装着材
【課題】シート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供する。
【解決手段】研磨パッド１０を構成する装着シート７は、一面側がウレタンシート２と貼り合わされる粘着シート４と、研磨装置に装着するための一面を有する粘着シート５とを有している。粘着シート４の他面側と、粘着シート５の他面側とが貼り合わされている。粘着シート４は２つの粘着テープ４１、４２が境界Ｄ１で隣接し、粘着シート５は３つの粘着テープ５１、５２、５３が境界Ｄ１と異なる２箇所の境界Ｄ２で隣接するように配されている。粘着テープ４１、４２は粘着剤層４１ａ、４２ａを有しており、粘着テープ５１、５２、５３は粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａを有している。装着時に、境界Ｄ１、Ｄ２での隙間形成が相互の粘着シート４、５で抑制される。
【解決手段】研磨パッド１０を構成する装着シート７は、一面側がウレタンシート２と貼り合わされる粘着シート４と、研磨装置に装着するための一面を有する粘着シート５とを有している。粘着シート４の他面側と、粘着シート５の他面側とが貼り合わされている。粘着シート４は２つの粘着テープ４１、４２が境界Ｄ１で隣接し、粘着シート５は３つの粘着テープ５１、５２、５３が境界Ｄ１と異なる２箇所の境界Ｄ２で隣接するように配されている。粘着テープ４１、４２は粘着剤層４１ａ、４２ａを有しており、粘着テープ５１、５２、５３は粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａを有している。装着時に、境界Ｄ１、Ｄ２での隙間形成が相互の粘着シート４、５で抑制される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は装着材に係り、特に、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来研磨加工には、被研磨物を研磨加工するための研磨パッドや被研磨物を研磨装置に保持させるための保持パッドが使用されている。研磨パッドや保持パッドとして樹脂製のシート材が広く用いられており、研磨加工時には、これらのシート材が研磨装置に装着される。研磨装置にシート材を装着するための装着材としては、両面テープ等の粘着性を有する部材が古くから用いられている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。これらの技術では、粘着剤としてアクリル系粘着剤が用いられている。
【０００３】
研磨加工の対象となる被研磨物としては、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、シリコンウェハ、ハードディスク用基板や液晶ディスプレイ用ガラス基板等の材料、といった多岐にわたる材料を挙げることができる。これらの材料の研磨加工においては、例えば、半導体デバイスでは半導体回路の微細化や多層配線化が進められており、配線の各層で高度な平坦性が求められている。また、液晶ディスプレイ用ガラス基板では、液晶ディスプレイの大型化に伴い、ガラス基板が大型化する傾向にある。被研磨物の大型化に対応するため、研磨パッドや保持パッドのシート材の大型化が進められている。一方、シリコンウェハでは、研磨加工の効率向上を目的として、複数の材料を同時に研磨加工する技術が進められている。この場合でも、研磨加工に使用するシート材を大型化することが必要となっている。
【０００４】
大型のシート材としては、例えば、１辺の長さが２０００ｍｍを超える矩形状や直径２０００ｍｍを超える円形状のシート材が開発されている。ところが、このような大型化したシート材を研磨装置に装着するための装着材には、上述したような両面テープが用いられている。両面テープについても、大型のシート材に対応するように開発が進められているが、１辺の長さや直径が２０００ｍｍを超えるような大型の両面テープが開発されていない。このため、大型のシート材の全面を研磨装置に装着することが難しくなっている。これを解決するために、例えば、シート材を分割し、粘着テープと貼り合わせた研磨パッドの技術が開示されている（特許文献３参照）。この技術では、シート材が分割されているため、隙間が形成され被研磨物の平坦性を損なうことがある。また、研磨加工時に供給される研磨液が隙間に入り込み、粘着テープの粘着性を低下させて剥離を招くこともある。そこで、複数の両面テープを並べて貼り合わせることで大型化に対応しているのが現状である
【０００５】
【特許文献１】実開１９８７−１５３０５７号公報
【特許文献２】特開５８−１０９５７２号公報
【特許文献３】特開平１１−３２０３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、大型のシート材に複数の両面テープを並べて貼り合わせた場合、見かけ上は、大型化しているようになるが、隣り合う両面テープの継ぎ目では、シート材から研磨装置の定盤までの間に隙間が形成された状態となる。このため、運搬時には、シート材が継ぎ目部分で折れ曲がる可能性がある。また、研磨装置への装着時には、両面テープ等の継ぎ目部分でシート材が伸ばされることとなり、シート材の表面にしわや窪みが形成されて凹凸が生じることがある。このような凹凸が生じた状態で研磨加工を行うと、被研磨物の表面を平坦化することができないばかりか、研磨傷等のダメージを与える可能性がある。
【０００７】
本発明は上記事案に鑑み、シート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材において、前記シート材を貼り合わせるための一面を有しており、粘着性を有する複数の第１の粘着部材が隣接するように配された第１の粘着層と、前記研磨装置に装着するための一面を有しており、他面側が前記第１の粘着層の他面側に貼り合わされ、粘着性を有する複数の第２の粘着部材が前記第１の粘着部材の境界部分と異なる部分で隣接するように配された第２の粘着層と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するために、第１の粘着層の一面側がシート材に貼り合わされ、第１の粘着層の他面側に他面側を貼り合わせた第２の粘着層の一面側が研磨装置に貼り合わされる。本発明によれば、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で研磨装置に装着させることができ、第２の粘着部材の境界部分を第１の粘着部材の境界部分と異なる部分としたことで、第１および第２の粘着部材の境界部分で相互の粘着層により隙間形成が抑制されるため、研磨装置に装着されるシート材の平坦性を確保することができる。
【００１０】
この場合において、第１および第２の粘着層の少なくとも一方が、第１ないし第２の各粘着部材が基材を有していてもよい。また、第１および第２の粘着層が、いずれか一方を構成する第１または第２の各粘着部材が基材の両面に粘着剤を塗着して形成されており、いずれか他方を構成する第１または第２の各粘着部材が基材の少なくとも片面に粘着剤を塗着して形成されていてもよい。このとき、基材を可撓性を有する樹脂フィルムとすることができる。また、第１および第２の粘着層で、第１および第２の各粘着部材の粘着剤を同質としてもよい。粘着剤としてアクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種を用いることができる。第１の粘着層の一面側および第２の粘着層の一面側で、第１および第２の粘着部材の表面がそれぞれ剥離可能な剥離紙で覆われていることが好ましい。また、第１の粘着層と第２の粘着層との間に更に樹脂基材を備えるようにし、第２の粘着層の他面側が樹脂基材を介して第１の粘着層の他面側に貼り合わされるようにしてもよい。このような装着材は、シート材が対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状または直径が２０００ｍｍ以上の円形状でも対応可能である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で研磨装置に装着させることができ、第２の粘着部材の境界部分を第１の粘着部材の境界部分と異なる部分としたことで、第１および第２の粘着部材の境界部分で相互の粘着層により隙間形成が抑制されるため、研磨装置に装着されるシート材の平坦性を確保することができる、という効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明を適用した装着材を備えた大型の研磨パッドの実施の形態について説明する。
