連続熱処理炉
【課題】電気や光等を導通路でガイドして検出を行うことにより、調整が容易で設計の自由度も高い連続熱処理炉を提供する。
【解決手段】駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ３上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラ３の従動端部の周縁部に、回転側導電体６を介して接続された一対の回転側導電端子７，７が配置されると共に、各ローラ３の従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる第１導電端子８，８と第２導電端子９，９が２組配置され、各ローラ３における各組の一方の第１導電端子８や第２導電端子９が、隣接するローラ３の対応する組の他方の第１導電端子８や第２導電端子９と第１電線１０や第２電線１１を介して接続された構成とする。
【解決手段】駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ３上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラ３の従動端部の周縁部に、回転側導電体６を介して接続された一対の回転側導電端子７，７が配置されると共に、各ローラ３の従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる第１導電端子８，８と第２導電端子９，９が２組配置され、各ローラ３における各組の一方の第１導電端子８や第２導電端子９が、隣接するローラ３の対応する組の他方の第１導電端子８や第２導電端子９と第１電線１０や第２電線１１を介して接続された構成とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラット・ディスプレイ・パネル（ＦＤＰ）に用いられるガラス基板をローラ上で搬送しながら熱処理を行うローラ・ハース・キルン（roller hearth kiln）は、図５に示すように、被処理材であるガラス基板１をセラミックス板等からなるセッター２上に載置して、多数のローラ３からなるコンベアにより加熱炉４内を搬送することによって熱処理を行うものである。多数のローラ３は、回転軸が互いに平行で、この回転軸と直交する方向に等間隔に直線状に並ぶように回転可能に配置され、軸方向の一方の駆動端側がチェーンや歯車のような伝動装置を介してそれぞれ回転駆動されることにより、各ローラ３の回転角が常に一致するように同期して回転するようになっている。このため、ローラ３に折損が発生すると、このローラ３の折損位置よりも従動端側に駆動端側からの駆動力が伝わらなくなり回転が停止するので、１本のローラ３でも折損事故が発生すると、セッター２上に載置したガラス基板１の搬送に支障が生じる。ただし、ローラ３の本数は実際には極めて多数本であるために、個々のローラ３の折損事故を常時目視で検出することは困難であり、各ローラ３ごとにマイクロスイッチ等を用いて回転状態を検出するのでは、多数のマイクロスイッチ等が必要となり、検出装置にコストがかかりすぎる。
【０００３】
そこで、従来は、各ローラ３の従動端に位相を揃えて半円形の遮光体を取り付けると共に、これら複数のローラ３の従動端部の前後に上下１組ずつの投受光器を配置することにより、各ローラ３の折損事故を検出するようにした連続熱処理炉があった（例えば、特許文献１参照。）。この場合、全てのローラ３は、半円形の遮光体が位相を揃えて回転するので、これらの遮光体の半円形部分が下方位置に来たときにのみ、上方の組の投光器からの光が受光器に達し、半回転後にこれら半円形部分が上方位置に来たときにのみ、下方の組の投光器からの光が受光器に達する。このため、これら上下の受光器が交互に受光を繰り返していることを検知することにより、全てのローラ３が折損事故を起こすことなく回転していることを確認することができる。また、いずれかのローラ３が折損事故を起こし、このローラ３の遮光体の半円形部分が下方位置で停止すると、下方の組の投光器からの光が常時遮られ、この半円形部分が上方位置で停止すると、上方の組の投光器からの光が常時遮られる。さらに、この半円形部分がその他の右側や左側の位置で停止すると、上下２組の投光器からの光が共に常時遮られる。従って、上下いずれか又は上下双方の受光器が受光しなくなったことを検知することにより、いずれかのローラ３が折損事故を起こしたことを確実に検出することができる。
【０００４】
ところが、上記従来の連続熱処理炉では、各ローラ３の従動端に取り付ける半円形の遮光体の位相を全て揃える必要があるので、この位相の調整作業が極めて面倒なものになるという問題があった。即ち、ローラ３の回転角を駆動端側で調整しようとすると、チェーンのスプロケットや歯車の歯の噛み合わせによって、微妙な角度調整ができず、従動端側で調整しようとすると、半円形の遮光体をローラ３に対して回転可能にし、かつ、任意の角度で固定できるような取り付け構造とする必要があるので、部品構成が複雑になる。
【０００５】
また、上記従来の連続熱処理炉では、投光器から受光器に向けて空間を直線的に進む光を半円形の遮光体で遮断したり通過させることにより検出を行うので、各ローラ３が直線状に並んでいる必要があり、コンベアの搬送方向が直線方向に限定されるという問題もあった。しかも、投光器と受光器の配置にも自由度がなくなり、連続熱処理炉の設計上の障害になるおそれがあるという問題も生じていた。さらに、ローラ３の回転停止を検出した場合であっても、どのローラ３が折損事故を起こしたのかを調べる手段がないという問題もあった。
【特許文献１】特開平３−８７５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、電気や光等を導通路でガイドして検出を行うことにより、調整が容易で設計の自由度も高い連続熱処理炉を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導通路を介して接続された一対の回転側導通端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導通端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導通端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導通端子と固定側導通路を介して接続されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導電体を介して接続された一対の回転側導電端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導電端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導電端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導電端子と固定側導電体を介して接続されたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、光が通過する回転側光路を介して接続された一対の回転側導光端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、光の入出端として一対で１組となる固定側導光端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導光端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導光端子と、光が通過する固定側光