生産管理方法及び生産管理システム
【課題】電子デバイスの製造に関し、設備停止に対して在庫分布の偏りを発生させ難く、納期遵守率の高い生産ラインを構築する。
【解決手段】生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から、進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する。もしくは納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から、補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する。
【解決手段】生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から、進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する。もしくは納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から、補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの製造工程管理に適用される生産管理方法及び生産管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置などの電子デバイスを製造する生産ラインでは、同じ設備や工程を用いて製造工程フローの異なる複数の品種の製品が混在した状態で製造されている。また、その製造工程フローの工程数は数〜数百までさまざまであり、その工程数や製品の市場要求度に応じて各製品毎に異なる計画リードタイムが設定されている。このように複雑化した生産ラインではロットの納期管理が非常に困難となる。
【０００３】
その問題の解決手段の１つとして、製品処理の進行計画と進行実績との差異を計算して計画に対する遅れ時間の大きなロットから優先して処理を実施することで遅れを取り戻し完成予定日を納期期日に近付けるという納期管理手法がある。
【０００４】
しかしながら、前記方法は、製造工程数や計画リードタイムの異なる製造工程フローが混在する生産ラインでは、製造工程数の多少や計画リードタイムの長短に関わらず進行計画からの遅れ時間の絶対値に基づいて処理優先順位を決定するため、比較的に計画との差異が生じ易い工程数の大きな製品のロットを優先的に処理を実施して、工程数の小さな製品のロットを後回しになり、全ての製品の完成予定日を納期期日に近付けることができないという課題がある。
【０００５】
前記課題を解決するために、特許文献１では、現時点から完成予定日までの残り期日に対する進行計画と進行実績との差異の比率をロット毎に算出して、それに基づいてロットの処理優先順番を決定する手法が記載されている。
【特許文献１】特開２０００−２３７９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
製造ラインの製造完了したロットのうち納期期日を満たしたロットの割合を納期遵守率という。この納期遵守率を向上させる施策としては、リードタイムの短縮と、リードタイムばらつきの削減との２つの施策があり、全ての納期管理手法，システムは、このいずれか、あるいは両方を改善することで納期遵守率を向上させるために機能している。この考え方の概念を図６に示す。
【０００７】
目標生産数量を満たす十分な生産能力を有する生産ラインにおいて、リードタイムが長期化する最大の要因は設備故障などの計画外停止である。ある設備で計画外停止が発生すると、その設備へのロットの流入量と設備からの払い出し量のバランスが崩れるために、滞留ロットが発生する。この滞留ロットの数が多ければ多いほど、リードタイムは長期化する。
【０００８】
同様にリードタイムばらつきが発生する要因も、計画外の設備停止に起因する滞留ロットであり、設備停止により停滞したロットと停滞しなかったロットの間でリードタイムばらつきが発生する。リードタイムばらつきは、滞留したロットが当該設備から無くなるまでの所要時間Ｈ［ｈｒ］が長いほど大きくなる。滞留ロットは設備停止から復旧した瞬間から設備能力に応じた速度で減少してゆく。
【０００９】
滞留したロットが当該設備から無くなるまでの所要時間Ｈ［ｈｒ］は、設備のスループットＴｈ［ロット／ｈｒ］、当該設備へのロットの流入速度ｍ［ロット／ｈｒ］、設備の停止期間ＴＤＯＷＮ［ｈｒ］より、Ｈ＝（ｍ×ＴＤＯＷＮ）／（Ｔｈ−ｍ）の式により表される。ここで分母となるＴｈ−ｍはこの設備の余剰能力を示す。余剰能力が小さければ小さいほど所要時間Ｈは長期化する。
【００１０】
半導体製造装置の価格は他業種の製造装置よりも非常に高価であり、そのため設備の余剰能力はコスト削減の目的で、できる限り持たないことが一般的である。
【００１１】
以上のことから所要時間Ｈを短縮させるためには、１）設備へのロットの流入速度ｍを減少させる、２）設備停止時間ＴＤＯＷＮを短縮する、３）設備スループットＴｈを向上させる、の施策が有効であることがわかる。
【００１２】
しかしながら、前記１）は生産ラインへの要求生産量により決定されるため変更することはできない、前記２），３）は設備の仕様、処理能力、運用などに起因する値であるため生産ライン管理手法の改善では、変更させることができない。そのため生産ライン管理の改善によりリードタイムばらつきを抑制する手段としては、設備へのロットの流入速度ｍのばらつきを抑制することが最も効果的である。
【００１３】
生産ラインの生産数量が一定である場合、例えば１ヶ月などの長周期で見ると流入速度ｍの平均値は一定となる。しかしながら、それより短い例えば１日以下の周期で見ると、流入速度ｍの値は変動してばらつく。ｍが一定ではないと設備停止によるリードタイムばらつきが大きくなる。設備停止以外で、前記流入速度ｍを変動させる要因としては、ロットの処理優先の偏りがある。そのため納期遵守率の高い生産ラインの構築には、ロットの処理優先の偏りを最小限にしながらも製品ロットの完成を納期期日に合わせる生産管理手法が必要となる。
【００１４】
特許文献１に記載の生産管理手法では、製造工程フローが進捗するにつれてリードタイムを納期日に収束させるため、製造工程フローの後半のロットほど処理を優先するロジックとなっており、設備へのロットの流入速度ｍの値がばらつく。そのために処理が遅れる製造工程フローの前半に在庫ロットが集中して、在庫分布に偏りが生じるという課題がある。これにより、納期期日までに完成できないロットが発生して、納期遵守率が低下する。また、特定設備にて多数のロットが滞留している間、他設備に行くロットが減少するため、他設備に稼働ロスが発生する。
【００１５】
