砥石台金、取外し治具、研削盤及び砥石台金の取外し方法
【課題】取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金、取付け部から簡便に砥石台金を取外し可能な取外し治具、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金を備える研削盤、及び取付け部から砥石台金を簡便に取外すための取外し方法を提供する。
【解決手段】研削盤１００において、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａの内周面には、雌ネジ部５０Ｆが形成されている。また、治具２００において、挿通部２１２は、砥石台金３８の挿通孔５０ｂよりも長く、ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。
【解決手段】研削盤１００において、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａの内周面には、雌ネジ部５０Ｆが形成されている。また、治具２００において、挿通部２１２は、砥石台金３８の挿通孔５０ｂよりも長く、ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石台金、取外し治具、研削盤及び砥石台金の取外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（以下、「ワーク」という。）を研削する手法の一つとして、ワークと砥石台金の両方を回転させることによって、ワークの研削面を砥石によって連続的に切り込むインフィード研削法が広く知られている（例えば、特許文献１参照）。なお、砥石台金は、台座と砥石とによって構成されている。台座は、ワークと対向する第１面と、第１面の反対に設けられる第２面とを有しており、砥石は、台座の第１面上において環状に形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２５６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の研削盤において、砥石台金は、所定軸を中心として回転する取付け部の取付け面に固定ボルトによって固定されている。このような研削盤では、ワークの研削精度の向上を目的として、取付け部の取付け面および台座の第２面それぞれの面粗度は極めて低くされている。そのため、砥石台金と取付け部とが互いに密着しているので、砥石台金を交換する場合には、固定ボルトを取り外した後に砥石台金を取付け部から引き剥がす必要がある。
そこで、固定ボルトよりも長尺のボルトを、砥石台金に形成された固定ボルト用のボルト孔にねじ込み、長尺のボルトの先端で取付け面を押すことによって、砥石台金を取付け部から引き剥がす手法が考えられる。しかしながら、本手法では、長尺のボルトの先端が押圧されることによって取付け面に凹凸が形成されてしまうので、砥石台金と取付け部との密着性を維持することが困難である。従って、本手法を上記特許文献１に記載の研削盤に採用することは適切ではない。
【０００５】
一方で、誘導発熱ローラ装置において、ローラシェルに固定ボルトで固定されたジャーナルをローラシェルから取り外す場合に、固定ボルトに代えてジャーナルにねじ込まれる押しボルトによってローラシェルをジャーナルから押し離す手法が提案されている（特開２００１−２１０４４９号公報）。しかしながら、本手法では、固定ボルトの軸部が挿通される挿通孔の内周面に、押しボルトの雄ネジ部に螺合される雌ネジ部が形成されている。そのため、挿通孔の内周面に形成された雌ネジ部が、固定ボルトの軸部との干渉によって損傷するおそれがある。従って、本手法を上記特許文献１に記載の研削盤に採用することも適切ではない。
【０００６】
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金、取付け部から簡便に砥石台金を取外し可能な取外し治具、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金を備える研削盤、及び取付け部から砥石台金を簡便に取外すための取外し方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様に係る砥石台金は、固定ボルトによって取付け部に固定される砥石台金であって、第１面と、第１面の反対に設けられる第２面と、第１面から第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、台座の第１面上において環状に形成される砥石と、を備える。貫通孔は、第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、座ぐり孔に連なり第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有する。座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する。
【０００８】
第２の態様に係る砥石台金は、第１の態様に係り、貫通孔と同じ構成をそれぞれ有する複数の貫通孔を備える。複数の貫通穴は、第１面の平面視において、台座の回転中心を基準として点対称に配置されている。
【０００９】
第３の態様に係る治具は、固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を取付け部から取り外すために用いられる治具であって、支持部材と、ボス部材と、を備える。支持部材は、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり、固定ボルトの軸部を挿通するために砥石台金に設けられる挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する。ボス部材は、固定ボルトの頭部を収容するために砥石台金に設けられる座ぐり孔の内周面に形成された雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有する。
【００１０】
第４の態様に係る研削盤は、砥石台金と、取付け部と、を備える。砥石台金は、第１面と、第１面の反対に設けられる第２面と、第１面から第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、台座の第１面上において環状に形成される砥石と、を有する。取付け部は、第２面に当接される取付け面と、第２面に開口し貫通孔に連なるネジ穴と、を有する。貫通孔は、第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、座ぐり孔に連なり第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有する。座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する。
【００１１】
第５の態様に係る研削盤は、支持部材と、ボス部材と、を有する治具をさらに備える。支持部材は、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する。ボス部材は、座ぐり孔の雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有する。
【００１２】
第６の態様に係る取り外し方法は、固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を取付け部から取り外すための取外し方法であって、砥石台金に設けられた挿通孔に挿通されるとともに取付け部のネジ穴にねじ込まれた固定ボルトを抜き取る工程と、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材を準備する工程と、砥石台金の挿通孔に支持軸部を挿通させた後に、取付け部のネジ穴に支持軸部をねじ込む工程と、砥石台金に設けられた座ぐり孔の内周面に形成される雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材を準備する工程と、ボス部材のシャフト孔に支持部材のシャフト部を挿入する工程と、座ぐり孔の雌ネジ部にボス軸部の雄ネジ部をねじ込む工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金、取付け部から簡便に砥石台金を取外し可能な取外し治具、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金を備える研削盤、及び取付け部から砥石台金を簡便に取外すための取外し方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】研削盤１００の構成を示す側面図である。