路を介して接続されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１の発明によれば、各ローラの従動端部に互いに導通する一対の回転側導通端子が設けられ、２組以上の固定側導通端子によって、この一対の回転側導通端子間を介した導通状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導通端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導通端子間を介して導通するように配置すると共に、各ローラでこの導通のタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごと１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導通端子が同時に導通することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導通端子のいずれの組も導通していない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導通端子が同時に導通することがなくなり、このローラが固定側導通端子のいずれかの組だけが導通した状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導通端子が１回転の全期間にわたって同時に導通することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導通端子が１回転のいずれかの期間に同時に導通することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１１】
また、各組の一対の固定側導通端子は、直線状とは限らない固定側導通路を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導通端子の配置を調整することで導通のタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側導通路を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、固定側導通路を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１２】
なお、回転側導通路や固定側導通路を導通する媒体としては、電気や光が一般的であるが、例えば光以外の電磁波や磁束等を用いることもできる。
【００１３】
請求項２の発明によれば、各ローラの従動端部に互いに導通された一対の回転側導電端子が設けられ、２組以上の固定側導電端子によって、この一対の回転側導電端子間を介した導通状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導電端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導電端子間を介して導通するように配置すると共に、各ローラでこの導通のタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごとに１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導電端子が同時に導通することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導電端子のいずれの組も導通していない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導電端子が同時に導通することがなくなり、このローラが固定側導電端子のいずれかの組だけが導通した状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導電端子が１回転の全期間にわたって同時に導通することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導電端子が１回転のいずれかの期間に同時に導通することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１４】
また、各組の一対の固定側導電端子は、電線等のような直線状とは限らない固定側導電体を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導電端子の配置を調整することで導電のタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側導電体による配線を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、スイッチ等を用いて固定側導電体を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１５】
なお、固定側導電端子と回転側導電端子は、ローラの回転に伴って互いに直接接触して直流電流が持続的に流れる場合に限らず、接近することにより静電的に結合されたり磁気的又は電磁的に結合されることにより導通する場合も含む。
【００１６】
請求項３の発明によれば、各ローラの従動端部に光が通過する一対の回転側導光端子が設けられ、２組以上の固定側導光端子によって、この一対の回転側導光端子間を介した光の通過状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導光端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導光端子間を介して光が通過するように配置すると共に、各ローラでこの光が通過するタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごとに１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導光端子が同時に光を通過することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導光端子のいずれの組も光を通過させない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導光端子が同時に光を通過することがなくなり、このローラが固定側導光端子のいずれかの組だけが光を通過させる状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導光端子が１回転の全期間にわたって同時に光を通過することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導光端子が１回転のいずれかの期間に同時に光を通過することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１７】
また、各組の一対の固定側導光端子は、直線状とは限らない固定側光路を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導光端子の配置を調整することで光が通過するタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側光路を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、固定側光路を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの光の通過状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１８】
