【課題】熱効率を低下させることなく、炉本体内の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】加熱炉は、被焼成物が配される対象空間２１２ａと、対象空間を囲繞する炉本体２１２と、燃料ガスを本体内に流入させる流入孔、流入した燃料ガスが燃焼する燃焼室、燃焼によって生じた排気ガスが導かれる導出部、導出部を流通する排気ガスまたは燃焼室における燃焼によって加熱され被焼成物に輻射熱を伝熱する輻射面、輻射面を加熱した排気ガスを本体外に排気する排気孔、を有し、炉本体内に配置された１または複数の密閉式ガスヒータと、密閉式ガスヒータの排気孔と連通し排気ガスが導かれる排気伝熱部（保温管２２２ａ）と、を備え、排気伝熱部は、炉本体内のうち、密閉式ガスヒータと対象空間に配された被焼成物との間に形成され輻射熱を被焼成物に伝熱する輻射空間２１２ｂを除くいずれかの部位に設けられる。 （もっと読む）

【課題】原料粉末の収率を向上させることができる原料粉末回収システムを提供することを課題とする。
【解決手段】原料粉末回収システム１は、原料粉末と有機物とを含む被処理物Ｗを無酸素雰囲気で加熱する加熱室２００を有し自身の軸周りに回転する筒体２０を有するロータリーキルン２と、加熱室２００に連通し筒体２０の回転に伴い飛散した被処理物Ｗを含む排ガスを、無酸素雰囲気で過熱水蒸気を用いて加熱することにより、有機物に起因する熱分解ガスを生成する過熱水蒸気室３１を有する過熱水蒸気供給装置３と、過熱水蒸気室３１に連通し排ガスから原料粉末を捕集する捕集室８１を有する捕集装置８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可及的安価な構成で、且つ、吸気した清浄な空気を熱効率よく加温することのできる熱処理炉を提供する。
【解決手段】炉内に設けた加熱室３の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給１２して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路５を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することとした。また、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器２５を前記炉内に設けたこと、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管２６の少なくとも一部を前記炉内に配設したこと、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたことにも特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】加熱炉の複数箇所の開口部から吸引する雰囲気ガスの流量比を容易に調整できる雰囲気ガスの流量調整機構を提供する。
【解決手段】加熱炉の複数箇所の各開口部に接続される複数の吸引口を有する分岐配管と該分岐配管の下流側端部に接続される単一のブロアとを備え、該分岐配管の少なくとも１つ以上の吸引口に、雰囲気ガスが通過する穴が形成された流量調整板を取り付け、流量調整板の穴の面積を変えることにより、加熱炉の複数箇所の開口部から吸引される雰囲気ガスの流量比を調整し、ブロアの出力を変えることにより吸引ガスの総量を調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焼成炉に関し、より詳細には熱電対を用いて内部温度を測定する焼成炉に関する。
【解決手段】本発明は、内部に空間が形成された本体と、前記本体の内部に位置し、前記本体と上下に移動可能に結合する複数の熱電対と、前記本体の内部に位置する複数の発熱体と、前記熱電対から温度データの入力を受けて前記発熱体の温度を制御する制御部と、を含み、内部空間の各部分ごとの温度を測定し制御することにより均一な温度分布を形成することができ、特に、焼成対象物に加えられる熱の温度分布を均一にして高品質の焼成物を得ることができるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】加熱装置において昇温時間が変動するような要因が発生したとしても、無駄な電力消費の発生を小さくする。
【解決手段】複数の加熱ゾーンを有する加熱装置を制御する制御装置２０は、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの参照ゾーンの温度を監視する計測温度取得部２３と、参照ゾーンの温度に基づいて、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの昇温対象ゾーンの昇温を開始させる温調機制御部２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】温度安定時に温度を均一に維持することができ、昇降温時に容易に制御することができる。
【解決手段】制御装置５１は個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモデル７２ａと、制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモデル７２ｂをとることができる。昇降温時に少制御ゾーンモデル７２ｂをとって少ない数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。温度安定時に多制御ゾーンモデル７２ａをとって、多い数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】熱電対の設置コスト低減を図り、かつ熱電対からの信号を校正する必要がない熱処理装置を提供する。