【図２】取付け部３７および砥石台金３８をワーク支持装置２０側から見た平面図である。
【図３】図２の折れ線III−IIIにおける断面図である。
【図４】図３から固定ボルト３９を省略した図である。
【図５】治具２００の構成を示す断面図である。
【図６】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図７】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図８】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図９】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図１０】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図１１】治具２００の支持部材２１０の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なっている場合がある。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１６】
（研削盤１００の全体構成）
実施形態に係る研削盤１００の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る研削盤１００の構成を示す側面図である。
研削盤１００は、機台１０と、ワーク支持装置２０と、研削加工装置３０と、を備える。
【００１７】
機台１０は、ワーク支持装置２０と研削加工装置３０を支持するテーブルである。
ワーク支持装置２０は、ワーク台２１と、スピンドル２２と、駆動モータ２３と、チャック２４と、を有する。
ワーク台２１は、機台１０上に固定される。スピンドル２２は、ワーク回転中心２２Ａを中心として回転可能にワーク台２１に支持される。駆動モータ２３は、ワーク回転中心２２Ａを中心としてスピンドル２２を回転させる。チャック２４は、ワークＷ（例えば、半導体ウェハなど）を保持する。チャック２４は、スピンドル２２に固定されており、スピンドル２２とともにワーク回転中心２２Ａを中心として回転する。
【００１８】
研削加工装置３０は、固定台３１と、送り台３２と、送り駆動部３３と、支持台３４と、スピンドル３５と、駆動モータ３６と、取付け部３７と、砥石台金３８と、を有する。
固定台３１は、機台１０上に固定される。送り台３２は、固定台３１上において送り方向Ｘに沿って移動可能に支持される。送り駆動部３３は、送り方向Ｘに沿って送り台３２を移動させる。支持台３４は、送り台３２上に固定される。スピンドル３５は、砥石回転中心３５Ａを中心として回転可能に支持台３４に支持される。駆動モータ３６は、砥石回転中心３５Ａを中心としてスピンドル３５を回転させる。
【００１９】
取付け部３７は、砥石台金３８を保持する。取付け部３７は、スピンドル３５に固定されており、スピンドル３５とともに砥石回転中心３５Ａを中心として回転する。砥石台金３８は、取付け部３７に取付けられる。砥石台金３８は、スピンドル３５及び取付け部３７とともに砥石回転中心３５Ａを中心として回転する。回転する砥石台金３８（具体的には、後述する砥石３８２）がワークＷに押し付けられることによって、ワークＷが研削される。
【００２０】
（取付け部３７、砥石台金３８の構成）
次に、取付け部３７および砥石台金３８の構成について、図面を参照しながら説明する。図２は、取付け部３７および砥石台金３８をワーク支持装置２０側から見た平面図である。図３は、図２の折れ線III−IIIにおける断面図である。
図２および図３に示すように、砥石台金３８は、６本の固定ボルト３９によって取付け部３７に固定される。６本の固定ボルト３９は、軸部３９ａと頭部３９ｂとによって構成される。軸部３９ａは、外周面に形成される雄ネジ部を含んでおり、外径ｅ１を有する。頭部３９ｂは、軸部３９ａの端部に連なっており、外径ｅ１より大きい外径ｅ２を有する。
【００２１】
１．取付け部３７
取付け部３７は、取付け面３７Ｓと、凸部３７Ｔと、６つのネジ穴４０と、を有する。
取付け面３７Ｓは、砥石回転中心３５Ａを中心とする円環状に形成されており、砥石台金３８を支持する。取付け面３７Ｓは、極めて低い面粗度を有する。凸部３７Ｔは、砥石回転中心３５Ａを中心とする円板状に形成されている。６つのネジ穴４０は、取付け面３７Ｓに形成される。図示しないが、６つのネジ穴４０は、取付け面３７Ｓの平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称に配置されている。各ネジ穴４０には、固定ボルト３９の軸部３９ａの先端がねじ込まれる。ネジ穴４０の構成については後述する。
【００２２】
２．砥石台金３８
砥石台金３８は、台座３８１と、砥石３８２と、を有する。
台座３８１は、取付け部３７の取付け面３７Ｓ上に配置される。台座３８１は、砥石回転中心３５Ａを中心とする円環状に形成された板状部材である。台座３８１は、取付け部３７の凸部３７Ｔの外周に嵌め込まれる。台座３８１は、第１面Ｓ１と、第２面Ｓ２と、２つの第１貫通孔５０（「複数の貫通孔」の一例）と、４つの第２貫通孔６０と、を有する。
【００２３】
第１面Ｓ１は、ワークＷ（図１参照）と対向する。第２面Ｓ２は、第１面Ｓ１の反対に設けられており、取付け部３７の取付け面３７Ｓに当接される。第２面Ｓ２は、取付け面３７Ｓと同様に極めて低い面粗度を有しているので、固定ボルト３９によって取付け部３７に押しつけられることにより取付け面３７Ｓに密着する。そのため、固定ボルト３９を抜き取っても、砥石台金３８を取付け部３７から引き離すことは容易ではない。砥石台金３８を取付け部３７から取外すために用いられる治具、及び砥石台金３８を取付け部３７から取外す方法については後述する。
【００２４】
２つの第１貫通孔５０それぞれは、第１面Ｓ１から第２面Ｓ２まで台座３８１を貫通する。２つの第１貫通孔５０は、図２に示すように、第１面Ｓ１の平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称、かつ、砥石回転中心３５Ａを通る一直線上に配置されている。４つの第２貫通孔６０それぞれは、第１面Ｓ１から第２面Ｓ２まで台座３８１を貫通する。４つの第２貫通孔６０は、図２に示すように、第１面Ｓ１の平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称に配置されている。第１貫通孔５０および第２貫通孔６０の構成については後述する。
【００２５】
砥石３８２は、台座３８１の第１面Ｓ１上に配置される。砥石３８２は、砥石回転中心３５Ａを中心とする環状に形成されている。砥石３８２は、図２に示すように、第１面Ｓ１の外縁と２つの第１貫通孔５０及び４つの第２貫通孔６０との間に配置される。砥石３８２のサイズは適宜設定できるが、例えば高さ約５ｍｍ、幅約３ｍｍ程度に設定することができる。
【００２６】
（ネジ穴４０、第１貫通孔５０、第２貫通孔６０の構成）
次に、図面を参照しながら、第１貫通孔５０、第２貫通孔６０およびネジ穴４０の詳細な構成について説明する。図４は、図３から固定ボルト３９を省略した図である。
１．ネジ穴４０
図４に示すように、ネジ穴４０は、固定ボルト３９の軸部３９ａをねじ込むために取付け面３７Ｓに開口する孔である。ネジ穴４０の内周面には、軸部３９ａの雄ネジ部に螺合される雌ネジ部４０Ｆが形成されている。ネジ穴４０は、軸部３９ａの外径ｅ１にほぼ等しいネジ谷径ｆ１を有する。
【００２７】