【００１３】
（構成）
本実施形態の研磨パッド１０は、図１に示すように、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有する研磨層のウレタンシート２と、ウレタンシート２を研磨装置に装着するための装着材としての装着シート７と、を備えている。
【００１４】
ウレタンシート２は、ポリウレタン樹脂を湿式成膜することで形成されている。ウレタンシート２は、研磨面Ｐ側に不図示の微多孔が形成されたスキン層を有している。スキン層より内側（ウレタンシート２の内部）には、スキン層の微多孔より大きい孔径でウレタンシート２の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面三角状の大気孔が略均等に形成されている。大気孔は、研磨面Ｐ側の大きさが、研磨面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。大気孔同士の間のポリウレタン樹脂中には、スキン層の微多孔より大きく大気孔より小さい孔径の小気孔が形成されている。スキン層の微多孔、大気孔および小気孔は連通孔で網目状につながっている。すなわち、ウレタンシート２は、連続状の発泡構造を有している。
【００１５】
研磨パッド１０を構成する装着シート７は、一面側がウレタンシート２と貼り合わされる第１の粘着層としての粘着シート４と、研磨装置に装着するための一面を有する第２の粘着層としての粘着シート５とを有している。装着シート７では、粘着シート４の他面側と、粘着シート５の他面側とが貼り合わされている。粘着シート４は、２つの粘着テープ４１、４２（第１の粘着部材）が境界Ｄ１で隣接するように配されている。一方、粘着シート５は、３つの粘着テープ５１、５２、５３（第２の粘着部材）が２箇所の境界Ｄ２で隣接するように配されている。
【００１６】
粘着シート４を構成する粘着テープ４１は、ポリエチレンテレフタレート製（以下、ＰＥＴと略記する）フィルムの基材４１ｂを有している。基材４１ｂの一面側、すなわち、ウレタンシート２側には、粘着剤が塗着されて粘着剤層４１ａが形成されている。粘着テープ４２は、粘着テープ４１と同じ構成で形成されている。すなわち、ＰＥＴフィルムの基材４２ｂの一面側に粘着剤層４２ａが形成されている。粘着剤層４１ａ、４２ａには、いずれも、同質のアクリル系粘着剤が用いられている。また、粘着テープ４１、４２は、厚さおよび幅が同じに形成されている。粘着シート４では、ウレタンシート２と貼り合わされる一面側に粘着テープ４１、４２の粘着剤層４１ａ、４２ａが配されており、他面側に基材４１ｂ、４２ｂの他面側が位置するように配されている。
【００１７】
粘着シート５を構成する粘着テープ５１は、粘着剤がシート状に形成された粘着剤層５１ａを有している。粘着剤層５１ａの一面側、すなわち、研磨装置に装着するための面側は、研磨パッド１０の保管時や搬送時に粘着剤層５１ａを保護するために、剥離紙（バイナーシート）５１ｂで覆われている。粘着テープ５２、５３は、粘着テープ５１と同じ構成で形成されている。すなわち、粘着テープ５２は粘着剤層５２ａの一面側が剥離紙５２ｂで覆われており、粘着テープ５３は粘着剤層５３ａの一面側が剥離紙５３ｂで覆われている。また、粘着テープ５１、５２、５３は、厚さが同じに形成されている。粘着テープ５１、５３の幅が同じに形成されており、粘着テープ５２の幅が粘着テープ５１、５２より若干大きく形成されている。粘着シート５では、研磨装置に装着するための一面側に位置する粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの一面側がそれぞれ剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂで覆われており、他面側に粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側が露出するように配されている。
【００１８】
装着シート７では、粘着シート４の他面側に位置するように配された基材４１ｂ、４２ｂの他面側と、粘着シート５の他面側に露出するように配された粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側とが貼り合わされている。このような装着シート７を備えた研磨パッド１０では、装着シート７を構成する粘着シート４の一面側がウレタンシート２と貼り合わされており、研磨装置に貼り合わせるための一面を有する粘着シート５の他面側が粘着シート４の他面側に貼り合わされている。
【００１９】
装着シート７では、粘着シート４の他面側に配された基材４１ｂ、４２ｂの他面と、粘着シート５の他面側に配された粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面とが貼り合わされている。同じ幅を有する２つの粘着テープ４１、４２が隣接するように配された粘着シート４では、研磨パッド１０の中央部に境界Ｄ１が形成される。これに対して、３つの粘着テープ５１、５２、５３が隣接するように配された粘着シート５では、境界Ｄ１を挟むように両側に２箇所の境界Ｄ２が形成される。このため、粘着シート４と粘着シート５とでは、境界Ｄ１および境界Ｄ２の位置が異なっている。
【００２０】
図２に示すように、粘着シート４の境界Ｄ１は、粘着テープ５２の略中央に位置している。換言すれば、粘着シート４を構成する２つの粘着テープ４１、４２の継ぎ目部分を覆うように粘着テープ５２が貼り合わされている。また、粘着シート５の２箇所の境界Ｄ２は、それぞれ粘着テープ４１、４２の中央部より境界Ｄ１側に位置している。換言すれば、粘着シート５を構成する３つの粘着テープ５１、５２、５３の継ぎ目部分を覆うように
粘着テープ４１、４２が貼り合わされている。
【００２１】
（製造）
研磨パッド１０は、ウレタンシート２および装着シート７をそれぞれ作製し、貼り合わせることで製造される。以下、ウレタンシート２の作製、装着シート７の作製、貼り合わせの順に説明する。
【００２２】
＜ウレタンシートの作製＞
ウレタンシート２は、樹脂溶液を調製する準備ステップ、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる凝固再生ステップ、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄・乾燥させてウレタンシート２を得る洗浄・乾燥ステップを経て作製される。
【００２３】
準備ステップでは、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、大気孔の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡して樹脂溶液を調製する。
【００２４】
凝固再生ステップでは、準備ステップで調製した樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる。樹脂溶液は、塗布装置により常温下で帯状の成膜基材に略均一に塗布される。塗布装置には、本例では、ナイフコータが用いられる。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙（クリアランス）を調整することで、樹脂溶液の塗布厚さ（塗布量）が調整される。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができる。本例では、成膜基材としてＰＥＴ製フィルムが用いられる。
【００２５】
樹脂溶液が塗布された成膜基材は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に浸漬される。凝固液中では、まず、塗布された樹脂溶液の表面にスキン層を構成する微多孔が厚さ数μｍ程度にわたって形成される。その後、樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にフィルム状に凝固再生する。ＤＭＦが樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層より内側のポリウレタン樹脂中には、大気孔および小気孔が形成され、大気孔および小気孔を網目状に連通する連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、樹脂溶液の表面側（スキン層側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな大気孔が形成される。
