粘着剤及び研磨布固定用両面粘着テープ
【課題】酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供する。また、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供する。
【解決手段】（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である粘着剤。
【解決手段】（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である粘着剤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤に関する。また、本発明は、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハを所定の厚さにまで研磨する工程においては、研磨機の定盤に固定された研磨布を用いて研磨が行われる。研磨布を研磨機の定盤に固定するためには、通常、両面テープが使用される。この研磨布固定用両面粘着テープには、研磨中に研磨布が剥離しない程度に充分な接着力を有するとともに、使用した研磨布を交換する際には定盤から糊残りなく剥離できることが求められてきた。
【０００３】
特許文献１には、プラスチックフィルムの一方の面にニトリルゴム系粘着剤からなる粘着剤層を設け、他方の面に再剥離性の粘着剤層を設けてなる研磨布固定用両面粘着テープが開示されている。特許文献１に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、ニトリルゴム系粘着剤からなる粘着剤層側を研磨布に接着し、再剥離性の粘着剤層側を定盤に接着して使用する。特許文献１の実施例では、再剥離性の粘着剤層を構成する粘着剤として、アクリル酸と、アクリル酸ブチルと、酢酸ビニルとを共重合させてなる共重合体を使用している。特許文献１に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、両面をアクリル粘着剤とした場合に比べて、酸化セリウム微粉末の２０％溶液に５０℃で５日間浸漬した後も高い粘着力を維持できる。
【０００４】
特許文献２には、プラスチックフィルム支持体の一方の面にアクリル系ポリマーを主成分とする粘着剤層と該粘着剤層上にポリエステル又はポリウレタンからなる熱活性粘着剤層が積層一体化された層を設け、他方の面に再剥離性の粘着剤層を設けてなる研磨布固定用両面粘着テープが開示されている。特許文献２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、熱活性粘着剤層を研磨材に接着させて使用する。特許文献２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、両面ともアクリル粘着剤層を用いた場合と比べて、水酸化カリウムでｐＨ１０に調整した５０℃の水溶液に５日間浸漬した場合にも、高い粘着力を維持できる。
【０００５】
しかしながら、近年、半導体ウエハ等を研磨する際に強酸性又は強アルカリ性のスラリー液を使用するため、特許文献１及び２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープでは、定盤側の粘着剤層が酸やアルカリの影響で劣化しやすく、研磨中に剥離してしまうことがあるという問題があった。また、仮に特許文献１及び２に記載されている研磨布固定側の粘着剤層を定盤側にも使用した場合には、酸やアルカリに対する耐性は優れるが、使用した研磨布を交換する際に定盤から容易に剥離することができなかった。
【０００６】
耐アルカリ性に優れた粘着剤として、例えば、特許文献３には、スチレンと、環式構造を有する（メタ）アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エチレン性二重結合を有するカルボン酸とを共重合したポリマーを主成分とする粘着剤が開示されている。特許文献３に開示されている粘着剤は、２．３８質量％のＴＭＡＨ水溶液に浸漬させても溶解しない。しかしながら、特許文献３に開示されている耐アルカリ性に優れた粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープの定盤固定用粘着剤層に使用した場合には、使用した研磨布を交換する際に接着層を溶解し取り除くための剥離液が必要となり、容易に再剥離することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１４５６１１号公報
【特許文献２】特開平６−１７２７２１号公報
【特許文献３】特開２００８−０６３４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することを目的とする。また、本発明は、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である粘着剤である。
以下に本発明を詳述する。
【００１０】
本発明者らは、特定の構造を有する（メタ）アクリル酸エステル共重合体を用いることにより、酸及びアルカリへの耐性に優れるために研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１１】
本発明の粘着剤は、（メタ）アクリル酸エステル共重合体を含有する。
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、モノマー混合物を共重合させてなる。
上記モノマー混合物は脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は耐せん断力に優れる。また、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の極性に影響を与えず、かつ、剛直な骨格を有するため、本発明の粘着剤は、加水分解しにくくなり、耐酸性及び耐アルカリ性に優れる。
【００１２】
上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは特に限定されないが、下記一般式（１）で表される（メタ）アクリル酸エステルが好適である。
【００１３】
【化１】
【００１４】
一般式（１）中、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ２は脂肪族環骨格を有する炭素数５〜１５の有機基を表す。
【００１５】
上記一般式（１）で表される（メタ）アクリル酸エステルは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸２−メチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸３−メチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−エチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸イソボルニル等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸エステルモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、アルカリ水溶液の浸透性が低く、かつ、エステル加水分解を受けにくいことから、（メタ）アクリル酸シクロヘキシルが好適である。
【００１６】
上記モノマー混合物中における上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は５重量％、好ましい上限は２５重量％である。上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５重量％未満であると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が２５重量％を超えると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量のより好ましい下限は７重量％、より好ましい上限は２３重量％である。
【００１７】
上記モノマー混合物は炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有することにより、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の疎水性が高くなり、酸性水溶液やアルカリ性水溶液の粘着剤中への浸透が抑制され、加水分解の影響を受けにくくなるため、本発明の粘着剤は耐酸性及び耐アルカリ性に優れる。また、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを用いることにより、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が低くなり、本発明の粘着剤は密着性に優れる。
【００１８】
上記鎖式骨格の炭素数が５以下であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の疎水性が低くなるため、共重合体内部へ酸性水溶液やアルカリ性水溶液が浸透しやすくなる。浸透した酸やアルカリは、触媒として作用して（メタ）アクリル酸エステル共重合体のエステル部位の加水分解反応を引き起し、（メタ）アクリル酸エステル共重合体の化学劣化が発生する。上記鎖式骨格の炭素数が１５以上であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体のＴｇが高くなるため、得られる粘着剤の流動性が低下し、密着性が悪くなる。
上記鎖式骨格の炭素数の好ましい下限は７、好ましい上限は１２である。
【００１９】
上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは特に限定されないが、下記一般式（２）で表される（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好適である。
【００２０】
【化２】
【００２１】
一般式（２）中、Ｒ３は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ４は炭素数６〜１４のアルキル基を表す。
【００２２】
上記一般式（２）で表される（メタ）アクリル酸アルキルエステルは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソテトラデシル等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸アルキルエステルは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、水溶液の浸透が低く、かつ、エステル加水分解を受けにくいことから、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルが好適である。
【００２３】
上記モノマー混合物中における上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は６５重量％、好ましい上限は９２重量％である。上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５重量％未満であると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が９２重量％を超えると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。
上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量のより好ましい下限は７０重量％、より好ましい上限は９０重量％である。
【００２４】
上記モノマー混合物はカルボキシル基を有するモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が、上記カルボキシル基を有するモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は凝集性に優れ、かつ、高い界面接着力を有する。そのため、本発明の粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、再剥離する際の糊残りの発生を防止することができ、かつ、研磨時に回転方向のモーメントとして接着面に対して加わる力による粘着剤層又は接着界面でのボイドの発生を抑制し、ボイドに酸又はアルカリスラリー液が浸透して接着面積が低下することによる研磨布の剥離を効果的に防止することができる。
【００２５】
上記カルボキシル基を有するモノマーは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリロイル基を有する不飽和カルボン酸、エチレン性二重結合を有する不飽和カルボン酸等が挙げられる。
上記（メタ）アクリロイル基を有する不飽和カルボン酸は特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリロイル酢酸、（メタ）アクリロイルプロピオン酸、（メタ）アクリロイル酪酸、（メタ）アクリロイルペンタン酸等が挙げられる。
上記エチレン性二重結合を有する不飽和カルボン酸は特に限定されず、例えば、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸、これら不飽和カルボン酸の無水物等が挙げられる。これらのカルボキシル基を有するモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２６】
上記モノマー混合物中における上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は２重量％、好ましい上限は１０重量％である。上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２重量％未満であると、粘着剤の凝集性や界面接着力が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたり、研磨時に研磨布が剥がれたりすることがある。上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量が１０重量％を超えると、粘着剤のタックが低下して初期接着性が悪くなり、研磨布が剥がれることがある。
上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量のより好ましい下限は２．５重量％、より好ましい上限は９重量％である。
【００２７】
上記モノマー混合物は、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することが好ましい。
上記モノマー混合物が、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は高い凝集性を有する。これは、上記カルボキシル基を有するモノマーと上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーとが、イオン結合又は水素結合を形成することによって擬似的に架橋しているためであると推定される。そのため、本発明の粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、再剥離する際の糊残りの発生を防止することができ、かつ、研磨時に回転方向のモーメントとして接着面に対して加わる力による粘着剤層又は接着界面でのボイドの発生を抑制し、ボイドに酸又はアルカリスラリー液が浸透して接着面積が低下することによる研磨布の剥離を効果的に防止することができる。
