が判定電流値に達したときの電圧値Ｖにより、ＬＥＤ照明４３の接続か違いを検知することに加え、この制限抵抗６１の抵抗値を前記判断手段５２の判断基準に付加することができる。なお、ＬＥＤ照明４３によっては、制限抵抗６１を含まないものもあり、このような場合には、図７に示すグラフの傾きはほぼ０となる。
【００６４】
この場合、制限抵抗６１の抵抗値を前記判断手段５２の判断基準に付加ためには、ＬＥＤ照明４３に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗６１の抵抗値を求める演算手段６２を、図１の仮想線で示すように、設ける必要がある。
【００６５】
すなわち、制限抵抗６１は、ＬＥＤ照明４３の種類に応じて抵抗値が相違する。このため、電流値Ｉと電圧値Ｖのみの判断であれば、間違ったＬＥＤ照明４３を接続しているにも係らず、間違っていないＬＥＤ照明４３の電流値Ｉと電圧値Ｖとの関係を示す場合がある。そこで、判断要素にこの制限抵抗６１の抵抗値を加えることによって、接続されているＬＥＤ照明４３が間違っていないかの判断精度の向上を図ることができる。
【００６６】
制限抵抗６１の抵抗値を判断要素に加えた判断方法を図８を用いて説明する。この場合、図３のステップＳ８からスタートすることになる。ステップＳ１１で、制限抵抗６１の抵抗値を求める。すなわち、電流ＩをΔＩだけ増加させて、電圧ＶがΔＶだけ増加したとした場合において、制限抵抗６１の抵抗値ｒは、ｒ≒ΔＶ／ΔＩで求めることができる。なお、制限抵抗６１を含まないＬＥＤ照明４３の場合、ΔＶ≒０となる。このため、ｒ≒０として求められることになる。
【００６７】
この抵抗値ｒが、接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗であるか否かの判断がなされる（ステップＳ１２）。そして、接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗であれば、ステップＳ１３へ移行して合格（接続間違いしていない）と判断して終了する。また、ステップＳ１２で接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗でないと判断すれば、ステップＳ１４へ移行して不合格（接続間違いしている）と判断して、ステップＳ１５へ移行して警告を発して終了する。
【００６８】
ＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の抵抗値を判断手段５２の判断要素に付加するものであれば、接続間違いの検知率が向上する。すなわち、判断手段５２として、電流値と電圧値に加え、ＬＥＤ照明４３の種類に応じて相違する制限抵抗６１の抵抗値を判断要素に加えることによって、より精度の高い判断が可能となる。
【００６９】
この場合、ＬＥＤ照明４３において、電流Ｉを変化させても、ＬＥＤ６０の順方向電圧Ｖｆの変化は無視可能な程度に小さいという、一般的なＬＥＤに共通した特徴を利用したことになる。このため、市場に流通している市販のＬＥＤ照明に対して、改造等を付加することなく、制限抵抗６１の抵抗値ｒを測ることができる。しかも、この抵抗値ｒはＬＥＤ照明により異なるため、判断手段の判断精度の向上を図ることが可能となる。このため、装置として複雑化やコスト高を招くことがない。
【００７０】
本照明システムを画像認識用照明に用いれば、画像認識のための最適な照度でもって被画像認識物に対して照明することができ、高精度の画像認識が可能となる。また、本照明システムをダイボンダに用いれば、被照明装置に応じたＬＥＤ照明を接続でき、ダイボンディング工程を安定して行うこができ、高精度に半導体装置を製造することができる。
【００７１】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ＬＥＤ照明４３の数としては、前記実施形態では表１に示すように３個であったが、３個に限るものではなく、少なくとも１個あればよい。また、図５に示すＬＥＤ照明４３のＬＥＤ６０の電流・電圧特性や図６に示すＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の電流・電圧特性等は、図例のものに限るものではない。このため、図７に示すＬＥＤ６０と制限抵抗６１の合成電圧も図例のものに限らない。
【００７２】
警告発生手段４４としては、作業者が合格か不合格かを認識できればよいので、表示画面等に合否を表示するものであってもよい。この照明システムを利用する被照明装置としては、ダイボンダに限るものではなく、照明を必要とする各種の装置に使用でき、特に、種類が相違する複数のＬＥＤ照明を必要とする装置に最適となる。
【符号の説明】
【００７３】
４３ ＬＥＤ照明
４４ 警告発生手段
５０ 定電流供給回路（定電流供給手段）
５２ 判断手段
５５ 設定手段
６０ ＬＥＤ
６１ 制限抵抗
６２ 演算手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個のＬＥＤ照明を定電流供給手段（定電流電源）からの電流でもって点灯させる照明システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する場合、被実装部材としてのリードフレームに半導体チップ（ダイ）を実装するダイボンディングが行なわれる。このダイボンディングには、チップを吸着するコレットを備えたダイボンダが使用される。