このように在庫分布に偏りがあると、計画外の設備停止に対して脆弱な生産ラインとなるため、納期遵守率の高い生産ラインを構築するためには、在庫分布が均一であることが必須となる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の発明の特徴は、複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおいて、生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算することを特徴とする生産管理方法である。
【００１７】
請求項２に記載の発明の特徴は、納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを計算して、各ロットの補正乖離率α’に基づいてロットの処理優先準を決定することを特徴とする請求項１記載の生産管理方法である。
【００１８】
請求項３に記載の発明の特徴は、全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出して、ＸＦＡＣを各工程の加工時間に掛けあわせることで各工程の計画リードタイムを作成、この各工程の計画リードタイムを累積することで進行計画を作成することを特徴とする請求項１、２記載の生産管理方法である。
【００１９】
請求項４に記載の発明の特徴は、複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおいて、各ロット、各工程及び各設備の処理履歴をリアルタイムで収集する処理実績収集部、実績の処理履歴を保持する処理実績データベース部、実績の処理履歴に基づいて各工程の標準作業時間を決定する標準作業時間算出部、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部、処理実績データベース部の処理履歴、標準時間算出部により算出される各工程の標準時間及び納期設定部により各ロット毎に設定される納期期日に基づいて各ロット毎に進行計画を立案する進行計画立案部、処理実績データベースに蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績計算部、進行計画立案部及び進行実績計算部により算出された進行計画Ｔ（ｎ）及び進行実績Ｔｒ（ｎ）より各ロット毎に乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を算出する乖離率算出部、乖離率算出部により算出された乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する処理優先順位算出部、処理優先順位算出部の指示に従って生産ラインの全ロットに配膳の指示を実施するディスパッチング部、を有することを特徴とする生産管理システムである。
【００２０】
請求項５に記載の発明の特徴は、請求項４記載の生産管理システムに加え、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、納期設定部により設定された納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴと、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを算出する機能を持つ乖離率算出部を有することを特徴とする生産管理システムである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、電子デバイスの製造に関して、設備停止に対して頑健な生産ラインを構築することが可能であり、それにより製品を納期期日以内に完成させることができるため、納期遵守率の高い生産管理システムを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態として生産管理システムにおける生産管理に関して、以下に図面を参照して説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は本発明の生産管理システムの第１の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。
【００２４】
図１に示すように、工程１から工程ｘまで含む生産ライン１０から各設備毎の処理ロット，処理条件，在庫ロット，処理開始終了日時及び稼働状況などの生産ラインデータを常時収集する処理実績収集部１と、処理実績収集部１から得られた生産ラインデータを蓄積する実績処理データベース部２と、実績処理データベース部２に蓄積された生産ラインデータに基づいて各工程毎に標準作業時間及び標準加工時間を算出する標準作業時間算出部３と、標準作業時間算出部３により算出された標準作業時間から、各工程の標準作業時間を各製品の製造工程フローに合わせて組み合わせた上で納期期日を考慮して進行計画Ｔ（ｘ）をロット毎に立案する進行計画立案部４と、進行計画立案部４により各ロット毎に立案された進行計画Ｔ（ｎ）と、処理実績データベース２に蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績算出部６と、進行実績算出部６により算出された進行実績Ｔｒ（ｎ）と進行計画Ｔ（ｎ）とから、乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に算出する乖離率算出部７と、乖離率算出部７により算出された乖離率αに基づいて各ロット毎に処理優先度を計算する処理優先順位算出部８と、処理優先順位算出部８により計算された処理優先順位に基づいて生産ラインに対してロットの配膳を指示するディスパッチング部９とを備えている。
【００２５】
標準作業時間算出部３は、処理実績データベース部２から過去一定期間内に同一条件で処理が実施された同一工程のリードタイムデータからの平均リードタイムを全工程において算出する。進行計画立案部４は、標準作業時間算出部３の各工程の平均リードタイムを各製造工程フローに合わせて累積してロット進行計画Ｔ（ｘ）を作成する。
【００２６】
例えば、工程ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅの平均リードタイムをＴａ，Ｔｂ，Ｔｃ，Ｔｄ，Ｔｅとして、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅの順番で工程を処理する工程数ｘ＝５の製造工程フローＡがある場合、ロットの計画リードタイムＴ（ｘ）は工程数ｘ＝５であることから、Ｔ（５）＝ Ｔａ＋Ｔｂ＋Ｔｃ＋Ｔｄ＋Ｔｅとなり、工程数＝ｘの場合の計画リードタイムはＴ（ｘ）となる。また、生産開始から３工程まで処理を進めた時点での計画処理完了時刻Ｔ（ｎ）は、ｎ＝３であることから生産開始時点を基準とすると、Ｔ（３）＝Ｔａ＋Ｔｂ＋Ｔｃとなり、工程数＝ｎまで進めた場合の計画処理完了時刻はＴ（ｎ）となる。