【００２８】
上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは特に限定されず、例えば、アクリルアミド、メタクリルアミド、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル等が挙げられる。これらのアミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、加水分解を受けにくく、また、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー及び／又は上記カルボキシル基を有するモノマーと共重合しやすいことから、アクリルアミドが好適である。
【００２９】
上記モノマー混合物中における上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は０．１重量％、好ましい上限は２重量％である。上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が０．１重量％未満であると、粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたり、研磨時に研磨布が剥がれたりすることがある。上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が２重量％を超えると、粘着剤のタックが低下して初期接着性が悪くなり、研磨布が剥がれることがある。また、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が２重量％を超えると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の吸水性が高くなるため、共重合体内部へ酸性水溶液やアルカリ性水溶液が浸透しやすくなることがある。浸透した酸やアルカリは、触媒として作用して（メタ）アクリル酸エステル共重合体のエステル部位の加水分解反応を引き起こし、（メタ）アクリル酸エステル共重合体の化学劣化が発生することがある。
上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量のより好ましい下限は０．２重量％、より好ましい上限は１．５重量％である。
【００３０】
上記モノマー混合物は、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、又は、上記カルボキシル基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有してもよい。更に、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有する場合には、上記モノマー混合物は、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記カルボキシル基を有するモノマー、或いは、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有してもよい。なお、本明細書中、このようなモノマーを、単に「他のモノマー」ともいう。
上記他のモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の分子間相互作用が増大することによって高い凝集力を得ることができる。更に、上記他のモノマーが極性基を有する場合には、本発明の粘着剤は、該極性基が研磨布等の被着体表面と相互作用を起こすことによって高い界面接着力を得ることができる。
【００３１】
上記他のモノマーは特に限定されず、例えば、エチレン性二重結合を含むニトリル誘導体、エチレン性二重結合を含むアルコール誘導体、エチレン性二重結合を含むエーテル誘導体等が挙げられる。
【００３２】
上記モノマー混合物中における上記他のモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい上限は１５重量％である。上記他のモノマーの含有量が１５重量％を超えると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
上記他のモノマーの含有量のより好ましい上限は１２重量％である。
【００３３】
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は特に限定されないが、好ましい下限は２０万、好ましい上限は１００万である。上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が２０万未満であると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が１００万を超えると、接着力が低下し、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により、ポリスチレン換算して測定した値を意味する。具体的には、例えば、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）により１００倍に希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液をカラム（例えば、Ｗａｔｅｒ社製の商品名「２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ」等）を用いてＧＰＣ法により測定することができる。
【００３４】
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体を製造する方法は特に限定されず、例えば、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、上記カルボキシル基を有するモノマーと、必要に応じて配合する他のモノマーとを含有するモノマー混合物を、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させる重合方法等が挙げられる。
上記重合方法は特に限定されず、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等の従来公知の重合方法を用いることができる。
【００３５】
上記溶液重合に用いる溶媒は特に限定されず、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、アセトン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、酢酸シクロヘキシル、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。
【００３６】
上記溶液重合に用いる溶媒の配合量は特に限定されないが、上記モノマー混合物１００重量部に対して、好ましい下限は２５重量部、好ましい上限は３００重量部である。上記溶媒の配合量が２５重量部未満であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の分子量分布が広くなって粘着剤の粘着性や凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。上記溶媒の配合量が３００重量部を超えると、研磨布固定用両面粘着テープを作製する際に粘着層の厚みを均一にすることが困難になったり、溶剤を除去する手間が必要となったりすることがある。
【００３７】
上記重合開始剤は特に限定されず、例えば、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ラウロイルパーオキシド、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート等が挙げられる。これらの重合開始剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレートが好適である。
【００３８】
上記重合開始剤の配合量は特に限定されないが、上記モノマー混合物１００重量部に対して、好ましい下限は０．０２重量部、好ましい上限は０．５重量部である。上記重合開始剤の配合量が０．０２重量部未満であると、重合反応が不充分となったり、重合反応に長時間を要したりすることがある。上記重合開始剤の配合量が０．５重量部を超えると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が低くなりすぎたり、分子量分布が広くなりすぎたりすることがあり、その結果、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。
【００３９】
本発明の粘着剤は、架橋剤を含有する。
上記架橋剤を含有することにより、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体に架橋構造を形成することができる。また、上記架橋剤の種類や量を適宜調整することによって、本発明の粘着剤のゲル分率を調整することが容易になる。
【００４０】
上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤等が挙げられる。なかでも、耐熱性及び耐久性等の性能を発現しやすいことから、イソシアネート系架橋剤が好適である。
【００４１】
上記架橋剤の配合量は特に限定されないが、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、好ましい下限は０．１重量部、好ましい上限は４重量部である。上記架橋剤の配合量が０．１重量部未満であると、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の架橋が不充分となり、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記架橋剤の配合量が４重量部を超えると、得られる粘着剤の粘着力やタックが低下することがある。
上記架橋剤の配合量のより好ましい下限は０．２重量部、より好ましい上限は２．５重量部である。
【００４２】
本発明の粘着剤は、更に、粘着付与樹脂を含有してもよい。
上記粘着付与樹脂は特に限定されず、例えば、キシレン樹脂、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂等が挙げられる。これらの粘着付与樹脂は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、キシレン樹脂が好適であり、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物がより好適である。
【００４３】
本発明の粘着剤は、更に、必要に応じて着色剤、充てん剤、老化防止剤等の従来公知の添加剤を含有してもよい。
【００４４】
本発明の粘着剤を含有する粘着剤層を、基材の少なくとも一方の面に積層一体化してなる研磨布固定用両面粘着テープもまた、本発明の１つである。
【００４５】
上記基材は特に限定されず、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリプロピレン系樹脂等からなる合成樹脂フィルムや、ポリウレタン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂等からなる発泡シート等が挙げられる。なかでも、平坦であり、厚みのぶれが小さく、一定の強度を有することから、ポリエステル系樹脂からなる合成樹脂フィルムが好適である。
【００４６】
上記基材の厚みは特に限定されないが、非発泡体である場合には、好ましい下限は１５μｍ、好ましい上限は３００μｍである。上記非発泡体である基材の厚みが１５μｍ未満であると、得られる研磨布固定用両面粘着テープを研磨機の定盤から剥離させる際に基材が破断して綺麗に剥離させることができないことがある。上記非発泡体である基材の厚みが３００μｍを超えると、研磨布と得られる研磨布固定用両面粘着テープとを圧着させる際の圧力の調整が困難となり、研磨布と研磨布固定用両面粘着テープとの接着強度が低下することがある。上記非発泡体である基材の厚みのより好ましい下限は２０μｍ、より好ましい上限は２００μｍである。
【００４７】
上記基材が発泡体である場合には、上記基材の厚みの好ましい下限は５０μｍ、好ましい上限は３０００μｍである。上記発泡体である基材の厚みが５０μｍ未満であると、得られる研磨布固定用両面粘着テープを研磨機の定盤から剥離させる際に基材が破断して綺麗に剥離させることができないことがある。上記発泡体である基材の厚みが３０００μｍを超えると、研磨の際の圧力により基材が押し込まれて変形し、研磨物の研磨精度が低下することがある。上記発泡体である基材の厚みのより好ましい下限は１００μｍ、より好ましい上限は２０００μｍである。
【００４８】
上記粘着剤層の厚みは特に限定されないが、好ましい下限は２０μｍ、好ましい上限は１００μｍである。上記粘着剤層の厚みが２０μｍ未満であると、粘着力が不充分となり、研磨中に研磨布が剥離してしまうことがある。上記粘着剤層の厚みが１００μｍを超えると、粘着剤層の凝集性が低くなり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記粘着剤層の厚みのより好ましい下限は２５μｍ、より好ましい上限は８０μｍであり、更に好ましい下限は３０μｍ、更に好ましい上限は６０μｍである。
【００４９】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープの製造方法は特に限定されず、例えば、以下の方法が挙げられる。
【００５０】
まず、本発明の粘着剤に溶剤を加えて粘着剤溶液を調製し、得られた粘着剤溶液を基材の表面に塗布し、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥除去して粘着剤層を形成する。次に、形成した粘着剤層の上に離型フィルム又は剥離紙を、離型処理面が粘着剤層に対向した状態になるように重ね合わせる。
【００５１】
上記溶剤は特に限定されず、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、アセトン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン等が挙げられる。
【００５２】
次いで、新たに用意した離型フィルムの離型処理面に粘着剤溶液（本発明の粘着剤でもよいし、本発明の粘着剤と異なる粘着剤でもよい）を塗布し、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥除去することにより、離型フィルムの表面に粘着剤層が形成された積層フィルムを作製する。
【００５３】
基材における粘着剤層を形成した側と反対側の面に対して、得られた積層フィルムの粘着剤層が対向した状態になるように重ね合わせて積層体を作製する。
得られた積層体を、ゴムローラ等を用いて加圧することで、基材の両面に粘着剤層が積層一体化され、かつ、粘着剤層の表面に離型フィルム又は剥離紙が剥離可能に積層されてなる研磨布固定用両面粘着テープを得ることができる。
【００５４】
また、同様の要領で離型フィルム又は剥離紙の表面に粘着剤層が形成された積層フィルムを２組作製し、得られた２組の積層フィルムを基材の両面に、積層フィルムの粘着剤層を基材に対向させた状態になるように重ね合わせて積層体を作製し、得られた積層体を、ゴムローラ等を用いて加圧することで、基材の両面に粘着剤層が積層一体化され、かつ、粘着剤層の表面に離型フィルム又は剥離紙が剥離可能に積層されてなる研磨布固定用両面粘着テープを得ることができる。