なお、６つのネジ穴４０のうち４つのネジ穴４０それぞれは、第１貫通孔５０に連なっており、６つのネジ穴４０のうち２つのねじ穴それぞれは、第２貫通孔６０に連なっている。
【００２８】
２．第１貫通孔５０
図４に示すように、第１貫通孔５０は、座ぐり孔５０ａと、座ぐり孔５０ａに繋がる挿通孔５０ｂとによって構成されている。
座ぐり孔５０ａは、固定ボルト３９の頭部３９ｂを収容するために第１面Ｓ１に開口する凹部である。従って、座ぐり孔５０ａは、固定ボルト３９の頭部３９ｂの外径ｅ２よりも大きな内径ｆ２を有する。また、本実施形態において、座ぐり孔５０ａの内周面には、後述するボス部材に螺合される雌ネジ部５０Ｆが形成されている。座ぐり孔５０ａは、内径ｆ２よりも大きなネジ谷径ｆ３を有する。また、座ぐり孔５０ａは、砥石回転中心３５Ａに沿って延びており、長さｄ１を有する。なお、雌ネジ部５０Ｆは、固定ボルト３９との関係においては何ら機能を発揮しない。
【００２９】
挿通孔５０ｂは、固定ボルト３９の軸部３９ａを挿通させるために座ぐり孔５０ａから第２面Ｓ２まで形成された孔である。従って、挿通孔５０ｂは、第２面Ｓ２に開口しており、固定ボルト３９の軸部３９ａの外径ｅ１よりも大きな内径ｆ４を有する。また、挿通孔５０ｂは、砥石回転中心３５Ａに沿って延びており、長さｈ１を有する。なお、挿通孔５０ｂの内周面には、雌ネジ部は形成されていない。
【００３０】
３．第２貫通孔６０
図４に示すように、第２貫通孔６０は、座ぐり孔６０ａと、座ぐり孔６０ａに繋がる挿通孔６０ｂとによって構成されている。座ぐり孔６０ａは、内周面に雌ネジ部が形成されていない点を除いて、第１貫通孔５０の座ぐり孔５０ａと同じ構成を有する。また、挿通孔６０ｂは、挿通孔５０ｂと同じ構成を有する。
【００３１】
（治具２００の構成）
次に、砥石台金３８を取付け部３７から取り外すために用いられる治具２００の構成について、図面を参照しながら説明する。図５は、治具２００の構成を示す断面図である。図５に示すように、治具２００は、支持部材２１０と、ボス部材２２０と、を備える。
【００３２】
１．支持部材２１０
支持部材２１０は、支持軸部２１１と、挿通部２１２と、シャフト部２１３と、を有する。
支持軸部２１１は、取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれる円柱状の部材である。支持軸部２１１の外周面には、ネジ穴４０の雌ネジ部４０Ｆに螺合される雄ねじ部２１１Ｍが形成されている。支持軸部２１１は、固定ボルト３９の軸部３９ａの外径ｅ１にほぼ等しい外径ｇ１を有する。
挿通部２１２は、支持軸部２１１に連なる円柱状の部材である。挿通部２１２は、砥石台金３８の第１貫通孔５０のうち挿通孔５０ｂに挿通される。挿通部２１２は、挿通孔５０ｂの内径ｆ４よりも小さく、かつ、ネジ穴４０のネジ谷径ｆ１よりも大きな外径ｇ２を有する。また、挿通部２１２は、治具２００の中心軸２００Ａに沿って延びており、挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きな長さｈ２を有する。また、挿通部２１２は、ボス部材２２０が当接される端面２１２Ｓを有する。
【００３３】
シャフト部２１３は、挿通部２１２の端面２１２Ｓから突出するように形成される円柱状の部材である。シャフト部２１３は、挿通部２１２の外径ｇ２よりも小さい外径ｇ３を有する。シャフト部２１３は、挿通部２１２の端面２１２Ｓの中心に立設されている。シャフト部２１３の端部には、例えばマイナスドライバーなどを噛み合わせるための溝２１３ａが形成されている。
【００３４】
２．ボス部材２２０
ボス部材２２０は、ボス軸部２２１と、ボス頭部２２２と、シャフト孔２２３と、を有する。
ボス軸部２２１は、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａにねじ込まれる円柱状の部材である。ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。ボス軸部２２１は、座ぐり孔５０ａのネジ谷径ｆ３にほぼ等しい外径ｇ４を有する。また、ボス軸部２２１は、治具２００の中心軸２００Ａに沿って延びており、座ぐり孔５０ａの長さｄ１にほぼ等しい長さｄ２を有する。また、ボス軸部２２１は、挿通部２１２の端面２１２Ｓと対向する対向面２２１Ｓを有する。対向面２２１Ｓにはシャフト孔２２３が形成されている。なお、ボス軸部２２１の軸心は、治具２００の中心軸２００Ａと一致する。
【００３５】
ボス頭部２２２は、ボス軸部２２１と一体的に形成されている。ボス頭部２２２は、工具を用いてボス部材２２０を回転させる際に、工具に嵌め合わされる。従って、ボス頭部２２２は、使用される工具に対応する形状を有していればよい。
シャフト孔２２３は、支持部材２１０のシャフト部２１３を挿入するための孔である。シャフト孔２２３は、ボス軸部２２１の対向面２２１Ｓに開口している。シャフト孔２２３は、ボス軸部２２１の軸心に沿って形成されている。シャフト孔２２３は、挿通部２１２の外径ｇ２よりも小さく、かつ、シャフト部２１３の外径ｇ３よりも大きい外径ｇ５を有する。
【００３６】
（取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法）
次に、取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法について、図面を参照しながら説明する。図６〜図１０は、取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
まず、図６に示すように、砥石台金３８に設けられた挿通孔５０ｂに挿通されるとともに取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれた固定ボルト３９を抜き取る。
【００３７】
次に、図７に示すように、上述の支持部材２１０を準備して、砥石台金３８の挿通孔５０ｂに支持軸部２１１を挿通させた後に、取付け部３７のネジ穴４０に支持軸部２１１をねじ込む。具体的には、例えばマイナスドライバーをシャフト部２１３の溝２１３ａに噛み合わせてシャフト部２１３を治具２００の中心軸２００Ａ周りに回転させることによって、支持軸部２１１の雄ねじ部２１１Ｍをネジ穴４０の雌ネジ部４０Ｆに螺合させる。この場合、挿通部２１２の長さｈ２が挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きいので、挿通部２１２の肩部２１２ａが、挿通孔５０ｂから座ぐり孔５０ａ内にはみ出る。そのため、挿通部２１２の端面２１２Ｓは、座ぐり孔５０ａの底面から第１面Ｓ１側に突出する。また、挿通部２１２の外径ｇ２が挿通孔５０ｂの内径ｆ４よりも小さいので、挿通部２１２は、挿通孔５０ｂの内周面から離間する。
次に、図８に示すように、上述のボス部材２２０を準備して、ボス部材２２０のシャフト孔２２３に支持部材２１０のシャフト部２１３を挿入する。
【００３８】
次に、図９に示すように、座ぐり孔５０ａにボス部材２２０をねじ込む。具体的には、工具（不図示）をボス頭部２２２の外周に嵌め合わせてボス頭部２２２を治具２００の中心軸２００Ａ周りに回転させることによって、ボス軸部２２１の雄ねじ部２２１Ｍを座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合させる。この場合、ボス頭部２２２の回転を進めるうちにボス軸部２２１は挿通部２１２の肩部２１２ａに当接する。すなわち、ボス軸部２２１の対向面２２１Ｓは、挿通部２１２の端面２１２Ｓと接触する。そして、ボス軸部２２１を挿通部２１２の肩部２１２ａに当接させた状態（すなわち、取付け部３７に対するボス部材２００の位置を固定した状態）でボス頭部２２２をさらに回転せると、ボス頭部２２２の回転に伴って砥石台金３８がボス部材２２０に引き寄せられる。その結果、図１０に示すように、砥石台金３８が取付け部３７から引き離される。
なお、本実施形態では、挿通部２１２の長さｈ２が挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きく、かつ、ボス軸部２２１の長さｄ２が座ぐり孔５０ａの長さｄ１にほぼ等しいので、ボス軸部２２１が座ぐり孔５０ａに完全に嵌まり込んでしまうことはない。