なお、回転側光路や固定側光路は、空間だけでなく光ファイバ等で構成することもでき、鏡やプリズム、レンズ等の光学系を用いることもできる。例えば、鏡やプリズムを用いれば、光路を屈曲させることができ、光ファイバを用いれば、電線のように任意に経路を通すことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の最良の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。なお、これらの図においても、図５に示した従来例と同様の機能を有する構成部材には同じ番号を付記する。
【００２０】
本実施形態は、従来例と同様のローラ・ハース・キルンで用いるコンベアのローラ３について説明する。これらのローラ３は、いずれもセラミックス・ローラからなり、それぞれ回転自在に並べて配置されている。そして、これらのローラ３は、図２（ｂ）の右側の駆動端にスプロケット５が固着されて、ここでチェーン伝動装置により各ローラ３が同期して回転駆動されるようになっている。また、これらの各ローラ３は、図２（ｂ）の左側が従動端となる。なお、ローラ・ハース・キルンで用いられる全てのローラ３が同期して回転駆動される必要はなく、一定区間ごとの複数のローラ３がそれぞれ同期して回転駆動されるようになっていてもよい。
【００２１】
上記ローラ３の従動端部には、図２に示すように、回転側導電体６と回転側導電端子７，７が設けられている。回転側導電体６は、絶縁体からなるローラ３の従動端面に直径方向に形成された溝に埋め込まれた導電性の金属棒である。また、回転側導電端子７，７は、この回転側導電体６の両端面がローラ３の従動端部の外周面に露出する面である。なお、ここでは、回転側導電端子７，７が回転側導電体６の金属棒の両端面によって構成される場合を示したが、例えば耐摩耗性を有し接触抵抗の低い接点材料からなる金属板をローラ３の従動端部の外周部に埋め込んだものを回転側導電端子（回転側導通端子）とすることもできる。そして、この場合には、回転側導電体６の金属棒の両端部をこれら回転側導電端子の金属板に接続する。また、この回転側導電体６は、導電性を有する回転側導通路であればよいので、回転側導電端子間を接続する電線やプリント配線パターン等によって構成することもできる。
【００２２】
上記ローラ３の従動部の外周面の外側には、２組の固定側導電端子（固定側導通端子）、即ち一対の第１導電端子８，８と一対の第２導電端子９，９とが配置されている。一対の第１導電端子８，８は、ローラ３の従動部の外周面における水平方向の両外側に配置された導電性の金属材料や炭素材料等からなる接触端子であり、一対の第２導電端子９，９も、ローラ３の従動部の外周面における垂直方向の両外側に配置された導電性の金属材料や炭素材料等からなる接触端子である。これらの第１導電端子８，８と第２導電端子９，９は、それぞれ別の図示しないばね部材やそれ自身の弾性によってローラ３の回転中心に向けて押し出されると共に、図示しないストッパによって、このローラ３の外周面に接触するよりは少し手前側の位置で移動が制限されるようになっているので、これにより、実際にはこのローラ３の外周面から僅かに突出した回転側導電端子７，７の接触面のみを押圧して接触するようになっている。従って、ローラ３がスプロケット５を介して回転駆動されると、回転側導電体６が図２（ａ）に示すように水平方向を向いたときに、第１導電端子８，８が回転側導電端子７，７に接触し、この回転側導電体６を介して導通することになり、ローラ３が９０°回転して回転側導電体６が垂直方向を向いたときに、第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接触し、この回転側導電体６を介して導通することになる。
【００２３】
上記各ローラ３の従動部の外周面の外側に配置された１組目の第１導電端子８，８は、図１に示すように、隣接するローラ３の第１導電端子８，８と第１電線１０を介して直列に接続され、２組目の第２導電端子９，９は、隣接するローラ３の第２導電端子９，９と第２電線１１を介して直列に接続されている。即ち、例えば図示真ん中のローラ３における１組目の左側の第１導電端子８は、左側に隣接するローラ３の右側の第１導電端子８と第１電線１０を介して接続され、右側の第１導電端子８は、右側に隣接するローラ３の左側の第１導電端子８と別の第１電線１０を介して接続されている。また、２組目の上側の第２導電端子９は、左側に隣接するローラ３の下側の第２導電端子９と第２電線１１を介して接続され、下側の第２導電端子９は、右側に隣接するローラ３の上側の第２導電端子９と別の第２電線１１を介して接続されている。
【００２４】
上記多数のローラ３は、通常は回転側導電体６が全て同じ向きを向くようにして、スプロケット５をチェーン伝動装置に取り付けられる。ただし、ローラ３の従動端部における回転側導電体６や回転側導電端子７，７が設けられた部分を別部品とし、この部品をローラ３の従動端に取り付ける際に回転側導電体６が全て同じ向きを向くように調整してもよい。また、各ローラ３の回転側導電体６が任意の方向を向いていても、第１導電端子８，８と第２導電端子９，９を配置する際の回転方向の位置を調整して、いずれかのローラ３の回転側導電端子７，７が例えば第１導電端子８，８と接触するときに、他の全てのローラ３も回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と接触するようにしてもよい。ただし、以下の説明では、全てのローラ３の回転側導電体６の向きが揃っているものとする。
【００２５】
上記構成の複数のローラ３がスプロケット５を介して同期して回転駆動され、まず、図１（ａ）に示すように、各ローラ３の回転側導電体６が垂直方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第２導電端子９，９と接触し、これらの第２導電端子９，９を直列に接続した第２電線１１のみが同時に導通する。次に、図１（ｂ）に示すように、各ローラ３が４５°回転して回転側導電体６が斜め方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と第２導電端子９，９のいずれにも接触せず、これらの第１導電端子８，８や第２導電端子９，９を直列に接続した第１電線１０と第２電線１１が共に遮断される。また、図１（ｃ）に示すように、各ローラ３がさらに４５°回転して回転側導電体６が水平方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と接触し、これらの第１導電端子８，８を直列に接続した第１電線１０のみが同時に導通する。そして、各ローラ３の回転に伴って、以降も同様の動作を繰り返す。
【００２６】
上記全てのローラ３の第１導電端子８，８を直列接続した第１電線１０と第２導電端子９，９を直列接続した第２電線１１は、導通状態を常時監視する。この導通状態の監視は、例えば第１電線１０の場合、両端のローラ３の第１導電端子８に接続された第１電線１０，１０間に電圧を印加しておき、これらの間に電流が流れたときに導通したとして検出すればよい。従って、これら全てのローラ３が正常に回転している場合には、図３（ａ）に示すように、各ローラ３の半回転ごとに第１電線１０が１回ずつ導通状態になり、第２電線１１はこれよりも１／４回転遅れて導通状態となる。しかしながら、いずれかのローラ３が折損事故により従動端部が回転しなくなると、通常はそれ以降は、第１電線１０も第２電線１１も遮断されたままとなる。また、ローラ３の従動端部の回転側導電体６が偶然垂直方向を向いた状態で停止した場合には、図３（ｂ）に示すように、第２電線１１は各ローラ３の半回転ごとに１回ずつ導通状態になるが、第１電線１０は遮断されたままとなる。さらに、ローラ３の従動端部の回転側導電体６が偶然水平方向を向いた状態で停止した場合には、第１電線１０は各ローラ３の半回転ごとに１回ずつ導通状態になるが、第２電線１１は遮断されたままとなる。