【００５５】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、８０℃で１週間浸漬した後の上記粘着剤層の加水分解率は特に限定されないが、１％未満であることが好ましい。上記加水分解率が１％以上であると、酸又はアルカリスラリー液と接触する粘着剤層端部が劣化して、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
【００５６】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、上記粘着剤層のゲル分率は特に限定されないが、好ましい下限は３０重量％、好ましい上限は８０重量％である。上記ゲル分率が３０重量％未満であると、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記ゲル分率が８０重量％を超えると、粘着剤の粘着力やタックが低下することがある。
上記ゲル分率のより好ましい下限は４５重量％、より好ましい上限は７５重量％である。
【００５７】
なお、上記ゲル分率は、下記の方法により測定することができる。
本発明の研磨布固定用両面粘着テープを５０ｍｍ×２５ｍｍの平面長方形状に切断して試験片を作製する。得られた試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、２００メッシュのステンレスメッシュを介して試験片を酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させる。そして、乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式（３）を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片に用いる研磨布固定用両面粘着テープには、離型フィルム又は剥離紙は積層されていない。
ゲル分率（重量％）＝１００×（Ｗ２−Ｗ０）／（Ｗ１−Ｗ０） （３）
式（３）中、Ｗ０は基材の重量を表し、Ｗ１は浸漬前の試験片の重量を表し、Ｗ２は浸漬し乾燥した後の試験片の重量を表す。
【００５８】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板（ＳＵＳ）に対する１８０°引き剥がし粘着力は特に限定されないが、好ましい下限は１０Ｎ／２５ｍｍである。上記１８０°引き剥がし粘着力が１０Ｎ／２５ｍｍ未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力のより好ましい下限は１５Ｎ／２５ｍｍである。
【００５９】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を用いて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、６０℃、１ｋｇｆ、１時間の条件で行った際の剥離長さは特に限定されないが、好ましい上限は０．５ｍｍである。上記剥離長さが０．５ｍｍを超えると、粘着剤の凝集力が小さすぎて研磨時に加わるせん断力に対する応力が弱く、研磨布固定用両面粘着テープの接着面でずれが生じ、研磨布の平坦性が低下して研磨精度が低下することがある。また、研磨布固定用両面粘着テープの接着面にずれが発生した状態で研磨使用を続けると、研磨布が剥がれることがある。
【００６０】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、３０℃で、１７０時間浸漬した後の上記粘着剤層の重量増加率は特に限定されないが、１０％未満であることが好ましい。上記重量増加率が１０％以上であると、粘着剤層に酸又はアルカリスラリー液が染み込みやすくなって粘着剤の化学的分解が起こり、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記重量増加率は、５％未満であることがより好ましい。
なお、上記重量増加率は、下記式（４）を用いて求めることができる。
重量増加率（％）＝１００×（Ｗ４−Ｗ３）／（Ｗ３−Ｗ０） （４）
式（４）中、Ｗ０は基材の重量を表し、Ｗ３は浸漬前の試験片の重量を表し、Ｗ４は浸漬後の試験片の重量を表す。
【００６１】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、１００ｍｍ×２５ｍｍの試験片を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に３０℃で２４時間浸漬した後に、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した、ＳＵＳに対する１８０°引き剥がし粘着力は特に限定されないが、好ましい下限は１０Ｎ／２５ｍｍ、好ましい上限は２５Ｎ／２５ｍｍである。上記１８０°引き剥がし粘着力が１０Ｎ／２５ｍｍ未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力が２５Ｎ／２５ｍｍを超えると、使用した研磨布を交換する際に再剥離することが困難となることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力のより好ましい下限は１５Ｎ／２５ｍｍ、より好ましい上限は２３Ｎ／２５ｍｍである。
【００６２】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープは、１００ｍｍ×２５ｍｍの大きさに切断し、粘着剤層をガラス板に貼り付け、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中、又は、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸中にて、１５６ｇの錘を用いて行った場合の剥離速度が８ｍｍ／分以下であることが好ましい。上記剥離速度が８ｍｍ／分を超えると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
なお、研磨布固定用両面テープは端から１５ｍｍを剥離しておき、端部に１５６ｇの荷重を垂下させて測定すればよい。
【００６３】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープは、以下の方法により測定したねじりせん断試験において、剥離までの時間が３分以上であることが好ましい。
まず、１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさに切断した研磨布固定用両面粘着テープを用いて、１００ｍｍ×５０ｍｍ×１．８ｍｍの大きさのガラス板と５０ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍの大きさのアクリル板とを、ガラス板の短辺の端から２０ｍｍかつ長辺の端から２０ｍｍの位置を粘着剤層の中心となるようにし、アクリル板の短辺の端から７．５ｍｍかつ長辺の端から７．５ｍｍの位置を他方の粘着剤層側の中心となるようにして貼り合わせる。
次いで、アクリル板における研磨布固定用両面粘着テープの中心から３０ｍｍ離れた位置に２００ｇの錘を垂下させ、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中、又は、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸中に浸漬させる。
水酸化ナトリウム水溶液中又は塩酸中への浸漬の開始から、ガラス板からアクリル板が研磨布固定用両面粘着テープごと剥離するまでにかかる剥離時間を測定する。
図１にねじりせん断試験の測定方法を表す模式図を示した。
上記剥離までの時間が３分未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
【発明の効果】
【００６４】
本発明によれば、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することができる。また、本発明によれば、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】ねじりせん断試験の測定方法を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００６６】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
【００６７】
（実施例１〜８及び比較例１〜８）
（１）（メタ）アクリル酸エステル共重合体の製造
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器に、表１に示した配合量の各モノマー、及び、溶媒として酢酸エチルを加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤としてｔ−ヘキシルパーオキシピバレート０．１重量部を添加した。その後、７０℃にて５時間還流させて、（メタ）アクリル酸エステル共重合体溶液を得た。
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体について、カラムとしてＷａｔｅｒ社製「２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ」を用いてＧＰＣ法によりポリスチレン換算による重量平均分子量を測定した。結果を表１に示した。
【００６８】
（２）研磨布固定用両面粘着テープの製造
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、酢酸エチル（不二化学薬品社製）１２５重量部と、表２に示した配合量のイソシアネート系架橋剤（積水フーラー社製、「硬化剤 ＵＡ」）を添加し、攪拌して、粘着剤溶液を得た。
【００６９】
厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材フィルムの表面に、得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより粘着剤溶液中の酢酸エチルを除去し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。形成した粘着剤層上に、離型処理が施された厚み３８μｍのＰＥＴ離型フィルムを離型処理面が粘着剤層に対向するように重ね合わせ、定盤固定用粘着剤層を有するフィルム（Ａ）を得た。
一方、離型処理が施された厚み５０μｍのＰＥＴ離型フィルムを用意し、このＰＥＴ離型フィルムの離型処理面に得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより、厚み５０μｍの研磨布用粘着剤層を有するフィルム（Ｂ）を得た。
フィルム（Ａ）の粘着剤層を形成した側と反対側の面に、フィルム（Ｂ）の粘着剤層が対向するようにフィルム（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを重ね合わせて積層体を作製した。得られた積層体上に３００ｍｍ／分の速度で２ｋｇのゴムローラを１往復させた後、２３℃で７日間養生することにより、ＰＥＴ基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化された研磨布固定用両面粘着テープを得た。
【００７０】
＜評価＞
実施例１〜８及び比較例１〜８で得られた研磨布固定用両面粘着テープについて以下の評価を行った。結果を表２に示した。
【００７１】
（１）加水分解率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを縦５０ｍｍ×横５０ｍｍの平面正方形状の試験片に切り出し、粘着剤層上に設けたＰＥＴ離型フィルム（後述する実施例９〜１６においては、剥離紙及びＰＥＴ離型フィルム）を両面とも剥離した。この試験片を０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液に、８０℃で１週間浸漬した。その後、各溶液について核磁気共鳴（ＮＭＲ）測定を行い、加水分解で生成したアルコール量の定量を行い、下記式（５）を用いて加水分解率を求めた。
加水分解率（％）＝１００×Ａ１／Ａ２ （５）
式（５）中、Ａ１は生成したアルコールのｍｏｌ数を表し、Ａ２は粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数を表す。なお、粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数は下記式（６）を用いて求めることができる。
粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数＝Σ（Ｂ×ｒｉ／Ｍｉ） （６）
式（６）中、Ｂは試験片の定盤固定用粘着剤層の粘着剤重量を表し、ｒｉは粘着剤中のモノマーｉ成分の配合率を表し、Ｍｉはｉ成分のモノマーの分子量を表す。また、試験片の定盤固定用粘着剤層の粘着剤重量は下記式（７）を用いて求めることができる。
粘着剤重量＝Ｗ６−Ｗ５ （７）
式（７）中、Ｗ５は基材の重量を表し、Ｗ６は浸漬前の試験片の重量を表す。
また、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７２】
（２）ゲル分率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを５０ｍｍ×２５ｍｍの平面長方形状に切断して試験片を作製し、この重量Ｗ１を測定した。試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、２００メッシュのステンレスメッシュを介して試験片を酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させた。乾燥後の試験片の重量Ｗ２を測定した。基材として用いたＰＥＴフィルムの重量Ｗ０を用いて、上記式（３）によりゲル分率を算出した。
【００７３】
（３）１８０°引き剥がし粘着力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に厚み３８μｍのＰＥＴフィルムを裏打ちした後、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着した。温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した後、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°引き剥がし粘着力（対ＳＵＳ）を測定した。
また、同様の方法により１８０°引き剥がし粘着力（対ガラス）を測定した。
【００７４】
（４）保持力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧して、この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に貼着させた後、４０℃で、６０分間養生させた。
次いで、ＰＥＴフィルムの下面に試験片が水平に位置した状態となるように配設し、６０℃において、試験片の長さ方向の端部に１ｋｇｆの荷重を垂直方向に付加し、試験片に荷重を付加してから１時間後の剥離長さを、ルーペを用いて測定した。
【００７５】
