蒸着装置及びスクリーンの製造方法
【課題】表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置であって、長尺シートＷ１を搬送する搬送部２０と、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する蒸着源３０と、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部４０とを備えることを特徴とする蒸着装置１。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置であって、長尺シートＷ１を搬送する搬送部２０と、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する蒸着源３０と、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部４０とを備えることを特徴とする蒸着装置１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及びスクリーンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺シートに蒸着材料を蒸着する蒸着装置であって、長尺シートを搬送する搬送部と、蒸着時において蒸着材料を収容し加熱する蒸着源とを備える蒸着装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。従来の蒸着装置によれば、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３２３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の蒸着装置においては、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合、凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することができないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたもので、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供することを目的とする。また、上記のような蒸着装置を用いるスクリーンの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の蒸着装置は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に、蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置であって、前記長尺シートを搬送する搬送部と、蒸着時において前記蒸着材料を収容し加熱する蒸着源と、前記蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部とを備えることを特徴とする。
【０００７】
このため、本発明の蒸着装置によれば、搬送部及び蒸着源を備えるため、従来の蒸着装置と同様に、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【０００８】
また、本発明の蒸着装置によれば、蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部を備えるため、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【０００９】
なお、「表面に凹凸形状が形成されている長尺シート」は、例えば、プロジェクターからの投写光を主に使用者に向けて反射する投写用のスクリーンを製造するときに用いられる（後述する実施形態１参照。）。本発明の蒸着装置は、上記のようなスクリーンを製造する用途において（つまり、投写用スクリーン製造用蒸着装置として）好適に用いることができる。
【００１０】
「凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着する」とは、例えば、凹凸形状が山形形状からなる場合には、当該山形形状の一方の面上の全部又は一部に蒸着材料を蒸着することをいう。また、凹凸形状が略半球形状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる場合には、当該略半球形状の一部の面上に蒸着材料を蒸着することをいう。
【００１１】
蒸着材料としては、目的に応じて様々なものを用いることができ、例えば、金属や無機誘電体を用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、融点が比較的低く、かつ、反射率が比較的高いアルミニウムを挙げることができる。
長尺シートとしては、目的に応じて様々な材料からなるものを用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、プレス成形や型による転写等により蒸着面の凹凸形状を容易に形成することが可能なもの（熱可塑性樹脂等からなるもの等）を挙げることができる。
【００１２】
［２］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部の少なくとも一部は、前記蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であることが好ましい。
【００１３】
このような構成とすることにより、放出方向制限部に蒸着材料が到達しても放出方向制限部への付着を防ぐことができるため、蒸着装置（特に放出方向制限部）のメンテナンスを容易なものとすることが可能となる。この観点からは、放出方向制限部の全体が所定の温度に保温可能であることが好ましい。
また、放出方向制限部に蒸着材料が付着することにより蒸着材料の飛散方向が変化してしまうのを防止することが可能となり、その結果、蒸着するにつれて蒸着位置が不均一となることを防止することが可能となる。この観点からは、少なくとも放出方向制限部の端部が所定の温度に保温可能であることが好ましい。
【００１４】
上記の場合においては、放出方向制限部が蒸着材料よりも高い融点を有する物質からなることが好ましい。一例を挙げれば、蒸着材料としてアルミニウムを用いる場合にはステンレス鋼からなる放出方向制限部を用いることができる。
保温は、例えば、電流による加熱（電流加熱）により行うことができる。
【００１５】
［３］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部は、前記蒸着源と前記搬送部との間に配置され前記蒸着材料の放出方向を制限する遮蔽部と、前記遮蔽部を支持する支持部とを有することが好ましい。
【００１６】
このような構成とすることにより、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００１７】
なお、上記［３］の場合においては、遮蔽部のみが、蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であるようにしてもよい。
【００１８】
［４］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部は、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、前記遮蔽部は、前記平板のうち折り曲げられた部分からなり、前記支持部は、前記平板のうち平面状のままの部分からなることが好ましい。
【００１９】
このような構成とすることにより、単純な形状の放出方向制限部で凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００２０】
なお、「平板」は、平面状の板のことをいう。当該平板は、例えば、金属からなるものを用いることができる。
「折り曲げられた形状」は、円筒形状に従って折り曲げられた形状、多角形形状に従って折り曲げられた形状等、種々の形状を含む。
【００２１】
［５］本発明の蒸着装置においては、前記蒸着源及び前記放出方向制限部は、前記長尺シートに蒸着する場所より下方に配置されており、前記遮蔽部の先端と前記先端に接する鉛直な線とのなす角度であって、前記先端と前記鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、前記平板が折り曲げられた方向回りの角度を先端角度とするとき、前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいことが好ましい。
【００２２】
このような構成とすることにより、長尺シートの下方から安定した蒸着を行うことが可能となる
【００２３】
また、前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいため、上記［２］に記載したように放出方向制限部が保温されている場合には、遮蔽部の先端に到達した蒸着材料が長尺シートの意図しない部分に付着してしまうのを防止することが可能となる。
【００２４】
［６］本発明の蒸着装置においては、前記遮蔽部は、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有することが好ましい。
【００２５】
このような構成とすることにより、平板を加工して容易に放出方向制限部を製造することが可能となる。
【００２６】
［７］本発明の蒸着装置においては、前記搬送部は、回転ドラムを有し、前記蒸着装置は、前記回転ドラムの周面上にある前記長尺シートに前記蒸着材料を蒸着することが好ましい。
【００２７】
このような構成とすることにより、回転ドラムの周面上という安定した場所で蒸着を行うため、長尺シート上における蒸着材料の厚みを一層均一にすることが可能となる。
【００２８】
［８］本発明の蒸着装置においては、前記凹凸形状は、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなることが好ましい。
【００２９】
本発明の蒸着装置は、このような凹凸形状を有する長尺シートの蒸着に好適に用いることが可能である。