【００２７】
この結果、２組の第１導電端子８，８と第２導電端子９，９の導通状態を監視しておけば、いずれかのローラ３の折損事故を確実に検出することができるようになる。しかも、各ローラ３の第１導電端子８，８や第２導電端子９，９は、第１電線１０や第２電線１１によって接続されるので、例えばローラ３間に遮蔽物があっても支障が生じるようなことがなくなり、設計の自由度が向上するだけでなく、これらのローラ３を直線状に限らず、もし必要があるならば任意のレイアウトで配置することもできるようになる。さらに、各ローラ３は、回転側導電体６の向きを揃える代わりに、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９の回転方向の位置を調整することにより位相を揃えることもできるので、この位相の調整も容易に行うことができるようになる。
【００２８】
なお、上記実施形態では、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９がローラ３の従動端部の回転側導電端子７，７に直接接触して導通する場合を示したが、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接近することにより、これらの間が静電的に結合されたり磁気的又は電磁的に結合されることにより導通するようにしてもよい。例えば、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接近すれば、これらの間の静電容量が増加してコンデンサが介在したことになるので、交流電圧を印加しておけば電流が流れることになり、これによって導通を検出することができるようになる。
【００２９】
また、上記実施形態では、各ローラ３に第１導電端子８，８と第２導電端子９，９の２組の固定側導電端子（固定側導通端子）を設ける場合を示したが、３組以上の固定側導電端子を設けることもできる。さらに、上記実施形態では、これらの第１導電端子８，８と第２導電端子９，９や回転側導電端子７，７がローラ３の回転軸を中心とする点対称の位置に配置される場合を示したが、対称とはならない位置に配置することも可能である。ただし、この場合には、通常はローラ３の１回転ごとに１回ずつ導通状態となる。
【００３０】
また、上記実施形態では、各ローラ３間で第１導電端子８，８や第２導電端子９，９の接続を行うために第１電線１０や第２電線１１を用いたが、電線以外の金属棒やプリント配線パターン等の固定側導電体（固定側導通路）を用いることもできる。さらに、スイッチ等を用いてこの固定側導電体を切り替え可能とすることにより、各ローラ３ごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラ３を特定することも容易に可能となる。
【００３１】
また、上記実施形態では、電気を用いて導通状態を検出する場合を示したが、図４に示すように、光の通過により導通を検出することも可能である。即ち、各ローラ３の従動端面には、直径方向の溝状のスリット１２が形成され、このスリット１２が回転側光路（回転側導通路）になると共に、このスリット１２の両端が回転側導光端子（回転側導通端子）となる。そして、これらのローラ３の従動端部の外周面の外側の上下に鏡１３，１３を配置して、これを１組目の固定側導光端子（固定側導通端子）としている。しかも、複数のローラ３の並びの両端には、２組の投受光器を配置する。このような構成により、１組目の投光器から発した光は、各ローラ３のスリット１２が垂直方向を向いたときにのみ、鏡１３，１３で反射されながらこれらのスリット１２を通過して受光器に達し、２組目の投光器から発した光は、各ローラ３のスリット１２が水平方向を向いたときにのみ、これらのスリット１２を直接通過して受光器に達する。この際、水平方向を向いたスリット１２の両端の外側の空間が２組目の固定側導光端子（固定側導通端子）となる。従って、この場合にも、ローラ３の半回転ごとに２組の受光器が１回ずつ光を受光することになり、いずれかのローラ３の従動端部が折損事故により回転を停止すると、少なくともいずれかの受光器が受光を行わなくなるので、この折損事故を確実に検出することができるようになる。ただし、ここでは、スリット１２の空間や鏡１３の間の空間を回転側光路（回転側導通路）や固定側光路（固定側導通路）とする場合を示したが、透明な樹脂やガラス、光ファイバ等によって光路を形成することもでき、鏡１３以外にも、プリズムやレンズ等の光学系を用いることもできる。さらに、このような光学系を用いて光路を切り替え可能とすることにより、各ローラ３ごとの光の通過状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラ３を特定することも容易に可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラの回転に伴う固定側導電端子間の導通状態の変化を示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラの構成を示す側面図（ａ）と部分省略正面図（ｂ）である。
【図３】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラが正常に回転している場合（ａ）と折損事故が発生した場合（ｂ）の第１電線と第２電線の導通状態を示すタイムチャートである。
【図４】本発明の一実施形態を示すものであって、光を用いて導通状態を検出する例を示す側面図である。
【図５】従来例を示すものであって、ローラ・ハース・キルンの部分省略縦断面側面図である。
【符号の説明】
【００３３】
３ ローラ
６ 回転側導電体
７ 回転側導電端子
８ 第１導電端子
９ 第２導電端子
１０ 第１電線
１１ 第２電線
１２ スリット
１３ 鏡
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラット・ディスプレイ・パネル（ＦＤＰ）に用いられるガラス基板をローラ上で搬送しながら熱処理を行うローラ・ハース・キルン（roller hearth kiln）は、図５に示すように、被処理材であるガラス基板１をセラミックス板等からなるセッター２上に載置して、多数のローラ３からなるコンベアにより加熱炉４内を搬送することによって熱処理を行うものである。多数のローラ３は、回転軸が互いに平行で、この回転軸と直交する方向に等間隔に直線状に並ぶように回転可能に配置され、軸方向の一方の駆動端側がチェーンや歯車のような伝動装置を介してそれぞれ回転駆動されることにより、各ローラ３の回転角が常に一致するように同期して回転するようになっている。このため、ローラ３に折損が発生すると、このローラ３の折損位置よりも従動端側に駆動端側からの駆動力が伝わらなくなり回転が停止するので、１本のローラ３でも折損事故が発生すると、セッター２上に載置したガラス基板１の搬送に支障が生じる。ただし、ローラ３の本数は実際には極めて多数本であるために、個々のローラ３の折損事故を常時目視で検出することは困難であり、各ローラ３ごとにマイクロスイッチ等を用いて回転状態を検出するのでは、多数のマイクロスイッチ等が必要となり、検出装置にコストがかかりすぎる。
【０００３】