（５）薬液浸漬後の重量増加率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを縦５０ｍｍ×横５０ｍｍの試験片に切り出した後、粘着面上に設けたＰＥＴ離型フィルム（後述する実施例９〜１６においては、剥離紙及びＰＥＴ離型フィルム）を両面とも剥離し、浸漬前の研磨布固定用両面粘着テープの重量を測定した。その後、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に粘着面が容器に触れないよう浸漬させ、１７０時間放置した。所定時間経過後、研磨布固定用両面粘着テープを水酸化ナトリウム水溶液中から取り出し、表面に付着した水を圧縮空気で除去した後、浸漬後の研磨布固定用両面粘着テープの重量を測定した。その後、酢酸エチルを用いて両面の粘着剤を完全に除去し基材の重量を測定し、式（４）より重量増加率を算出した。
また、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７６】
（６）薬液浸漬後の１８０°引き剥がし粘着力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧し、この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に貼り着けてから、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した。次いで、試験片を貼り付けたステンレス板を３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬させ、２４時間放置した。その後、ステンレス板を取り出して軽く水洗した後、圧縮空気で付着した水を除去し、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°引き剥がし粘着力を測定した。
また、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７７】
（７）薬液中での保持力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧し、この試験片の定盤固定用粘着剤層をガラス板上に貼り着けてから、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した。試験片の端から２０ｍｍを剥離し、１５６ｇの錘を取り付けた。錘を取り付けた状態で、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、剥離が４０ｍｍ進むまでの時間を計測して、速度を計算した。
また、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７８】
（８）ねじりせん断試験
得られた研磨布固定用両面粘着テープを１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさに切断し、１００ｍｍ×５０ｍｍ×１．８ｍｍの大きさのガラス板と５０ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍの大きさのアクリル板とを、ガラス板の短辺の端から２０ｍｍ、かつ、長辺の端から２０ｍｍの位置に研磨布固定用両面粘着テープの定盤固定用粘着剤層側の中心がきて、アクリル板の短辺の端から７．５ｍｍ、かつ、長辺の端から７．５ｍｍの位置に研磨布固定用両面粘着テープの研磨布固定用粘着剤層側の中心がくるようにして貼り合わせた。次いで、アクリル板の研磨布固定用両面粘着テープの中心から３０ｍｍの位置に２００ｇの錘を垂下させた。錘を垂下させた状態で、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬した。浸漬の開始から、ガラス板からアクリル板が研磨布固定用両面粘着テープごと剥離するまでにかかる剥離時間を測定した。
また、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７９】
（９）研磨中剥がれの有無
得られた研磨布固定用両面粘着テープを、ゴムロールを用いて研磨布に貼り着けた。次いで、研磨布側からゴムロールを押し当てることにより、研磨装置の定盤に研磨布を固定した。
ガラス板を被研磨試験体とし、研磨スラリー（Ｃａｂｏｔ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製、「ＳＳ２５」又は「Ｗ２０００」）を用い、研磨圧力４９．０ｋＰａ、回転数１００ｒｐｍで５分間研磨を行った。その後、研磨布固定用両面粘着テープと定盤の界面について、剥離状態を目視にて観察した。同様にして研磨と観察とを１０回行った結果、１０回中、１回も剥がれがなかった場合を「○」と、１０回中、１回も剥がれがなかったものの、浮きが発生した場合を「△」と、１０回中、１回以上剥がれが見られた場合を「×」と評価した。
【００８０】
（１０）再剥離性
（９）に記載した研磨中剥がれの有無の評価後、定盤から研磨布固定用両面粘着テープを剥離し、定盤上に粘着剤が残っているか否か確認した。粘着剤残りが認められなかった場合を「○」とし、粘着剤残りが認められた場合を「×」と評価した。
【００８１】
【表１】
【００８２】
【表２】
【００８３】
（実施例９〜１６）
（１）（メタ）アクリル酸エステル共重合体の製造
表３に示した配合量の各モノマーを用いた以外は実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして、（メタ）アクリル酸エステル共重合体溶液を得た。
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体について、実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして、ＧＰＣ法によりポリスチレン換算による重量平均分子量を測定した。結果を表３に示した。
【００８４】
（２）研磨布固定用両面粘着テープの製造
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、酢酸エチル（不二化学薬品社製）１２５重量部と、表４に示した配合量のイソシアネート系架橋剤（積水フーラー社製、「硬化剤 ＵＡ」）を添加し、攪拌して、粘着剤溶液を得た。
【００８５】
厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材フィルムの表面に、得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより粘着剤溶液中の酢酸エチルを除去し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。形成した粘着剤層上に、剥離紙を離型処理面が粘着剤層に対向するように重ね合わせ、定盤固定用粘着剤層を有するフィルム（Ａ）を得た。
一方、離型処理が施された厚み５０μｍのＰＥＴ離型フィルムを用意し、このＰＥＴ離型フィルムの離型処理面に得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより、厚み５０μｍの研磨布用粘着剤層を有するフィルム（Ｂ）を得た。
フィルム（Ａ）の粘着剤層を形成した側と反対側の面に、フィルム（Ｂ）の粘着剤層が対向するようにフィルム（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを重ね合わせて積層体を作製した。得られた積層体上に３００ｍｍ／分の速度で２ｋｇのゴムローラを１往復させた後、２３℃で７日間養生することにより、ＰＥＴ基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化された研磨布固定用両面粘着テープを得た。
【００８６】
＜評価＞
実施例９〜１６で得られた研磨布固定用両面粘着テープについて以下の評価を行った。結果を表４に示した。
【００８７】
（１）加水分解率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００８８】
（２）ゲル分率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００８９】
（３）１８０°引き剥がし粘着力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９０】
（４）保持力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９１】
（５）薬液浸漬後の重量増加率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９２】
（６）薬液浸漬後の１８０°引き剥がし粘着力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９３】
（７）薬液中での保持力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９４】
（８）ねじりせん断試験
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９５】
（９）研磨中剥がれの有無
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９６】
（１０）再剥離性
（９）に記載した研磨中剥がれの有無の評価後、更に２４時間放置し充分に接着力が昂進した後に、定盤から研磨布固定用両面粘着テープを剥離し、定盤上に粘着剤が残っているか否か確認した。粘着剤残りが認められなかった場合を「○」と、一部粘着剤残りが認められた場合を「△」と、全面に粘着剤残りが認められた場合を「×」と評価した。
【００９７】
【表３】
【００９８】
【表４】
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明によれば、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することができる。また、本発明によれば、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することができる。
【符号の説明】
【０１００】
１ ガラス板
２ 両面粘着テープ
３ アクリル板
４ 錘
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤に関する。また、本発明は、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハを所定の厚さにまで研磨する工程においては、研磨機の定盤に固定された研磨布を用いて研磨が行われる。研磨布を研磨機の定盤に固定するためには、通常、両面テープが使用される。この研磨布固定用両面粘着テープには、研磨中に研磨布が剥離しない程度に充分な接着力を有するとともに、使用した研磨布を交換する際には定盤から糊残りなく剥離できることが求められてきた。
【０００３】
特許文献１には、プラスチックフィルムの一方の面にニトリルゴム系粘着剤からなる粘着剤層を設け、他方の面に再剥離性の粘着剤層を設けてなる研磨布固定用両面粘着テープが開示されている。特許文献１に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、ニトリルゴム系粘着剤からなる粘着剤層側を研磨布に接着し、再剥離性の粘着剤層側を定盤に接着して使用する。特許文献１の実施例では、再剥離性の粘着剤層を構成する粘着剤として、アクリル酸と、アクリル酸ブチルと、酢酸ビニルとを共重合させてなる共重合体を使用している。特許文献１に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、両面をアクリル粘着剤とした場合に比べて、酸化セリウム微粉末の２０％溶液に５０℃で５日間浸漬した後も高い粘着力を維持できる。
【０００４】
特許文献２には、プラスチックフィルム支持体の一方の面にアクリル系ポリマーを主成分とする粘着剤層と該粘着剤層上にポリエステル又はポリウレタンからなる熱活性粘着剤層が積層一体化された層を設け、他方の面に再剥離性の粘着剤層を設けてなる研磨布固定用両面粘着テープが開示されている。特許文献２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、熱活性粘着剤層を研磨材に接着させて使用する。特許文献２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープは、両面ともアクリル粘着剤層を用いた場合と比べて、水酸化カリウムでｐＨ１０に調整した５０℃の水溶液に５日間浸漬した場合にも、高い粘着力を維持できる。
【０００５】
しかしながら、近年、半導体ウエハ等を研磨する際に強酸性又は強アルカリ性のスラリー液を使用するため、特許文献１及び２に開示されている研磨布固定用両面粘着テープでは、定盤側の粘着剤層が酸やアルカリの影響で劣化しやすく、研磨中に剥離してしまうことがあるという問題があった。また、仮に特許文献１及び２に記載されている研磨布固定側の粘着剤層を定盤側にも使用した場合には、酸やアルカリに対する耐性は優れるが、使用した研磨布を交換する際に定盤から容易に剥離することができなかった。
【０００６】
耐アルカリ性に優れた粘着剤として、例えば、特許文献３には、スチレンと、環式構造を有する（メタ）アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エチレン性二重結合を有するカルボン酸とを共重合したポリマーを主成分とする粘着剤が開示されている。特許文献３に開示されている粘着剤は、２．３８質量％のＴＭＡＨ水溶液に浸漬させても溶解しない。しかしながら、特許文献３に開示されている耐アルカリ性に優れた粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープの定盤固定用粘着剤層に使用した場合には、使用した研磨布を交換する際に接着層を溶解し取り除くための剥離液が必要となり、容易に再剥離することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１４５６１１号公報
【特許文献２】特開平６−１７２７２１号公報
【特許文献３】特開２００８−０６３４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することを目的とする。また、本発明は、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である粘着剤である。
以下に本発明を詳述する。
【００１０】
本発明者らは、特定の構造を有する（メタ）アクリル酸エステル共重合体を用いることにより、酸及びアルカリへの耐性に優れるために研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１１】
本発明の粘着剤は、（メタ）アクリル酸エステル共重合体を含有する。
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、モノマー混合物を共重合させてなる。
上記モノマー混合物は脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は耐せん断力に優れる。また、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の極性に影響を与えず、かつ、剛直な骨格を有するため、本発明の粘着剤は、加水分解しにくくなり、耐酸性及び耐アルカリ性に優れる。
【００１２】
上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは特に限定されないが、下記一般式（１）で表される（メタ）アクリル酸エステルが好適である。
【００１３】
【化１】
【００１４】