【００２６】
洗浄・乾燥ステップでは、凝固再生した帯状（長尺状）のポリウレタン樹脂を洗浄した後乾燥させる。すなわち、ポリウレタン樹脂は、成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されてポリウレタン樹脂中に残留するＤＭＦが除去される。洗浄後、ポリウレタン樹脂を乾燥機等で乾燥させてウレタンシート２が作製される。本例では、乾燥機として、内部に熱源を有するシリンダを備えたシリンダ乾燥機が用いられる。ポリウレタン樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後のウレタンシート２は、本例では、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍに裁断される。
【００２７】
＜装着シートの作製＞
装着シート７は、粘着シート４を構成する粘着テープ４１、４２、および、粘着シート５を構成する粘着テープ５１、５２、５３をそれぞれ準備し、粘着シート４と粘着シート５とを貼り合わせて作製する。
【００２８】
粘着シート４では、粘着テープ４１、４２がいずれもテープ幅１０００ｍｍ、厚さ０．１２５ｍｍに設定されている。粘着シート５では、粘着テープ５１、５３がそれぞれテープ幅３００ｍｍ、厚さ０．１７ｍｍに設定されており、粘着テープ５２が幅４００ｍｍ、厚さ０．１７ｍｍに設定されている。粘着テープ４１、４２には、一面側を基材４１ｂ、４２ｂとそれぞれ貼り合わせた粘着剤層４１ａ、４２ａの他面側がそれぞれ被覆紙で覆われたものが用いられる。また、粘着テープ５１、５２、５３には、一面側が剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂでそれぞれ覆われた粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側がそれぞれ被覆紙で覆われたものが用いられる。
【００２９】
２つの粘着テープ４１、４２を隙間が形成されないように、略平坦な台上に隣接させて並べる。このとき、基材４１ｂ、４２ｂが上側となるように並べる。すなわち、粘着テープ４１、４２は、ほぼ同一の平面で境界Ｄ１を挟んで隣接配置される。並べた２つの粘着テープ４１、４２の上に、３つの粘着テープ５１、５２、５３を隙間が形成されないように、隣接させて積層する。このとき、粘着テープ５１、５２、５３の被覆紙を取り外し、露出した粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａを、台上に並べた粘着テープ４１、４２の基材４１ｂ、４２ｂに接触させる。ほぼ同一の平面状に隣接配置された粘着テープ４１、４２の上に積層されるため、粘着テープ５１、５２、５３はほぼ同一の平面で２箇所の境界Ｄ２を挟んで隣接配置される。積層された状態で、略平坦な平板で押圧することで装着シート７を作製する。
【００３０】
＜貼り合わせ＞
作製したウレタンシート２と装着シート７とを貼り合わせる。このとき、装着シート７の粘着テープ４１、４２を構成する粘着剤層４１ａ、４２ａの被覆紙を取り外し、露出した粘着剤層４１ａ、４２ａと、ウレタンシート２の研磨面Ｐと反対側の面とを貼り合わせる。その後、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの大型の研磨パッド１０を完成させる。
【００３１】
研磨パッド１０を研磨装置に装着するときは、剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂを取り外し、露出した粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａで研磨装置の定盤に貼着する。このとき、３枚の剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂを順次取り外して、粘着テープ５１、５２、５３を１枚分ずつ順に貼着することで、位置ズレすることなく正確に定盤に貼着することができる。研磨加工時には、研磨粒子を含む研磨液（スラリ）を供給しながら、被研磨物が研磨される。
【００３２】
（作用等）
次に、本実施形態の研磨パッド１０の作用等について、装着シート７の作用を中心に説明する。
【００３３】
本実施形態で用いた装着シート７では、粘着シート４が２つの粘着テープ４１、４２で構成され、粘着シート５が３つの粘着テープ５１、５２、５３で構成されている。このため、ウレタンシート２が大型でも全面で研磨装置に装着することができるように、ウレタンシート２と貼り合わせることができる。また、粘着シート５を構成する３つの粘着テープ５１、５２、５３を順に研磨装置に貼着することで、位置ズレを生じることなく正確に研磨装置に装着することができる。
【００３４】
また、本実施形態で用いた装着シート７では、粘着テープ４１、４２の隣接部分に境界Ｄ１が形成され、粘着テープ５１、５２、５３の隣接部分に２箇所の境界Ｄ２が形成されている。粘着シート４の境界Ｄ１と粘着シート５の境界Ｄ２とが異なる位置となるように、それぞれの粘着テープ４１、４２および粘着テープ５１、５２、５３が配置されている。このため、境界Ｄ１での隙間形成が粘着シート５を構成する粘着テープ５１、５２、５３（特に、粘着テープ５２）で抑制され、境界Ｄ２での隙間形成が粘着シート４の粘着テープ４１、４２で抑制される。換言すれば、装着シート７は、粘着シート４、５の境界Ｄ１、境界Ｄ２が相互に補強されるように形成されており、境界Ｄ１、Ｄ２に生じる歪みを最小限に抑制することができる。これにより、ウレタンシート２の研磨面Ｐ側に窪み等が形成されることなく研磨パッド１０を研磨装置に装着することができる。従って、研磨面Ｐの平坦性が確保されるので、被研磨物の平坦性向上を図ることが期待できる。
【００３５】
更に、本実施形態で用いた装着シート７では、粘着シート４を構成する粘着テープ４１、４２がそれぞれ基材４１ｂ、４２ｂを有しており、上述したように粘着シート４、５の境界Ｄ１、境界Ｄ２が相互に補強されるように形成されている。このため、柔軟性を有するウレタンシート２を大型にしても、搬送時や研磨装置への装着時に装着シート７の全体で支持されることから、取扱いを容易にすることができる。
【００３６】
従来大型の研磨パッドでは、装着材として用いられる両面テープが大型化していないため、全面で研磨装置に装着することが難しい。複数の両面テープを並べて貼り合わせることで、研磨装置への装着を行うことができる。すなわち、上述したウレタンシート２と粘着シート４とを貼り合わせて形成した研磨パッドとなる。ところが、このような研磨パッドでは、ウレタンシート２が伸縮性を有するため、研磨装置に装着するときに、粘着シート４を構成する２つの粘着テープ４１、４２の境界Ｄ１の部分でウレタンシート２が伸ばされてしまう。このため、研磨面Ｐ側に窪みやしわが形成されることとなる。このような状態で研磨加工を行うと、被研磨物の平坦性を損なうこととなり、被研磨物に研磨傷を生じる可能性もある。本実施形態は、これらの問題を解決することができる研磨パッドである。
【００３７】
なお、本実施形態では、装着シート７として粘着シート４、５を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、粘着シート４、５以外に更に粘着シートを積層するようにしてもよい。この場合、各粘着シートの境界部分を相互に補強する効果を向上させることが期待されるが、研磨パッド１０の全体に占める装着材の割合が大きくなるため、研磨加工に支障をきたす可能性もある。この点を考慮すれば、粘着シート４、５で構成された２層構造の装着シート７とすることが好ましい。また、本実施形態では、粘着シート４と粘着シート５とを貼り合わせる例を示したが、粘着シート４および粘着シート５の間に樹脂製の基材を介在させるようにしてもよい。樹脂製の基材としては、ＰＥＴ等のフィルムを用いることができる。このように構成することで、樹脂製基材が研磨パッド全体の支持機能を果たすため、搬送時や研磨装置への装着時に取扱いを容易にすることができる。
【００３８】