【０００３】
このようなダイボンダは、図９に示すように、供給部２の半導体チップ１を吸着するコレット３を有するボンディングアーム（図示省略）と、供給部２の半導体チップ１を観察する確認用カメラ（図示省略）と、ボンディング位置でリードフレーム４のアイランド部５を観察する確認用カメラ（図示省略）とを備える。
【０００４】
供給部２は半導体ウエハを備え、半導体ウエハが多数の半導体チップ１に分割されている。また、コレット３を保持しているボンディングアームは搬送手段を介して、ピックアップ位置とボンディング位置との間の移動が可能となっている。
【０００５】
また、このコレット３は、その下端面に開口した吸着孔を介してチップ１が真空吸引され、このコレット３の下端面にチップ１が吸着する。なお、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、コレット３からチップ１が外れる。
【０００６】
次にこのダイボンダを使用したダイボンディング方法を説明する。まず、供給部２の上方に配置される確認用カメラにてピックアップすべきチップ１を観察して、コレット３をこのピックアップすべきチップ１の上方に位置させた後、矢印Ａのようにコレット３を下降させてこのチップ１をピックアップする。その後、矢印Ｂのようにコレット３を上昇させる。
【０００７】
次に、ボンディング位置の上方に配置された確認用カメラにて、ボンディングすべきリードフレーム４のアイランド部５を観察して、コレット３を矢印Ｃ方向へ移動させて、このアイランド部５の上方に位置させた後、コレット３を矢印Ｄのように下降移動させて、このアイランド部５にチップ１を供給する。また、アイランド部５にチップを供給した後は、コレット３を矢印Ｅのように上昇させた後、矢印Ｆのように、ピップアップ位置の上方の待機位置に戻す。
【０００８】
すなわち、コレット３を、順次、矢印Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆのように移動させることによって、ピックアップ確認用カメラの観察に基づいて位置決めされたチップ１をコレット３でピックアップし、このチップ１をアイランド部５に実装することになる。
【０００９】
このようなダイボンダにおいては、画像認識のために照明システムが用いられる（特許文献１）。また、照明システムには、近年では、通常の電球や蛍光灯に比べて、低消費電力、長寿命、発熱が少ないと優れた特性をもったＬＥＤ照明が用いられる。ＬＥＤ照明とは発光ダイオード（ＬＥＤ）を使用した照明器具である。
【００１０】
ところで、ダイボンダにおいては、前記したように、チップをピックアップ位置でピックアップするとともに、このピックアップしたチップをボンディング位置でボンディングするものであるので、ピックアップ位置のチップ位置確認及びボンディング位置でのチップ位置確認等を必要とする。このため、ピックアップ位置とボンディング位置とで、照明する照度等を相違させることがある。このような場合、各位置において、複数個のＬＥＤ照明を用いたり、各ＬＥＤ照明において種類を相違させたりすることになる。
【００１１】
また、ＬＥＤ照明を点灯する場合に電源に定電流電源を使用する場合がある。ＬＥＤ照明を点灯する場合、照明の最大電流値を把握できないと、照度のコントロールができない。このため、このように、複数のＬＥＤ照明を点灯する場合には、図１０に示すシステムや図１１に示すシステムが用いられていた。
【００１２】
図１０に示すシステムは、種類の異なるＬＥＤを用いる照明１１、照明１２、照明１３を備える。この場合、予め、異なる各照明１１、１２，１３の最大電流値を電源（定電流電源）１０側において設定しておいて使用するものである。
【００１３】
また、図１１に示すシステムは、専用に設定された照明１５、１６、１７を備えるものである。この場合、最大電流値をある値に定めて数種類のバリエーションの照明を設計する方法と、特許文献２に記載されているようにフィードバック制御する方法等がある。なお、従来には、ＬＥＤの異常を検出するＬＥＤ異常検出回路等がある（特許文献３）。この場合、ＬＥＤのオープンやショート等の故障を検出するためものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００１−３１３３０３号公報
【特許文献２】特許第４１８７５６５号公報
【特許文献３】特開２０１０−２８７６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１０に示す方法では、設定を間違えれば、ＬＥＤの最大電流値を越えた電流値の電流を印加して、このＬＥＤを損傷させる場合や、ＬＥＤに印加する電流値が小さすぎて、十分な照度を得られなかったりする。また、設定する場合、手動にてスイッチ（デジタルスイッチ）で行うものであり、操作性に劣ることになる。しかも、設定が間違っていてもその間違いを検知することができない。また、図１１ に示す方法では、専用に設定された照明１５、１６、１７に限るものであるので、使用できる照明として限られるものであり、高コスト化を招くことになる。なお、特許文献３では、ＬＥＤのオープンやショート等の故障を検出するためのものであって、ＬＥＤ自体の故障を検知するものであって、接続されているＬＥＤ照明が間違っているかの判断を行えるものではない。