【００２７】
進行実績計算部６は、実績処理データベース２の当該ロットの当該工程の実績リードタイムを累積して、ロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｘ）を作成する。工程ｎまで処理が完了しているロットの工程ｎの実績処理完了時刻はＴｒ（ｎ）で表される。
【００２８】
乖離率算出部７は、進行計画立案部４からのロットの進行計画Ｔ（ｎ）と進行実績計算部６からの進行実績Ｔｒ（ｎ）に基づいて、乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に算出する。この乖離率αの算出は、リアルタイムの情報に基づいて周期的に実施され、特に電子デバイスの生産ラインにおいては、１〜６０分程度の周期で実施されることが好適である。
【００２９】
このように算出された乖離率αは、計画に対する実績の進捗度合いを示す。乖離率α＞１のロットは進行計画に対して遅延しており、α＝１のロットは計画どおりの進行をしており、α＜１のロットは進行計画に対して先行している。
【００３０】
処理優先順位計算部８は、実績処理データベース部２からの各工程、各設備毎の仕掛り在庫ロットのリアルタイム情報と、乖離率算出部７により各ロット毎に算出された乖離率αから、各工程，各設備毎に乖離率αの大きなロットから優先的に処理を実施できるように処理優先順位を決定する。
【００３１】
次に、本実施の形態に係る生産管理手法をシミュレーションにより効果検証を実施した結果について説明する。
【００３２】
シミュレーション条件として、２つの異なる製品を製造する生産工程フローＣ１，Ｃ２からなり、それぞれの工程数は２００以上であり、且つ１００以上の工程数の差異があり、それぞれの製品の生産数量比率は２：１であり、実績に則した設備停止設定を伴う１００機種以上の生産設備が紐付いており、特に、そのうちのボトルネック設備，生産ライン中、最も余剰能力を有していない設備は、工程数＝６であり、計画生産数量に対して余剰能力を５％以下しか有していない生産ラインモデルを想定する。
【００３３】
このモデルにて３６０日間シミュレーションを実施して、開始から１８０日間のデータを初期状態として集計から削除して、後半１８０日間を観測期間とした。
【００３４】
この条件にて、請求項１記載の生産管理方法、及び特許文献１記載の生産管理方法の２つの生産管理方法にてシミュレーションを実施した。
【００３５】
図２に前記両生産管理手法により処理を完了した生産工程フローＣ１のロットの進捗実績Ｔｒ（ｎ）の平均を図示する。図中にて横軸は進行工程フロー、縦軸はリードタイムを示し、Ａは請求項１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＡ（ｎ）であり、Ｂは特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＢ（ｎ）であり、ｎ１，ｎ２，ｎ３，ｎ４，ｎ５，ｎ６はボトルネック設備に紐付く工程であり、ＬＴは納期リードタイムＬＴを表す。
【００３６】
図２によれば、特許文献１記載の生産管理方法は、完成に近いロットほど優先的に処理を実施することから工程数＝６を持つボトルネック設備において、最も完成から遠い工程ｎ１に滞留が集中していることが分かる。一方、請求項１記載の生産管理方法では６つの工程に均等に滞留が分散していることから、請求項１記載の生産管理方法の方が在庫分布の均一性に優れていることがわかる。特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＢ（ｘ）は、請求項１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＡ（ｘ）よりも６．０％短い。このことは、特許文献１の生産管理方法が完成に近いロットほど優先的に処理を実施することにより、全生産ラインの総在庫量が請求項１記載の生産管理方法に比べ少なくなることによる。
【００３７】
図３に前記両生産管理手法により処理を完了した生産工程フローＣ１のロットの実績リードタイムＴｒ（ｘ）の分布を示す。図中にて横軸はリードタイムＴｒ（ｘ）、縦軸は製品完成の発生頻度を示し、Ａは請求項１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＡ（ｘ）であり、Ｂは特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＢ（ｘ）である。
【００３８】
図３によれば、特許文献１記載の生産管理方法により得られた実績リードタイム分布は、請求項１記載の生産管理方法により得られた実績リードタイム分布よりも広い分布を有することが分かる。このことは、特許文献１記載の生産管理方法が在庫分布の偏りを生じやすく、そのために計画外の設備停止に対してリードタイムがばらつき易い生産ラインであることによる。それぞれの生産管理方法における納期遵守率は、請求項１記載の生産管理方法では９９％以上なのに対し、特許文献１記載の生産管理方法では平均実績リードタイムがＴｒＢ（ｘ）＜ＴｒＡ（ｘ）であるにも係らず９６．８％であることから、請求項１記載の生産管理方法の方が納期遵守率の向上に適していることが分かる。
【００３９】
以上のことから、両生産管理手法にはそれぞれ特徴があることが分かる。特許文献１の生産管理方法は、設備の理論上、計画外停止のない環境ではリードタイム短縮、ばらつきの抑制の両方の効果により納期遵守率を改善することができる。一方、請求項１記載の生産管理方法では、設備の計画外停止の多発する環境でリードタイムばらつきを抑制する効果により納期遵守率を改善する。そのため対象の生産ラインが安定している場合には特許文献１の生産管理方法が有利となるが、不安定な生産ラインでは請求項１記載の生産管理方法が有利となる。
【００４０】
製品である電子デバイスは、近年ますます技術的に高度となり、設備に要求するプロセススペックも厳しくなっていくことから、従来なら設備異常として見做さない、例えば設備の処理室０．１℃程度の極めて微少なプロセス条件の揺らぎでも、現在では設備異常と判断して設備を計画外停止させているため、計画外停止が従来よりも高い頻度で発生する。従来の要求するプロセススペックが緩く、そのために安定した生産ラインでは特許文献１記載の生産管理方法が有効であったため、請求項１記載の生産管理方法は不要であった。しかしながら、前記のような理由により近年の生産ラインは不安定化しており、従来では通用した特許文献１の生産管理方法よりも、請求項１記載の生産管理方法の方が優れている。
【００４１】
（第２の実施形態）
図４は本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。前記第１の実施形態に対して、納期設定部５を備えている点が異なる。