【００３９】
（作用及び効果）
実施形態に係る研削盤１００において、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａの内周面には、雌ネジ部５０Ｆが形成されている。また、治具２００において、挿通部２１２は、砥石台金３８の挿通孔５０ｂよりも長く、ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。
【００４０】
そのため、ボス軸部２２１を挿通部２１２に当接させた状態で座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆにボス軸部２２１の雄ねじ部２２１Ｍを螺合させることによって、砥石台金３８を取付け部３７から引き離すことができる。従って、砥石台金３８を取付け部３７から簡便に取り外すことができる。
また、支持部材２１０において、支持軸部２１１が取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれることによって取付け部３７に支持される。そのため、支持部材２１０が取付け部３７の取り付け面３７Ｓと擦れることによって取り付け面３７Ｓが傷つくことを抑制することができる。
さらに、挿通孔５０ｂの内周面には雌ネジ部が形成されていないので、固定ボルト３９が挿通孔５０ｂの内周面と擦れることによって挿通孔５０ｂの内周面が傷つくことを抑制することができる。
【００４１】
（その他の実施形態）
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
（Ａ）上記実施形態において、治具２００の支持部材２１０において、挿通部２１２は、支持軸部２１１の外径ｇ１よりも大きい外径ｇ２を有することとしたが、これに限られるものではない。図１１に示すように、挿通部２１２の外径ｇ２は、支持軸部２１１の外径ｇ１にほぼ等しくてもよい。
【００４２】
（Ｂ）上記実施形態において、砥石台金３８の台座３８１は、２つの第１貫通孔５０と４つの第２貫通孔６０とを有することとしたが、これに限られるものではない。台座３８１は、１つ又は３つ以上の第１貫通孔５０を有していてもよい。また、台座３８１は、第２貫通孔６０に代えて第１貫通孔５０を有していてもよい。これによって、台座３８１が複数の第１貫通孔５０を有する場合には、複数の冶具２００を用いることによってバランスよく砥石台金３８を取り外すことができる。さらに、第１貫通孔５０の数が少ないほど砥石台金３８を取り外す際の作業性を向上させることができる。
【００４３】
（Ｃ）上記実施形態において、第２貫通孔６０は、雌ねじ部５０Ｆを有していない点以外は第１貫通孔５０と同じ構成を有することとしたが、これに限られるものではない。第２貫通孔６０は、第１貫通孔５０と全く異なる構成を有していてもよい。この場合、第２貫通孔６０には、固定ボルト３９とは異なる固定具が取り付けられてもよい。
【００４４】
（Ｄ）上記実施形態において、各部材の寸法について説明したが、以下の大小関係を満たす限りにおいて、各部材の寸法は変更することができる。
（ｉ）ネジ穴４０のネジ谷径ｆ１≒軸部３９ａの外径ｅ１≒支持軸部２１１の外径ｇ１
（ｉｉ）座ぐり孔５０ａの内径ｆ２＞頭部３９ｂの外径ｅ２
（ｉｉｉ）座ぐり孔５０ａのネジ谷径ｆ３≒ボス軸部２２１の外径ｇ４
（ｉｖ）挿通孔５０ｂの内径ｆ４＞挿通部２１２の外径ｇ２
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００４５】
１００…研削盤、１０…機台、２０…ワーク支持装置、２１…ワーク台、２２…スピンドル、２３…駆動モータ、２４…チャック、３０…研削加工装置、３１…固定台、３２…送り台、３３…送り駆動部、３４…支持台、３５…スピンドル、３６…駆動モータ、３７…取付け部、３７Ｓ…取付け面、３７Ｔ…凸部、３８…砥石台金、３８１…台座、Ｓ１…第１面、Ｓ２…第２面、３８２…砥石、３９…固定ボルト、３９ａ…軸部、３９ｂ…頭部、４０…ネジ穴、５０…第１貫通孔、５０ａ…座ぐり孔、５０Ｆ…雌ネジ部、５０ｂ…挿通孔、６０…第２貫通孔、２００…治具、２１０…支持部材、２１１…支持軸部、２１２…挿通部、２１３…シャフト部、２２０…ボス部材、２２１…ボス軸部、２２１Ｍ…雄ねじ部、２２２…ボス頭部、２２３…シャフト孔、Ｗ…ワーク、３５Ａ…砥石回転中心
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石台金、取外し治具、研削盤及び砥石台金の取外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（以下、「ワーク」という。）を研削する手法の一つとして、ワークと砥石台金の両方を回転させることによって、ワークの研削面を砥石によって連続的に切り込むインフィード研削法が広く知られている（例えば、特許文献１参照）。なお、砥石台金は、台座と砥石とによって構成されている。台座は、ワークと対向する第１面と、第１面の反対に設けられる第２面とを有しており、砥石は、台座の第１面上において環状に形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２５６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の研削盤において、砥石台金は、所定軸を中心として回転する取付け部の取付け面に固定ボルトによって固定されている。このような研削盤では、ワークの研削精度の向上を目的として、取付け部の取付け面および台座の第２面それぞれの面粗度は極めて低くされている。そのため、砥石台金と取付け部とが互いに密着しているので、砥石台金を交換する場合には、固定ボルトを取り外した後に砥石台金を取付け部から引き剥がす必要がある。
そこで、固定ボルトよりも長尺のボルトを、砥石台金に形成された固定ボルト用のボルト孔にねじ込み、長尺のボルトの先端で取付け面を押すことによって、砥石台金を取付け部から引き剥がす手法が考えられる。しかしながら、本手法では、長尺のボルトの先端が押圧されることによって取付け面に凹凸が形成されてしまうので、砥石台金と取付け部との密着性を維持することが困難である。従って、本手法を上記特許文献１に記載の研削盤に採用することは適切ではない。
【０００５】
一方で、誘導発熱ローラ装置において、ローラシェルに固定ボルトで固定されたジャーナルをローラシェルから取り外す場合に、固定ボルトに代えてジャーナルにねじ込まれる押しボルトによってローラシェルをジャーナルから押し離す手法が提案されている（特開２００１−２１０４４９号公報）。しかしながら、本手法では、固定ボルトの軸部が挿通される挿通孔の内周面に、押しボルトの雄ネジ部に螺合される雌ネジ部が形成されている。そのため、挿通孔の内周面に形成された雌ネジ部が、固定ボルトの軸部との干渉によって損傷するおそれがある。従って、本手法を上記特許文献１に記載の研削盤に採用することも適切ではない。
【０００６】
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金、取付け部から簡便に砥石台金を取外し可能な取外し治具、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金を備える研削盤、及び取付け部から砥石台金を簡便に取外すための取外し方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様に係る砥石台金は、固定ボルトによって取付け部に固定される砥石台金であって、第１面と、第１面の反対に設けられる第２面と、第１面から第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、台座の第１面上において環状に形成される砥石と、を備える。貫通孔は、第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、座ぐり孔に連なり第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有する。座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する。