【００１６】
本発明は、上記課題に鑑みて、ＬＥＤ照明を、定電流駆動でも操作性に優れ、しかも接続されているＬＥＤ照明を間違えたまま使用することなく安定して使用することができて、定電流駆動における大電流駆動が容易であって効率がよい等の利点を生かせることができる照明システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の照明システムは、ＬＥＤ照明を備えた照明システムであって、被照明装置に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を設定する設定手段と、設定手段にて設定された最大電流値の電流をＬＥＤ照明に印加するための定電流供給手段と、実際に付設されているＬＥＤ照明が、予め設定されたＬＥＤ照明の判定値に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する判断手段とを備えたものである。
【００１８】
本発明の照明システムによれば、設定手段にて、被照明装置に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を自動的に設定することができるので、最大電流値の設定を手動で行う必要がなくなる。また、判断手段によって、実際に付設されているＬＥＤ照明が、被照明装置（機種）に対応したものかを判断することができるので、ＬＥＤ照明に対してＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値をＬＥＤ照明に印加させることがない。しかも、最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。
【００１９】
前記判定値は判定電流値と判定最小電圧値と判定最大電圧値とであり、定電流供給手段のＬＥＤ照明に印加する電流を判定電流値よりも小さい微小電流値から順次増加していき、前記判断手段は、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものとすることができる。
【００２０】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができる。従って、そのＬＥＤ照明に対する過度の電流値が印加されず、しかも、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものとすることができる。また、判定電流値に達する前に電圧が判定最大電圧値を越えれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応しないものといえる。
【００２１】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うのが好ましい。これによって、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００２２】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものでないと判断した場合に、警告を発する警告発生手段を備えたものであってもよい。ここで、警告発生手段として、警告用ランプを点灯させたり、警告音を発生させたりすることができる。
【００２３】
ＬＥＤ照明は、ＬＥＤと制限抵抗、又はＬＥＤのみからなり、このＬＥＤ照明に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗の抵抗値を求める演算手段を備え、この抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加するのが好ましい。
【００２４】
画像認識用照明に用いることができ、ＬＥＤ照明が付設される装置がダイボンダとすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の照明システムでは、最大電流値の設定を手動で行う必要がなく、作業者の手間を省くことができて、作業者の操作性の向上を図ることができる。また、ＬＥＤ照明に対してＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値を印加させることがなく、また最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。このため、接続されているＬＥＤ照明を間違えたまま使用することなく被照明装置に付設されるＬＥＤ照明は安定した照明を行うことができ、この被照明装置による作業（動作）が安定するとともに、ＬＥＤ照明の損傷を有効に防止できて、安心した使用が可能となる。しかも、本照明システムでは、大電流駆動が容易で効率がよい定電流駆動の利点を生かすことができる。