【００３０】
なお、「鋸刃状の断面形状を有する山形形状」とは、断面形状を見たとき、山形形状を構成する稜線の傾斜角度が一方と他方とで異なるもののことをいう（図２（ｂ）及び図８（ｂ）参照。）。
【００３１】
［９］本発明のスクリーンの製造方法は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いて、前記凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、本発明の蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて前記反射層を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００３２】
本発明のスクリーンの製造方法によれば、本発明の蒸着装置を用いて、長尺シートにおける凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて反射層を形成する工程を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００３３】
なお、本発明のスクリーンの製造方法は、上記工程以外にも既知の方法を用いる種々の工程（例えば、プレス成形や型による転写等により長尺シートの蒸着面に凹凸形状を形成する工程等）を含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態１に係る蒸着装置１の正面図。
【図２】実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図。
【図３】実施形態１における蒸着の様子を説明するために示す図。
【図４】実施形態１における放出方向制限部４０の正面図。
【図５】実施形態１におけるスクリーンＳＣＲ１の部分拡大断面図。
【図６】実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャート。
【図７】実施形態２における蒸着の様子を説明するために示す図。
【図８】実施形態３における長尺シートＷ３を説明するために示す図。
【図９】変形例１における放出方向制限部６０の正面図。
【図１０】変形例２における放出方向制限部７０の正面図。
【図１１】変形例３における長尺シートＷ４及びスクリーンＳＣＲ２を説明するために示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の蒸着装置及びスクリーンの製造方法について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００３６】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る蒸着装置１の正面図である。なお、蒸着装置やその構成要素を説明する図面においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｚ軸方向（図１において長尺シートＷ１が蒸着装置１に入っていく方向）、ｘ軸方向（図１における紙面に垂直かつｚ軸に垂直な方向）及びｙ軸方向（図１における紙面に平行かつｚ軸に垂直な方向）として表示する。また、便宜上、図１の方向から見る図を蒸着装置１やその構成要素の正面図としている。
【００３７】
図２は、実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図である。図２（ａ）は長尺シートＷ１の１単位を示す上面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ１断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図２（ｂ）においては、長尺シートＷ１を寝せて（横にして）表示している。図２以下の図においては、説明のために長尺シートの凹凸形状を大きく表示している。
【００３８】
図３は、実施形態１における蒸着の様子を説明するために示す図である。図３（ａ）は蒸着装置１の主要部の正面図であり、図３（ｂ）は蒸着装置１の主要部の側面図である。
図４は、実施形態１における放出方向制限部４０の正面図である。
図５は、実施形態１におけるスクリーンＳＣＲ１の部分拡大断面図である。なお、図５は模式図であり、蒸着された蒸着材料Ｍの厚さを大きく表示している。これは後述する図１１（ｃ）においても同様である。
【００３９】
まず、実施形態１に係る蒸着装置１の構成を説明する。
実施形態１に係る蒸着装置１は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置であって、図１に示すように、真空チャンバー１０と、搬送部２０と、蒸着源３０と、放出方向制限部４０とを備える。蒸着源３０及び放出方向制限部４０は、長尺シートＷ１に蒸着する場所（後述する回転ドラム２４）より下方に配置されている。実施形態１においては、蒸着装置１は投写用のスクリーンＳＣＲ１（後述）を製造するために用いられる。
【００４０】
なお、本発明に係る蒸着装置１は、上記のように長尺シートが真空チャンバーに出入りする構成に限られるものではない。長尺シートが真空チャンバーに出入りしない構成（つまり、繰り出しロールや巻き取りロール等も真空チャンバー内にあり、真空チャンバー内で長尺シートの搬送が完結する構成）としてもよい。
【００４１】
蒸着装置１は、長尺シートＷ１の蒸着面のうち一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着するように構成されている。
長尺シートＷ１における凹凸形状は、図２に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。
【００４２】
実施形態１で用いる長尺シートＷ１は、図２（ａ）に示す長尺シートＷ１の１単位を紙面縦方向に連結したパターンを有する。つまり、実施形態１においては、長尺シートＷ１の山形形状の頂点を結んだ方向（Ａ１−Ａ１の直線に対して垂直な方向）が搬送方向と垂直となる（図３参照。）。
【００４３】
実施形態１で用いる長尺シートＷ１においては、当該山形形状の頂点を結んだ線（図２（ａ）の長方形内の実線）は直線である。本発明の蒸着装置においては、上記の長尺シートＷ１に限られず、製造するものに合わせて様々な凹凸形状が形成された長尺シートに蒸着を行うことができる。
【００４４】
実施形態１においては、蒸着装置１は、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する（図５参照。）。なお、実施形態１においては、後述するスクリーンの製造方法に示すように、図５の状態のものが実施形態１に係るスクリーンの製造方法で製造を目的とするスクリーンＳＣＲ１であるということになる。
【００４５】
真空チャンバー１０は、内部を蒸着に適した環境（例えば、１０−２Ｐａ〜１０−３Ｐａの低圧環境）に保つ。図１に示すように、搬送部２０、蒸着源３０及び放出方向制限部４０は真空チャンバー１０内に配置されている。真空チャンバー１０は、図示しない真空ポンプ及び排気装置を有する。なお、各図においては、説明のために真空チャンバー１０については断面図としている。
【００４６】
真空チャンバー１０においては、詳しい説明は省略するが、長尺シートＷ１の出入り口に圧力を保つための機構を備える。当該機構としては、例えば、内圧が徐々に変化する複数の減圧室を有する機構や、ごく狭い出入り口を通じて長尺シートを通過させる機構を用いることができる。
【００４７】
搬送部２０は、補助ローラー２２，２６及び回転ドラム２４を有し、長尺シートＷ１を一定の速度で連続的に搬送する。このため、実施形態１に係る蒸着装置１は長尺シートＷ１に連続的に蒸着を行う、いわゆる連続式の蒸着装置であるということになる。なお、本発明はこれに限定されるものではなく、いわゆるバッチ式の蒸着装置としてもよい。この場合、搬送部は、長尺シートをステップ式（搬送と停止を交互に繰り返す方式）で搬送することが好ましい。
蒸着装置１は、図３に示すように、回転ドラム２４の周面上にある長尺シートＷ１に蒸着材料Ｍを蒸着する。
【００４８】
蒸着源３０は、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する。実施形態１においては、蒸着材料Ｍはアルミニウムからなる。詳しい説明は省略するが、蒸着源３０は蒸着材料Ｍを収容するるつぼ及び蒸着材料Ｍを加熱する電子銃（電子ビームを射出する装置）を備える。実施形態１においては、電子銃からの電子ビームによりるつぼ中の蒸着材料Ｍが加熱され、微細な粒子となった蒸着材料Ｍが真空チャンバー１０内に放出される。
【００４９】
実施形態１に係る蒸着装置１においては、図３（ｂ）に示すように、３個の蒸着源３０を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。蒸着装置や長尺シートの大きさ等に合わせて任意の数の蒸着源を用いることができる。
【００５０】
放出方向制限部４０は、図３及び図４に示すように、遮蔽部４２及び支持部４４を有し、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する。放出方向制限部４０は、四角形（この場合、長方形）の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなる。放出方向制限部４０の全体が、蒸着材料Ｍ（アルミニウム）が付着しない所定の温度に保温されている。放出方向制限部４０は電流加熱により保温され、所定の温度は、例えば７００℃である。
放出方向制限部４０は、蒸着材料であるアルミニウムよりも融点の高い物質からなり、例えば、ステンレス鋼からなる。
【００５１】
実施形態１に係る蒸着装置１においては、図３に示すように、１個の放出方向制限部４０を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、蒸着源と同数（実施形態１のように蒸着源が３個であれば３個）の放出方向制限部を用いることもできる。
【００５２】