そこで、従来は、各ローラ３の従動端に位相を揃えて半円形の遮光体を取り付けると共に、これら複数のローラ３の従動端部の前後に上下１組ずつの投受光器を配置することにより、各ローラ３の折損事故を検出するようにした連続熱処理炉があった（例えば、特許文献１参照。）。この場合、全てのローラ３は、半円形の遮光体が位相を揃えて回転するので、これらの遮光体の半円形部分が下方位置に来たときにのみ、上方の組の投光器からの光が受光器に達し、半回転後にこれら半円形部分が上方位置に来たときにのみ、下方の組の投光器からの光が受光器に達する。このため、これら上下の受光器が交互に受光を繰り返していることを検知することにより、全てのローラ３が折損事故を起こすことなく回転していることを確認することができる。また、いずれかのローラ３が折損事故を起こし、このローラ３の遮光体の半円形部分が下方位置で停止すると、下方の組の投光器からの光が常時遮られ、この半円形部分が上方位置で停止すると、上方の組の投光器からの光が常時遮られる。さらに、この半円形部分がその他の右側や左側の位置で停止すると、上下２組の投光器からの光が共に常時遮られる。従って、上下いずれか又は上下双方の受光器が受光しなくなったことを検知することにより、いずれかのローラ３が折損事故を起こしたことを確実に検出することができる。
【０００４】
ところが、上記従来の連続熱処理炉では、各ローラ３の従動端に取り付ける半円形の遮光体の位相を全て揃える必要があるので、この位相の調整作業が極めて面倒なものになるという問題があった。即ち、ローラ３の回転角を駆動端側で調整しようとすると、チェーンのスプロケットや歯車の歯の噛み合わせによって、微妙な角度調整ができず、従動端側で調整しようとすると、半円形の遮光体をローラ３に対して回転可能にし、かつ、任意の角度で固定できるような取り付け構造とする必要があるので、部品構成が複雑になる。
【０００５】
また、上記従来の連続熱処理炉では、投光器から受光器に向けて空間を直線的に進む光を半円形の遮光体で遮断したり通過させることにより検出を行うので、各ローラ３が直線状に並んでいる必要があり、コンベアの搬送方向が直線方向に限定されるという問題もあった。しかも、投光器と受光器の配置にも自由度がなくなり、連続熱処理炉の設計上の障害になるおそれがあるという問題も生じていた。さらに、ローラ３の回転停止を検出した場合であっても、どのローラ３が折損事故を起こしたのかを調べる手段がないという問題もあった。
【特許文献１】特開平３−８７５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、電気や光等を導通路でガイドして検出を行うことにより、調整が容易で設計の自由度も高い連続熱処理炉を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導通路を介して接続された一対の回転側導通端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導通端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導通端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導通端子と固定側導通路を介して接続されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導電体を介して接続された一対の回転側導電端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導電端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導電端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導電端子と固定側導電体を介して接続されたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、各ローラの従動端部の周縁部に、光が通過する回転側光路を介して接続された一対の回転側導光端子が配置されると共に、各ローラの従動端部の周縁部外側に、光の入出端として一対で１組となる固定側導光端子が２組以上配置され、各ローラにおける各組の一方の固定側導光端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導光端子と、光が通過する固定側光路を介して接続されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１の発明によれば、各ローラの従動端部に互いに導通する一対の回転側導通端子が設けられ、２組以上の固定側導通端子によって、この一対の回転側導通端子間を介した導通状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導通端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導通端子間を介して導通するように配置すると共に、各ローラでこの導通のタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごと１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導通端子が同時に導通することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導通端子のいずれの組も導通していない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導通端子が同時に導通することがなくなり、このローラが固定側導通端子のいずれかの組だけが導通した状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導通端子が１回転の全期間にわたって同時に導通することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導通端子が１回転のいずれかの期間に同時に導通することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１１】
また、各組の一対の固定側導通端子は、直線状とは限らない固定側導通路を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導通端子の配置を調整することで導通のタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側導通路を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、固定側導通路を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１２】
なお、回転側導通路や固定側導通路を導通する媒体としては、電気や光が一般的であるが、例えば光以外の電磁波や磁束等を用いることもできる。
【００１３】