また、本実施形態では、粘着シート４を構成する粘着部材として２つの粘着テープ４１、４２を用い、粘着シート５を構成する粘着部材として３つの粘着テープ５１、５２、５３を用いる例を示したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、粘着シート４を３つ以上の粘着テープで構成してもよく、粘着シート５を２つ、または、４つ以上の粘着テープで構成するようにしてもよい。また、本実施形態では、粘着シート４を構成する粘着テープの数が、粘着シート５を構成する粘着テープの数より小さくされているが、用いる粘着テープ数の大小に制限されるものではない。すなわち、粘着シート４を構成する粘着テープの数を、粘着シート５を構成する粘着テープの数より大きくしてもよい。このようにしても、装着シート７の作製において不都合を生じるものではなく、上述した効果を得ることができる。
【００３９】
更に、本実施形態では、粘着テープ４１、４２をそれぞれ粘着剤層４１ａ、４２ａと、基材４１ｂ、４２ｂとで形成し、粘着テープ５１、５２、５３をそれぞれ粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａと、剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂとで形成する例、すなわち、粘着シート４と粘着シート５とで粘着テープの構成が異なる例を示したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、粘着シート４と粘着シート５とで粘着テープの構成を同じにしてもよい。このような例として、粘着剤層と剥離紙とで形成される粘着テープを、粘着シート４では２つ、粘着シート５では３つ用いるようにしてもよい。この場合、粘着シート４と粘着シート５とが粘着テープの粘着剤層同士で貼り合わされることとなる。このようにしても、上述した研磨面Ｐ側の平坦性を確保することができる。いずれの粘着テープも基材を有していないため、研磨パッドの大型化に伴い、取扱いの難しさが生じることを考慮すれば、粘着剤層同士の間に樹脂製基材を介在させるようにしてもよい。
【００４０】
また、粘着シート４を基材の両面に粘着剤層が形成された３層構造の粘着テープ（いわゆる両面テープ）で構成し、粘着シート５を基材の片面に粘着剤層が形成され当該粘着剤層の表面が剥離紙で覆われた３層構造の粘着テープで構成することも可能である。このようにすれば、装着シート７では、２層分の基材を含むこととなるため、研磨パッド１０が更に大型化しても取扱いを容易にすることができる。また、粘着シート４および粘着シート５を、基材の両面に粘着剤層が形成された３層構造の粘着テープで構成してもよいことはもちろんである。
【００４１】
更にまた本実施形態では、基材４１ｂ、４２ｂとしてＰＥＴフィルムを例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレンやＯＰＰ（具体的名称）をもちいてもよい。また、粘着剤層４１ａ、４２ａ、５１ａ、５２ａ、５３ａの粘着剤として、アクリル系粘着剤を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウレタン系やエポキシ系の粘着剤を用いてもよい。接着強度やウレタンシート２の物性に及ぼす影響を考慮すれば、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種とすることが好ましい。
【００４２】
また更に、本実施形態では、装着シート７を備えた研磨パッド１０の例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、粘着シート４の一面側（ウレタンシート２と貼り合わされる面側）および粘着シート５の一面側（研磨装置に貼り合わされる面側）で、粘着シート４、５を構成する粘着剤層の表面をそれぞれ覆う剥離可能な剥離紙を有するようにしてよい。このようにすれば、装着シート７の単独で保管、運搬等を行うことができ、製造管理の観点からも好ましくなる。また、研磨加工に用いられる樹脂製シート材としては、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有する研磨パッド以外に、被研磨物を保持するための保持パッドを挙げることができる。保持パッドでも、被研磨物に対する保持性を向上させるため、発泡構造の樹脂製シート材が広く用いられている。このような保持パッドを研磨装置に装着する際においても、本実施形態の装着シート７を用いることで、上述したような効果を十分発揮することができる。
【００４３】
更に、樹脂製シート材として、湿式成膜されたポリウレタン樹脂製のウレタンシート２を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、イソシアネート化合物とポリオール化合物やポリアミン化合物とを反応させることで乾式成形したウレタンシートを用いることも可能である。また、ポリウレタン樹脂に代えて、ポリエチレンやポリプロピレン等の樹脂を用いるようにしてもよい。
【００４４】
また、本実施形態では、研磨パッド１０として、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの矩形状とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状、直径２０００ｍｍ以上の円形状の研磨パッドに対応することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明はシート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供するため、研磨パッドや保持パッドのシート材の製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を適用した装着シートを備えた実施形態の研磨パッドを模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態の研磨パッドを構成する装着シートの境界部分を模式的に示す底面図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｐ 研磨面
Ｄ１ 境界（境界部分）
Ｄ２ 境界（境界部分）
２ ウレタンシート（シート材）
４ 粘着シート（第１の粘着層）
５ 粘着シート（第２の粘着層）
７ 装着シート（装着材）
１０ 研磨パッド
４１、４２ 粘着テープ（第１の粘着部材）
４１ａ、４２ａ 粘着剤層
５１、５２、５３ 粘着テープ（第２の粘着部材）
５１ａ、５２ａ、５３ａ 粘着剤層
【技術分野】
【０００１】
本発明は装着材に係り、特に、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来研磨加工には、被研磨物を研磨加工するための研磨パッドや被研磨物を研磨装置に保持させるための保持パッドが使用されている。研磨パッドや保持パッドとして樹脂製のシート材が広く用いられており、研磨加工時には、これらのシート材が研磨装置に装着される。研磨装置にシート材を装着するための装着材としては、両面テープ等の粘着性を有する部材が古くから用いられている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。これらの技術では、粘着剤としてアクリル系粘着剤が用いられている。
【０００３】
研磨加工の対象となる被研磨物としては、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、シリコンウェハ、ハードディスク用基板や液晶ディスプレイ用ガラス基板等の材料、といった多岐にわたる材料を挙げることができる。これらの材料の研磨加工においては、例えば、半導体デバイスでは半導体回路の微細化や多層配線化が進められており、配線の各層で高度な平坦性が求められている。また、液晶ディスプレイ用ガラス基板では、液晶ディスプレイの大型化に伴い、ガラス基板が大型化する傾向にある。被研磨物の大型化に対応するため、研磨パッドや保持パッドのシート材の大型化が進められている。一方、シリコンウェハでは、研磨加工の効率向上を目的として、複数の材料を同時に研磨加工する技術が進められている。この場合でも、研磨加工に使用するシート材を大型化することが必要となっている。
【０００４】