遮蔽部４２は、蒸着源３０と搬送部２０との間に配置され、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する。遮蔽部４２は、放出方向制限部４０を構成する平板のうち、折り曲げられた部分からなる。実施形態１においては、遮蔽部４２の先端と先端に接する鉛直な線（図４におけるｙ軸方向に沿う点線を参照。）とのなす角度であって、先端と鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、平板が折り曲げられた方向回り（図４においては反時計回り）の角度を先端角度とするとき、先端角度が７０°以上であり、例えば、８０°である。なお、図４における斜めの点線は、遮蔽部４２における先端の接線と平行な線である。
支持部４４は、遮蔽部４２を支持する。支持部４４は、放出方向制限部４０を構成する平板のうち、平面状のままの部分からなる。
【００５３】
次に、実施形態１に係るスクリーンの製造方法について説明する。
図６は、実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャートである。
【００５４】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１を用いて、凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、図６に示すように、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含む。
長尺シート準備工程Ｓ１は、長尺シートＷ１を準備する工程である。長尺シートＷ１の準備については一般的な方法を用いることができ、例えば、プレス成形や型による転写により蒸着面の凹凸形状（実施形態１においては鋸刃状の山形形状）を形成することにより長尺シートＷ１を準備することができる。
【００５５】
蒸着工程Ｓ２は、実施形態１に係る蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着し、当該蒸着材料Ｍを用いて反射層を形成する工程である。具体的には、蒸着装置１を用い、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着して、当該蒸着材料Ｍを反射層とする（図５参照。）。その後、長尺シートＷ１を１単位ごとに切り出すことによりスクリーンＳＣＲ１を製造することができる。
【００５６】
次に、実施形態１に係る蒸着装置１及びスクリーンの製造方法の効果を説明する。
【００５７】
実施形態１に係る蒸着装置１によれば、搬送部２０及び蒸着源３０を備えるため、従来の蒸着装置と同様に、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【００５８】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部４０を備えるため、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００５９】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０の少なくとも一部は、蒸着材料Ｍが付着しない所定の温度に保温可能であるため、放出方向制限部に蒸着材料が到達しても放出方向制限部への付着を防ぐことができ、蒸着装置（特に放出方向制限部）のメンテナンスを容易なものとすることが可能となる。また、放出方向制限部（特に端部）に蒸着材料が付着することにより蒸着材料の飛散方向が変化してしまうのを防止することが可能となり、その結果、蒸着するにつれて蒸着位置が不均一となることを防止することが可能となる。
【００６０】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０は、蒸着源３０と搬送部２０との間に配置され蒸着材料Ｍの放出方向を制限する遮蔽部４２と、遮蔽部４２を支持する支持部４４とを有するため、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００６１】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０が四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、遮蔽部４２は平板のうち折り曲げられた部分からなり、支持部４４は平板のうち平面状のままの部分からなるため、単純な形状の放出方向制限部で凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００６２】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、蒸着源３０及び放出方向制限部４０は、長尺シートＷ１に蒸着する場所より下方に配置されているため、長尺シートの下方から安定した蒸着を行うことが可能となる
【００６３】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいため、遮蔽部の先端に到達した蒸着材料が長尺シートの意図しない部分に付着してしまうのを防止することが可能となる。
【００６４】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、遮蔽部４２が平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有するため、平板を加工して容易に放出方向制限部を製造することが可能となる。
【００６５】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、搬送部２０は回転ドラム２４を有し、蒸着装置１は回転ドラム２４の周面上にある長尺シートＷ１に蒸着材料Ｍを蒸着するため、回転ドラムの周面上という安定した場所で蒸着を行うことから、長尺シート上における蒸着材料の厚みを一層均一にすることが可能となる。
【００６６】
実施形態１に係る蒸着装置１は、上記のように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状を有する長尺シートＷ１の蒸着に好適に用いることが可能である。
【００６７】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法によれば、実施形態１に係る蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着し、当該蒸着材料Ｍを用いて反射層を形成する工程（蒸着工程Ｓ２）を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００６８】
［実施形態２］
図７は、実施形態２における蒸着の様子を説明するために示す図である。図７（ａ）は蒸着装置２（符号を図示せず。）の主要部の正面図であり、図７（ｂ）は蒸着装置２の主要部の側面図である。
【００６９】
実施形態２に係る蒸着装置２は、基本的には実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するが、蒸着する長尺シートが異なるため、放出方向制限部の構成が実施形態１に係る蒸着装置とは異なる。すなわち、実施形態２に係る蒸着装置２は、図７に示すように、実施形態１における長尺シートＷ１と１単位（図２（ａ）参照。）は同様であるが、当該１単位を図２（ａ）における紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ２（つまり、長尺シートＷ２の山形形状の頂点を結んだ方向が搬送方向と平行となる。）に蒸着を行うためのものである。このため、蒸着装置２は、実施形態１における遮蔽装置４０とは向き及び幅が異なる３個の遮蔽装置５０を備える。なお、これに伴って、実施形態２に係る蒸着装置２においては、３個の蒸着源３０の位置も実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるものとなっている。
【００７０】
このように、実施形態２に係る蒸着装置２は、放出方向制限部の構成が実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるが、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部５０を備えるため、実施形態１に係る蒸着装置１の場合と同様に、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００７１】
なお、実施形態２に係る蒸着装置２は、放出方向制限部の構成以外は実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る蒸着装置１が有する効果をそのまま有する。
【００７２】
［実施形態３］
図８は、実施形態３における長尺シートＷ３を説明するために示す図である。図８（ａ）は長尺シートＷ３の１単位を示す上面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ２−Ａ２断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図８（ｂ）においては、長尺シートＷ３を寝せて（横にして）表示している。
【００７３】
実施形態３においては、蒸着する長尺シートが実施形態１とは異なる。すなわち、実施形態３における長尺シートＷ３は、図８に示すように、実施形態１における長尺シートＷ１と１単位が異なる（特に図８（ａ）参照。）。長尺シートＷ３は、図８（ａ）に示す長尺シートＷ３の１単位を紙面縦方向に連結したパターンを有する。なお、実施形態３に係る蒸着装置３（図示せず。）そのものの構成は実施形態１に係る蒸着装置１と基本的に同様であるため、図示を省略する。
【００７４】
実施形態３に係る蒸着装置３は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ３における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置である。
実施形態３における長尺シートＷ３では、山形形状の頂点を結んだ線（図８（ａ）の長方形内の実線）は曲線となる。図８（ａ）において示す曲線の曲率は例示であり、蒸着装置により製造する製品に合わせて様々な曲率のものを用いることができる。