請求項２の発明によれば、各ローラの従動端部に互いに導通された一対の回転側導電端子が設けられ、２組以上の固定側導電端子によって、この一対の回転側導電端子間を介した導通状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導電端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導電端子間を介して導通するように配置すると共に、各ローラでこの導通のタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごとに１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導電端子が同時に導通することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導電端子のいずれの組も導通していない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導電端子が同時に導通することがなくなり、このローラが固定側導電端子のいずれかの組だけが導通した状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導電端子が１回転の全期間にわたって同時に導通することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導電端子が１回転のいずれかの期間に同時に導通することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１４】
また、各組の一対の固定側導電端子は、電線等のような直線状とは限らない固定側導電体を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導電端子の配置を調整することで導電のタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側導電体による配線を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、スイッチ等を用いて固定側導電体を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１５】
なお、固定側導電端子と回転側導電端子は、ローラの回転に伴って互いに直接接触して直流電流が持続的に流れる場合に限らず、接近することにより静電的に結合されたり磁気的又は電磁的に結合されることにより導通する場合も含む。
【００１６】
請求項３の発明によれば、各ローラの従動端部に光が通過する一対の回転側導光端子が設けられ、２組以上の固定側導光端子によって、この一対の回転側導光端子間を介した光の通過状態をローラの回転に伴い交互に検出することができるので、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。即ち、各組の一対の固定側導光端子は、ローラの１回転の間に１回以上、一対の回転側導光端子間を介して光が通過するように配置すると共に、各ローラでこの光が通過するタイミングが合致するように調整すれば、全てのローラが正常に回転を続けている限り、１回転ごとに１回以上ずつ、全てのローラにおける各組の一対の固定側導光端子が同時に光を通過することになる。しかし、いずれか１以上のローラが回転を停止すると、このローラが固定側導光端子のいずれの組も光を通過させない状態で停止した場合には、１回転の全期間にわたって全ての組の固定側導光端子が同時に光を通過することがなくなり、このローラが固定側導光端子のいずれかの組だけが光を通過させる状態で停止した場合には、この組を除く他の全ての組の固定側導光端子が１回転の全期間にわたって同時に光を通過することがなくなる。従って、全てのローラの一対の固定側導光端子が１回転のいずれかの期間に同時に光を通過することを各組ごとに検出しておけば、いずれかのローラが折損事故を起こして回転が停止したことを確実に検出することができるようになる。
【００１７】
また、各組の一対の固定側導光端子は、直線状とは限らない固定側光路を介してローラ間の接続が行われるので、これらのローラを直線状に限らず、必要に応じて任意のレイアウトで配置することができるようになる。しかも、この固定側導光端子の配置を調整することで光が通過するタイミングの同期を取ることができるので、各ローラごとの位相の調整も容易に行うことができるようになる。さらに、固定側光路を任意にレイアウトすることができるので、設計の自由度も向上させることができる。さらに、固定側光路を切り替え可能とする等の方法により、各ローラごとの光の通過状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラを特定することも容易に可能となる。
【００１８】
なお、回転側光路や固定側光路は、空間だけでなく光ファイバ等で構成することもでき、鏡やプリズム、レンズ等の光学系を用いることもできる。例えば、鏡やプリズムを用いれば、光路を屈曲させることができ、光ファイバを用いれば、電線のように任意に経路を通すことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の最良の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。なお、これらの図においても、図５に示した従来例と同様の機能を有する構成部材には同じ番号を付記する。
【００２０】
本実施形態は、従来例と同様のローラ・ハース・キルンで用いるコンベアのローラ３について説明する。これらのローラ３は、いずれもセラミックス・ローラからなり、それぞれ回転自在に並べて配置されている。そして、これらのローラ３は、図２（ｂ）の右側の駆動端にスプロケット５が固着されて、ここでチェーン伝動装置により各ローラ３が同期して回転駆動されるようになっている。また、これらの各ローラ３は、図２（ｂ）の左側が従動端となる。なお、ローラ・ハース・キルンで用いられる全てのローラ３が同期して回転駆動される必要はなく、一定区間ごとの複数のローラ３がそれぞれ同期して回転駆動されるようになっていてもよい。
【００２１】
上記ローラ３の従動端部には、図２に示すように、回転側導電体６と回転側導電端子７，７が設けられている。回転側導電体６は、絶縁体からなるローラ３の従動端面に直径方向に形成された溝に埋め込まれた導電性の金属棒である。また、回転側導電端子７，７は、この回転側導電体６の両端面がローラ３の従動端部の外周面に露出する面である。なお、ここでは、回転側導電端子７，７が回転側導電体６の金属棒の両端面によって構成される場合を示したが、例えば耐摩耗性を有し接触抵抗の低い接点材料からなる金属板をローラ３の従動端部の外周部に埋め込んだものを回転側導電端子（回転側導通端子）とすることもできる。そして、この場合には、回転側導電体６の金属棒の両端部をこれら回転側導電端子の金属板に接続する。また、この回転側導電体６は、導電性を有する回転側導通路であればよいので、回転側導電端子間を接続する電線やプリント配線パターン等によって構成することもできる。
【００２２】
上記ローラ３の従動部の外周面の外側には、２組の固定側導電端子（固定側導通端子）、即ち一対の第１導電端子８，８と一対の第２導電端子９，９とが配置されている。一対の第１導電端子８，８は、ローラ３の従動部の外周面における水平方向の両外側に配置された導電性の金属材料や炭素材料等からなる接触端子であり、一対の第２導電端子９，９も、ローラ３の従動部の外周面における垂直方向の両外側に配置された導電性の金属材料や炭素材料等からなる接触端子である。これらの第１導電端子８，８と第２導電端子９，９は、それぞれ別の図示しないばね部材やそれ自身の弾性によってローラ３の回転中心に向けて押し出されると共に、図示しないストッパによって、このローラ３の外周面に接触するよりは少し手前側の位置で移動が制限されるようになっているので、これにより、実際にはこのローラ３の外周面から僅かに突出した回転側導電端子７，７の接触面のみを押圧して接触するようになっている。従って、ローラ３がスプロケット５を介して回転駆動されると、回転側導電体６が図２（ａ）に示すように水平方向を向いたときに、第１導電端子８，８が回転側導電端子７，７に接触し、この回転側導電体６を介して導通することになり、ローラ３が９０°回転して回転側導電体６が垂直方向を向いたときに、第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接触し、この回転側導電体６を介して導通することになる。