【０００８】
第２の態様に係る砥石台金は、第１の態様に係り、貫通孔と同じ構成をそれぞれ有する複数の貫通孔を備える。複数の貫通穴は、第１面の平面視において、台座の回転中心を基準として点対称に配置されている。
【０００９】
第３の態様に係る治具は、固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を取付け部から取り外すために用いられる治具であって、支持部材と、ボス部材と、を備える。支持部材は、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり、固定ボルトの軸部を挿通するために砥石台金に設けられる挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する。ボス部材は、固定ボルトの頭部を収容するために砥石台金に設けられる座ぐり孔の内周面に形成された雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有する。
【００１０】
第４の態様に係る研削盤は、砥石台金と、取付け部と、を備える。砥石台金は、第１面と、第１面の反対に設けられる第２面と、第１面から第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、台座の第１面上において環状に形成される砥石と、を有する。取付け部は、第２面に当接される取付け面と、第２面に開口し貫通孔に連なるネジ穴と、を有する。貫通孔は、第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、座ぐり孔に連なり第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有する。座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する。
【００１１】
第５の態様に係る研削盤は、支持部材と、ボス部材と、を有する治具をさらに備える。支持部材は、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する。ボス部材は、座ぐり孔の雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有する。
【００１２】
第６の態様に係る取り外し方法は、固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を取付け部から取り外すための取外し方法であって、砥石台金に設けられた挿通孔に挿通されるとともに取付け部のネジ穴にねじ込まれた固定ボルトを抜き取る工程と、雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、支持軸部に連なり挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材を準備する工程と、砥石台金の挿通孔に支持軸部を挿通させた後に、取付け部のネジ穴に支持軸部をねじ込む工程と、砥石台金に設けられた座ぐり孔の内周面に形成される雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材を準備する工程と、ボス部材のシャフト孔に支持部材のシャフト部を挿入する工程と、座ぐり孔の雌ネジ部にボス軸部の雄ネジ部をねじ込む工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金、取付け部から簡便に砥石台金を取外し可能な取外し治具、取付け部から簡便に取外し可能な砥石台金を備える研削盤、及び取付け部から砥石台金を簡便に取外すための取外し方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】研削盤１００の構成を示す側面図である。
【図２】取付け部３７および砥石台金３８をワーク支持装置２０側から見た平面図である。
【図３】図２の折れ線III−IIIにおける断面図である。
【図４】図３から固定ボルト３９を省略した図である。
【図５】治具２００の構成を示す断面図である。
【図６】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図７】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図８】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図９】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図１０】取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
【図１１】治具２００の支持部材２１０の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なっている場合がある。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１６】
（研削盤１００の全体構成）
実施形態に係る研削盤１００の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る研削盤１００の構成を示す側面図である。
研削盤１００は、機台１０と、ワーク支持装置２０と、研削加工装置３０と、を備える。
【００１７】
機台１０は、ワーク支持装置２０と研削加工装置３０を支持するテーブルである。
ワーク支持装置２０は、ワーク台２１と、スピンドル２２と、駆動モータ２３と、チャック２４と、を有する。
ワーク台２１は、機台１０上に固定される。スピンドル２２は、ワーク回転中心２２Ａを中心として回転可能にワーク台２１に支持される。駆動モータ２３は、ワーク回転中心２２Ａを中心としてスピンドル２２を回転させる。チャック２４は、ワークＷ（例えば、半導体ウェハなど）を保持する。チャック２４は、スピンドル２２に固定されており、スピンドル２２とともにワーク回転中心２２Ａを中心として回転する。
【００１８】
研削加工装置３０は、固定台３１と、送り台３２と、送り駆動部３３と、支持台３４と、スピンドル３５と、駆動モータ３６と、取付け部３７と、砥石台金３８と、を有する。
固定台３１は、機台１０上に固定される。送り台３２は、固定台３１上において送り方向Ｘに沿って移動可能に支持される。送り駆動部３３は、送り方向Ｘに沿って送り台３２を移動させる。支持台３４は、送り台３２上に固定される。スピンドル３５は、砥石回転中心３５Ａを中心として回転可能に支持台３４に支持される。駆動モータ３６は、砥石回転中心３５Ａを中心としてスピンドル３５を回転させる。
【００１９】
取付け部３７は、砥石台金３８を保持する。取付け部３７は、スピンドル３５に固定されており、スピンドル３５とともに砥石回転中心３５Ａを中心として回転する。砥石台金３８は、取付け部３７に取付けられる。砥石台金３８は、スピンドル３５及び取付け部３７とともに砥石回転中心３５Ａを中心として回転する。回転する砥石台金３８（具体的には、後述する砥石３８２）がワークＷに押し付けられることによって、ワークＷが研削される。
【００２０】
（取付け部３７、砥石台金３８の構成）
次に、取付け部３７および砥石台金３８の構成について、図面を参照しながら説明する。図２は、取付け部３７および砥石台金３８をワーク支持装置２０側から見た平面図である。図３は、図２の折れ線III−IIIにおける断面図である。
図２および図３に示すように、砥石台金３８は、６本の固定ボルト３９によって取付け部３７に固定される。６本の固定ボルト３９は、軸部３９ａと頭部３９ｂとによって構成される。軸部３９ａは、外周面に形成される雄ネジ部を含んでおり、外径ｅ１を有する。頭部３９ｂは、軸部３９ａの端部に連なっており、外径ｅ１より大きい外径ｅ２を有する。
【００２１】
１．取付け部３７
取付け部３７は、取付け面３７Ｓと、凸部３７Ｔと、６つのネジ穴４０と、を有する。