【００７５】
長尺シートＷ３における凹凸形状は、図８に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。つまり、長尺シートＷ３は、断面図としたときにおける凹凸形状については、実施形態１における長尺シートＷ１と基本的に同様であるということになる。
実施形態３においては、蒸着装置３は、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する。
【００７６】
このように、実施形態３に係る蒸着装置３は、蒸着する長尺シートが実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるが、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部を備えるため、実施形態１に係る蒸着装置１の場合と同様に、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００７７】
なお、実施形態３に係る蒸着装置３は、蒸着する長尺シート以外は実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る蒸着装置１が有する効果をそのまま有する。
【００７８】
以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の様態において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【００７９】
（１）上記各実施形態において記載した蒸着装置の構成要素や長尺シートの数、材質、形状等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。
【００８０】
（２）上記実施形態３においては、長尺シートとして、図８（ａ）に示す長尺シートＷ３の１単位を紙面縦方向に連結した長尺シートＷ３を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、実施形態３における長尺シートＷ３と１単位は同様であるが、当該１単位を図８（ａ）の紙面横方向に連結した長尺シートを用いてもよい。この場合、蒸着装置として、例えば、実施形態２に係る蒸着装置２と同様の構成を有する蒸着装置を用いることができる。本発明の蒸着装置は、このような場合においても凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能である。
【００８１】
（３）上記実施形態１においては、先端角度が８０°である放出方向制限部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図９は、変形例１における放出方向制限部６０の正面図である。例えば、図９に示すように、本発明の効果を得られるものであれば、先端角度が８０°以外の放出方向制限部を用いてもよい。なお、変形例１における放出方向制限部６０においては、先端角度は１５０°である。
【００８２】
（４）上記各実施形態においては、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有する遮蔽部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１０は、変形例２における放出方向制限部７０の正面図である。例えば、図１０に示すように、本発明の効果を得られる形状であれば任意の形状（変形例２においては、多角柱形状に従って折り曲げられた形状）の遮蔽部を用いてもよい。
【００８３】
（５）上記各実施形態においては、板状の部材からなる遮蔽部及び支持部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。ブロック状の部材等からなる遮蔽部及び支持部を用いてもよい。
【００８４】
（６）上記各実施形態においては、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなる放出方向制限部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。四角形以外の平板の一端が折り曲げられた形状からなる放出方向制限部を用いてもよい。また、遮蔽部と支持部とが別々に製作され、後に溶接や接着等により一体化された放出方向制限部を用いてもよい。
【００８５】
（７）上記各実施形態においては、長尺シートとして、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状を有する長尺シートを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１１は、変形例３における長尺シートＷ４及びスクリーンＳＣＲ２を説明するために示す図である。図１１（ａ）は長尺シートＷ４の１単位を示す上面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡ３−Ａ３断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図であり、図１１（ｃ）は変形例３におけるスクリーンＳＣＲ２の部分拡大断面図である。なお、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）においては、長尺シートＷ１を寝せて（横にして）表示している。また、図１１（ａ）においては、略半球状の凹部の配置をわかりやすくするために、凹部の数を少なく表示している。例えば、図１１に示すように、略半球状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる凹凸形状が形成されている長尺シートを用いてもよい。また、他の形状からなる凹凸形状が形成されている長尺シートを用いてもよい。
【００８６】
（８）上記実施形態１においては、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含むスクリーンの製造方法を例にとって本発明のスクリーンの製造方法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、長尺シート準備工程を含まなくてもよいし、長尺シート準備工程及び蒸着工程以外の工程（例えば、蒸着工程後の後処理工程や仕上工程）を含んでもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１…蒸着装置、１０…真空チャンバー、２０…搬送部、２２，２６…補助ローラー、２４…回転ドラム、３０…蒸着源、４０，５０，６０，７０…放出方向制限部、４２，５２，６２，７２…遮蔽部、４４，５４，６４，７４…支持部、Ｍ…蒸着材料、ＳＣＲ１，ＳＣＲ２…スクリーン、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３…長尺シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及びスクリーンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺シートに蒸着材料を蒸着する蒸着装置であって、長尺シートを搬送する搬送部と、蒸着時において蒸着材料を収容し加熱する蒸着源とを備える蒸着装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。従来の蒸着装置によれば、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３２３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の蒸着装置においては、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合、凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することができないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたもので、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供することを目的とする。また、上記のような蒸着装置を用いるスクリーンの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の蒸着装置は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に、蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置であって、前記長尺シートを搬送する搬送部と、蒸着時において前記蒸着材料を収容し加熱する蒸着源と、前記蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部とを備えることを特徴とする。
【０００７】
このため、本発明の蒸着装置によれば、搬送部及び蒸着源を備えるため、従来の蒸着装置と同様に、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【０００８】
また、本発明の蒸着装置によれば、蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部を備えるため、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【０００９】
なお、「表面に凹凸形状が形成されている長尺シート」は、例えば、プロジェクターからの投写光を主に使用者に向けて反射する投写用のスクリーンを製造するときに用いられる（後述する実施形態１参照。）。本発明の蒸着装置は、上記のようなスクリーンを製造する用途において（つまり、投写用スクリーン製造用蒸着装置として）好適に用いることができる。
【００１０】
「凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着する」とは、例えば、凹凸形状が山形形状からなる場合には、当該山形形状の一方の面上の全部又は一部に蒸着材料を蒸着することをいう。また、凹凸形状が略半球形状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる場合には、当該略半球形状の一部の面上に蒸着材料を蒸着することをいう。