大型のシート材としては、例えば、１辺の長さが２０００ｍｍを超える矩形状や直径２０００ｍｍを超える円形状のシート材が開発されている。ところが、このような大型化したシート材を研磨装置に装着するための装着材には、上述したような両面テープが用いられている。両面テープについても、大型のシート材に対応するように開発が進められているが、１辺の長さや直径が２０００ｍｍを超えるような大型の両面テープが開発されていない。このため、大型のシート材の全面を研磨装置に装着することが難しくなっている。これを解決するために、例えば、シート材を分割し、粘着テープと貼り合わせた研磨パッドの技術が開示されている（特許文献３参照）。この技術では、シート材が分割されているため、隙間が形成され被研磨物の平坦性を損なうことがある。また、研磨加工時に供給される研磨液が隙間に入り込み、粘着テープの粘着性を低下させて剥離を招くこともある。そこで、複数の両面テープを並べて貼り合わせることで大型化に対応しているのが現状である
【０００５】
【特許文献１】実開１９８７−１５３０５７号公報
【特許文献２】特開５８−１０９５７２号公報
【特許文献３】特開平１１−３２０３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、大型のシート材に複数の両面テープを並べて貼り合わせた場合、見かけ上は、大型化しているようになるが、隣り合う両面テープの継ぎ目では、シート材から研磨装置の定盤までの間に隙間が形成された状態となる。このため、運搬時には、シート材が継ぎ目部分で折れ曲がる可能性がある。また、研磨装置への装着時には、両面テープ等の継ぎ目部分でシート材が伸ばされることとなり、シート材の表面にしわや窪みが形成されて凹凸が生じることがある。このような凹凸が生じた状態で研磨加工を行うと、被研磨物の表面を平坦化することができないばかりか、研磨傷等のダメージを与える可能性がある。
【０００７】
本発明は上記事案に鑑み、シート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材において、前記シート材を貼り合わせるための一面を有しており、粘着性を有する複数の第１の粘着部材が隣接するように配された第１の粘着層と、前記研磨装置に装着するための一面を有しており、他面側が前記第１の粘着層の他面側に貼り合わされ、粘着性を有する複数の第２の粘着部材が前記第１の粘着部材の境界部分と異なる部分で隣接するように配された第２の粘着層と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するために、第１の粘着層の一面側がシート材に貼り合わされ、第１の粘着層の他面側に他面側を貼り合わせた第２の粘着層の一面側が研磨装置に貼り合わされる。本発明によれば、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で研磨装置に装着させることができ、第２の粘着部材の境界部分を第１の粘着部材の境界部分と異なる部分としたことで、第１および第２の粘着部材の境界部分で相互の粘着層により隙間形成が抑制されるため、研磨装置に装着されるシート材の平坦性を確保することができる。
【００１０】
この場合において、第１および第２の粘着層の少なくとも一方が、第１ないし第２の各粘着部材が基材を有していてもよい。また、第１および第２の粘着層が、いずれか一方を構成する第１または第２の各粘着部材が基材の両面に粘着剤を塗着して形成されており、いずれか他方を構成する第１または第２の各粘着部材が基材の少なくとも片面に粘着剤を塗着して形成されていてもよい。このとき、基材を可撓性を有する樹脂フィルムとすることができる。また、第１および第２の粘着層で、第１および第２の各粘着部材の粘着剤を同質としてもよい。粘着剤としてアクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種を用いることができる。第１の粘着層の一面側および第２の粘着層の一面側で、第１および第２の粘着部材の表面がそれぞれ剥離可能な剥離紙で覆われていることが好ましい。また、第１の粘着層と第２の粘着層との間に更に樹脂基材を備えるようにし、第２の粘着層の他面側が樹脂基材を介して第１の粘着層の他面側に貼り合わされるようにしてもよい。このような装着材は、シート材が対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状または直径が２０００ｍｍ以上の円形状でも対応可能である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第１の粘着層を複数の第１の粘着部材で構成し、第２の粘着層を複数の第２の粘着部材で構成したことで、シート材が大型化しても全面で研磨装置に装着させることができ、第２の粘着部材の境界部分を第１の粘着部材の境界部分と異なる部分としたことで、第１および第２の粘着部材の境界部分で相互の粘着層により隙間形成が抑制されるため、研磨装置に装着されるシート材の平坦性を確保することができる、という効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明を適用した装着材を備えた大型の研磨パッドの実施の形態について説明する。
【００１３】
（構成）
本実施形態の研磨パッド１０は、図１に示すように、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有する研磨層のウレタンシート２と、ウレタンシート２を研磨装置に装着するための装着材としての装着シート７と、を備えている。
【００１４】
ウレタンシート２は、ポリウレタン樹脂を湿式成膜することで形成されている。ウレタンシート２は、研磨面Ｐ側に不図示の微多孔が形成されたスキン層を有している。スキン層より内側（ウレタンシート２の内部）には、スキン層の微多孔より大きい孔径でウレタンシート２の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面三角状の大気孔が略均等に形成されている。大気孔は、研磨面Ｐ側の大きさが、研磨面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。大気孔同士の間のポリウレタン樹脂中には、スキン層の微多孔より大きく大気孔より小さい孔径の小気孔が形成されている。スキン層の微多孔、大気孔および小気孔は連通孔で網目状につながっている。すなわち、ウレタンシート２は、連続状の発泡構造を有している。
【００１５】
研磨パッド１０を構成する装着シート７は、一面側がウレタンシート２と貼り合わされる第１の粘着層としての粘着シート４と、研磨装置に装着するための一面を有する第２の粘着層としての粘着シート５とを有している。装着シート７では、粘着シート４の他面側と、粘着シート５の他面側とが貼り合わされている。粘着シート４は、２つの粘着テープ４１、４２（第１の粘着部材）が境界Ｄ１で隣接するように配されている。一方、粘着シート５は、３つの粘着テープ５１、５２、５３（第２の粘着部材）が２箇所の境界Ｄ２で隣接するように配されている。
【００１６】
粘着シート４を構成する粘着テープ４１は、ポリエチレンテレフタレート製（以下、ＰＥＴと略記する）フィルムの基材４１ｂを有している。基材４１ｂの一面側、すなわち、ウレタンシート２側には、粘着剤が塗着されて粘着剤層４１ａが形成されている。粘着テープ４２は、粘着テープ４１と同じ構成で形成されている。すなわち、ＰＥＴフィルムの基材４２ｂの一面側に粘着剤層４２ａが形成されている。粘着剤層４１ａ、４２ａには、いずれも、同質のアクリル系粘着剤が用いられている。また、粘着テープ４１、４２は、厚さおよび幅が同じに形成されている。粘着シート４では、ウレタンシート２と貼り合わされる一面側に粘着テープ４１、４２の粘着剤層４１ａ、４２ａが配されており、他面側に基材４１ｂ、４２ｂの他面側が位置するように配されている。
【００１７】
粘着シート５を構成する粘着テープ５１は、粘着剤がシート状に形成された粘着剤層５１ａを有している。粘着剤層５１ａの一面側、すなわち、研磨装置に装着するための面側は、研磨パッド１０の保管時や搬送時に粘着剤層５１ａを保護するために、剥離紙（バイナーシート）５１ｂで覆われている。粘着テープ５２、５３は、粘着テープ５１と同じ構成で形成されている。すなわち、粘着テープ５２は粘着剤層５２ａの一面側が剥離紙５２ｂで覆われており、粘着テープ５３は粘着剤層５３ａの一面側が剥離紙５３ｂで覆われている。また、粘着テープ５１、５２、５３は、厚さが同じに形成されている。粘着テープ５１、５３の幅が同じに形成されており、粘着テープ５２の幅が粘着テープ５１、５２より若干大きく形成されている。粘着シート５では、研磨装置に装着するための一面側に位置する粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの一面側がそれぞれ剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂで覆われており、他面側に粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側が露出するように配されている。