【００４２】
納期設定部５は、各ロット毎に計画投入日時と市場の製品要求度に応じて納期期日を設定する。この納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分を納期リードタイムＬＴとして、標準作業時間から算出される計画リードタイムＴ（ｘ）と区別する。
【００４３】
進行計画立案部４は、前記納期リードタイムＬＴ，計画リードタイムＴ（ｘ）、及び生産工程フローの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）に基づいて補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを各ロット毎に算出する。処理優先順位算出部８は、実績処理データベース部２からの各工程，各設備毎の仕掛り在庫ロットのリアルタイム情報と、乖離率算出部７により各ロット毎に算出された乖離率α’から、各工程，各設備毎に乖離率α’の大きなロットから優先的に処理を実施できるように処理優先順位を決定する。
【００４４】
通常、納期期日は納期リードタイムＬＴがＬＴ＝Ｔ（ｘ）となるように設定するか、または一定の安全係数Ｓ≧１を掛けてＬＴ＝Ｓ・Ｔ（ｘ）となるように設定する。市場の製品要求度の高い製品のロットに関しては、同一生産工程フローを持つロットであっても、他のロットよりもより早い納期期日を要求されるため、補正乖離率α’が大きくなり、その結果優先的に処理が実施される。
【００４５】
（第３の実施形態）
図５は本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。前記第２の実施形態に対して、ロット進行係数設定部１１を備えている点が異なる。
【００４６】
ロット進行係数設定部１１は、ロット毎に生産工程フローの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出する。生産計画立案部４は、各工程の加工時間に、前記ロット進行係数ＸＦＡＣ、及び一定の係数Ｓ’≧０を掛けて各工程の工程リードタイムを算出し、この工程リードタイムを生産工程フローに合わせて累積することで進行計画を作成する。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、生産管理方法及び生産管理システムは、電子デバイスの製造工程管理に実施して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の生産管理システムの第１の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図２】本実施の形態の生産管理方法によるシミュレーションにより得られた平均進行実績を示す図
【図３】本実施の形態の生産管理方法によるシミュレーションにより得られたリードタイムばらつきを示す分布図
【図４】本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図５】本発明の生産管理システムの第３の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図６】本発明の解決する課題を説明するための図
【符号の説明】
【００４９】
１ 処理実績収集部
２ 実績処理データベース部
３ 標準作業時間算出部
４ 進行計画立案部
５ 納期設定部
６ 進行実績算出部
７ 乖離率算出部
８ 処理優先順位算出部
９ ディスパッチング部
１０ 生産ライン
１１ ロット進行係数設定部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの製造工程管理に適用される生産管理方法及び生産管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置などの電子デバイスを製造する生産ラインでは、同じ設備や工程を用いて製造工程フローの異なる複数の品種の製品が混在した状態で製造されている。また、その製造工程フローの工程数は数〜数百までさまざまであり、その工程数や製品の市場要求度に応じて各製品毎に異なる計画リードタイムが設定されている。このように複雑化した生産ラインではロットの納期管理が非常に困難となる。
【０００３】
その問題の解決手段の１つとして、製品処理の進行計画と進行実績との差異を計算して計画に対する遅れ時間の大きなロットから優先して処理を実施することで遅れを取り戻し完成予定日を納期期日に近付けるという納期管理手法がある。
【０００４】
しかしながら、前記方法は、製造工程数や計画リードタイムの異なる製造工程フローが混在する生産ラインでは、製造工程数の多少や計画リードタイムの長短に関わらず進行計画からの遅れ時間の絶対値に基づいて処理優先順位を決定するため、比較的に計画との差異が生じ易い工程数の大きな製品のロットを優先的に処理を実施して、工程数の小さな製品のロットを後回しになり、全ての製品の完成予定日を納期期日に近付けることができないという課題がある。
【０００５】
前記課題を解決するために、特許文献１では、現時点から完成予定日までの残り期日に対する進行計画と進行実績との差異の比率をロット毎に算出して、それに基づいてロットの処理優先順番を決定する手法が記載されている。
【特許文献１】特開２０００−２３７９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
製造ラインの製造完了したロットのうち納期期日を満たしたロットの割合を納期遵守率という。この納期遵守率を向上させる施策としては、リードタイムの短縮と、リードタイムばらつきの削減との２つの施策があり、全ての納期管理手法，システムは、このいずれか、あるいは両方を改善することで納期遵守率を向上させるために機能している。この考え方の概念を図６に示す。
【０００７】
目標生産数量を満たす十分な生産能力を有する生産ラインにおいて、リードタイムが長期化する最大の要因は設備故障などの計画外停止である。ある設備で計画外停止が発生すると、その設備へのロットの流入量と設備からの払い出し量のバランスが崩れるために、滞留ロットが発生する。この滞留ロットの数が多ければ多いほど、リードタイムは長期化する。
【０００８】
同様にリードタイムばらつきが発生する要因も、計画外の設備停止に起因する滞留ロットであり、設備停止により停滞したロットと停滞しなかったロットの間でリードタイムばらつきが発生する。リードタイムばらつきは、滞留したロットが当該設備から無くなるまでの所要時間Ｈ［ｈｒ］が長いほど大きくなる。滞留ロットは設備停止から復旧した瞬間から設備能力に応じた速度で減少してゆく。
【０００９】