【００２６】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができようにすれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応したものであるかの判断を高精度に行うことができ、しかも、ＬＥＤ照明に対する過度の電流値が印加されず、ＬＥＤ照明の損傷を有効に防止できる。
【００２７】
ＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うようにしたものでは、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００２８】
警告発生手段を備えたものであれば、警告発生手段の警告発生によって、オペレータが付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置（機種）に対応しないことを確認でき、接続間違いのままでの被照明装置での作業を有効に防止できる。
【００２９】
ＬＥＤ照明の制限抵抗の抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加するものであれば、接続間違いの検知率が向上する。すなわち、判断手段として、電流値と電圧値に加え、ＬＥＤ照明の種類に応じて相違する制限抵抗の抵抗値を判断要素に加えることによって、より精度の高い判断が可能となる。
【００３０】
本照明システムを画像認識用照明に用いれば、画像認識のための最適な照度でもって被画像認識物に対して照明することができ、高精度の画像認識が可能となる。また、本照明システムをダイボンダに用いれば、被照明装置に応じたＬＥＤ照明を接続でき、ダイボンディング工程を安定して行うことができ、高精度に半導体装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態を示す照明システムの簡略全体ブロック図である。
【図２】ダイボンダの斜視図である。
【図３】前記図１に示す照明システムの使用方法を示すフロチャート図である。
【図４】ＬＥＤ照明の回路図である。
【図５】ＬＥＤ照明のＬＥＤの電流・電圧特性を示すグラフ図である。
【図６】ＬＥＤ照明の制限抵抗の電流・電圧特性を示すグラフ図である。
【図７】ＬＥＤ照明のＬＥＤと抵抗の合成電圧を示すグラフ図である。
【図８】ＬＥＤ照明の制限抵抗を判断要素に用いた場合のフローチャート図である。
【図９】ダイボンディング工程を示す簡略図である。
【図１０】従来の照明システムの簡略ブロック図である。
【図１１】他の従来の照明システムの簡略ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下本発明の実施の形態を図１〜図８に基づいて説明する。
【００３３】
図１に本発明にかかる照明システムの簡略全体ブロック図を示し、この照明システムは、例えば、図２等に示す被照明装置であるダイボンダの画像確認用に用いられる。ダイボンダは、リードフレーム２４に半導体チップ（ダイ）２１を実装するダイボンディングを行うものである。
【００３４】
このようなダイボンダは、供給部２２の半導体チップ（ダイ）２１を吸着するコレット２３を有するボンディングアーム３０と、供給部２２の半導体チップ２１を観察する確認用カメラ２６と、ボンディング位置でリードフレーム２４のアイランド部２５を観察する確認用カメラ３２とを備える。
【００３５】
供給部２２は、ウエハ支持装置２７に載置支持された半導体ウエハ２８を備えるものである。半導体ウエハ２８は多数の半導体チップ２１に分割されている。また、コレット２３はコレットホルダ２９に連結され、このコレット２３とコレットホルダ２９等でボンディングアーム３０が構成される。そして、このボンディングアーム３０は搬送手段３１を介して、ピックアップ位置とボンディング位置との間の移動が可能となっている。搬送手段３１は、ボンディングアーム３０をＸ、Ｙ、θ及びＺ方向に駆動させることができる。
【００３６】
また、このコレット２３は、その下端面に開口した吸着孔を介してチップ２１が真空吸引され、このコレット２３の下端面にチップ２１が吸着する。なお、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、コレット２３からチップ２１が外れる。
【００３７】
次に、このダイボンダを使用したダイボンディング方法を説明する。まず、供給部２２の上方に配置される確認用カメラ２６にてピックアップすべきチップ２１を観察して、コレット２３をこのピックアップすべきチップ２１の上方に位置させた後、このコレット２３を下降させてこのチップ２１をピックアップする。
【００３８】
また、ボンディング位置の上方に配置された確認用カメラ３２にて、ボンディングすべきリードフレーム２４のアイランド部２５を観察して、矢印Ａ１に示すように、このアイランド部２５上にコレット２３を移動させ、その後コレット２３を下降させてアイランド部２５にチップ２１を供給する。
【００３９】
このため、ピックアップ位置での確認用カメラ２６での観察の際、及びボンディング位置での確認用カメラ３２での観察の際において、観察部位を照明する照明装置が必要となる。この照明に本発明の照明システムを用いる。
【００４０】
照明システムは、図１に示すように、上位コントローラ４１と、電源ユニット４２と、電源ユニット４２に接続される複数個のＬＥＤ照明４３と、警告発生手段４４とを備える。