【００１１】
蒸着材料としては、目的に応じて様々なものを用いることができ、例えば、金属や無機誘電体を用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、融点が比較的低く、かつ、反射率が比較的高いアルミニウムを挙げることができる。
長尺シートとしては、目的に応じて様々な材料からなるものを用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、プレス成形や型による転写等により蒸着面の凹凸形状を容易に形成することが可能なもの（熱可塑性樹脂等からなるもの等）を挙げることができる。
【００１２】
［２］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部の少なくとも一部は、前記蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であることが好ましい。
【００１３】
このような構成とすることにより、放出方向制限部に蒸着材料が到達しても放出方向制限部への付着を防ぐことができるため、蒸着装置（特に放出方向制限部）のメンテナンスを容易なものとすることが可能となる。この観点からは、放出方向制限部の全体が所定の温度に保温可能であることが好ましい。
また、放出方向制限部に蒸着材料が付着することにより蒸着材料の飛散方向が変化してしまうのを防止することが可能となり、その結果、蒸着するにつれて蒸着位置が不均一となることを防止することが可能となる。この観点からは、少なくとも放出方向制限部の端部が所定の温度に保温可能であることが好ましい。
【００１４】
上記の場合においては、放出方向制限部が蒸着材料よりも高い融点を有する物質からなることが好ましい。一例を挙げれば、蒸着材料としてアルミニウムを用いる場合にはステンレス鋼からなる放出方向制限部を用いることができる。
保温は、例えば、電流による加熱（電流加熱）により行うことができる。
【００１５】
［３］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部は、前記蒸着源と前記搬送部との間に配置され前記蒸着材料の放出方向を制限する遮蔽部と、前記遮蔽部を支持する支持部とを有することが好ましい。
【００１６】
このような構成とすることにより、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００１７】
なお、上記［３］の場合においては、遮蔽部のみが、蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であるようにしてもよい。
【００１８】
［４］本発明の蒸着装置においては、前記放出方向制限部は、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、前記遮蔽部は、前記平板のうち折り曲げられた部分からなり、前記支持部は、前記平板のうち平面状のままの部分からなることが好ましい。
【００１９】
このような構成とすることにより、単純な形状の放出方向制限部で凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００２０】
なお、「平板」は、平面状の板のことをいう。当該平板は、例えば、金属からなるものを用いることができる。
「折り曲げられた形状」は、円筒形状に従って折り曲げられた形状、多角形形状に従って折り曲げられた形状等、種々の形状を含む。
【００２１】
［５］本発明の蒸着装置においては、前記蒸着源及び前記放出方向制限部は、前記長尺シートに蒸着する場所より下方に配置されており、前記遮蔽部の先端と前記先端に接する鉛直な線とのなす角度であって、前記先端と前記鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、前記平板が折り曲げられた方向回りの角度を先端角度とするとき、前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいことが好ましい。
【００２２】
このような構成とすることにより、長尺シートの下方から安定した蒸着を行うことが可能となる
【００２３】
また、前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいため、上記［２］に記載したように放出方向制限部が保温されている場合には、遮蔽部の先端に到達した蒸着材料が長尺シートの意図しない部分に付着してしまうのを防止することが可能となる。
【００２４】
［６］本発明の蒸着装置においては、前記遮蔽部は、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有することが好ましい。
【００２５】
このような構成とすることにより、平板を加工して容易に放出方向制限部を製造することが可能となる。
【００２６】
［７］本発明の蒸着装置においては、前記搬送部は、回転ドラムを有し、前記蒸着装置は、前記回転ドラムの周面上にある前記長尺シートに前記蒸着材料を蒸着することが好ましい。
【００２７】
このような構成とすることにより、回転ドラムの周面上という安定した場所で蒸着を行うため、長尺シート上における蒸着材料の厚みを一層均一にすることが可能となる。
【００２８】
［８］本発明の蒸着装置においては、前記凹凸形状は、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなることが好ましい。
【００２９】
本発明の蒸着装置は、このような凹凸形状を有する長尺シートの蒸着に好適に用いることが可能である。
【００３０】
なお、「鋸刃状の断面形状を有する山形形状」とは、断面形状を見たとき、山形形状を構成する稜線の傾斜角度が一方と他方とで異なるもののことをいう（図２（ｂ）及び図８（ｂ）参照。）。
【００３１】
［９］本発明のスクリーンの製造方法は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いて、前記凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、本発明の蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて前記反射層を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００３２】
本発明のスクリーンの製造方法によれば、本発明の蒸着装置を用いて、長尺シートにおける凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて反射層を形成する工程を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００３３】
なお、本発明のスクリーンの製造方法は、上記工程以外にも既知の方法を用いる種々の工程（例えば、プレス成形や型による転写等により長尺シートの蒸着面に凹凸形状を形成する工程等）を含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態１に係る蒸着装置１の正面図。
【図２】実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図。
【図３】実施形態１における蒸着の様子を説明するために示す図。
【図４】実施形態１における放出方向制限部４０の正面図。
【図５】実施形態１におけるスクリーンＳＣＲ１の部分拡大断面図。
【図６】実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャート。
【図７】実施形態２における蒸着の様子を説明するために示す図。
【図８】実施形態３における長尺シートＷ３を説明するために示す図。
【図９】変形例１における放出方向制限部６０の正面図。
【図１０】変形例２における放出方向制限部７０の正面図。
【図１１】変形例３における長尺シートＷ４及びスクリーンＳＣＲ２を説明するために示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の蒸着装置及びスクリーンの製造方法について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００３６】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る蒸着装置１の正面図である。なお、蒸着装置やその構成要素を説明する図面においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｚ軸方向（図１において長尺シートＷ１が蒸着装置１に入っていく方向）、ｘ軸方向（図１における紙面に垂直かつｚ軸に垂直な方向）及びｙ軸方向（図１における紙面に平行かつｚ軸に垂直な方向）として表示する。また、便宜上、図１の方向から見る図を蒸着装置１やその構成要素の正面図としている。
【００３７】
図２は、実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図である。図２（ａ）は長尺シートＷ１の１単位を示す上面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ１断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図２（ｂ）においては、長尺シートＷ１を寝せて（横にして）表示している。図２以下の図においては、説明のために長尺シートの凹凸形状を大きく表示している。
【００３８】
図３は、実施形態１における蒸着の様子を説明するために示す図である。図３（ａ）は蒸着装置１の主要部の正面図であり、図３（ｂ）は蒸着装置１の主要部の側面図である。
図４は、実施形態１における放出方向制限部４０の正面図である。
図５は、実施形態１におけるスクリーンＳＣＲ１の部分拡大断面図である。なお、図５は模式図であり、蒸着された蒸着材料Ｍの厚さを大きく表示している。これは後述する図１１（ｃ）においても同様である。