【解決手段】基準領域Ａ_１の炉内温度センサはＲ熱電対またはＳ熱電対からなる第１熱電対８１と、それ以外の熱電対からなる第２熱電対８２とを有し、他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の炉内温度センサは第２熱電対８２を有し、基準領域Ａ_１の第２熱電対８２と他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の第２熱電対８２は、起電力差回路８３に接続され、この起電力差回路８３によって基準領域Ａ_１と他の領域Ａ_２、…Ａ_１０との間の温度差が求められ、基準領域Ａ_１の第１熱電対８１により基準領域Ａ_１の温度が求められ、この基準領域Ａ_１の温度と起電力差回路８３で求めた温度差により、各他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の温度が求められる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの表裏に電極を設ける際の焼成工程に利用される熱処理装置を改良するものであり、焼成に際して理想的な温度プロファイルを実現する。
【解決手段】熱処理部を有しており、熱処理部は、断熱筐体内に棚状部材（設置部及び熱源部）１１が設けられたものである。棚状部材１１は、７段の棚部材１６ａ〜１６ｇを有し、棚部材１６ｂの内部は、上下のユニット室２５，２６に仕切られている。上下のユニット室２５，２６には、それぞれ９本の横列用ハロゲンランプ２７と、３６本の縦列用ハロゲンランプ２８が縦横格子状に配列されていて熱源ユニット３５が構成されている。各熱源ユニット３５の照度は、個々に制御され、上下の熱源ユニット群４７の照度を異ならせたり、一つの段の上側の熱源ユニット３５と、他の段の上側の熱源ユニット３５の照度に変化を付けることもできる。また点灯中に照度を変えることもできる。 （もっと読む）

【課題】触媒活性化用の加熱器を熱処理用のもので共用でき、装置の大型化およびコスト増を抑制し得る熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置１Ａは、ワークＷが収容される熱処理炉２０、加熱器３２および送風機３３が設けられる空調部２３、並びに熱処理炉２０および空調部２３を連通する連通路２４，２５を有する断熱室２を備えている。この熱処理装置１Ａは、還流経路５および触媒６を備える。還流経路５は、空調部２３から流出した空気を、空調部２３における加熱器３２の設けられた位置よりも上流側の部分に戻すように構成される。触媒６は、ワークＷを熱処理する際にワークＷから発生する昇華物を分解するものである。触媒６は、空調部２３における加熱器３２の設けられた位置よりも下流側の部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】抵抗加熱ヒーターにより溶融物を加熱する溶融炉において、抵抗加熱ヒーターに流れている電流により磁場が発生し、この磁場が溶融物に作用して溶融物が回転することにより、ルツボの内面が不均一に削られることを防止できる加熱溶融炉を提供し、また、これを用いた加熱溶融方法を提供する。
【解決手段】ルツボの外壁面外側に抵抗加熱ヒーターが配設されて、前記抵抗加熱ヒーターから発生する磁場の影響を受け、ルツボ内に収容された溶融物がルツボの内壁側面に沿って回転する加熱溶融炉において、溶融物の回転方向を逆転させる手段を備えて、所望のタイミングで溶融物の回転方向を逆転させることができる加熱溶融炉であり、また、この加熱溶融炉を用いて、所望のタイミングで溶融物の回転方向を逆転させる加熱溶融方法である。 （もっと読む）

【課題】反応排ガスに含まれる亜鉛ガス及び塩化亜鉛ガスを追反応を抑制しつつ液化し、且つ２液を分離して回収する。
【解決手段】傾斜角が１０〜３０度である本体部１０には、４５０〜５５０℃の液体亜鉛が充填されている。ガス出口１２側を真空ポンプで吸引して、ガス入口１１側の液体亜鉛の液面とガス出口１２側の液体亜鉛の液面にレベル差を生じさせ、ガス入口１１から排ガスを取り込む。排ガスに含まれる亜鉛ガス及び塩化亜鉛ガスを、液体亜鉛内を通過させることにより気液混合させ、急冷凝縮させる。液化した亜鉛は湯溜り２０から回収し、液化した塩化亜鉛は液体排出口２１から回収する。 （もっと読む）

【課題】 制御の追従性と定常特性の向上を図ることができる被処理物の熱処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理物を熱処理する熱処理炉４と、熱処理炉を制御するための複数の設定値と複数の制御部選択信号を出力するシーケンサ１０と、熱処理炉の複数の制御量を制御するために構成されている複数の制御系ループとを備え、各制御系ループに、前記シーケンサからの設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、複数の制御部から出力される操作量のうち１つをシーケンサ１０からの制御部選択信号に従って選択して熱処理炉４に出力する切替器３−１，３−２，３−３とをそれぞれ備えた被処理物の熱処理装置において、シーケンサ１０は、複数の制御系ループの制御構成の切替をそれぞれ独立して行うための手段を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、換気システムの換気量を最適に制御することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、ヒータ２０、参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）、換気量調整部１６、および換気量制御部（ＣＰＵ５０）を備える。