取付け面３７Ｓは、砥石回転中心３５Ａを中心とする円環状に形成されており、砥石台金３８を支持する。取付け面３７Ｓは、極めて低い面粗度を有する。凸部３７Ｔは、砥石回転中心３５Ａを中心とする円板状に形成されている。６つのネジ穴４０は、取付け面３７Ｓに形成される。図示しないが、６つのネジ穴４０は、取付け面３７Ｓの平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称に配置されている。各ネジ穴４０には、固定ボルト３９の軸部３９ａの先端がねじ込まれる。ネジ穴４０の構成については後述する。
【００２２】
２．砥石台金３８
砥石台金３８は、台座３８１と、砥石３８２と、を有する。
台座３８１は、取付け部３７の取付け面３７Ｓ上に配置される。台座３８１は、砥石回転中心３５Ａを中心とする円環状に形成された板状部材である。台座３８１は、取付け部３７の凸部３７Ｔの外周に嵌め込まれる。台座３８１は、第１面Ｓ１と、第２面Ｓ２と、２つの第１貫通孔５０（「複数の貫通孔」の一例）と、４つの第２貫通孔６０と、を有する。
【００２３】
第１面Ｓ１は、ワークＷ（図１参照）と対向する。第２面Ｓ２は、第１面Ｓ１の反対に設けられており、取付け部３７の取付け面３７Ｓに当接される。第２面Ｓ２は、取付け面３７Ｓと同様に極めて低い面粗度を有しているので、固定ボルト３９によって取付け部３７に押しつけられることにより取付け面３７Ｓに密着する。そのため、固定ボルト３９を抜き取っても、砥石台金３８を取付け部３７から引き離すことは容易ではない。砥石台金３８を取付け部３７から取外すために用いられる治具、及び砥石台金３８を取付け部３７から取外す方法については後述する。
【００２４】
２つの第１貫通孔５０それぞれは、第１面Ｓ１から第２面Ｓ２まで台座３８１を貫通する。２つの第１貫通孔５０は、図２に示すように、第１面Ｓ１の平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称、かつ、砥石回転中心３５Ａを通る一直線上に配置されている。４つの第２貫通孔６０それぞれは、第１面Ｓ１から第２面Ｓ２まで台座３８１を貫通する。４つの第２貫通孔６０は、図２に示すように、第１面Ｓ１の平面視において、砥石回転中心３５Ａを基準として点対称に配置されている。第１貫通孔５０および第２貫通孔６０の構成については後述する。
【００２５】
砥石３８２は、台座３８１の第１面Ｓ１上に配置される。砥石３８２は、砥石回転中心３５Ａを中心とする環状に形成されている。砥石３８２は、図２に示すように、第１面Ｓ１の外縁と２つの第１貫通孔５０及び４つの第２貫通孔６０との間に配置される。砥石３８２のサイズは適宜設定できるが、例えば高さ約５ｍｍ、幅約３ｍｍ程度に設定することができる。
【００２６】
（ネジ穴４０、第１貫通孔５０、第２貫通孔６０の構成）
次に、図面を参照しながら、第１貫通孔５０、第２貫通孔６０およびネジ穴４０の詳細な構成について説明する。図４は、図３から固定ボルト３９を省略した図である。
１．ネジ穴４０
図４に示すように、ネジ穴４０は、固定ボルト３９の軸部３９ａをねじ込むために取付け面３７Ｓに開口する孔である。ネジ穴４０の内周面には、軸部３９ａの雄ネジ部に螺合される雌ネジ部４０Ｆが形成されている。ネジ穴４０は、軸部３９ａの外径ｅ１にほぼ等しいネジ谷径ｆ１を有する。
【００２７】
なお、６つのネジ穴４０のうち４つのネジ穴４０それぞれは、第１貫通孔５０に連なっており、６つのネジ穴４０のうち２つのねじ穴それぞれは、第２貫通孔６０に連なっている。
【００２８】
２．第１貫通孔５０
図４に示すように、第１貫通孔５０は、座ぐり孔５０ａと、座ぐり孔５０ａに繋がる挿通孔５０ｂとによって構成されている。
座ぐり孔５０ａは、固定ボルト３９の頭部３９ｂを収容するために第１面Ｓ１に開口する凹部である。従って、座ぐり孔５０ａは、固定ボルト３９の頭部３９ｂの外径ｅ２よりも大きな内径ｆ２を有する。また、本実施形態において、座ぐり孔５０ａの内周面には、後述するボス部材に螺合される雌ネジ部５０Ｆが形成されている。座ぐり孔５０ａは、内径ｆ２よりも大きなネジ谷径ｆ３を有する。また、座ぐり孔５０ａは、砥石回転中心３５Ａに沿って延びており、長さｄ１を有する。なお、雌ネジ部５０Ｆは、固定ボルト３９との関係においては何ら機能を発揮しない。
【００２９】
挿通孔５０ｂは、固定ボルト３９の軸部３９ａを挿通させるために座ぐり孔５０ａから第２面Ｓ２まで形成された孔である。従って、挿通孔５０ｂは、第２面Ｓ２に開口しており、固定ボルト３９の軸部３９ａの外径ｅ１よりも大きな内径ｆ４を有する。また、挿通孔５０ｂは、砥石回転中心３５Ａに沿って延びており、長さｈ１を有する。なお、挿通孔５０ｂの内周面には、雌ネジ部は形成されていない。
【００３０】
３．第２貫通孔６０
図４に示すように、第２貫通孔６０は、座ぐり孔６０ａと、座ぐり孔６０ａに繋がる挿通孔６０ｂとによって構成されている。座ぐり孔６０ａは、内周面に雌ネジ部が形成されていない点を除いて、第１貫通孔５０の座ぐり孔５０ａと同じ構成を有する。また、挿通孔６０ｂは、挿通孔５０ｂと同じ構成を有する。
【００３１】
（治具２００の構成）
次に、砥石台金３８を取付け部３７から取り外すために用いられる治具２００の構成について、図面を参照しながら説明する。図５は、治具２００の構成を示す断面図である。図５に示すように、治具２００は、支持部材２１０と、ボス部材２２０と、を備える。
【００３２】
１．支持部材２１０
支持部材２１０は、支持軸部２１１と、挿通部２１２と、シャフト部２１３と、を有する。
支持軸部２１１は、取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれる円柱状の部材である。支持軸部２１１の外周面には、ネジ穴４０の雌ネジ部４０Ｆに螺合される雄ねじ部２１１Ｍが形成されている。支持軸部２１１は、固定ボルト３９の軸部３９ａの外径ｅ１にほぼ等しい外径ｇ１を有する。
挿通部２１２は、支持軸部２１１に連なる円柱状の部材である。挿通部２１２は、砥石台金３８の第１貫通孔５０のうち挿通孔５０ｂに挿通される。挿通部２１２は、挿通孔５０ｂの内径ｆ４よりも小さく、かつ、ネジ穴４０のネジ谷径ｆ１よりも大きな外径ｇ２を有する。また、挿通部２１２は、治具２００の中心軸２００Ａに沿って延びており、挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きな長さｈ２を有する。また、挿通部２１２は、ボス部材２２０が当接される端面２１２Ｓを有する。
【００３３】
シャフト部２１３は、挿通部２１２の端面２１２Ｓから突出するように形成される円柱状の部材である。シャフト部２１３は、挿通部２１２の外径ｇ２よりも小さい外径ｇ３を有する。シャフト部２１３は、挿通部２１２の端面２１２Ｓの中心に立設されている。シャフト部２１３の端部には、例えばマイナスドライバーなどを噛み合わせるための溝２１３ａが形成されている。
【００３４】
２．ボス部材２２０
ボス部材２２０は、ボス軸部２２１と、ボス頭部２２２と、シャフト孔２２３と、を有する。
ボス軸部２２１は、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａにねじ込まれる円柱状の部材である。ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。ボス軸部２２１は、座ぐり孔５０ａのネジ谷径ｆ３にほぼ等しい外径ｇ４を有する。また、ボス軸部２２１は、治具２００の中心軸２００Ａに沿って延びており、座ぐり孔５０ａの長さｄ１にほぼ等しい長さｄ２を有する。また、ボス軸部２２１は、挿通部２１２の端面２１２Ｓと対向する対向面２２１Ｓを有する。対向面２２１Ｓにはシャフト孔２２３が形成されている。なお、ボス軸部２２１の軸心は、治具２００の中心軸２００Ａと一致する。
【００３５】
ボス頭部２２２は、ボス軸部２２１と一体的に形成されている。ボス頭部２２２は、工具を用いてボス部材２２０を回転させる際に、工具に嵌め合わされる。従って、ボス頭部２２２は、使用される工具に対応する形状を有していればよい。
シャフト孔２２３は、支持部材２１０のシャフト部２１３を挿入するための孔である。シャフト孔２２３は、ボス軸部２２１の対向面２２１Ｓに開口している。シャフト孔２２３は、ボス軸部２２１の軸心に沿って形成されている。シャフト孔２２３は、挿通部２１２の外径ｇ２よりも小さく、かつ、シャフト部２１３の外径ｇ３よりも大きい外径ｇ５を有する。