一般式（１）中、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ２は脂肪族環骨格を有する炭素数５〜１５の有機基を表す。
【００１５】
上記一般式（１）で表される（メタ）アクリル酸エステルは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸２−メチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸３−メチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−エチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸イソボルニル等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸エステルモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、アルカリ水溶液の浸透性が低く、かつ、エステル加水分解を受けにくいことから、（メタ）アクリル酸シクロヘキシルが好適である。
【００１６】
上記モノマー混合物中における上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は５重量％、好ましい上限は２５重量％である。上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５重量％未満であると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が２５重量％を超えると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量のより好ましい下限は７重量％、より好ましい上限は２３重量％である。
【００１７】
上記モノマー混合物は炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを含有することにより、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の疎水性が高くなり、酸性水溶液やアルカリ性水溶液の粘着剤中への浸透が抑制され、加水分解の影響を受けにくくなるため、本発明の粘着剤は耐酸性及び耐アルカリ性に優れる。また、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを用いることにより、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が低くなり、本発明の粘着剤は密着性に優れる。
【００１８】
上記鎖式骨格の炭素数が５以下であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の疎水性が低くなるため、共重合体内部へ酸性水溶液やアルカリ性水溶液が浸透しやすくなる。浸透した酸やアルカリは、触媒として作用して（メタ）アクリル酸エステル共重合体のエステル部位の加水分解反応を引き起し、（メタ）アクリル酸エステル共重合体の化学劣化が発生する。上記鎖式骨格の炭素数が１５以上であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体のＴｇが高くなるため、得られる粘着剤の流動性が低下し、密着性が悪くなる。
上記鎖式骨格の炭素数の好ましい下限は７、好ましい上限は１２である。
【００１９】
上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは特に限定されないが、下記一般式（２）で表される（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好適である。
【００２０】
【化２】
【００２１】
一般式（２）中、Ｒ３は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ４は炭素数６〜１４のアルキル基を表す。
【００２２】
上記一般式（２）で表される（メタ）アクリル酸アルキルエステルは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソテトラデシル等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸アルキルエステルは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、水溶液の浸透が低く、かつ、エステル加水分解を受けにくいことから、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルが好適である。
【００２３】
上記モノマー混合物中における上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は６５重量％、好ましい上限は９２重量％である。上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５重量％未満であると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が９２重量％を超えると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。
上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量のより好ましい下限は７０重量％、より好ましい上限は９０重量％である。
【００２４】
上記モノマー混合物はカルボキシル基を有するモノマーを含有する。
上記モノマー混合物が、上記カルボキシル基を有するモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は凝集性に優れ、かつ、高い界面接着力を有する。そのため、本発明の粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、再剥離する際の糊残りの発生を防止することができ、かつ、研磨時に回転方向のモーメントとして接着面に対して加わる力による粘着剤層又は接着界面でのボイドの発生を抑制し、ボイドに酸又はアルカリスラリー液が浸透して接着面積が低下することによる研磨布の剥離を効果的に防止することができる。
【００２５】
上記カルボキシル基を有するモノマーは特に限定されず、例えば、（メタ）アクリロイル基を有する不飽和カルボン酸、エチレン性二重結合を有する不飽和カルボン酸等が挙げられる。
上記（メタ）アクリロイル基を有する不飽和カルボン酸は特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリロイル酢酸、（メタ）アクリロイルプロピオン酸、（メタ）アクリロイル酪酸、（メタ）アクリロイルペンタン酸等が挙げられる。
上記エチレン性二重結合を有する不飽和カルボン酸は特に限定されず、例えば、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸、これら不飽和カルボン酸の無水物等が挙げられる。これらのカルボキシル基を有するモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２６】
上記モノマー混合物中における上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は２重量％、好ましい上限は１０重量％である。上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２重量％未満であると、粘着剤の凝集性や界面接着力が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたり、研磨時に研磨布が剥がれたりすることがある。上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量が１０重量％を超えると、粘着剤のタックが低下して初期接着性が悪くなり、研磨布が剥がれることがある。
上記カルボキシル基を有するモノマーの含有量のより好ましい下限は２．５重量％、より好ましい上限は９重量％である。
【００２７】
上記モノマー混合物は、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することが好ましい。
上記モノマー混合物が、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は高い凝集性を有する。これは、上記カルボキシル基を有するモノマーと上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーとが、イオン結合又は水素結合を形成することによって擬似的に架橋しているためであると推定される。そのため、本発明の粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、再剥離する際の糊残りの発生を防止することができ、かつ、研磨時に回転方向のモーメントとして接着面に対して加わる力による粘着剤層又は接着界面でのボイドの発生を抑制し、ボイドに酸又はアルカリスラリー液が浸透して接着面積が低下することによる研磨布の剥離を効果的に防止することができる。
【００２８】
上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは特に限定されず、例えば、アクリルアミド、メタクリルアミド、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル等が挙げられる。これらのアミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、加水分解を受けにくく、また、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー及び／又は上記カルボキシル基を有するモノマーと共重合しやすいことから、アクリルアミドが好適である。
【００２９】
上記モノマー混合物中における上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい下限は０．１重量％、好ましい上限は２重量％である。上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が０．１重量％未満であると、粘着剤の凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたり、研磨時に研磨布が剥がれたりすることがある。上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が２重量％を超えると、粘着剤のタックが低下して初期接着性が悪くなり、研磨布が剥がれることがある。また、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が２重量％を超えると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の吸水性が高くなるため、共重合体内部へ酸性水溶液やアルカリ性水溶液が浸透しやすくなることがある。浸透した酸やアルカリは、触媒として作用して（メタ）アクリル酸エステル共重合体のエステル部位の加水分解反応を引き起こし、（メタ）アクリル酸エステル共重合体の化学劣化が発生することがある。
上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量のより好ましい下限は０．２重量％、より好ましい上限は１．５重量％である。
【００３０】
上記モノマー混合物は、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、又は、上記カルボキシル基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有してもよい。更に、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有する場合には、上記モノマー混合物は、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記カルボキシル基を有するモノマー、或いは、上記アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有してもよい。なお、本明細書中、このようなモノマーを、単に「他のモノマー」ともいう。
上記他のモノマーを含有することにより、本発明の粘着剤は、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の分子間相互作用が増大することによって高い凝集力を得ることができる。更に、上記他のモノマーが極性基を有する場合には、本発明の粘着剤は、該極性基が研磨布等の被着体表面と相互作用を起こすことによって高い界面接着力を得ることができる。
【００３１】
上記他のモノマーは特に限定されず、例えば、エチレン性二重結合を含むニトリル誘導体、エチレン性二重結合を含むアルコール誘導体、エチレン性二重結合を含むエーテル誘導体等が挙げられる。
【００３２】
上記モノマー混合物中における上記他のモノマーの含有量は特に限定されないが、好ましい上限は１５重量％である。上記他のモノマーの含有量が１５重量％を超えると、得られる粘着剤の粘着性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
上記他のモノマーの含有量のより好ましい上限は１２重量％である。
【００３３】
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は特に限定されないが、好ましい下限は２０万、好ましい上限は１００万である。上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が２０万未満であると、得られる粘着剤の凝集性が低くなり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が１００万を超えると、接着力が低下し、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により、ポリスチレン換算して測定した値を意味する。具体的には、例えば、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）により１００倍に希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液をカラム（例えば、Ｗａｔｅｒ社製の商品名「２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ」等）を用いてＧＰＣ法により測定することができる。
【００３４】
上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体を製造する方法は特に限定されず、例えば、上記脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、上記炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、上記カルボキシル基を有するモノマーと、必要に応じて配合する他のモノマーとを含有するモノマー混合物を、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させる重合方法等が挙げられる。
上記重合方法は特に限定されず、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等の従来公知の重合方法を用いることができる。