【００３９】
まず、実施形態１に係る蒸着装置１の構成を説明する。
実施形態１に係る蒸着装置１は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置であって、図１に示すように、真空チャンバー１０と、搬送部２０と、蒸着源３０と、放出方向制限部４０とを備える。蒸着源３０及び放出方向制限部４０は、長尺シートＷ１に蒸着する場所（後述する回転ドラム２４）より下方に配置されている。実施形態１においては、蒸着装置１は投写用のスクリーンＳＣＲ１（後述）を製造するために用いられる。
【００４０】
なお、本発明に係る蒸着装置１は、上記のように長尺シートが真空チャンバーに出入りする構成に限られるものではない。長尺シートが真空チャンバーに出入りしない構成（つまり、繰り出しロールや巻き取りロール等も真空チャンバー内にあり、真空チャンバー内で長尺シートの搬送が完結する構成）としてもよい。
【００４１】
蒸着装置１は、長尺シートＷ１の蒸着面のうち一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着するように構成されている。
長尺シートＷ１における凹凸形状は、図２に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。
【００４２】
実施形態１で用いる長尺シートＷ１は、図２（ａ）に示す長尺シートＷ１の１単位を紙面縦方向に連結したパターンを有する。つまり、実施形態１においては、長尺シートＷ１の山形形状の頂点を結んだ方向（Ａ１−Ａ１の直線に対して垂直な方向）が搬送方向と垂直となる（図３参照。）。
【００４３】
実施形態１で用いる長尺シートＷ１においては、当該山形形状の頂点を結んだ線（図２（ａ）の長方形内の実線）は直線である。本発明の蒸着装置においては、上記の長尺シートＷ１に限られず、製造するものに合わせて様々な凹凸形状が形成された長尺シートに蒸着を行うことができる。
【００４４】
実施形態１においては、蒸着装置１は、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する（図５参照。）。なお、実施形態１においては、後述するスクリーンの製造方法に示すように、図５の状態のものが実施形態１に係るスクリーンの製造方法で製造を目的とするスクリーンＳＣＲ１であるということになる。
【００４５】
真空チャンバー１０は、内部を蒸着に適した環境（例えば、１０−２Ｐａ〜１０−３Ｐａの低圧環境）に保つ。図１に示すように、搬送部２０、蒸着源３０及び放出方向制限部４０は真空チャンバー１０内に配置されている。真空チャンバー１０は、図示しない真空ポンプ及び排気装置を有する。なお、各図においては、説明のために真空チャンバー１０については断面図としている。
【００４６】
真空チャンバー１０においては、詳しい説明は省略するが、長尺シートＷ１の出入り口に圧力を保つための機構を備える。当該機構としては、例えば、内圧が徐々に変化する複数の減圧室を有する機構や、ごく狭い出入り口を通じて長尺シートを通過させる機構を用いることができる。
【００４７】
搬送部２０は、補助ローラー２２，２６及び回転ドラム２４を有し、長尺シートＷ１を一定の速度で連続的に搬送する。このため、実施形態１に係る蒸着装置１は長尺シートＷ１に連続的に蒸着を行う、いわゆる連続式の蒸着装置であるということになる。なお、本発明はこれに限定されるものではなく、いわゆるバッチ式の蒸着装置としてもよい。この場合、搬送部は、長尺シートをステップ式（搬送と停止を交互に繰り返す方式）で搬送することが好ましい。
蒸着装置１は、図３に示すように、回転ドラム２４の周面上にある長尺シートＷ１に蒸着材料Ｍを蒸着する。
【００４８】
蒸着源３０は、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する。実施形態１においては、蒸着材料Ｍはアルミニウムからなる。詳しい説明は省略するが、蒸着源３０は蒸着材料Ｍを収容するるつぼ及び蒸着材料Ｍを加熱する電子銃（電子ビームを射出する装置）を備える。実施形態１においては、電子銃からの電子ビームによりるつぼ中の蒸着材料Ｍが加熱され、微細な粒子となった蒸着材料Ｍが真空チャンバー１０内に放出される。
【００４９】
実施形態１に係る蒸着装置１においては、図３（ｂ）に示すように、３個の蒸着源３０を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。蒸着装置や長尺シートの大きさ等に合わせて任意の数の蒸着源を用いることができる。
【００５０】
放出方向制限部４０は、図３及び図４に示すように、遮蔽部４２及び支持部４４を有し、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する。放出方向制限部４０は、四角形（この場合、長方形）の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなる。放出方向制限部４０の全体が、蒸着材料Ｍ（アルミニウム）が付着しない所定の温度に保温されている。放出方向制限部４０は電流加熱により保温され、所定の温度は、例えば７００℃である。
放出方向制限部４０は、蒸着材料であるアルミニウムよりも融点の高い物質からなり、例えば、ステンレス鋼からなる。
【００５１】
実施形態１に係る蒸着装置１においては、図３に示すように、１個の放出方向制限部４０を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、蒸着源と同数（実施形態１のように蒸着源が３個であれば３個）の放出方向制限部を用いることもできる。
【００５２】
遮蔽部４２は、蒸着源３０と搬送部２０との間に配置され、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する。遮蔽部４２は、放出方向制限部４０を構成する平板のうち、折り曲げられた部分からなる。実施形態１においては、遮蔽部４２の先端と先端に接する鉛直な線（図４におけるｙ軸方向に沿う点線を参照。）とのなす角度であって、先端と鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、平板が折り曲げられた方向回り（図４においては反時計回り）の角度を先端角度とするとき、先端角度が７０°以上であり、例えば、８０°である。なお、図４における斜めの点線は、遮蔽部４２における先端の接線と平行な線である。
支持部４４は、遮蔽部４２を支持する。支持部４４は、放出方向制限部４０を構成する平板のうち、平面状のままの部分からなる。
【００５３】
次に、実施形態１に係るスクリーンの製造方法について説明する。
図６は、実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャートである。
【００５４】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ１を用いて、凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、図６に示すように、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含む。
長尺シート準備工程Ｓ１は、長尺シートＷ１を準備する工程である。長尺シートＷ１の準備については一般的な方法を用いることができ、例えば、プレス成形や型による転写により蒸着面の凹凸形状（実施形態１においては鋸刃状の山形形状）を形成することにより長尺シートＷ１を準備することができる。
【００５５】
蒸着工程Ｓ２は、実施形態１に係る蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着し、当該蒸着材料Ｍを用いて反射層を形成する工程である。具体的には、蒸着装置１を用い、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着して、当該蒸着材料Ｍを反射層とする（図５参照。）。その後、長尺シートＷ１を１単位ごとに切り出すことによりスクリーンＳＣＲ１を製造することができる。
【００５６】
次に、実施形態１に係る蒸着装置１及びスクリーンの製造方法の効果を説明する。
【００５７】
実施形態１に係る蒸着装置１によれば、搬送部２０及び蒸着源３０を備えるため、従来の蒸着装置と同様に、長尺シートに蒸着材料を連続的に蒸着することが可能となる。
【００５８】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部４０を備えるため、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００５９】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０の少なくとも一部は、蒸着材料Ｍが付着しない所定の温度に保温可能であるため、放出方向制限部に蒸着材料が到達しても放出方向制限部への付着を防ぐことができ、蒸着装置（特に放出方向制限部）のメンテナンスを容易なものとすることが可能となる。また、放出方向制限部（特に端部）に蒸着材料が付着することにより蒸着材料の飛散方向が変化してしまうのを防止することが可能となり、その結果、蒸着するにつれて蒸着位置が不均一となることを防止することが可能となる。
【００６０】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０は、蒸着源３０と搬送部２０との間に配置され蒸着材料Ｍの放出方向を制限する遮蔽部４２と、遮蔽部４２を支持する支持部４４とを有するため、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００６１】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、放出方向制限部４０が四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、遮蔽部４２は平板のうち折り曲げられた部分からなり、支持部４４は平板のうち平面状のままの部分からなるため、単純な形状の放出方向制限部で凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００６２】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、蒸着源３０及び放出方向制限部４０は、長尺シートＷ１に蒸着する場所より下方に配置されているため、長尺シートの下方から安定した蒸着を行うことが可能となる