【００１８】
装着シート７では、粘着シート４の他面側に位置するように配された基材４１ｂ、４２ｂの他面側と、粘着シート５の他面側に露出するように配された粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側とが貼り合わされている。このような装着シート７を備えた研磨パッド１０では、装着シート７を構成する粘着シート４の一面側がウレタンシート２と貼り合わされており、研磨装置に貼り合わせるための一面を有する粘着シート５の他面側が粘着シート４の他面側に貼り合わされている。
【００１９】
装着シート７では、粘着シート４の他面側に配された基材４１ｂ、４２ｂの他面と、粘着シート５の他面側に配された粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面とが貼り合わされている。同じ幅を有する２つの粘着テープ４１、４２が隣接するように配された粘着シート４では、研磨パッド１０の中央部に境界Ｄ１が形成される。これに対して、３つの粘着テープ５１、５２、５３が隣接するように配された粘着シート５では、境界Ｄ１を挟むように両側に２箇所の境界Ｄ２が形成される。このため、粘着シート４と粘着シート５とでは、境界Ｄ１および境界Ｄ２の位置が異なっている。
【００２０】
図２に示すように、粘着シート４の境界Ｄ１は、粘着テープ５２の略中央に位置している。換言すれば、粘着シート４を構成する２つの粘着テープ４１、４２の継ぎ目部分を覆うように粘着テープ５２が貼り合わされている。また、粘着シート５の２箇所の境界Ｄ２は、それぞれ粘着テープ４１、４２の中央部より境界Ｄ１側に位置している。換言すれば、粘着シート５を構成する３つの粘着テープ５１、５２、５３の継ぎ目部分を覆うように
粘着テープ４１、４２が貼り合わされている。
【００２１】
（製造）
研磨パッド１０は、ウレタンシート２および装着シート７をそれぞれ作製し、貼り合わせることで製造される。以下、ウレタンシート２の作製、装着シート７の作製、貼り合わせの順に説明する。
【００２２】
＜ウレタンシートの作製＞
ウレタンシート２は、樹脂溶液を調製する準備ステップ、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる凝固再生ステップ、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄・乾燥させてウレタンシート２を得る洗浄・乾燥ステップを経て作製される。
【００２３】
準備ステップでは、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、大気孔の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡して樹脂溶液を調製する。
【００２４】
凝固再生ステップでは、準備ステップで調製した樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる。樹脂溶液は、塗布装置により常温下で帯状の成膜基材に略均一に塗布される。塗布装置には、本例では、ナイフコータが用いられる。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙（クリアランス）を調整することで、樹脂溶液の塗布厚さ（塗布量）が調整される。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができる。本例では、成膜基材としてＰＥＴ製フィルムが用いられる。
【００２５】
樹脂溶液が塗布された成膜基材は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に浸漬される。凝固液中では、まず、塗布された樹脂溶液の表面にスキン層を構成する微多孔が厚さ数μｍ程度にわたって形成される。その後、樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にフィルム状に凝固再生する。ＤＭＦが樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層より内側のポリウレタン樹脂中には、大気孔および小気孔が形成され、大気孔および小気孔を網目状に連通する連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、樹脂溶液の表面側（スキン層側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな大気孔が形成される。
【００２６】
洗浄・乾燥ステップでは、凝固再生した帯状（長尺状）のポリウレタン樹脂を洗浄した後乾燥させる。すなわち、ポリウレタン樹脂は、成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されてポリウレタン樹脂中に残留するＤＭＦが除去される。洗浄後、ポリウレタン樹脂を乾燥機等で乾燥させてウレタンシート２が作製される。本例では、乾燥機として、内部に熱源を有するシリンダを備えたシリンダ乾燥機が用いられる。ポリウレタン樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後のウレタンシート２は、本例では、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍに裁断される。
【００２７】
＜装着シートの作製＞
装着シート７は、粘着シート４を構成する粘着テープ４１、４２、および、粘着シート５を構成する粘着テープ５１、５２、５３をそれぞれ準備し、粘着シート４と粘着シート５とを貼り合わせて作製する。
【００２８】
粘着シート４では、粘着テープ４１、４２がいずれもテープ幅１０００ｍｍ、厚さ０．１２５ｍｍに設定されている。粘着シート５では、粘着テープ５１、５３がそれぞれテープ幅３００ｍｍ、厚さ０．１７ｍｍに設定されており、粘着テープ５２が幅４００ｍｍ、厚さ０．１７ｍｍに設定されている。粘着テープ４１、４２には、一面側を基材４１ｂ、４２ｂとそれぞれ貼り合わせた粘着剤層４１ａ、４２ａの他面側がそれぞれ被覆紙で覆われたものが用いられる。また、粘着テープ５１、５２、５３には、一面側が剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂでそれぞれ覆われた粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａの他面側がそれぞれ被覆紙で覆われたものが用いられる。
【００２９】
２つの粘着テープ４１、４２を隙間が形成されないように、略平坦な台上に隣接させて並べる。このとき、基材４１ｂ、４２ｂが上側となるように並べる。すなわち、粘着テープ４１、４２は、ほぼ同一の平面で境界Ｄ１を挟んで隣接配置される。並べた２つの粘着テープ４１、４２の上に、３つの粘着テープ５１、５２、５３を隙間が形成されないように、隣接させて積層する。このとき、粘着テープ５１、５２、５３の被覆紙を取り外し、露出した粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａを、台上に並べた粘着テープ４１、４２の基材４１ｂ、４２ｂに接触させる。ほぼ同一の平面状に隣接配置された粘着テープ４１、４２の上に積層されるため、粘着テープ５１、５２、５３はほぼ同一の平面で２箇所の境界Ｄ２を挟んで隣接配置される。積層された状態で、略平坦な平板で押圧することで装着シート７を作製する。
【００３０】
＜貼り合わせ＞
作製したウレタンシート２と装着シート７とを貼り合わせる。このとき、装着シート７の粘着テープ４１、４２を構成する粘着剤層４１ａ、４２ａの被覆紙を取り外し、露出した粘着剤層４１ａ、４２ａと、ウレタンシート２の研磨面Ｐと反対側の面とを貼り合わせる。その後、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの大型の研磨パッド１０を完成させる。
【００３１】