【００４１】
電源ユニット４２は、後述するデータを備えたテーブルが入力されるＣＰＵ（中央処理装置）４５と、複数の定電流駆動回路４６と、複数の電圧測定回路４７と、複数のＡＤＣ（アナログ-デジタル変換回路）４８とを備える。この場合、一つのＬＥＤ照明４３に対して、電流を印加するために定電流供給回路（定電流供給手段）５０が形成される。各定電流供給回路５０は、ＣＰＵ４５と、定電流駆動回路４６と、電圧測定回路４７と、ＡＤＣ４８等で構成される。なお、上位コントローラ４１と、電源ユニット４２のＣＰＵ４５とは通信ポート５１を介して接続されている。電源ユニット４２のＣＰＵ４５が最大電流値等のデータを備えた前記テーブルを設定する設定手段５５を構成する。
【００４２】
定電流供給回路５０は、ＣＰＵ４５からの指示で定電流駆動回路４６が所定の電流値をＬＥＤ照明４３に印加する。そして、この電流の印加による電圧を電圧測定回路４７で検知（測定）して、測定した電圧をＡＤＣ４８を介してＣＰＵ４５に入力する。ＣＰＵ４５では入力されているテーブルのデータを比較して、電流値が所定値に達するまで等において、印加する電流値を順次増加していくものである。また、このＣＰＵ４５は、後述するように、ＬＥＤ照明４３がそれに対応する装置（ダイボンダ等）に接続されているか否かを判断する判断手段５２も備える。
【００４３】
ところで、上位コントローラ４１と、ＣＰＵ４５とで、この照明システムを後述するフローチャート図に示すように制御する制御手段４０を構成することになる。すなわち、制御手段４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターである。また、この制御手段４０は記憶手段としての記憶装置を備える。記憶装置は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。
【００４４】
警告発生手段４４としては、判断手段５２にて判断された結果が否である場合に、警告を発生させるためのものである。警告としては、警告音を発生させるものであっても、警告ランプを点灯させるようなものであってもよい。また、警告音の発生と、警告ランプの点灯とを行うものであってもよい。
【００４５】
前記テーブルのデータとしては、例えば、次の表１に示すものである。この場合、ＬＥＤ照明４３を１ｃｈ、２ｃｈ、３ｃｈの３種類とした。そして、各ＬＥＤ照明４３に、判定電流値、判定最小電圧値、判定最大電圧値を設定した。また、各ＬＥＤ照明４３には最大電流値がある。
【００４６】
【表１】
次に前記のように構成された照明システムの使用方法を図３に示すフローチャート図等に基づいて説明する。まず、複数種の相違している装置（この場合、ダイボンダ）にＬＥＤ照明４３をそれぞれ接続する。そして、本照明システムの主電源を投入する。このように電源が投入されれば、上位コントローラ４１からダイボンダの機種を表す設定番号を電源ユニット４２側、つまりＣＰＵ４５が受信する。その機種で採用されているＬＥＤ照明４３の組み合わせに合わせて、最大電流値を各チャンネルにおいて設定する。すなわち、図３のステップＳ１のように、本照明システムをセットする。
【００４７】
次に、ステップＳ２へ移行して、ＬＥＤ照明４３に微小電流値の電流を印加する。その後は、ステップＳ３へ移行して、順次電流値を判定電流値に達するまで増加させる。この判定電流値に達するまでに、判定最大電圧値に達する場合がある。このため、ステップＳ４に示すように、判定最大電圧値を越えたか否かを判定する。なお、電流値の増加は連続状に増加させても、ステップ状に増加させてもよい。
【００４８】
ステップＳ４で判定最大電圧値を越えた場合（判定電流値に達する前に判定最大電圧値を越えた場合）、ステップＳ５のように不合格と判定する。すなわち、各装置にＮｏ，１〜Ｎｏ，３のチャンネルが付され、各チャンネルには、前記表１に示すように、判定電流値、判定最小電圧値、判定最大電圧値、及び最大電流値が設定されている。このため、例えば、チャンネル１のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が１５００ｍＡに達する前に、１０．０Ｖを越えた場合である。チャンネル２のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が４００ｍＡに達する前に、１２．５Ｖを越えた場合である。チャンネル３のＬＥＤ照明４３が不合格と判定されるのは、電流値が３５０ｍＡに達する前に、４．０Ｖを越えた場合である。
【００４９】
ステップＳ５で不合格と判定されれば、ステップＳ６へ移行して警告を発することになる。このように警告が発生されれば、作業者は、警告が発生された装置（ダイボンダ）にセットされているＬＥＤ照明がこのダイボンダに対応したものではないと認識することができる。これによって、このような対応しないＬＥＤ照明４３をセットしたままダイボンディング作業を行うのを防止できる。
【００５０】