【００３５】
上記溶液重合に用いる溶媒は特に限定されず、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、アセトン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、酢酸シクロヘキシル、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。
【００３６】
上記溶液重合に用いる溶媒の配合量は特に限定されないが、上記モノマー混合物１００重量部に対して、好ましい下限は２５重量部、好ましい上限は３００重量部である。上記溶媒の配合量が２５重量部未満であると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の分子量分布が広くなって粘着剤の粘着性や凝集性が低くなり、研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。上記溶媒の配合量が３００重量部を超えると、研磨布固定用両面粘着テープを作製する際に粘着層の厚みを均一にすることが困難になったり、溶剤を除去する手間が必要となったりすることがある。
【００３７】
上記重合開始剤は特に限定されず、例えば、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ラウロイルパーオキシド、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート等が挙げられる。これらの重合開始剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレートが好適である。
【００３８】
上記重合開始剤の配合量は特に限定されないが、上記モノマー混合物１００重量部に対して、好ましい下限は０．０２重量部、好ましい上限は０．５重量部である。上記重合開始剤の配合量が０．０２重量部未満であると、重合反応が不充分となったり、重合反応に長時間を要したりすることがある。上記重合開始剤の配合量が０．５重量部を超えると、得られる（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が低くなりすぎたり、分子量分布が広くなりすぎたりすることがあり、その結果、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、研磨時に粘着剤に加わるせん断力に耐えられずに研磨布が剥がれたり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じたりすることがある。
【００３９】
本発明の粘着剤は、架橋剤を含有する。
上記架橋剤を含有することにより、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体に架橋構造を形成することができる。また、上記架橋剤の種類や量を適宜調整することによって、本発明の粘着剤のゲル分率を調整することが容易になる。
【００４０】
上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤等が挙げられる。なかでも、耐熱性及び耐久性等の性能を発現しやすいことから、イソシアネート系架橋剤が好適である。
【００４１】
上記架橋剤の配合量は特に限定されないが、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、好ましい下限は０．１重量部、好ましい上限は４重量部である。上記架橋剤の配合量が０．１重量部未満であると、上記（メタ）アクリル酸エステル共重合体の架橋が不充分となり、得られる粘着剤を研磨布固定用両面粘着テープに用いた場合、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記架橋剤の配合量が４重量部を超えると、得られる粘着剤の粘着力やタックが低下することがある。
上記架橋剤の配合量のより好ましい下限は０．２重量部、より好ましい上限は２．５重量部である。
【００４２】
本発明の粘着剤は、更に、粘着付与樹脂を含有してもよい。
上記粘着付与樹脂は特に限定されず、例えば、キシレン樹脂、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂等が挙げられる。これらの粘着付与樹脂は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、キシレン樹脂が好適であり、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物がより好適である。
【００４３】
本発明の粘着剤は、更に、必要に応じて着色剤、充てん剤、老化防止剤等の従来公知の添加剤を含有してもよい。
【００４４】
本発明の粘着剤を含有する粘着剤層を、基材の少なくとも一方の面に積層一体化してなる研磨布固定用両面粘着テープもまた、本発明の１つである。
【００４５】
上記基材は特に限定されず、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリプロピレン系樹脂等からなる合成樹脂フィルムや、ポリウレタン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂等からなる発泡シート等が挙げられる。なかでも、平坦であり、厚みのぶれが小さく、一定の強度を有することから、ポリエステル系樹脂からなる合成樹脂フィルムが好適である。
【００４６】
上記基材の厚みは特に限定されないが、非発泡体である場合には、好ましい下限は１５μｍ、好ましい上限は３００μｍである。上記非発泡体である基材の厚みが１５μｍ未満であると、得られる研磨布固定用両面粘着テープを研磨機の定盤から剥離させる際に基材が破断して綺麗に剥離させることができないことがある。上記非発泡体である基材の厚みが３００μｍを超えると、研磨布と得られる研磨布固定用両面粘着テープとを圧着させる際の圧力の調整が困難となり、研磨布と研磨布固定用両面粘着テープとの接着強度が低下することがある。上記非発泡体である基材の厚みのより好ましい下限は２０μｍ、より好ましい上限は２００μｍである。
【００４７】
上記基材が発泡体である場合には、上記基材の厚みの好ましい下限は５０μｍ、好ましい上限は３０００μｍである。上記発泡体である基材の厚みが５０μｍ未満であると、得られる研磨布固定用両面粘着テープを研磨機の定盤から剥離させる際に基材が破断して綺麗に剥離させることができないことがある。上記発泡体である基材の厚みが３０００μｍを超えると、研磨の際の圧力により基材が押し込まれて変形し、研磨物の研磨精度が低下することがある。上記発泡体である基材の厚みのより好ましい下限は１００μｍ、より好ましい上限は２０００μｍである。
【００４８】
上記粘着剤層の厚みは特に限定されないが、好ましい下限は２０μｍ、好ましい上限は１００μｍである。上記粘着剤層の厚みが２０μｍ未満であると、粘着力が不充分となり、研磨中に研磨布が剥離してしまうことがある。上記粘着剤層の厚みが１００μｍを超えると、粘着剤層の凝集性が低くなり、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記粘着剤層の厚みのより好ましい下限は２５μｍ、より好ましい上限は８０μｍであり、更に好ましい下限は３０μｍ、更に好ましい上限は６０μｍである。
【００４９】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープの製造方法は特に限定されず、例えば、以下の方法が挙げられる。
【００５０】
まず、本発明の粘着剤に溶剤を加えて粘着剤溶液を調製し、得られた粘着剤溶液を基材の表面に塗布し、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥除去して粘着剤層を形成する。次に、形成した粘着剤層の上に離型フィルム又は剥離紙を、離型処理面が粘着剤層に対向した状態になるように重ね合わせる。
【００５１】
上記溶剤は特に限定されず、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、アセトン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン等が挙げられる。
【００５２】
次いで、新たに用意した離型フィルムの離型処理面に粘着剤溶液（本発明の粘着剤でもよいし、本発明の粘着剤と異なる粘着剤でもよい）を塗布し、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥除去することにより、離型フィルムの表面に粘着剤層が形成された積層フィルムを作製する。
【００５３】
基材における粘着剤層を形成した側と反対側の面に対して、得られた積層フィルムの粘着剤層が対向した状態になるように重ね合わせて積層体を作製する。
得られた積層体を、ゴムローラ等を用いて加圧することで、基材の両面に粘着剤層が積層一体化され、かつ、粘着剤層の表面に離型フィルム又は剥離紙が剥離可能に積層されてなる研磨布固定用両面粘着テープを得ることができる。
【００５４】
また、同様の要領で離型フィルム又は剥離紙の表面に粘着剤層が形成された積層フィルムを２組作製し、得られた２組の積層フィルムを基材の両面に、積層フィルムの粘着剤層を基材に対向させた状態になるように重ね合わせて積層体を作製し、得られた積層体を、ゴムローラ等を用いて加圧することで、基材の両面に粘着剤層が積層一体化され、かつ、粘着剤層の表面に離型フィルム又は剥離紙が剥離可能に積層されてなる研磨布固定用両面粘着テープを得ることができる。
【００５５】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、８０℃で１週間浸漬した後の上記粘着剤層の加水分解率は特に限定されないが、１％未満であることが好ましい。上記加水分解率が１％以上であると、酸又はアルカリスラリー液と接触する粘着剤層端部が劣化して、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
【００５６】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、上記粘着剤層のゲル分率は特に限定されないが、好ましい下限は３０重量％、好ましい上限は８０重量％である。上記ゲル分率が３０重量％未満であると、使用した研磨布を交換するために再剥離する際に凝集破壊して糊残りが生じることがある。上記ゲル分率が８０重量％を超えると、粘着剤の粘着力やタックが低下することがある。
上記ゲル分率のより好ましい下限は４５重量％、より好ましい上限は７５重量％である。
【００５７】
なお、上記ゲル分率は、下記の方法により測定することができる。
本発明の研磨布固定用両面粘着テープを５０ｍｍ×２５ｍｍの平面長方形状に切断して試験片を作製する。得られた試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、２００メッシュのステンレスメッシュを介して試験片を酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させる。そして、乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式（３）を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片に用いる研磨布固定用両面粘着テープには、離型フィルム又は剥離紙は積層されていない。
ゲル分率（重量％）＝１００×（Ｗ２−Ｗ０）／（Ｗ１−Ｗ０） （３）
式（３）中、Ｗ０は基材の重量を表し、Ｗ１は浸漬前の試験片の重量を表し、Ｗ２は浸漬し乾燥した後の試験片の重量を表す。
【００５８】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板（ＳＵＳ）に対する１８０°引き剥がし粘着力は特に限定されないが、好ましい下限は１０Ｎ／２５ｍｍである。上記１８０°引き剥がし粘着力が１０Ｎ／２５ｍｍ未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力のより好ましい下限は１５Ｎ／２５ｍｍである。
【００５９】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を用いて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、６０℃、１ｋｇｆ、１時間の条件で行った際の剥離長さは特に限定されないが、好ましい上限は０．５ｍｍである。上記剥離長さが０．５ｍｍを超えると、粘着剤の凝集力が小さすぎて研磨時に加わるせん断力に対する応力が弱く、研磨布固定用両面粘着テープの接着面でずれが生じ、研磨布の平坦性が低下して研磨精度が低下することがある。また、研磨布固定用両面粘着テープの接着面にずれが発生した状態で研磨使用を続けると、研磨布が剥がれることがある。
【００６０】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、３０℃で、１７０時間浸漬した後の上記粘着剤層の重量増加率は特に限定されないが、１０％未満であることが好ましい。上記重量増加率が１０％以上であると、粘着剤層に酸又はアルカリスラリー液が染み込みやすくなって粘着剤の化学的分解が起こり、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記重量増加率は、５％未満であることがより好ましい。
なお、上記重量増加率は、下記式（４）を用いて求めることができる。
重量増加率（％）＝１００×（Ｗ４−Ｗ３）／（Ｗ３−Ｗ０） （４）
式（４）中、Ｗ０は基材の重量を表し、Ｗ３は浸漬前の試験片の重量を表し、Ｗ４は浸漬後の試験片の重量を表す。
【００６１】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープにおいて、１００ｍｍ×２５ｍｍの試験片を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に３０℃で２４時間浸漬した後に、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した、ＳＵＳに対する１８０°引き剥がし粘着力は特に限定されないが、好ましい下限は１０Ｎ／２５ｍｍ、好ましい上限は２５Ｎ／２５ｍｍである。上記１８０°引き剥がし粘着力が１０Ｎ／２５ｍｍ未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力が２５Ｎ／２５ｍｍを超えると、使用した研磨布を交換する際に再剥離することが困難となることがある。上記１８０°引き剥がし粘着力のより好ましい下限は１５Ｎ／２５ｍｍ、より好ましい上限は２３Ｎ／２５ｍｍである。
【００６２】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープは、１００ｍｍ×２５ｍｍの大きさに切断し、粘着剤層をガラス板に貼り付け、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中、又は、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸中にて、１５６ｇの錘を用いて行った場合の剥離速度が８ｍｍ／分以下であることが好ましい。上記剥離速度が８ｍｍ／分を超えると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