滞留したロットが当該設備から無くなるまでの所要時間Ｈ［ｈｒ］は、設備のスループットＴｈ［ロット／ｈｒ］、当該設備へのロットの流入速度ｍ［ロット／ｈｒ］、設備の停止期間ＴＤＯＷＮ［ｈｒ］より、Ｈ＝（ｍ×ＴＤＯＷＮ）／（Ｔｈ−ｍ）の式により表される。ここで分母となるＴｈ−ｍはこの設備の余剰能力を示す。余剰能力が小さければ小さいほど所要時間Ｈは長期化する。
【００１０】
半導体製造装置の価格は他業種の製造装置よりも非常に高価であり、そのため設備の余剰能力はコスト削減の目的で、できる限り持たないことが一般的である。
【００１１】
以上のことから所要時間Ｈを短縮させるためには、１）設備へのロットの流入速度ｍを減少させる、２）設備停止時間ＴＤＯＷＮを短縮する、３）設備スループットＴｈを向上させる、の施策が有効であることがわかる。
【００１２】
しかしながら、前記１）は生産ラインへの要求生産量により決定されるため変更することはできない、前記２），３）は設備の仕様、処理能力、運用などに起因する値であるため生産ライン管理手法の改善では、変更させることができない。そのため生産ライン管理の改善によりリードタイムばらつきを抑制する手段としては、設備へのロットの流入速度ｍのばらつきを抑制することが最も効果的である。
【００１３】
生産ラインの生産数量が一定である場合、例えば１ヶ月などの長周期で見ると流入速度ｍの平均値は一定となる。しかしながら、それより短い例えば１日以下の周期で見ると、流入速度ｍの値は変動してばらつく。ｍが一定ではないと設備停止によるリードタイムばらつきが大きくなる。設備停止以外で、前記流入速度ｍを変動させる要因としては、ロットの処理優先の偏りがある。そのため納期遵守率の高い生産ラインの構築には、ロットの処理優先の偏りを最小限にしながらも製品ロットの完成を納期期日に合わせる生産管理手法が必要となる。
【００１４】
特許文献１に記載の生産管理手法では、製造工程フローが進捗するにつれてリードタイムを納期日に収束させるため、製造工程フローの後半のロットほど処理を優先するロジックとなっており、設備へのロットの流入速度ｍの値がばらつく。そのために処理が遅れる製造工程フローの前半に在庫ロットが集中して、在庫分布に偏りが生じるという課題がある。これにより、納期期日までに完成できないロットが発生して、納期遵守率が低下する。また、特定設備にて多数のロットが滞留している間、他設備に行くロットが減少するため、他設備に稼働ロスが発生する。
【００１５】
このように在庫分布に偏りがあると、計画外の設備停止に対して脆弱な生産ラインとなるため、納期遵守率の高い生産ラインを構築するためには、在庫分布が均一であることが必須となる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の発明の特徴は、複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおいて、生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算することを特徴とする生産管理方法である。
【００１７】
請求項２に記載の発明の特徴は、納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを計算して、各ロットの補正乖離率α’に基づいてロットの処理優先準を決定することを特徴とする請求項１記載の生産管理方法である。
【００１８】
請求項３に記載の発明の特徴は、全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出して、ＸＦＡＣを各工程の加工時間に掛けあわせることで各工程の計画リードタイムを作成、この各工程の計画リードタイムを累積することで進行計画を作成することを特徴とする請求項１、２記載の生産管理方法である。
【００１９】
請求項４に記載の発明の特徴は、複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおいて、各ロット、各工程及び各設備の処理履歴をリアルタイムで収集する処理実績収集部、実績の処理履歴を保持する処理実績データベース部、実績の処理履歴に基づいて各工程の標準作業時間を決定する標準作業時間算出部、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部、処理実績データベース部の処理履歴、標準時間算出部により算出される各工程の標準時間及び納期設定部により各ロット毎に設定される納期期日に基づいて各ロット毎に進行計画を立案する進行計画立案部、処理実績データベースに蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績計算部、進行計画立案部及び進行実績計算部により算出された進行計画Ｔ（ｎ）及び進行実績Ｔｒ（ｎ）より各ロット毎に乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を算出する乖離率算出部、乖離率算出部により算出された乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する処理優先順位算出部、処理優先順位算出部の指示に従って生産ラインの全ロットに配膳の指示を実施するディスパッチング部、を有することを特徴とする生産管理システムである。
【００２０】
請求項５に記載の発明の特徴は、請求項４記載の生産管理システムに加え、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、納期設定部により設定された納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴと、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを算出する機能を持つ乖離率算出部を有することを特徴とする生産管理システムである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、電子デバイスの製造に関して、設備停止に対して頑健な生産ラインを構築することが可能であり、それにより製品を納期期日以内に完成させることができるため、納期遵守率の高い生産管理システムを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態として生産管理システムにおける生産管理に関して、以下に図面を参照して説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は本発明の生産管理システムの第１の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。
【００２４】