【００３６】
（取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法）
次に、取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法について、図面を参照しながら説明する。図６〜図１０は、取付け部３７から砥石台金３８を取り外す方法を説明するための断面図である。
まず、図６に示すように、砥石台金３８に設けられた挿通孔５０ｂに挿通されるとともに取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれた固定ボルト３９を抜き取る。
【００３７】
次に、図７に示すように、上述の支持部材２１０を準備して、砥石台金３８の挿通孔５０ｂに支持軸部２１１を挿通させた後に、取付け部３７のネジ穴４０に支持軸部２１１をねじ込む。具体的には、例えばマイナスドライバーをシャフト部２１３の溝２１３ａに噛み合わせてシャフト部２１３を治具２００の中心軸２００Ａ周りに回転させることによって、支持軸部２１１の雄ねじ部２１１Ｍをネジ穴４０の雌ネジ部４０Ｆに螺合させる。この場合、挿通部２１２の長さｈ２が挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きいので、挿通部２１２の肩部２１２ａが、挿通孔５０ｂから座ぐり孔５０ａ内にはみ出る。そのため、挿通部２１２の端面２１２Ｓは、座ぐり孔５０ａの底面から第１面Ｓ１側に突出する。また、挿通部２１２の外径ｇ２が挿通孔５０ｂの内径ｆ４よりも小さいので、挿通部２１２は、挿通孔５０ｂの内周面から離間する。
次に、図８に示すように、上述のボス部材２２０を準備して、ボス部材２２０のシャフト孔２２３に支持部材２１０のシャフト部２１３を挿入する。
【００３８】
次に、図９に示すように、座ぐり孔５０ａにボス部材２２０をねじ込む。具体的には、工具（不図示）をボス頭部２２２の外周に嵌め合わせてボス頭部２２２を治具２００の中心軸２００Ａ周りに回転させることによって、ボス軸部２２１の雄ねじ部２２１Ｍを座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合させる。この場合、ボス頭部２２２の回転を進めるうちにボス軸部２２１は挿通部２１２の肩部２１２ａに当接する。すなわち、ボス軸部２２１の対向面２２１Ｓは、挿通部２１２の端面２１２Ｓと接触する。そして、ボス軸部２２１を挿通部２１２の肩部２１２ａに当接させた状態（すなわち、取付け部３７に対するボス部材２００の位置を固定した状態）でボス頭部２２２をさらに回転せると、ボス頭部２２２の回転に伴って砥石台金３８がボス部材２２０に引き寄せられる。その結果、図１０に示すように、砥石台金３８が取付け部３７から引き離される。
なお、本実施形態では、挿通部２１２の長さｈ２が挿通孔５０ｂの長さｈ１よりも大きく、かつ、ボス軸部２２１の長さｄ２が座ぐり孔５０ａの長さｄ１にほぼ等しいので、ボス軸部２２１が座ぐり孔５０ａに完全に嵌まり込んでしまうことはない。
【００３９】
（作用及び効果）
実施形態に係る研削盤１００において、砥石台金３８の座ぐり孔５０ａの内周面には、雌ネジ部５０Ｆが形成されている。また、治具２００において、挿通部２１２は、砥石台金３８の挿通孔５０ｂよりも長く、ボス軸部２２１の外周面には、座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆに螺合される雄ねじ部２２１Ｍが形成されている。
【００４０】
そのため、ボス軸部２２１を挿通部２１２に当接させた状態で座ぐり孔５０ａの雌ネジ部５０Ｆにボス軸部２２１の雄ねじ部２２１Ｍを螺合させることによって、砥石台金３８を取付け部３７から引き離すことができる。従って、砥石台金３８を取付け部３７から簡便に取り外すことができる。
また、支持部材２１０において、支持軸部２１１が取付け部３７のネジ穴４０にねじ込まれることによって取付け部３７に支持される。そのため、支持部材２１０が取付け部３７の取り付け面３７Ｓと擦れることによって取り付け面３７Ｓが傷つくことを抑制することができる。
さらに、挿通孔５０ｂの内周面には雌ネジ部が形成されていないので、固定ボルト３９が挿通孔５０ｂの内周面と擦れることによって挿通孔５０ｂの内周面が傷つくことを抑制することができる。
【００４１】
（その他の実施形態）
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
（Ａ）上記実施形態において、治具２００の支持部材２１０において、挿通部２１２は、支持軸部２１１の外径ｇ１よりも大きい外径ｇ２を有することとしたが、これに限られるものではない。図１１に示すように、挿通部２１２の外径ｇ２は、支持軸部２１１の外径ｇ１にほぼ等しくてもよい。
【００４２】
（Ｂ）上記実施形態において、砥石台金３８の台座３８１は、２つの第１貫通孔５０と４つの第２貫通孔６０とを有することとしたが、これに限られるものではない。台座３８１は、１つ又は３つ以上の第１貫通孔５０を有していてもよい。また、台座３８１は、第２貫通孔６０に代えて第１貫通孔５０を有していてもよい。これによって、台座３８１が複数の第１貫通孔５０を有する場合には、複数の冶具２００を用いることによってバランスよく砥石台金３８を取り外すことができる。さらに、第１貫通孔５０の数が少ないほど砥石台金３８を取り外す際の作業性を向上させることができる。
【００４３】
（Ｃ）上記実施形態において、第２貫通孔６０は、雌ねじ部５０Ｆを有していない点以外は第１貫通孔５０と同じ構成を有することとしたが、これに限られるものではない。第２貫通孔６０は、第１貫通孔５０と全く異なる構成を有していてもよい。この場合、第２貫通孔６０には、固定ボルト３９とは異なる固定具が取り付けられてもよい。
【００４４】
（Ｄ）上記実施形態において、各部材の寸法について説明したが、以下の大小関係を満たす限りにおいて、各部材の寸法は変更することができる。
（ｉ）ネジ穴４０のネジ谷径ｆ１≒軸部３９ａの外径ｅ１≒支持軸部２１１の外径ｇ１
（ｉｉ）座ぐり孔５０ａの内径ｆ２＞頭部３９ｂの外径ｅ２
（ｉｉｉ）座ぐり孔５０ａのネジ谷径ｆ３≒ボス軸部２２１の外径ｇ４
（ｉｖ）挿通孔５０ｂの内径ｆ４＞挿通部２１２の外径ｇ２
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００４５】
１００…研削盤、１０…機台、２０…ワーク支持装置、２１…ワーク台、２２…スピンドル、２３…駆動モータ、２４…チャック、３０…研削加工装置、３１…固定台、３２…送り台、３３…送り駆動部、３４…支持台、３５…スピンドル、３６…駆動モータ、３７…取付け部、３７Ｓ…取付け面、３７Ｔ…凸部、３８…砥石台金、３８１…台座、Ｓ１…第１面、Ｓ２…第２面、３８２…砥石、３９…固定ボルト、３９ａ…軸部、３９ｂ…頭部、４０…ネジ穴、５０…第１貫通孔、５０ａ…座ぐり孔、５０Ｆ…雌ネジ部、５０ｂ…挿通孔、６０…第２貫通孔、２００…治具、２１０…支持部材、２１１…支持軸部、２１２…挿通部、２１３…シャフト部、２２０…ボス部材、２２１…ボス軸部、２２１Ｍ…雄ねじ部、２２２…ボス頭部、２２３…シャフト孔、Ｗ…ワーク、３５Ａ…砥石回転中心
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ボルトによって取付け部に固定される砥石台金であって、
第１面と、前記第１面の反対に設けられる第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、
前記台座の前記第１面上において環状に形成される砥石と、
を備え、
前記貫通孔は、前記第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、前記座ぐり孔に連なり前記第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有し、
前記座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する、
砥石台金。
【請求項２】
前記貫通孔と同じ構成をそれぞれ有する複数の貫通孔を備え、