また、ステップＳ４で最大判定電圧値を越えていない場合、ステップＳ７へ移行して、判定電流値になったかを判定する。ステップＳ４で判定電流値になっていなかったら、ステップＳ３に戻る。すなわち、判定電流値になるまで電流値を増加させる。そして、判定電流値になれば、ステップＳ８に移行して、その際の電圧値が判定電圧値が否かを判定する。すなわち、表１の判定最小電圧値と判定最大電圧値との間の範囲に入っているかを判定し、この範囲に入っていれば、合格とする。この範囲に入っていなければ、ステップＳ５に移行して、不合格と判定する。
【００５１】
この実施形態の場合、チャンネル１では、判定電流値が１５００ｍＡであり、電圧値が、８．０Ｖから１０．０Ｖの範囲であれば合格である。チャンネル２では、判定電流値が４００ｍＡであり、電圧値が、１０．０Ｖから１２．５Ｖの範囲であれば合格である。チャンネル２では、判定電流値が３５０ｍＡであり、電圧値が、２．５Ｖから４．０Ｖの範囲であれば合格である。
【００５２】
このように合格と判定されれば、被照明装置（ダイボンダ）にセットされている各ＬＥＤ照明がこのダイボンダに対応したものである。このため、このＬＥＤ照明をセットしたまま、このダイボンダにてダイボンディング工程を行うことができる。
【００５３】
本発明の照明システムでは、設定手段５５にて、被照明装置（ダイボンダ）に付設されるＬＥＤ照明の最大電流値を自動的に設定することができるので、最大電流値の設定を手動で行う必要がなくなる。このため、作業者の手間を省くことができて、作業者の操作性の向上を図ることができる。
【００５４】
また、判断手段５２によって、実際に付設されているＬＥＤ照明４３が、機種に対応したものかを判断することができるので、複数のＬＥＤ照明４３に対してＬＥＤ照明４３の最大電流値を越えた電流値を各ＬＥＤ照明４３に印加させることがなく、また最大電流値よりも大きく下回った電流値でもって照明することも防止できる。このため、各機種に付設される各ＬＥＤ照明４３は安定した照明を行うことができ、各装置による作業（動作）が安定するとともに、ＬＥＤ照明４３の損傷を有効に防止できて、安心した使用が可能となる。しかも、本照明システムでは、大電流駆動が容易で効率がよい定電流駆動の利点を生かすことができる。
【００５５】
判定値を設定して、ＬＥＤ照明４３に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができる。従って、そのＬＥＤ照明４３に対する過度の電流値が印加されず、しかも、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものとすることができる。また、判定電流値に達する前に電圧が判定最大電圧値を越えれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応しないものといえる。このため、判定値を設定して、ＬＥＤ照明４３に印加する電流値を、微小電流値から順次増加していき、そのときの電圧値の変化をセンシングすることができようにすれば、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものであるかの判断を高精度に行うことができ、しかも、ＬＥＤ照明４３に対する過度の電流値が印加されず、ＬＥＤ照明４３の損傷を有効に防止できる。
【００５６】
判断手段５２にて、付設されているＬＥＤ照明４３がその機種に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明４３に定電流供給手段５０から印加される電流の最大値がその最大電流とする照明を行うのが好ましい。これによって、安定した照度を得ることができるとともに、そのＬＥＤ照明の最大電流値を越えた電流値が印加されることがない。
【００５７】
警告発生手段４４を備えているので、警告発生手段４４の警告発生によって、オペレータが、付設されているＬＥＤ照明がその機種に対応しないことを確認でき、接続間違いのままでの各装置での作業を有効に防止できる。
【００５８】
この実施形態のように、電源ユニット４２に前記表１に示すようなテーブルが入力されるものであれば、ＣＰＵ４５の処理速度を速めることができる。このため、各装置（ダイボンダ）におけるＬＥＤ照明４３のセット速度を速めることができ、作業性の向上を図ることができる。
【００５９】
ところで、ＬＥＤ照明４３は、一般には図４に示すように、ＬＥＤ６０とこれに直列に接続される制限抵抗６１とからなる。この図４の回路に流れる電流ＩをΔＩだけ増加させて、電圧ＶがΔＶだけ増加したとした場合、制限抵抗６１の抵抗値ｒは、ｒ≒ΔＶ／ΔＩで求めることができる。
【００６０】
図５はＬＥＤ照明４３のＬＥＤ６０の電流・電圧特性の一例を示している。この場合の電流Ｉ（ｍＡ）と電圧Ｖｆ（Ｖ）は次の表２の値である。また、図６はＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の電流・電圧特性の一例を示している。この場合の電流Ｉ（ｍＡ）と電圧Ｖｒ（Ｖ）は次の表３の値である。
【００６１】
【表２】
【００６２】
【表３】
このため、図５に示す電流・電圧特性と、図６に示す電流・電圧特性との合成電圧は図７に示す特性となる。すなわち、次の表４に示すように、電圧Ｖ（Ｖ）は、表２の値と表３の値との合成値となる。
【００６３】
【表４】