図１に示すように、工程１から工程ｘまで含む生産ライン１０から各設備毎の処理ロット，処理条件，在庫ロット，処理開始終了日時及び稼働状況などの生産ラインデータを常時収集する処理実績収集部１と、処理実績収集部１から得られた生産ラインデータを蓄積する実績処理データベース部２と、実績処理データベース部２に蓄積された生産ラインデータに基づいて各工程毎に標準作業時間及び標準加工時間を算出する標準作業時間算出部３と、標準作業時間算出部３により算出された標準作業時間から、各工程の標準作業時間を各製品の製造工程フローに合わせて組み合わせた上で納期期日を考慮して進行計画Ｔ（ｘ）をロット毎に立案する進行計画立案部４と、進行計画立案部４により各ロット毎に立案された進行計画Ｔ（ｎ）と、処理実績データベース２に蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績算出部６と、進行実績算出部６により算出された進行実績Ｔｒ（ｎ）と進行計画Ｔ（ｎ）とから、乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に算出する乖離率算出部７と、乖離率算出部７により算出された乖離率αに基づいて各ロット毎に処理優先度を計算する処理優先順位算出部８と、処理優先順位算出部８により計算された処理優先順位に基づいて生産ラインに対してロットの配膳を指示するディスパッチング部９とを備えている。
【００２５】
標準作業時間算出部３は、処理実績データベース部２から過去一定期間内に同一条件で処理が実施された同一工程のリードタイムデータからの平均リードタイムを全工程において算出する。進行計画立案部４は、標準作業時間算出部３の各工程の平均リードタイムを各製造工程フローに合わせて累積してロット進行計画Ｔ（ｘ）を作成する。
【００２６】
例えば、工程ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅの平均リードタイムをＴａ，Ｔｂ，Ｔｃ，Ｔｄ，Ｔｅとして、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅの順番で工程を処理する工程数ｘ＝５の製造工程フローＡがある場合、ロットの計画リードタイムＴ（ｘ）は工程数ｘ＝５であることから、Ｔ（５）＝ Ｔａ＋Ｔｂ＋Ｔｃ＋Ｔｄ＋Ｔｅとなり、工程数＝ｘの場合の計画リードタイムはＴ（ｘ）となる。また、生産開始から３工程まで処理を進めた時点での計画処理完了時刻Ｔ（ｎ）は、ｎ＝３であることから生産開始時点を基準とすると、Ｔ（３）＝Ｔａ＋Ｔｂ＋Ｔｃとなり、工程数＝ｎまで進めた場合の計画処理完了時刻はＴ（ｎ）となる。
【００２７】
進行実績計算部６は、実績処理データベース２の当該ロットの当該工程の実績リードタイムを累積して、ロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｘ）を作成する。工程ｎまで処理が完了しているロットの工程ｎの実績処理完了時刻はＴｒ（ｎ）で表される。
【００２８】
乖離率算出部７は、進行計画立案部４からのロットの進行計画Ｔ（ｎ）と進行実績計算部６からの進行実績Ｔｒ（ｎ）に基づいて、乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に算出する。この乖離率αの算出は、リアルタイムの情報に基づいて周期的に実施され、特に電子デバイスの生産ラインにおいては、１〜６０分程度の周期で実施されることが好適である。
【００２９】
このように算出された乖離率αは、計画に対する実績の進捗度合いを示す。乖離率α＞１のロットは進行計画に対して遅延しており、α＝１のロットは計画どおりの進行をしており、α＜１のロットは進行計画に対して先行している。
【００３０】
処理優先順位計算部８は、実績処理データベース部２からの各工程、各設備毎の仕掛り在庫ロットのリアルタイム情報と、乖離率算出部７により各ロット毎に算出された乖離率αから、各工程，各設備毎に乖離率αの大きなロットから優先的に処理を実施できるように処理優先順位を決定する。
【００３１】
次に、本実施の形態に係る生産管理手法をシミュレーションにより効果検証を実施した結果について説明する。
【００３２】
シミュレーション条件として、２つの異なる製品を製造する生産工程フローＣ１，Ｃ２からなり、それぞれの工程数は２００以上であり、且つ１００以上の工程数の差異があり、それぞれの製品の生産数量比率は２：１であり、実績に則した設備停止設定を伴う１００機種以上の生産設備が紐付いており、特に、そのうちのボトルネック設備，生産ライン中、最も余剰能力を有していない設備は、工程数＝６であり、計画生産数量に対して余剰能力を５％以下しか有していない生産ラインモデルを想定する。
【００３３】
このモデルにて３６０日間シミュレーションを実施して、開始から１８０日間のデータを初期状態として集計から削除して、後半１８０日間を観測期間とした。
【００３４】
この条件にて、請求項１記載の生産管理方法、及び特許文献１記載の生産管理方法の２つの生産管理方法にてシミュレーションを実施した。
【００３５】
図２に前記両生産管理手法により処理を完了した生産工程フローＣ１のロットの進捗実績Ｔｒ（ｎ）の平均を図示する。図中にて横軸は進行工程フロー、縦軸はリードタイムを示し、Ａは請求項１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＡ（ｎ）であり、Ｂは特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＢ（ｎ）であり、ｎ１，ｎ２，ｎ３，ｎ４，ｎ５，ｎ６はボトルネック設備に紐付く工程であり、ＬＴは納期リードタイムＬＴを表す。
【００３６】
図２によれば、特許文献１記載の生産管理方法は、完成に近いロットほど優先的に処理を実施することから工程数＝６を持つボトルネック設備において、最も完成から遠い工程ｎ１に滞留が集中していることが分かる。一方、請求項１記載の生産管理方法では６つの工程に均等に滞留が分散していることから、請求項１記載の生産管理方法の方が在庫分布の均一性に優れていることがわかる。特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＢ（ｘ）は、請求項１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＡ（ｘ）よりも６．０％短い。このことは、特許文献１の生産管理方法が完成に近いロットほど優先的に処理を実施することにより、全生産ラインの総在庫量が請求項１記載の生産管理方法に比べ少なくなることによる。
【００３７】
図３に前記両生産管理手法により処理を完了した生産工程フローＣ１のロットの実績リードタイムＴｒ（ｘ）の分布を示す。図中にて横軸はリードタイムＴｒ（ｘ）、縦軸は製品完成の発生頻度を示し、Ａは請求項１記載の生産管理方法により得られた平均実績リードタイムＴｒＡ（ｘ）であり、Ｂは特許文献１記載の生産管理方法により得られた平均進行実績ＴｒＢ（ｘ）である。