なお、研磨布固定用両面テープは端から１５ｍｍを剥離しておき、端部に１５６ｇの荷重を垂下させて測定すればよい。
【００６３】
本発明の研磨布固定用両面粘着テープは、以下の方法により測定したねじりせん断試験において、剥離までの時間が３分以上であることが好ましい。
まず、１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさに切断した研磨布固定用両面粘着テープを用いて、１００ｍｍ×５０ｍｍ×１．８ｍｍの大きさのガラス板と５０ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍの大きさのアクリル板とを、ガラス板の短辺の端から２０ｍｍかつ長辺の端から２０ｍｍの位置を粘着剤層の中心となるようにし、アクリル板の短辺の端から７．５ｍｍかつ長辺の端から７．５ｍｍの位置を他方の粘着剤層側の中心となるようにして貼り合わせる。
次いで、アクリル板における研磨布固定用両面粘着テープの中心から３０ｍｍ離れた位置に２００ｇの錘を垂下させ、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中、又は、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸中に浸漬させる。
水酸化ナトリウム水溶液中又は塩酸中への浸漬の開始から、ガラス板からアクリル板が研磨布固定用両面粘着テープごと剥離するまでにかかる剥離時間を測定する。
図１にねじりせん断試験の測定方法を表す模式図を示した。
上記剥離までの時間が３分未満であると、研磨時に研磨布が剥がれることがある。
【発明の効果】
【００６４】
本発明によれば、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することができる。また、本発明によれば、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】ねじりせん断試験の測定方法を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００６６】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
【００６７】
（実施例１〜８及び比較例１〜８）
（１）（メタ）アクリル酸エステル共重合体の製造
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器に、表１に示した配合量の各モノマー、及び、溶媒として酢酸エチルを加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤としてｔ−ヘキシルパーオキシピバレート０．１重量部を添加した。その後、７０℃にて５時間還流させて、（メタ）アクリル酸エステル共重合体溶液を得た。
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体について、カラムとしてＷａｔｅｒ社製「２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ」を用いてＧＰＣ法によりポリスチレン換算による重量平均分子量を測定した。結果を表１に示した。
【００６８】
（２）研磨布固定用両面粘着テープの製造
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、酢酸エチル（不二化学薬品社製）１２５重量部と、表２に示した配合量のイソシアネート系架橋剤（積水フーラー社製、「硬化剤 ＵＡ」）を添加し、攪拌して、粘着剤溶液を得た。
【００６９】
厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材フィルムの表面に、得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより粘着剤溶液中の酢酸エチルを除去し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。形成した粘着剤層上に、離型処理が施された厚み３８μｍのＰＥＴ離型フィルムを離型処理面が粘着剤層に対向するように重ね合わせ、定盤固定用粘着剤層を有するフィルム（Ａ）を得た。
一方、離型処理が施された厚み５０μｍのＰＥＴ離型フィルムを用意し、このＰＥＴ離型フィルムの離型処理面に得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより、厚み５０μｍの研磨布用粘着剤層を有するフィルム（Ｂ）を得た。
フィルム（Ａ）の粘着剤層を形成した側と反対側の面に、フィルム（Ｂ）の粘着剤層が対向するようにフィルム（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを重ね合わせて積層体を作製した。得られた積層体上に３００ｍｍ／分の速度で２ｋｇのゴムローラを１往復させた後、２３℃で７日間養生することにより、ＰＥＴ基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化された研磨布固定用両面粘着テープを得た。
【００７０】
＜評価＞
実施例１〜８及び比較例１〜８で得られた研磨布固定用両面粘着テープについて以下の評価を行った。結果を表２に示した。
【００７１】
（１）加水分解率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを縦５０ｍｍ×横５０ｍｍの平面正方形状の試験片に切り出し、粘着剤層上に設けたＰＥＴ離型フィルム（後述する実施例９〜１６においては、剥離紙及びＰＥＴ離型フィルム）を両面とも剥離した。この試験片を０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液に、８０℃で１週間浸漬した。その後、各溶液について核磁気共鳴（ＮＭＲ）測定を行い、加水分解で生成したアルコール量の定量を行い、下記式（５）を用いて加水分解率を求めた。
加水分解率（％）＝１００×Ａ１／Ａ２ （５）
式（５）中、Ａ１は生成したアルコールのｍｏｌ数を表し、Ａ２は粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数を表す。なお、粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数は下記式（６）を用いて求めることができる。
粘着剤のモノマー換算ｍｏｌ数＝Σ（Ｂ×ｒｉ／Ｍｉ） （６）
式（６）中、Ｂは試験片の定盤固定用粘着剤層の粘着剤重量を表し、ｒｉは粘着剤中のモノマーｉ成分の配合率を表し、Ｍｉはｉ成分のモノマーの分子量を表す。また、試験片の定盤固定用粘着剤層の粘着剤重量は下記式（７）を用いて求めることができる。
粘着剤重量＝Ｗ６−Ｗ５ （７）
式（７）中、Ｗ５は基材の重量を表し、Ｗ６は浸漬前の試験片の重量を表す。
また、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７２】
（２）ゲル分率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを５０ｍｍ×２５ｍｍの平面長方形状に切断して試験片を作製し、この重量Ｗ１を測定した。試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、２００メッシュのステンレスメッシュを介して試験片を酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させた。乾燥後の試験片の重量Ｗ２を測定した。基材として用いたＰＥＴフィルムの重量Ｗ０を用いて、上記式（３）によりゲル分率を算出した。
【００７３】
（３）１８０°引き剥がし粘着力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に厚み３８μｍのＰＥＴフィルムを裏打ちした後、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着した。温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した後、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°引き剥がし粘着力（対ＳＵＳ）を測定した。
また、同様の方法により１８０°引き剥がし粘着力（対ガラス）を測定した。
【００７４】
（４）保持力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧して、この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に貼着させた後、４０℃で、６０分間養生させた。
次いで、ＰＥＴフィルムの下面に試験片が水平に位置した状態となるように配設し、６０℃において、試験片の長さ方向の端部に１ｋｇｆの荷重を垂直方向に付加し、試験片に荷重を付加してから１時間後の剥離長さを、ルーペを用いて測定した。
【００７５】
（５）薬液浸漬後の重量増加率
得られた研磨布固定用両面粘着テープを縦５０ｍｍ×横５０ｍｍの試験片に切り出した後、粘着面上に設けたＰＥＴ離型フィルム（後述する実施例９〜１６においては、剥離紙及びＰＥＴ離型フィルム）を両面とも剥離し、浸漬前の研磨布固定用両面粘着テープの重量を測定した。その後、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に粘着面が容器に触れないよう浸漬させ、１７０時間放置した。所定時間経過後、研磨布固定用両面粘着テープを水酸化ナトリウム水溶液中から取り出し、表面に付着した水を圧縮空気で除去した後、浸漬後の研磨布固定用両面粘着テープの重量を測定した。その後、酢酸エチルを用いて両面の粘着剤を完全に除去し基材の重量を測定し、式（４）より重量増加率を算出した。
また、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７６】
（６）薬液浸漬後の１８０°引き剥がし粘着力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧し、この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に貼り着けてから、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した。次いで、試験片を貼り付けたステンレス板を３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬させ、２４時間放置した。その後、ステンレス板を取り出して軽く水洗した後、圧縮空気で付着した水を除去し、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°引き剥がし粘着力を測定した。
また、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、３０℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７７】
（７）薬液中での保持力
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨布用粘着剤層上に３８μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、縦１００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。切り出した試験片を２ｋｇのローラで押圧し、この試験片の定盤固定用粘着剤層をガラス板上に貼り着けてから、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間放置した。試験片の端から２０ｍｍを剥離し、１５６ｇの錘を取り付けた。錘を取り付けた状態で、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、剥離が４０ｍｍ進むまでの時間を計測して、速度を計算した。
また、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７８】
（８）ねじりせん断試験
得られた研磨布固定用両面粘着テープを１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさに切断し、１００ｍｍ×５０ｍｍ×１．８ｍｍの大きさのガラス板と５０ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍの大きさのアクリル板とを、ガラス板の短辺の端から２０ｍｍ、かつ、長辺の端から２０ｍｍの位置に研磨布固定用両面粘着テープの定盤固定用粘着剤層側の中心がきて、アクリル板の短辺の端から７．５ｍｍ、かつ、長辺の端から７．５ｍｍの位置に研磨布固定用両面粘着テープの研磨布固定用粘着剤層側の中心がくるようにして貼り合わせた。次いで、アクリル板の研磨布固定用両面粘着テープの中心から３０ｍｍの位置に２００ｇの錘を垂下させた。錘を垂下させた状態で、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬した。浸漬の開始から、ガラス板からアクリル板が研磨布固定用両面粘着テープごと剥離するまでにかかる剥離時間を測定した。
また、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、２３℃、０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸を用いて同様の評価を行った。
【００７９】
（９）研磨中剥がれの有無
得られた研磨布固定用両面粘着テープを、ゴムロールを用いて研磨布に貼り着けた。次いで、研磨布側からゴムロールを押し当てることにより、研磨装置の定盤に研磨布を固定した。
ガラス板を被研磨試験体とし、研磨スラリー（Ｃａｂｏｔ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製、「ＳＳ２５」又は「Ｗ２０００」）を用い、研磨圧力４９．０ｋＰａ、回転数１００ｒｐｍで５分間研磨を行った。その後、研磨布固定用両面粘着テープと定盤の界面について、剥離状態を目視にて観察した。同様にして研磨と観察とを１０回行った結果、１０回中、１回も剥がれがなかった場合を「○」と、１０回中、１回も剥がれがなかったものの、浮きが発生した場合を「△」と、１０回中、１回以上剥がれが見られた場合を「×」と評価した。
【００８０】
（１０）再剥離性
（９）に記載した研磨中剥がれの有無の評価後、定盤から研磨布固定用両面粘着テープを剥離し、定盤上に粘着剤が残っているか否か確認した。粘着剤残りが認められなかった場合を「○」とし、粘着剤残りが認められた場合を「×」と評価した。
【００８１】
【表１】
【００８２】
【表２】
【００８３】
（実施例９〜１６）
（１）（メタ）アクリル酸エステル共重合体の製造
表３に示した配合量の各モノマーを用いた以外は実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして、（メタ）アクリル酸エステル共重合体溶液を得た。
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体について、実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして、ＧＰＣ法によりポリスチレン換算による重量平均分子量を測定した。結果を表３に示した。
【００８４】
（２）研磨布固定用両面粘着テープの製造