図７に示すように、ＬＥＤ６０と制限抵抗６１との関係のグラフが求まれば、このグラフの傾きが制限抵抗６１の抵抗値とほぼ一致することになる。そこで、前記判断手段５２においては、前記したように、電圧値Ｖを監視しながら、電流値Ｉを微小な値から順次増加させて、電流値が判定電流値に達したときの電圧値Ｖにより、ＬＥＤ照明４３の接続か違いを検知することに加え、この制限抵抗６１の抵抗値を前記判断手段５２の判断基準に付加することができる。なお、ＬＥＤ照明４３によっては、制限抵抗６１を含まないものもあり、このような場合には、図７に示すグラフの傾きはほぼ０となる。
【００６４】
この場合、制限抵抗６１の抵抗値を前記判断手段５２の判断基準に付加ためには、ＬＥＤ照明４３に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗６１の抵抗値を求める演算手段６２を、図１の仮想線で示すように、設ける必要がある。
【００６５】
すなわち、制限抵抗６１は、ＬＥＤ照明４３の種類に応じて抵抗値が相違する。このため、電流値Ｉと電圧値Ｖのみの判断であれば、間違ったＬＥＤ照明４３を接続しているにも係らず、間違っていないＬＥＤ照明４３の電流値Ｉと電圧値Ｖとの関係を示す場合がある。そこで、判断要素にこの制限抵抗６１の抵抗値を加えることによって、接続されているＬＥＤ照明４３が間違っていないかの判断精度の向上を図ることができる。
【００６６】
制限抵抗６１の抵抗値を判断要素に加えた判断方法を図８を用いて説明する。この場合、図３のステップＳ８からスタートすることになる。ステップＳ１１で、制限抵抗６１の抵抗値を求める。すなわち、電流ＩをΔＩだけ増加させて、電圧ＶがΔＶだけ増加したとした場合において、制限抵抗６１の抵抗値ｒは、ｒ≒ΔＶ／ΔＩで求めることができる。なお、制限抵抗６１を含まないＬＥＤ照明４３の場合、ΔＶ≒０となる。このため、ｒ≒０として求められることになる。
【００６７】
この抵抗値ｒが、接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗であるか否かの判断がなされる（ステップＳ１２）。そして、接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗であれば、ステップＳ１３へ移行して合格（接続間違いしていない）と判断して終了する。また、ステップＳ１２で接続されるべきＬＥＤ照明４３の制限抵抗でないと判断すれば、ステップＳ１４へ移行して不合格（接続間違いしている）と判断して、ステップＳ１５へ移行して警告を発して終了する。
【００６８】
ＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の抵抗値を判断手段５２の判断要素に付加するものであれば、接続間違いの検知率が向上する。すなわち、判断手段５２として、電流値と電圧値に加え、ＬＥＤ照明４３の種類に応じて相違する制限抵抗６１の抵抗値を判断要素に加えることによって、より精度の高い判断が可能となる。
【００６９】
この場合、ＬＥＤ照明４３において、電流Ｉを変化させても、ＬＥＤ６０の順方向電圧Ｖｆの変化は無視可能な程度に小さいという、一般的なＬＥＤに共通した特徴を利用したことになる。このため、市場に流通している市販のＬＥＤ照明に対して、改造等を付加することなく、制限抵抗６１の抵抗値ｒを測ることができる。しかも、この抵抗値ｒはＬＥＤ照明により異なるため、判断手段の判断精度の向上を図ることが可能となる。このため、装置として複雑化やコスト高を招くことがない。
【００７０】
本照明システムを画像認識用照明に用いれば、画像認識のための最適な照度でもって被画像認識物に対して照明することができ、高精度の画像認識が可能となる。また、本照明システムをダイボンダに用いれば、被照明装置に応じたＬＥＤ照明を接続でき、ダイボンディング工程を安定して行うこができ、高精度に半導体装置を製造することができる。
【００７１】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ＬＥＤ照明４３の数としては、前記実施形態では表１に示すように３個であったが、３個に限るものではなく、少なくとも１個あればよい。また、図５に示すＬＥＤ照明４３のＬＥＤ６０の電流・電圧特性や図６に示すＬＥＤ照明４３の制限抵抗６１の電流・電圧特性等は、図例のものに限るものではない。このため、図７に示すＬＥＤ６０と制限抵抗６１の合成電圧も図例のものに限らない。
【００７２】
警告発生手段４４としては、作業者が合格か不合格かを認識できればよいので、表示画面等に合否を表示するものであってもよい。この照明システムを利用する被照明装置としては、ダイボンダに限るものではなく、照明を必要とする各種の装置に使用でき、特に、種類が相違する複数のＬＥＤ照明を必要とする装置に最適となる。
【符号の説明】
【００７３】
４３ ＬＥＤ照明
４４ 警告発生手段
５０ 定電流供給回路（定電流供給手段）
５２ 判断手段
５５ 設定手段
６０ ＬＥＤ
６１ 制限抵抗
６２ 演算手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤ照明を備えた照明システムであって、
被照明装置に付設される前記ＬＥＤ照明の最大電流値を設定する設定手段と、
設定手段にて設定された最大電流値の電流をＬＥＤ照明に印加するための定電流供給手段と、