【００３８】
図３によれば、特許文献１記載の生産管理方法により得られた実績リードタイム分布は、請求項１記載の生産管理方法により得られた実績リードタイム分布よりも広い分布を有することが分かる。このことは、特許文献１記載の生産管理方法が在庫分布の偏りを生じやすく、そのために計画外の設備停止に対してリードタイムがばらつき易い生産ラインであることによる。それぞれの生産管理方法における納期遵守率は、請求項１記載の生産管理方法では９９％以上なのに対し、特許文献１記載の生産管理方法では平均実績リードタイムがＴｒＢ（ｘ）＜ＴｒＡ（ｘ）であるにも係らず９６．８％であることから、請求項１記載の生産管理方法の方が納期遵守率の向上に適していることが分かる。
【００３９】
以上のことから、両生産管理手法にはそれぞれ特徴があることが分かる。特許文献１の生産管理方法は、設備の理論上、計画外停止のない環境ではリードタイム短縮、ばらつきの抑制の両方の効果により納期遵守率を改善することができる。一方、請求項１記載の生産管理方法では、設備の計画外停止の多発する環境でリードタイムばらつきを抑制する効果により納期遵守率を改善する。そのため対象の生産ラインが安定している場合には特許文献１の生産管理方法が有利となるが、不安定な生産ラインでは請求項１記載の生産管理方法が有利となる。
【００４０】
製品である電子デバイスは、近年ますます技術的に高度となり、設備に要求するプロセススペックも厳しくなっていくことから、従来なら設備異常として見做さない、例えば設備の処理室０．１℃程度の極めて微少なプロセス条件の揺らぎでも、現在では設備異常と判断して設備を計画外停止させているため、計画外停止が従来よりも高い頻度で発生する。従来の要求するプロセススペックが緩く、そのために安定した生産ラインでは特許文献１記載の生産管理方法が有効であったため、請求項１記載の生産管理方法は不要であった。しかしながら、前記のような理由により近年の生産ラインは不安定化しており、従来では通用した特許文献１の生産管理方法よりも、請求項１記載の生産管理方法の方が優れている。
【００４１】
（第２の実施形態）
図４は本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。前記第１の実施形態に対して、納期設定部５を備えている点が異なる。
【００４２】
納期設定部５は、各ロット毎に計画投入日時と市場の製品要求度に応じて納期期日を設定する。この納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分を納期リードタイムＬＴとして、標準作業時間から算出される計画リードタイムＴ（ｘ）と区別する。
【００４３】
進行計画立案部４は、前記納期リードタイムＬＴ，計画リードタイムＴ（ｘ）、及び生産工程フローの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）に基づいて補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを各ロット毎に算出する。処理優先順位算出部８は、実績処理データベース部２からの各工程，各設備毎の仕掛り在庫ロットのリアルタイム情報と、乖離率算出部７により各ロット毎に算出された乖離率α’から、各工程，各設備毎に乖離率α’の大きなロットから優先的に処理を実施できるように処理優先順位を決定する。
【００４４】
通常、納期期日は納期リードタイムＬＴがＬＴ＝Ｔ（ｘ）となるように設定するか、または一定の安全係数Ｓ≧１を掛けてＬＴ＝Ｓ・Ｔ（ｘ）となるように設定する。市場の製品要求度の高い製品のロットに関しては、同一生産工程フローを持つロットであっても、他のロットよりもより早い納期期日を要求されるため、補正乖離率α’が大きくなり、その結果優先的に処理が実施される。
【００４５】
（第３の実施形態）
図５は本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。前記第２の実施形態に対して、ロット進行係数設定部１１を備えている点が異なる。
【００４６】
ロット進行係数設定部１１は、ロット毎に生産工程フローの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出する。生産計画立案部４は、各工程の加工時間に、前記ロット進行係数ＸＦＡＣ、及び一定の係数Ｓ’≧０を掛けて各工程の工程リードタイムを算出し、この工程リードタイムを生産工程フローに合わせて累積することで進行計画を作成する。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、生産管理方法及び生産管理システムは、電子デバイスの製造工程管理に実施して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の生産管理システムの第１の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図２】本実施の形態の生産管理方法によるシミュレーションにより得られた平均進行実績を示す図
【図３】本実施の形態の生産管理方法によるシミュレーションにより得られたリードタイムばらつきを示す分布図
【図４】本発明の生産管理システムの第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図５】本発明の生産管理システムの第３の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図
【図６】本発明の解決する課題を説明するための図
【符号の説明】
【００４９】
１ 処理実績収集部
２ 実績処理データベース部
３ 標準作業時間算出部
４ 進行計画立案部
５ 納期設定部
６ 進行実績算出部
７ 乖離率算出部
８ 処理優先順位算出部
９ ディスパッチング部
１０ 生産ライン
１１ ロット進行係数設定部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおける生産管理方法であって、
生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算することを特徴とする生産管理方法。
【請求項２】
納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを計算して、各ロットの補正乖離率α’に基づいて前記ロットの処理優先順を決定することを特徴とする請求項１記載の生産管理方法。
【請求項３】
全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出して、前記ＸＦＡＣを各工程の加工時間に掛けあわせることにより各工程の計画リードタイムを作成し、この各工程の計画リードタイムを累積することによって進行計画を作成することを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法。