研磨パッド１０を研磨装置に装着するときは、剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂを取り外し、露出した粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａで研磨装置の定盤に貼着する。このとき、３枚の剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂを順次取り外して、粘着テープ５１、５２、５３を１枚分ずつ順に貼着することで、位置ズレすることなく正確に定盤に貼着することができる。研磨加工時には、研磨粒子を含む研磨液（スラリ）を供給しながら、被研磨物が研磨される。
【００３２】
（作用等）
次に、本実施形態の研磨パッド１０の作用等について、装着シート７の作用を中心に説明する。
【００３３】
本実施形態で用いた装着シート７では、粘着シート４が２つの粘着テープ４１、４２で構成され、粘着シート５が３つの粘着テープ５１、５２、５３で構成されている。このため、ウレタンシート２が大型でも全面で研磨装置に装着することができるように、ウレタンシート２と貼り合わせることができる。また、粘着シート５を構成する３つの粘着テープ５１、５２、５３を順に研磨装置に貼着することで、位置ズレを生じることなく正確に研磨装置に装着することができる。
【００３４】
また、本実施形態で用いた装着シート７では、粘着テープ４１、４２の隣接部分に境界Ｄ１が形成され、粘着テープ５１、５２、５３の隣接部分に２箇所の境界Ｄ２が形成されている。粘着シート４の境界Ｄ１と粘着シート５の境界Ｄ２とが異なる位置となるように、それぞれの粘着テープ４１、４２および粘着テープ５１、５２、５３が配置されている。このため、境界Ｄ１での隙間形成が粘着シート５を構成する粘着テープ５１、５２、５３（特に、粘着テープ５２）で抑制され、境界Ｄ２での隙間形成が粘着シート４の粘着テープ４１、４２で抑制される。換言すれば、装着シート７は、粘着シート４、５の境界Ｄ１、境界Ｄ２が相互に補強されるように形成されており、境界Ｄ１、Ｄ２に生じる歪みを最小限に抑制することができる。これにより、ウレタンシート２の研磨面Ｐ側に窪み等が形成されることなく研磨パッド１０を研磨装置に装着することができる。従って、研磨面Ｐの平坦性が確保されるので、被研磨物の平坦性向上を図ることが期待できる。
【００３５】
更に、本実施形態で用いた装着シート７では、粘着シート４を構成する粘着テープ４１、４２がそれぞれ基材４１ｂ、４２ｂを有しており、上述したように粘着シート４、５の境界Ｄ１、境界Ｄ２が相互に補強されるように形成されている。このため、柔軟性を有するウレタンシート２を大型にしても、搬送時や研磨装置への装着時に装着シート７の全体で支持されることから、取扱いを容易にすることができる。
【００３６】
従来大型の研磨パッドでは、装着材として用いられる両面テープが大型化していないため、全面で研磨装置に装着することが難しい。複数の両面テープを並べて貼り合わせることで、研磨装置への装着を行うことができる。すなわち、上述したウレタンシート２と粘着シート４とを貼り合わせて形成した研磨パッドとなる。ところが、このような研磨パッドでは、ウレタンシート２が伸縮性を有するため、研磨装置に装着するときに、粘着シート４を構成する２つの粘着テープ４１、４２の境界Ｄ１の部分でウレタンシート２が伸ばされてしまう。このため、研磨面Ｐ側に窪みやしわが形成されることとなる。このような状態で研磨加工を行うと、被研磨物の平坦性を損なうこととなり、被研磨物に研磨傷を生じる可能性もある。本実施形態は、これらの問題を解決することができる研磨パッドである。
【００３７】
なお、本実施形態では、装着シート７として粘着シート４、５を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、粘着シート４、５以外に更に粘着シートを積層するようにしてもよい。この場合、各粘着シートの境界部分を相互に補強する効果を向上させることが期待されるが、研磨パッド１０の全体に占める装着材の割合が大きくなるため、研磨加工に支障をきたす可能性もある。この点を考慮すれば、粘着シート４、５で構成された２層構造の装着シート７とすることが好ましい。また、本実施形態では、粘着シート４と粘着シート５とを貼り合わせる例を示したが、粘着シート４および粘着シート５の間に樹脂製の基材を介在させるようにしてもよい。樹脂製の基材としては、ＰＥＴ等のフィルムを用いることができる。このように構成することで、樹脂製基材が研磨パッド全体の支持機能を果たすため、搬送時や研磨装置への装着時に取扱いを容易にすることができる。
【００３８】
また、本実施形態では、粘着シート４を構成する粘着部材として２つの粘着テープ４１、４２を用い、粘着シート５を構成する粘着部材として３つの粘着テープ５１、５２、５３を用いる例を示したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、粘着シート４を３つ以上の粘着テープで構成してもよく、粘着シート５を２つ、または、４つ以上の粘着テープで構成するようにしてもよい。また、本実施形態では、粘着シート４を構成する粘着テープの数が、粘着シート５を構成する粘着テープの数より小さくされているが、用いる粘着テープ数の大小に制限されるものではない。すなわち、粘着シート４を構成する粘着テープの数を、粘着シート５を構成する粘着テープの数より大きくしてもよい。このようにしても、装着シート７の作製において不都合を生じるものではなく、上述した効果を得ることができる。
【００３９】
更に、本実施形態では、粘着テープ４１、４２をそれぞれ粘着剤層４１ａ、４２ａと、基材４１ｂ、４２ｂとで形成し、粘着テープ５１、５２、５３をそれぞれ粘着剤層５１ａ、５２ａ、５３ａと、剥離紙５１ｂ、５２ｂ、５３ｂとで形成する例、すなわち、粘着シート４と粘着シート５とで粘着テープの構成が異なる例を示したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、粘着シート４と粘着シート５とで粘着テープの構成を同じにしてもよい。このような例として、粘着剤層と剥離紙とで形成される粘着テープを、粘着シート４では２つ、粘着シート５では３つ用いるようにしてもよい。この場合、粘着シート４と粘着シート５とが粘着テープの粘着剤層同士で貼り合わされることとなる。このようにしても、上述した研磨面Ｐ側の平坦性を確保することができる。いずれの粘着テープも基材を有していないため、研磨パッドの大型化に伴い、取扱いの難しさが生じることを考慮すれば、粘着剤層同士の間に樹脂製基材を介在させるようにしてもよい。
【００４０】
また、粘着シート４を基材の両面に粘着剤層が形成された３層構造の粘着テープ（いわゆる両面テープ）で構成し、粘着シート５を基材の片面に粘着剤層が形成され当該粘着剤層の表面が剥離紙で覆われた３層構造の粘着テープで構成することも可能である。このようにすれば、装着シート７では、２層分の基材を含むこととなるため、研磨パッド１０が更に大型化しても取扱いを容易にすることができる。また、粘着シート４および粘着シート５を、基材の両面に粘着剤層が形成された３層構造の粘着テープで構成してもよいことはもちろんである。
【００４１】
更にまた本実施形態では、基材４１ｂ、４２ｂとしてＰＥＴフィルムを例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレンやＯＰＰ（具体的名称）をもちいてもよい。また、粘着剤層４１ａ、４２ａ、５１ａ、５２ａ、５３ａの粘着剤として、アクリル系粘着剤を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウレタン系やエポキシ系の粘着剤を用いてもよい。接着強度やウレタンシート２の物性に及ぼす影響を考慮すれば、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種とすることが好ましい。
【００４２】