【００２３】
上記各ローラ３の従動部の外周面の外側に配置された１組目の第１導電端子８，８は、図１に示すように、隣接するローラ３の第１導電端子８，８と第１電線１０を介して直列に接続され、２組目の第２導電端子９，９は、隣接するローラ３の第２導電端子９，９と第２電線１１を介して直列に接続されている。即ち、例えば図示真ん中のローラ３における１組目の左側の第１導電端子８は、左側に隣接するローラ３の右側の第１導電端子８と第１電線１０を介して接続され、右側の第１導電端子８は、右側に隣接するローラ３の左側の第１導電端子８と別の第１電線１０を介して接続されている。また、２組目の上側の第２導電端子９は、左側に隣接するローラ３の下側の第２導電端子９と第２電線１１を介して接続され、下側の第２導電端子９は、右側に隣接するローラ３の上側の第２導電端子９と別の第２電線１１を介して接続されている。
【００２４】
上記多数のローラ３は、通常は回転側導電体６が全て同じ向きを向くようにして、スプロケット５をチェーン伝動装置に取り付けられる。ただし、ローラ３の従動端部における回転側導電体６や回転側導電端子７，７が設けられた部分を別部品とし、この部品をローラ３の従動端に取り付ける際に回転側導電体６が全て同じ向きを向くように調整してもよい。また、各ローラ３の回転側導電体６が任意の方向を向いていても、第１導電端子８，８と第２導電端子９，９を配置する際の回転方向の位置を調整して、いずれかのローラ３の回転側導電端子７，７が例えば第１導電端子８，８と接触するときに、他の全てのローラ３も回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と接触するようにしてもよい。ただし、以下の説明では、全てのローラ３の回転側導電体６の向きが揃っているものとする。
【００２５】
上記構成の複数のローラ３がスプロケット５を介して同期して回転駆動され、まず、図１（ａ）に示すように、各ローラ３の回転側導電体６が垂直方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第２導電端子９，９と接触し、これらの第２導電端子９，９を直列に接続した第２電線１１のみが同時に導通する。次に、図１（ｂ）に示すように、各ローラ３が４５°回転して回転側導電体６が斜め方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と第２導電端子９，９のいずれにも接触せず、これらの第１導電端子８，８や第２導電端子９，９を直列に接続した第１電線１０と第２電線１１が共に遮断される。また、図１（ｃ）に示すように、各ローラ３がさらに４５°回転して回転側導電体６が水平方向を向くと、全てのローラ３の回転側導電端子７，７が第１導電端子８，８と接触し、これらの第１導電端子８，８を直列に接続した第１電線１０のみが同時に導通する。そして、各ローラ３の回転に伴って、以降も同様の動作を繰り返す。
【００２６】
上記全てのローラ３の第１導電端子８，８を直列接続した第１電線１０と第２導電端子９，９を直列接続した第２電線１１は、導通状態を常時監視する。この導通状態の監視は、例えば第１電線１０の場合、両端のローラ３の第１導電端子８に接続された第１電線１０，１０間に電圧を印加しておき、これらの間に電流が流れたときに導通したとして検出すればよい。従って、これら全てのローラ３が正常に回転している場合には、図３（ａ）に示すように、各ローラ３の半回転ごとに第１電線１０が１回ずつ導通状態になり、第２電線１１はこれよりも１／４回転遅れて導通状態となる。しかしながら、いずれかのローラ３が折損事故により従動端部が回転しなくなると、通常はそれ以降は、第１電線１０も第２電線１１も遮断されたままとなる。また、ローラ３の従動端部の回転側導電体６が偶然垂直方向を向いた状態で停止した場合には、図３（ｂ）に示すように、第２電線１１は各ローラ３の半回転ごとに１回ずつ導通状態になるが、第１電線１０は遮断されたままとなる。さらに、ローラ３の従動端部の回転側導電体６が偶然水平方向を向いた状態で停止した場合には、第１電線１０は各ローラ３の半回転ごとに１回ずつ導通状態になるが、第２電線１１は遮断されたままとなる。
【００２７】
この結果、２組の第１導電端子８，８と第２導電端子９，９の導通状態を監視しておけば、いずれかのローラ３の折損事故を確実に検出することができるようになる。しかも、各ローラ３の第１導電端子８，８や第２導電端子９，９は、第１電線１０や第２電線１１によって接続されるので、例えばローラ３間に遮蔽物があっても支障が生じるようなことがなくなり、設計の自由度が向上するだけでなく、これらのローラ３を直線状に限らず、もし必要があるならば任意のレイアウトで配置することもできるようになる。さらに、各ローラ３は、回転側導電体６の向きを揃える代わりに、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９の回転方向の位置を調整することにより位相を揃えることもできるので、この位相の調整も容易に行うことができるようになる。
【００２８】
なお、上記実施形態では、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９がローラ３の従動端部の回転側導電端子７，７に直接接触して導通する場合を示したが、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接近することにより、これらの間が静電的に結合されたり磁気的又は電磁的に結合されることにより導通するようにしてもよい。例えば、第１導電端子８，８や第２導電端子９，９が回転側導電端子７，７に接近すれば、これらの間の静電容量が増加してコンデンサが介在したことになるので、交流電圧を印加しておけば電流が流れることになり、これによって導通を検出することができるようになる。
【００２９】
また、上記実施形態では、各ローラ３に第１導電端子８，８と第２導電端子９，９の２組の固定側導電端子（固定側導通端子）を設ける場合を示したが、３組以上の固定側導電端子を設けることもできる。さらに、上記実施形態では、これらの第１導電端子８，８と第２導電端子９，９や回転側導電端子７，７がローラ３の回転軸を中心とする点対称の位置に配置される場合を示したが、対称とはならない位置に配置することも可能である。ただし、この場合には、通常はローラ３の１回転ごとに１回ずつ導通状態となる。
【００３０】
また、上記実施形態では、各ローラ３間で第１導電端子８，８や第２導電端子９，９の接続を行うために第１電線１０や第２電線１１を用いたが、電線以外の金属棒やプリント配線パターン等の固定側導電体（固定側導通路）を用いることもできる。さらに、スイッチ等を用いてこの固定側導電体を切り替え可能とすることにより、各ローラ３ごとの導通状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラ３を特定することも容易に可能となる。
【００３１】