【請求項４】
複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおける生産管理システムであって、
各ロット，各工程及び各設備の処理履歴をリアルタイムで収集する処理実績収集部と、実績の処理履歴を保持する処理実績データベース部と、実績の処理履歴に基づいて各工程の標準作業時間を決定する標準作業時間算出部と、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、前記処理実績データベース部の処理履歴と前記標準作業時間算出部により算出される各工程の標準時間及び納期設定部により各ロット毎に設定される納期期日に基づいて各ロット毎に進行計画を立案する進行計画立案部と、前記処理実績データベース部に蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績計算部と、前記進行計画立案部及び前記進行実績計算部により算出された進行計画Ｔ（ｎ）及び進行実績Ｔｒ（ｎ）より各ロット毎に乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を算出する乖離率算出部と、前記乖離率算出部により算出された乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する処理優先順位算出部と、前記処理優先順位算出部の指示に従って生産ラインの全ロットに配膳の指示を実施するディスパッチング部とを有することを特徴とする生産管理システム。
【請求項５】
各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、前記納期設定部により設定された納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴと、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを算出する機能を持つ乖離率算出部とを有することを特徴とする請求項４記載の生産管理システム。
【請求項１】
複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおける生産管理方法であって、
生産ラインへのロットの投入日時からロットの進行計画における現在の工程ｎの処理開始計画日時までの時間Ｔ（ｎ）、及び実績の工程ｎ処理開始日時までの時間Ｔｒ（ｎ）から進行計画と実績進行の乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を各ロット毎に計算して、各ロットの乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算することを特徴とする生産管理方法。
【請求項２】
納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴ、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを計算して、各ロットの補正乖離率α’に基づいて前記ロットの処理優先順を決定することを特徴とする請求項１記載の生産管理方法。
【請求項３】
全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）及び納期リードタイムＬＴからＸＦＡＣ＝ＬＴ／ｔ（ｘ）となるロット進行係数ＸＦＡＣを算出して、前記ＸＦＡＣを各工程の加工時間に掛けあわせることにより各工程の計画リードタイムを作成し、この各工程の計画リードタイムを累積することによって進行計画を作成することを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法。
【請求項４】
複数の生産工程を有する電子デバイスの製造プロセスを複数種類有する電子デバイスの生産ラインにおける生産管理システムであって、
各ロット，各工程及び各設備の処理履歴をリアルタイムで収集する処理実績収集部と、実績の処理履歴を保持する処理実績データベース部と、実績の処理履歴に基づいて各工程の標準作業時間を決定する標準作業時間算出部と、各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、前記処理実績データベース部の処理履歴と前記標準作業時間算出部により算出される各工程の標準時間及び納期設定部により各ロット毎に設定される納期期日に基づいて各ロット毎に進行計画を立案する進行計画立案部と、前記処理実績データベース部に蓄積されている各ロット毎の各工程の実績リードタイムを累積してロット毎にロット進行実績Ｔｒ（ｎ）を作成する進行実績計算部と、前記進行計画立案部及び前記進行実績計算部により算出された進行計画Ｔ（ｎ）及び進行実績Ｔｒ（ｎ）より各ロット毎に乖離率α＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）を算出する乖離率算出部と、前記乖離率算出部により算出された乖離率αに基づいてロットの処理優先順位を計算する処理優先順位算出部と、前記処理優先順位算出部の指示に従って生産ラインの全ロットに配膳の指示を実施するディスパッチング部とを有することを特徴とする生産管理システム。
【請求項５】
各ロット毎に納期期日を設定する納期設定部と、前記納期設定部により設定された納期期日と生産ラインへのロットの計画投入日時との差分である納期リードタイムＬＴと、製造プロセスの全工程の累積加工時間ｔ（ｘ）から補正乖離率α’＝Ｔｒ（ｎ）／Ｔ（ｎ）×ｔ（ｘ）／ＬＴを算出する機能を持つ乖離率算出部とを有することを特徴とする請求項４記載の生産管理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−２８７４７９（Ｐ２００８−２８７４７９Ａ）
【公開日】平成２０年１１月２７日（２００８．１１．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１３１５５５（Ｐ２００７−１３１５５５）
【出願日】平成１９年５月１７日（２００７．５．１７）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１１月２７日（２００８．１１．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年５月１７日（２００７．５．１７）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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