実際に付設されているＬＥＤ照明が、予め設定されたＬＥＤ照明の判定値に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する判断手段とを備えたことを特徴とする照明システム。
【請求項２】
前記判定値は判定電流値と判定最小電圧値と判定最大電圧値とであり、定電流供給手段のＬＥＤ照明に印加する電流を判定電流値よりも小さい微小電流値から順次増加していき、前記判断手段は、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置機種に対応したものとすることを特徴とする請求項１に記載の照明システム。
【請求項３】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流値とする照明を行うことを特徴とする請求項２に記載の照明システム。
【請求項４】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置に対応したものでないと判断した場合に、警告を発する警告発生手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の照明システム。
【請求項５】
ＬＥＤ照明は、ＬＥＤと制限抵抗、又はＬＥＤのみからなり、このＬＥＤ照明に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗の抵抗値を求める演算手段を備え、この抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加したことを特徴とする請求項１〜請求項４に記載の照明システム。
【請求項６】
画像認識用照明に用いることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載する照明システム。
【請求項７】
ＬＥＤ照明が付設される装置がダイボンダであることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載する照明システム。
【請求項１】
ＬＥＤ照明を備えた照明システムであって、
被照明装置に付設される前記ＬＥＤ照明の最大電流値を設定する設定手段と、
設定手段にて設定された最大電流値の電流をＬＥＤ照明に印加するための定電流供給手段と、
実際に付設されているＬＥＤ照明が、予め設定されたＬＥＤ照明の判定値に基づいて、その被照明装置に対応したものかを判断する判断手段とを備えたことを特徴とする照明システム。
【請求項２】
前記判定値は判定電流値と判定最小電圧値と判定最大電圧値とであり、定電流供給手段のＬＥＤ照明に印加する電流を判定電流値よりも小さい微小電流値から順次増加していき、前記判断手段は、判定電流値に達したときの電圧値が判定最小電圧値と判定最大電圧値との範囲内にあれば、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置機種に対応したものとすることを特徴とする請求項１に記載の照明システム。
【請求項３】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置に対応したものと判断された場合に、そのＬＥＤ照明に定電流供給手段から印加される電流の最大値がその最大電流値とする照明を行うことを特徴とする請求項２に記載の照明システム。
【請求項４】
判断手段にて、付設されているＬＥＤ照明がその被照明装置に対応したものでないと判断した場合に、警告を発する警告発生手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の照明システム。
【請求項５】
ＬＥＤ照明は、ＬＥＤと制限抵抗、又はＬＥＤのみからなり、このＬＥＤ照明に流れる電流値と、この電流値での電圧値とで、この制限抵抗の抵抗値を求める演算手段を備え、この抵抗値を前記判断手段の判断要素に付加したことを特徴とする請求項１〜請求項４に記載の照明システム。
【請求項６】
画像認識用照明に用いることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載する照明システム。
【請求項７】
ＬＥＤ照明が付設される装置がダイボンダであることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載する照明システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−５１１９７（Ｐ２０１３−５１１９７Ａ）
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１５９４９４（Ｐ２０１２−１５９４９４）
【出願日】平成２４年７月１８日（２０１２．７．１８）
【出願人】（０００１１０８５９）キヤノンマシナリー株式会社 (179)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年７月１８日（２０１２．７．１８）
【出願人】（０００１１０８５９）キヤノンマシナリー株式会社 (179)
【Ｆターム（参考）】
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