前記複数の貫通穴は、前記第１面の平面視において、前記台座の回転中心を基準として点対称に配置されている、
請求項１に記載の砥石台金。
【請求項３】
固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を前記取付け部から取り外すために用いられる治具であって、
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり、前記固定ボルトの軸部を挿通するために前記砥石台金に設けられる挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材と、
前記固定ボルトの頭部を収容するために前記砥石台金に設けられる座ぐり孔の内周面に形成された雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材と、
を備える治具。
【請求項４】
第１面と、前記第１面の反対に設けられる第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、前記台座の前記第１面上において環状に形成される砥石と、を有する砥石台金と、
前記第２面に当接される取付け面と、前記第２面に開口し前記貫通孔に連なるネジ穴と、を有する取付け部と、
を備え、
前記貫通孔は、前記第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、前記座ぐり孔に連なり前記第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有し、
前記座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する、
研削盤。
【請求項５】
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり前記挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材と、
前記座ぐり孔の前記雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材と、
を有する治具をさらに備える、
請求項４に記載の研削盤。
【請求項６】
固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を前記取付け部から取り外すための取外し方法であって、
前記砥石台金に設けられた挿通孔に挿通されるとともに前記取付け部のネジ穴にねじ込まれた前記固定ボルトを抜き取る工程と、
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり前記挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材を準備する工程と、
前記砥石台金の前記挿通孔に前記支持軸部を挿通させた後に、前記取付け部のネジ穴に前記支持軸部をねじ込む工程と、
前記砥石台金に設けられた座ぐり孔の内周面に形成される雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材を準備する工程と、
前記支持部材の前記シャフト部に前記ボス部材の前記シャフト孔を挿入する工程と、
前記座ぐり孔の前記雌ネジ部に前記ボス軸部の前記雄ネジ部をねじ込む工程と、
を備える取外し方法。
【請求項１】
固定ボルトによって取付け部に固定される砥石台金であって、
第１面と、前記第１面の反対に設けられる第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、
前記台座の前記第１面上において環状に形成される砥石と、
を備え、
前記貫通孔は、前記第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、前記座ぐり孔に連なり前記第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有し、
前記座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する、
砥石台金。
【請求項２】
前記貫通孔と同じ構成をそれぞれ有する複数の貫通孔を備え、
前記複数の貫通穴は、前記第１面の平面視において、前記台座の回転中心を基準として点対称に配置されている、
請求項１に記載の砥石台金。
【請求項３】
固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を前記取付け部から取り外すために用いられる治具であって、
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり、前記固定ボルトの軸部を挿通するために前記砥石台金に設けられる挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材と、
前記固定ボルトの頭部を収容するために前記砥石台金に設けられる座ぐり孔の内周面に形成された雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材と、
を備える治具。
【請求項４】
第１面と、前記第１面の反対に設けられる第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する貫通孔と、を含む台座と、前記台座の前記第１面上において環状に形成される砥石と、を有する砥石台金と、
前記第２面に当接される取付け面と、前記第２面に開口し前記貫通孔に連なるネジ穴と、を有する取付け部と、
を備え、
前記貫通孔は、前記第１面に開口し第１内径を有する座ぐり孔と、前記座ぐり孔に連なり前記第１内径よりも小さい第２内径を有する挿通孔と、を有し、
前記座ぐり孔は、内周面に形成される雌ネジ部を有する、
研削盤。
【請求項５】
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり前記挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材と、
前記座ぐり孔の前記雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材と、
を有する治具をさらに備える、
請求項４に記載の研削盤。
【請求項６】
固定ボルトによって取付け部に固定された砥石台金を前記取付け部から取り外すための取外し方法であって、
前記砥石台金に設けられた挿通孔に挿通されるとともに前記取付け部のネジ穴にねじ込まれた前記固定ボルトを抜き取る工程と、
雄ネジ部を有する円柱状の支持軸部と、前記支持軸部に連なり前記挿通孔よりも長い円柱状の挿通部と、前記挿通部の端面から突出する円柱状のシャフト部と、を有する支持部材を準備する工程と、
前記砥石台金の前記挿通孔に前記支持軸部を挿通させた後に、前記取付け部のネジ穴に前記支持軸部をねじ込む工程と、
前記砥石台金に設けられた座ぐり孔の内周面に形成される雌ネジ部に対応する雄ネジ部を有するボス軸部と、前記ボス軸部の軸心に沿って形成されるシャフト孔と、を有するボス部材を準備する工程と、
前記支持部材の前記シャフト部に前記ボス部材の前記シャフト孔を挿入する工程と、
前記座ぐり孔の前記雌ネジ部に前記ボス軸部の前記雄ネジ部をねじ込む工程と、
を備える取外し方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−２０６２０２（Ｐ２０１２−２０６２０２Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−７３１３７（Ｐ２０１１−７３１３７）
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００１５２６７５）コマツＮＴＣ株式会社 (218)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００１５２６７５）コマツＮＴＣ株式会社 (218)
【Ｆターム（参考）】
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