また更に、本実施形態では、装着シート７を備えた研磨パッド１０の例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、粘着シート４の一面側（ウレタンシート２と貼り合わされる面側）および粘着シート５の一面側（研磨装置に貼り合わされる面側）で、粘着シート４、５を構成する粘着剤層の表面をそれぞれ覆う剥離可能な剥離紙を有するようにしてよい。このようにすれば、装着シート７の単独で保管、運搬等を行うことができ、製造管理の観点からも好ましくなる。また、研磨加工に用いられる樹脂製シート材としては、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有する研磨パッド以外に、被研磨物を保持するための保持パッドを挙げることができる。保持パッドでも、被研磨物に対する保持性を向上させるため、発泡構造の樹脂製シート材が広く用いられている。このような保持パッドを研磨装置に装着する際においても、本実施形態の装着シート７を用いることで、上述したような効果を十分発揮することができる。
【００４３】
更に、樹脂製シート材として、湿式成膜されたポリウレタン樹脂製のウレタンシート２を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、イソシアネート化合物とポリオール化合物やポリアミン化合物とを反応させることで乾式成形したウレタンシートを用いることも可能である。また、ポリウレタン樹脂に代えて、ポリエチレンやポリプロピレン等の樹脂を用いるようにしてもよい。
【００４４】
また、本実施形態では、研磨パッド１０として、長さ１０００ｍｍ、幅２０００ｍｍの矩形状とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状、直径２０００ｍｍ以上の円形状の研磨パッドに対応することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明はシート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供するため、研磨パッドや保持パッドのシート材の製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を適用した装着シートを備えた実施形態の研磨パッドを模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態の研磨パッドを構成する装着シートの境界部分を模式的に示す底面図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｐ 研磨面
Ｄ１ 境界（境界部分）
Ｄ２ 境界（境界部分）
２ ウレタンシート（シート材）
４ 粘着シート（第１の粘着層）
５ 粘着シート（第２の粘着層）
７ 装着シート（装着材）
１０ 研磨パッド
４１、４２ 粘着テープ（第１の粘着部材）
４１ａ、４２ａ 粘着剤層
５１、５２、５３ 粘着テープ（第２の粘着部材）
５１ａ、５２ａ、５３ａ 粘着剤層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材において、
前記シート材を貼り合わせるための一面を有しており、粘着性を有する複数の第１の粘着部材が隣接するように配された第１の粘着層と、
前記研磨装置に装着するための一面を有しており、他面側が前記第１の粘着層の他面側に貼り合わされ、粘着性を有する複数の第２の粘着部材が前記第１の粘着部材の境界部分と異なる部分で隣接するように配された第２の粘着層と、
を備えたことを特徴とする装着材。
【請求項２】
前記第１および第２の粘着層の少なくとも一方は、前記第１ないし第２の各粘着部材が基材を有することを特徴とする請求項１に記載の装着材。
【請求項３】
前記第１および第２の粘着層は、いずれか一方を構成する前記第１または第２の各粘着部材が前記基材の両面に粘着剤を塗着して形成されており、いずれか他方を構成する前記第１または第２の各粘着部材が前記基材の少なくとも片面に粘着剤を塗着して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の装着材。
【請求項４】
前記基材は、可撓性を有する樹脂フィルムであることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項５】
前記第１および第２の粘着層は、前記第１および第２の各粘着部材の粘着剤が同質であることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項６】
前記粘着剤は、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項５に記載の装着材。
【請求項７】
前記第１の粘着層の一面側および前記第２の粘着層の一面側は、前記第１および第２の粘着部材の表面がそれぞれ剥離可能な剥離紙で覆われていることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項８】
前記第１の粘着層と前記第２の粘着層との間に更に樹脂基材を備え、前記第２の粘着層の前記他面側が前記樹脂基材を介して前記第１の粘着層の前記他面側に貼り合わされたことを特徴とする請求項１に記載の装着材。
【請求項９】
前記シート材は、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状または直径が２０００ｍｍ以上の円形状であることを特徴とする請求項８に記載の装着材。
【請求項１】
研磨加工に使用される樹脂製のシート材を研磨装置に装着するための装着材において、
前記シート材を貼り合わせるための一面を有しており、粘着性を有する複数の第１の粘着部材が隣接するように配された第１の粘着層と、
前記研磨装置に装着するための一面を有しており、他面側が前記第１の粘着層の他面側に貼り合わされ、粘着性を有する複数の第２の粘着部材が前記第１の粘着部材の境界部分と異なる部分で隣接するように配された第２の粘着層と、
を備えたことを特徴とする装着材。
【請求項２】
前記第１および第２の粘着層の少なくとも一方は、前記第１ないし第２の各粘着部材が基材を有することを特徴とする請求項１に記載の装着材。
【請求項３】
前記第１および第２の粘着層は、いずれか一方を構成する前記第１または第２の各粘着部材が前記基材の両面に粘着剤を塗着して形成されており、いずれか他方を構成する前記第１または第２の各粘着部材が前記基材の少なくとも片面に粘着剤を塗着して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の装着材。
【請求項４】
前記基材は、可撓性を有する樹脂フィルムであることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項５】
前記第１および第２の粘着層は、前記第１および第２の各粘着部材の粘着剤が同質であることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項６】
前記粘着剤は、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系の粘着剤から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項５に記載の装着材。
【請求項７】
前記第１の粘着層の一面側および前記第２の粘着層の一面側は、前記第１および第２の粘着部材の表面がそれぞれ剥離可能な剥離紙で覆われていることを特徴とする請求項３に記載の装着材。
【請求項８】
前記第１の粘着層と前記第２の粘着層との間に更に樹脂基材を備え、前記第２の粘着層の前記他面側が前記樹脂基材を介して前記第１の粘着層の前記他面側に貼り合わされたことを特徴とする請求項１に記載の装着材。
【請求項９】
前記シート材は、対向する２辺の長さが２０００ｍｍ以上の矩形状または直径が２０００ｍｍ以上の円形状であることを特徴とする請求項８に記載の装着材。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１０−８２７２０（Ｐ２０１０−８２７２０Ａ）
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２５２２３９（Ｐ２００８−２５２２３９）
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００５３５９）富士紡ホールディングス株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００５３５９）富士紡ホールディングス株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
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