【００６３】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいため、遮蔽部の先端に到達した蒸着材料が長尺シートの意図しない部分に付着してしまうのを防止することが可能となる。
【００６４】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、遮蔽部４２が平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有するため、平板を加工して容易に放出方向制限部を製造することが可能となる。
【００６５】
また、実施形態１に係る蒸着装置１によれば、搬送部２０は回転ドラム２４を有し、蒸着装置１は回転ドラム２４の周面上にある長尺シートＷ１に蒸着材料Ｍを蒸着するため、回転ドラムの周面上という安定した場所で蒸着を行うことから、長尺シート上における蒸着材料の厚みを一層均一にすることが可能となる。
【００６６】
実施形態１に係る蒸着装置１は、上記のように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状を有する長尺シートＷ１の蒸着に好適に用いることが可能である。
【００６７】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法によれば、実施形態１に係る蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸形状の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着し、当該蒸着材料Ｍを用いて反射層を形成する工程（蒸着工程Ｓ２）を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００６８】
［実施形態２］
図７は、実施形態２における蒸着の様子を説明するために示す図である。図７（ａ）は蒸着装置２（符号を図示せず。）の主要部の正面図であり、図７（ｂ）は蒸着装置２の主要部の側面図である。
【００６９】
実施形態２に係る蒸着装置２は、基本的には実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するが、蒸着する長尺シートが異なるため、放出方向制限部の構成が実施形態１に係る蒸着装置とは異なる。すなわち、実施形態２に係る蒸着装置２は、図７に示すように、実施形態１における長尺シートＷ１と１単位（図２（ａ）参照。）は同様であるが、当該１単位を図２（ａ）における紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ２（つまり、長尺シートＷ２の山形形状の頂点を結んだ方向が搬送方向と平行となる。）に蒸着を行うためのものである。このため、蒸着装置２は、実施形態１における遮蔽装置４０とは向き及び幅が異なる３個の遮蔽装置５０を備える。なお、これに伴って、実施形態２に係る蒸着装置２においては、３個の蒸着源３０の位置も実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるものとなっている。
【００７０】
このように、実施形態２に係る蒸着装置２は、放出方向制限部の構成が実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるが、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部５０を備えるため、実施形態１に係る蒸着装置１の場合と同様に、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００７１】
なお、実施形態２に係る蒸着装置２は、放出方向制限部の構成以外は実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る蒸着装置１が有する効果をそのまま有する。
【００７２】
［実施形態３］
図８は、実施形態３における長尺シートＷ３を説明するために示す図である。図８（ａ）は長尺シートＷ３の１単位を示す上面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ２−Ａ２断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図８（ｂ）においては、長尺シートＷ３を寝せて（横にして）表示している。
【００７３】
実施形態３においては、蒸着する長尺シートが実施形態１とは異なる。すなわち、実施形態３における長尺シートＷ３は、図８に示すように、実施形態１における長尺シートＷ１と１単位が異なる（特に図８（ａ）参照。）。長尺シートＷ３は、図８（ａ）に示す長尺シートＷ３の１単位を紙面縦方向に連結したパターンを有する。なお、実施形態３に係る蒸着装置３（図示せず。）そのものの構成は実施形態１に係る蒸着装置１と基本的に同様であるため、図示を省略する。
【００７４】
実施形態３に係る蒸着装置３は、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートＷ３における凹凸形状の一部に、蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する蒸着装置である。
実施形態３における長尺シートＷ３では、山形形状の頂点を結んだ線（図８（ａ）の長方形内の実線）は曲線となる。図８（ａ）において示す曲線の曲率は例示であり、蒸着装置により製造する製品に合わせて様々な曲率のものを用いることができる。
【００７５】
長尺シートＷ３における凹凸形状は、図８に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。つまり、長尺シートＷ３は、断面図としたときにおける凹凸形状については、実施形態１における長尺シートＷ１と基本的に同様であるということになる。
実施形態３においては、蒸着装置３は、山形形状の広い方（断面形状としたとき、稜線の傾斜角度が緩い方）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する。
【００７６】
このように、実施形態３に係る蒸着装置３は、蒸着する長尺シートが実施形態１に係る蒸着装置１とは異なるが、蒸着材料Ｍの放出方向を制限する放出方向制限部を備えるため、実施形態１に係る蒸着装置１の場合と同様に、表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いた場合に、凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能となる。
【００７７】
なお、実施形態３に係る蒸着装置３は、蒸着する長尺シート以外は実施形態１に係る蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る蒸着装置１が有する効果をそのまま有する。
【００７８】
以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の様態において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【００７９】
（１）上記各実施形態において記載した蒸着装置の構成要素や長尺シートの数、材質、形状等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。
【００８０】
（２）上記実施形態３においては、長尺シートとして、図８（ａ）に示す長尺シートＷ３の１単位を紙面縦方向に連結した長尺シートＷ３を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、実施形態３における長尺シートＷ３と１単位は同様であるが、当該１単位を図８（ａ）の紙面横方向に連結した長尺シートを用いてもよい。この場合、蒸着装置として、例えば、実施形態２に係る蒸着装置２と同様の構成を有する蒸着装置を用いることができる。本発明の蒸着装置は、このような場合においても凹凸形状のうち一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能である。
【００８１】
（３）上記実施形態１においては、先端角度が８０°である放出方向制限部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図９は、変形例１における放出方向制限部６０の正面図である。例えば、図９に示すように、本発明の効果を得られるものであれば、先端角度が８０°以外の放出方向制限部を用いてもよい。なお、変形例１における放出方向制限部６０においては、先端角度は１５０°である。
【００８２】
（４）上記各実施形態においては、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有する遮蔽部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１０は、変形例２における放出方向制限部７０の正面図である。例えば、図１０に示すように、本発明の効果を得られる形状であれば任意の形状（変形例２においては、多角柱形状に従って折り曲げられた形状）の遮蔽部を用いてもよい。
【００８３】
（５）上記各実施形態においては、板状の部材からなる遮蔽部及び支持部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。ブロック状の部材等からなる遮蔽部及び支持部を用いてもよい。
【００８４】
（６）上記各実施形態においては、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなる放出方向制限部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。四角形以外の平板の一端が折り曲げられた形状からなる放出方向制限部を用いてもよい。また、遮蔽部と支持部とが別々に製作され、後に溶接や接着等により一体化された放出方向制限部を用いてもよい。