ヒータ２０は、炉体１２の内部に配置され、ワーク１８を加熱するように構成される。参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）は、ヒータ２０の参照負荷率を演算する。換気量調整部１６は、換気システム１１の換気量を調整する。換気量制御部（ＣＰＵ５０）は、参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）の演算結果に基づいて、換気量調整部１６を制御する。換気量制御部（ＣＰＵ５０）は、ヒータ２０の参照負荷率の増加に応じて換気システム１１の換気量を増加させる一方で、参照負荷率の減少に応じて換気システム１１の換気量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】ワークを加熱した後に冷却する連続炉において、加熱に用いるヒータの消費電力を低減する。
【解決手段】ヒータ１６によってワークＷを加熱する加熱ゾーン１１を有している加熱処理部１と、この加熱ゾーン１１で加熱したワークＷを冷却する冷却ゾーン２１を有している冷却処理部２とを備えている。さらに、冷却ゾーン２１のガスを排出する排出ダクト７と、この排出ダクト７と連通し当該排出ダクト７によって排出された排出ガスを加熱ゾーンへ給気する給気ダクト５と、加熱ゾーンでワークＷを加熱するために用いられたガスを排気すると共に前記排出ダクト７中に一部が露出している排気ダクト６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの投入状況に大きく影響されることなく安定した熱処理をワークに施すことができる熱処理装置又は熱処理方法を提供する。
【解決手段】この熱処理装置（方法）は、炉内の熱処理空間を通過させることによりワーク（ウェハ）に対して熱処理を施すものであって、熱処理空間内の互いに異なる位置で、かつ、ワークの有無によって検出温度が変化する位置に２つの温度センサを設け、制御装置１０によって、温度センサが検出した温度ｔ_１、ｔ_２に、係数総和が１となる重み係数ｍ_１、ｍ_２をそれぞれ乗じて総和の仮想温度を演算し、当該仮想温度に基づいて温度制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】基板の異物付着を低減し、生産性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内に収納された基板を加熱する加熱部と、加熱部近傍の温度を検出する第１の温度検出部と、第１の温度検出部よりも基板の近傍に位置し、基板近傍の温度を検出する第２の温度検出部と、基板が入炉されてから所定時間内の加熱部の加熱制御を第１の温度検出部の検出温度に基づいて行う制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ、携帯電話機、電線や混合ごみ等の廃棄物を、過熱蒸気を用いて再資源化処理する再資源化方法および再資源化装置の提供。
【解決手段】過熱蒸気を吹き込むことにより炉内温度を２００℃〜８００℃に維持したキルン炉１２内に廃棄物を供給し、熱処理する。コンピュータ、携帯電話機、電線や混合ごみ等の廃棄物は、レアメタル、鉄、銅、鉛やアルミニウム等の金属を除く炭素のみが炭化または気化される。したがって、廃棄物が金属と樹脂成形品等の複合物であっても、そのままキルン炉内に供給することで、樹脂成形品等の炭素のみが炭化または気化され、金属のみまたは金属と炭化物との混合物が得られ、金属のみを容易に分別して取り出し、金属または炭化物として再資源化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】第１リフロー装置により加熱された対象基板の温度プロファイルを利用して、第２リフロー装置において対象基板を予め定められた温度条件に適合するように加熱するための加熱条件を効率的に決定する。
【解決手段】加熱条件決定方法は、第１リフロー装置に対する基準基板又は対象基板の加熱特性を示す第１又は第２加熱特性値を取得する第１取得ステップＳ１０１及び第２取得ステップＳ１０２と、第２リフロー装置に対する基準基板の加熱特性を示す第３加熱特性値を取得する第３取得ステップＳ１０３と、第１加熱特性値に対する第２加熱特性値の比と第３加熱特性値とを演算することにより、第２リフロー装置に対する対象基板の加熱特性を示す第４加熱特性値を算出する加熱特性値算出ステップＳ１０４と、第４加熱特性値を用いて、第２リフロー装置において対象基板を加熱するための加熱条件を決定する加熱条件決定ステップＳ１０５〜Ｓ１０７とを含む。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンスがしやすく、かつキルン本体内部を還元性雰囲気に安定して維持することのできるロータリーキルンを提供する。
【解決手段】 ロータリーキルン２にキルン本体１０内部の静圧を測定する静圧センサ２２を備える一方、キルン本体１０の端部に備えられる入口フード部１４にはキルン本体１０の外周面に沿って環状のシール材固定片１９を突設し、その先端部に外気侵入防止用のシールプレート２１を備える。また、これらキルン本体１０外周面とシール材固定片１９とシールプレート２１とで形成される隙間空間２５内の静圧を測定する静圧センサ２６と、隙間空間２５内の空気を排気する排気手段２７とを備え、隙間空間２５内の静圧がキルン本体１０内部の静圧よりも低い状態に保たれるように前記排気手段２７にて隙間空間２５内の空気を排気するように構成する。 （もっと読む）