また、上記実施形態では、電気を用いて導通状態を検出する場合を示したが、図４に示すように、光の通過により導通を検出することも可能である。即ち、各ローラ３の従動端面には、直径方向の溝状のスリット１２が形成され、このスリット１２が回転側光路（回転側導通路）になると共に、このスリット１２の両端が回転側導光端子（回転側導通端子）となる。そして、これらのローラ３の従動端部の外周面の外側の上下に鏡１３，１３を配置して、これを１組目の固定側導光端子（固定側導通端子）としている。しかも、複数のローラ３の並びの両端には、２組の投受光器を配置する。このような構成により、１組目の投光器から発した光は、各ローラ３のスリット１２が垂直方向を向いたときにのみ、鏡１３，１３で反射されながらこれらのスリット１２を通過して受光器に達し、２組目の投光器から発した光は、各ローラ３のスリット１２が水平方向を向いたときにのみ、これらのスリット１２を直接通過して受光器に達する。この際、水平方向を向いたスリット１２の両端の外側の空間が２組目の固定側導光端子（固定側導通端子）となる。従って、この場合にも、ローラ３の半回転ごとに２組の受光器が１回ずつ光を受光することになり、いずれかのローラ３の従動端部が折損事故により回転を停止すると、少なくともいずれかの受光器が受光を行わなくなるので、この折損事故を確実に検出することができるようになる。ただし、ここでは、スリット１２の空間や鏡１３の間の空間を回転側光路（回転側導通路）や固定側光路（固定側導通路）とする場合を示したが、透明な樹脂やガラス、光ファイバ等によって光路を形成することもでき、鏡１３以外にも、プリズムやレンズ等の光学系を用いることもできる。さらに、このような光学系を用いて光路を切り替え可能とすることにより、各ローラ３ごとの光の通過状態を個別に検出して、折損事故を起こしたローラ３を特定することも容易に可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラの回転に伴う固定側導電端子間の導通状態の変化を示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラの構成を示す側面図（ａ）と部分省略正面図（ｂ）である。
【図３】本発明の一実施形態を示すものであって、ローラが正常に回転している場合（ａ）と折損事故が発生した場合（ｂ）の第１電線と第２電線の導通状態を示すタイムチャートである。
【図４】本発明の一実施形態を示すものであって、光を用いて導通状態を検出する例を示す側面図である。
【図５】従来例を示すものであって、ローラ・ハース・キルンの部分省略縦断面側面図である。
【符号の説明】
【００３３】
３ ローラ
６ 回転側導電体
７ 回転側導電端子
８ 第１導電端子
９ 第２導電端子
１０ 第１電線
１１ 第２電線
１２ スリット
１３ 鏡
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導通路を介して接続された一対の回転側導通端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導通端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導通端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導通端子と固定側導通路を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【請求項２】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導電体を介して接続された一対の回転側導電端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導電端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導電端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導電端子と固定側導電体を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【請求項３】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、光が通過する回転側光路を介して接続された一対の回転側導光端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、光の入出端として一対で１組となる固定側導光端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導光端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導光端子と、光が通過する固定側光路を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【請求項１】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導通路を介して接続された一対の回転側導通端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導通端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導通端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導通端子と固定側導通路を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【請求項２】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、回転側導電体を介して接続された一対の回転側導電端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、一対で１組となる固定側導電端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導電端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導電端子と固定側導電体を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【請求項３】
駆動端側が同期して回転駆動される多数のローラ上に被処理材を載置して加熱炉内を搬送することにより熱処理を行う連続熱処理炉において、
各ローラの従動端部の周縁部に、光が通過する回転側光路を介して接続された一対の回転側導光端子が配置されると共に、
各ローラの従動端部の周縁部外側に、光の入出端として一対で１組となる固定側導光端子が２組以上配置され、
各ローラにおける各組の一方の固定側導光端子が、隣接するローラの対応する組の他方の固定側導光端子と、光が通過する固定側光路を介して接続されたことを特徴とする連続熱処理炉。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００６−８４１３４（Ｐ２００６−８４１３４Ａ）
【公開日】平成１８年３月３０日（２００６．３．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２７０１２２（Ｐ２００４−２７０１２２）
【出願日】平成１６年９月１６日（２００４．９．１６）
【出願人】（０００１６７２００）光洋サーモシステム株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月３０日（２００６．３．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年９月１６日（２００４．９．１６）
【出願人】（０００１６７２００）光洋サーモシステム株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
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