【００８５】
（７）上記各実施形態においては、長尺シートとして、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状を有する長尺シートを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１１は、変形例３における長尺シートＷ４及びスクリーンＳＣＲ２を説明するために示す図である。図１１（ａ）は長尺シートＷ４の１単位を示す上面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡ３−Ａ３断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図であり、図１１（ｃ）は変形例３におけるスクリーンＳＣＲ２の部分拡大断面図である。なお、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）においては、長尺シートＷ１を寝せて（横にして）表示している。また、図１１（ａ）においては、略半球状の凹部の配置をわかりやすくするために、凹部の数を少なく表示している。例えば、図１１に示すように、略半球状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる凹凸形状が形成されている長尺シートを用いてもよい。また、他の形状からなる凹凸形状が形成されている長尺シートを用いてもよい。
【００８６】
（８）上記実施形態１においては、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含むスクリーンの製造方法を例にとって本発明のスクリーンの製造方法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、長尺シート準備工程を含まなくてもよいし、長尺シート準備工程及び蒸着工程以外の工程（例えば、蒸着工程後の後処理工程や仕上工程）を含んでもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１…蒸着装置、１０…真空チャンバー、２０…搬送部、２２，２６…補助ローラー、２４…回転ドラム、３０…蒸着源、４０，５０，６０，７０…放出方向制限部、４２，５２，６２，７２…遮蔽部、４４，５４，６４，７４…支持部、Ｍ…蒸着材料、ＳＣＲ１，ＳＣＲ２…スクリーン、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３…長尺シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に凹凸形状が形成されている長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に、蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置であって、
前記長尺シートを搬送する搬送部と、
蒸着時において前記蒸着材料を収容し加熱する蒸着源と、
前記蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部とを備えることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部の少なくとも一部は、前記蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部は、
前記蒸着源と前記搬送部との間に配置され前記蒸着材料の放出方向を制限する遮蔽部と、
前記遮蔽部を支持する支持部とを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項３に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部は、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、
前記遮蔽部は、前記平板のうち折り曲げられた部分からなり、
前記支持部は、前記平板のうち平面状のままの部分からなることを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸着装置において、
前記蒸着源及び前記放出方向制限部は、前記長尺シートに蒸着する場所より下方に配置されており、
前記遮蔽部の先端と前記先端に接する鉛直な線とのなす角度であって、前記先端と前記鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、前記平板が折り曲げられた方向回りの角度を先端角度とするとき、
前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいことを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の蒸着装置において、
前記遮蔽部は、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の蒸着装置において、
前記搬送部は、回転ドラムを有し、
前記蒸着装置は、前記回転ドラムの周面上にある前記長尺シートに前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の蒸着装置において、
前記凹凸形状は、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなることを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いて、前記凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、
請求項１〜８のいずれかに記載の蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて前記反射層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーンの製造方法。
【請求項１】
表面に凹凸形状が形成されている長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に、蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置であって、
前記長尺シートを搬送する搬送部と、
蒸着時において前記蒸着材料を収容し加熱する蒸着源と、
前記蒸着材料の放出方向を制限する放出方向制限部とを備えることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部の少なくとも一部は、前記蒸着材料が付着しない所定の温度に保温可能であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部は、
前記蒸着源と前記搬送部との間に配置され前記蒸着材料の放出方向を制限する遮蔽部と、
前記遮蔽部を支持する支持部とを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項３に記載の蒸着装置において、
前記放出方向制限部は、四角形の平板における一辺側が折り曲げられた形状からなり、
前記遮蔽部は、前記平板のうち折り曲げられた部分からなり、
前記支持部は、前記平板のうち平面状のままの部分からなることを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸着装置において、
前記蒸着源及び前記放出方向制限部は、前記長尺シートに蒸着する場所より下方に配置されており、
前記遮蔽部の先端と前記先端に接する鉛直な線とのなす角度であって、前記先端と前記鉛直な線とが交わる交点より上方を基準とし、前記平板が折り曲げられた方向回りの角度を先端角度とするとき、
前記先端角度が７０°以上であり、かつ、３６０°より小さいことを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の蒸着装置において、
前記遮蔽部は、平板を円筒形状に従って折り曲げられた形状を有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の蒸着装置において、
前記搬送部は、回転ドラムを有し、
前記蒸着装置は、前記回転ドラムの周面上にある前記長尺シートに前記蒸着材料を蒸着することを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の蒸着装置において、
前記凹凸形状は、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなることを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
表面に凹凸形状が形成されている長尺シートを用いて、前記凹凸形状の一部に反射層が形成されたスクリーンを製造するスクリーンの製造方法であって、
請求項１〜８のいずれかに記載の蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸形状の一部に蒸着材料を選択的に蒸着し、当該蒸着材料を用いて前記反射層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーンの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−２４１２４０（Ｐ２０１２−２４１２４０Ａ）
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１１３１９９（Ｐ２０１１−１１３１９９）
【出願日】平成２３年５月２０日（２０１１．５．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月２０日（２０１１．５．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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