得られた（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００重量部に対して、酢酸エチル（不二化学薬品社製）１２５重量部と、表４に示した配合量のイソシアネート系架橋剤（積水フーラー社製、「硬化剤 ＵＡ」）を添加し、攪拌して、粘着剤溶液を得た。
【００８５】
厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材フィルムの表面に、得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより粘着剤溶液中の酢酸エチルを除去し、厚み３０μｍの粘着剤層を形成した。形成した粘着剤層上に、剥離紙を離型処理面が粘着剤層に対向するように重ね合わせ、定盤固定用粘着剤層を有するフィルム（Ａ）を得た。
一方、離型処理が施された厚み５０μｍのＰＥＴ離型フィルムを用意し、このＰＥＴ離型フィルムの離型処理面に得られた粘着剤溶液を塗布し、１００℃で５分間乾燥させることにより、厚み５０μｍの研磨布用粘着剤層を有するフィルム（Ｂ）を得た。
フィルム（Ａ）の粘着剤層を形成した側と反対側の面に、フィルム（Ｂ）の粘着剤層が対向するようにフィルム（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを重ね合わせて積層体を作製した。得られた積層体上に３００ｍｍ／分の速度で２ｋｇのゴムローラを１往復させた後、２３℃で７日間養生することにより、ＰＥＴ基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化された研磨布固定用両面粘着テープを得た。
【００８６】
＜評価＞
実施例９〜１６で得られた研磨布固定用両面粘着テープについて以下の評価を行った。結果を表４に示した。
【００８７】
（１）加水分解率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００８８】
（２）ゲル分率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００８９】
（３）１８０°引き剥がし粘着力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９０】
（４）保持力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９１】
（５）薬液浸漬後の重量増加率
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９２】
（６）薬液浸漬後の１８０°引き剥がし粘着力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９３】
（７）薬液中での保持力
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９４】
（８）ねじりせん断試験
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９５】
（９）研磨中剥がれの有無
実施例１〜８及び比較例１〜８と同様にして評価を行った。
【００９６】
（１０）再剥離性
（９）に記載した研磨中剥がれの有無の評価後、更に２４時間放置し充分に接着力が昂進した後に、定盤から研磨布固定用両面粘着テープを剥離し、定盤上に粘着剤が残っているか否か確認した。粘着剤残りが認められなかった場合を「○」と、一部粘着剤残りが認められた場合を「△」と、全面に粘着剤残りが認められた場合を「×」と評価した。
【００９７】
【表３】
【００９８】
【表４】
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明によれば、酸及びアルカリへの耐性に優れ、研磨中に剥がれを生ずることなく、かつ、糊残りをほとんど生じさせずに剥離できる粘着剤を提供することができる。また、本発明によれば、該粘着剤を用いてなる研磨布固定用両面粘着テープを提供することができる。
【符号の説明】
【０１００】
１ ガラス板
２ 両面粘着テープ
３ アクリル板
４ 錘
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、
前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である
ことを特徴とする粘着剤。
【請求項２】
モノマー混合物は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５〜２５重量％、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５〜９２重量％、かつ、カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２〜１０重量％であることを特徴とする請求項１記載の粘着剤。
【請求項３】
モノマー混合物が、更に、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、又は、カルボキシル基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを１５重量％以下含有することを特徴とする請求項２記載の粘着剤。
【請求項４】
脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸シクロへキシルであり、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルであり、かつ、カルボキシル基を有するモノマーは、（メタ）アクリル酸であることを特徴とする請求項１、２又は３記載の粘着剤。
【請求項５】
モノマー混合物は、更に、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することを特徴とする請求項１記載の粘着剤。
【請求項６】
モノマー混合物は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５〜２５重量％、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５〜９２重量％、カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２〜１０重量％、かつ、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が０．１〜２重量％であることを特徴とする請求項５記載の粘着剤。
【請求項７】
モノマー混合物が、更に、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、カルボキシル基を有するモノマー、或いは、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを１５重量％以下含有することを特徴とする請求項６記載の粘着剤。
【請求項８】
脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸シクロへキシルであり、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルであり、カルボキシル基を有するモノマーは、（メタ）アクリル酸であり、かつ、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは、（メタ）アクリルアミドであることを特徴とする請求項５、６又は７記載の粘着剤。
【請求項９】
請求項１、２、３、４、５、６、７又は８記載の粘着剤を含有する粘着剤層を、基材の少なくとも一方の面に積層一体化してなることを特徴とする研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１０】
粘着剤層は、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、３０℃で、１７０時間浸漬した後の重量増加率が１０％未満であることを特徴とする請求項９記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１１】
一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を用いて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、６０℃、１ｋｇｆ、１時間の条件で行った際の剥離長さが０．５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項９又は１０記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１２】
１００ｍｍ×２５ｍｍの試験片を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に３０℃で２４時間浸漬した後に、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した、ＳＵＳに対する１８０°引き剥がし粘着力が１０〜２５Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする請求項９、１０又は１１記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１】
（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、架橋剤とを含有する粘着剤であって、
前記（メタ）アクリル酸エステル共重合体は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、カルボキシル基を有するモノマーとを含有するモノマー混合物を共重合させてなる共重合体である
ことを特徴とする粘着剤。
【請求項２】
モノマー混合物は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５〜２５重量％、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５〜９２重量％、かつ、カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２〜１０重量％であることを特徴とする請求項１記載の粘着剤。
【請求項３】
モノマー混合物が、更に、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、又は、カルボキシル基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを１５重量％以下含有することを特徴とする請求項２記載の粘着剤。
【請求項４】
脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸シクロへキシルであり、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルであり、かつ、カルボキシル基を有するモノマーは、（メタ）アクリル酸であることを特徴とする請求項１、２又は３記載の粘着剤。
【請求項５】
モノマー混合物は、更に、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーを含有することを特徴とする請求項１記載の粘着剤。
【請求項６】
モノマー混合物は、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が５〜２５重量％、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が６５〜９２重量％、カルボキシル基を有するモノマーの含有量が２〜１０重量％、かつ、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーの含有量が０．１〜２重量％であることを特徴とする請求項５記載の粘着剤。
【請求項７】
モノマー混合物が、更に、脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマー、カルボキシル基を有するモノマー、或いは、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーと共重合可能な他のモノマーを１５重量％以下含有することを特徴とする請求項６記載の粘着剤。
【請求項８】
脂肪族環骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸シクロへキシルであり、炭素数６〜１４の鎖式骨格を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーは、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルであり、カルボキシル基を有するモノマーは、（メタ）アクリル酸であり、かつ、アミノ基及び／又はアミド基を有するモノマーは、（メタ）アクリルアミドであることを特徴とする請求項５、６又は７記載の粘着剤。
【請求項９】
請求項１、２、３、４、５、６、７又は８記載の粘着剤を含有する粘着剤層を、基材の少なくとも一方の面に積層一体化してなることを特徴とする研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１０】
粘着剤層は、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に、３０℃で、１７０時間浸漬した後の重量増加率が１０％未満であることを特徴とする請求項９記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１１】
一辺２０ｍｍの平面正方形状の試験片を用いて、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した保持力試験を、６０℃、１ｋｇｆ、１時間の条件で行った際の剥離長さが０．５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項９又は１０記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【請求項１２】
１００ｍｍ×２５ｍｍの試験片を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液又は０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸に３０℃で２４時間浸漬した後に、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した、ＳＵＳに対する１８０°引き剥がし粘着力が１０〜２５Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする請求項９、１０又は１１記載の研磨布固定用両面粘着テープ。
【図１】
【公開番号】特開２０１０−１５０４９３（Ｐ２０１０−１５０４９３Ａ）
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０５９７（Ｐ２００９−２０５９７）
【出願日】平成２１年１月３０日（２００９．１．３０）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月３０日（２００９．１．３０）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
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