配線基板の製造方法及び実装構造体の製造方法
【課題】本発明は、信頼性に優れた配線基板の製造方法及びかかる配線基板を用いた実装構造体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】上記の課題を解決するため、本発明の一実施形態にかかる配線基板2の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体10axが設けられた、樹脂を含む第一未硬化層5axを準備する工程と、表面に第二導電層6bが形成された、樹脂を含む第二硬化層5bを、第二導電層6bが未焼結導体10axに当接されるように、第一未硬化層5ax上に配置する工程と、第一未硬化層5ax及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する工程と、第一未硬化層5ax及び第二硬化層5bを加熱することにより、第一未硬化層5axを硬化し、未焼結導体10axを焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【解決手段】上記の課題を解決するため、本発明の一実施形態にかかる配線基板2の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体10axが設けられた、樹脂を含む第一未硬化層5axを準備する工程と、表面に第二導電層6bが形成された、樹脂を含む第二硬化層5bを、第二導電層6bが未焼結導体10axに当接されるように、第一未硬化層5ax上に配置する工程と、第一未硬化層5ax及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する工程と、第一未硬化層5ax及び第二硬化層5bを加熱することにより、第一未硬化層5axを硬化し、未焼結導体10axを焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、各種オーディオビジュアル機器や家電機器、通信機器、コンピュータ機器又はその周辺機器などの電子機器に使用される配線基板の製造方法と、かかる配線基板に電子部品を実装した実装構造体の製造方法と、に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来より、IC(Integrated Circuit)若しくはLSI(Large Scale Integration)等の半導体素子又はコンデンサ等の電子部品を実装する配線基板が知られている。
【0003】
かかる配線基板は、特許文献1に示すように、穴部内に形成された導体を有する基体と、基体上に形成され、導体に当接する導電層と、導電層上に積層された絶縁層と、を備えている。
【0004】
なお、特許文献1には、穴部内に充填された導電性ペーストを有する未硬化の積層体上に銅箔を配置し、加熱加圧により積層体を硬化して基体を形成するとともに導電性ペーストを焼結した後、銅箔をエッチングして導電層を形成する工程を備えた配線基板の製造方法が記載されている。しかしながら、このような配線基板の製造方法によれば、銅箔のエッチングにより基体が損傷を受け、配線基板の信頼性が低下するという問題があった。
【特許文献1】特開2004−288806号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、信頼性に優れた配線基板の製造方法及びかかる配線基板を用いた実装構造体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0007】
また、本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明の一形態にかかる実装構造体の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を第一硬化層にし、前記未焼結導体を焼結導体にする工程と、前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の一形態にかかる実装構造体の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化して第二硬化層を形成し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法によれば、導電層を形成する際に下地となる層の表面状態を良好に保ち、信頼性に優れた配線基板を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下に、本発明の実施形態にかかる配線基板を含む実装構造体を図面に基づいて詳細に説明する。
【0012】
実装構造体1は、配線基板2と、配線基板2の上面にバンプ3を介してフリップチップ実装された電子部品4と、を含んで構成されている。
【0013】
配線基板2は、第一硬化層5a及び第一導電層6aを交互に積層して構成される基体7と、基体7の上面及び下面に積層される第二導電層6b、第二硬化層5b及び接着層5cと、を含んで構成されている。
【0014】
本実施形態においては、第一導電層6a及び第二導電層6bは、電気信号を伝達する信号層と、電子部品4に接続されるグランド層と、を含んで構成されている。なお、第一導電層6a及び第二導電層6bは、導電性材料により形成される。導電性材料は、例えば銅、銀、金、ニッケル、クロム、チタン、モリブデン、タングステン又はジルコニウムあるいはこれらの合金等を含む。
【0015】
第一硬化層5aは、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有している。基材は、例えばガラス繊維、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又は全芳香族ポリアミド樹脂等を縦横に織り込んで形成されている。熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂又はシアネート樹脂等を用いることができる。第一硬化層5aは、基材作製後、基材に熱硬化性樹脂を含浸させることにより、作製される。また、第一硬化層5aは、基材を用いない構造、例えば低熱膨張樹脂からなる構造を有していても構わない。低熱膨張樹脂としては、例えばポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂、全芳香族ポリアミド樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂又は液晶ポリマー樹脂等を用いることができる。
【0016】
接着層5cは、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂等を含む。熱硬化性樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シアネート樹脂、シリコン樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂のうち少なくともいずれか一つを使用することができる。熱可塑性樹脂としては、はんだリフロー時の加熱に耐える耐熱性を有する必要があることから、構成する材料の軟化温度が200℃以上であることが望ましく、例えば液晶ポリマー等を使用することができる。なお、接着層5cの熱膨張率は、例えば15ppm/℃以上80ppm/℃以下である。また、接着層5cは、厚みが例えば1μm以上18μm以下となるように設定されている。なお、熱膨張率は、JISK7197‐1991に準ずる試験方法により測定される平均線膨張率のこという。
【0017】
第二硬化層5bは、硬化した樹脂を含む樹脂フィルムを用いることが望ましい。樹脂フィルムは、例えばモノマー若しくはオリゴマーの樹脂を溶剤に溶解して乾燥する方法、又は、熱硬化性樹脂を加熱溶融してフィルム状に押し出し成形して延伸加工する方法等により作製される。樹脂フィルムとしては、弾性変形可能であって、耐熱性と硬さに優れた特性の材料を用いることが望ましい。この様な特性を有する樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂、全芳香族ポリアミド樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂又は液晶ポリマー樹脂等、あるいはこれらの樹脂の混合物を用いることができる。なお、液晶ポリマーとは、溶融時に液晶状態あるいは光学的に複屈折する性質を有するポリマーを指し、一般に溶液状態で液晶性を示すリオトロピック液晶ポリマーや溶融時に液晶性を示すサーモトロピック液晶ポリマー、あるいは熱変形温度で分類される1型、2型及び3型のすべての液晶ポリマーを含むものである。
【0018】
なかでも、樹脂フィルムは、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又はポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂を含有することが望ましい。ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂は、熱膨張率が−5ppm/℃以上5ppm/℃以下と小さい。このような低熱膨張樹脂を使用することによって、配線基板2の熱膨張率を、電子部品4の熱膨張率に近づけることができ、配線基板2と電子部品4との間の熱応力を低減することができる。
【0019】
また、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又はポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂を含有する樹脂フィルムは、ポリイミドフイルムに比較して吸水率が低いため、積層した場合でも内部の層に水分が蓄積されにくいため、大気中に長期間保存された状態であっても、水分を除去する処理を行う必要がなく、製造工程を単純化することができる。なお、第二硬化層5bは、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有してもよい。また、第二硬化層5bの厚みは、例えば1μm以上25μm以下となるように設定されている。
【0020】
また、図3に示すように、第二硬化層5bの第一硬化層5aと当接する下面には、突起8が形成されていても構わない。突起8が、第一硬化層5aに埋入することにより、アンカー効果を生じ、且つ第二硬化層5bと第一硬化層5aとの接着面積を増加させるため、第二硬化層5bと第一硬化層5aとの接着強度を高めることができる。
【0021】
また、第二硬化層5bには、フィラー9が含有されていても構わない。ここで、フィラー9を含む突起8の厚み方向(Z方向)への高さは、例えばフィラー9の平均直径の2分の1以上5倍以下に設定されており、20nm以上500nm以下が望ましい。なお、第二硬化層5bに含有されるフィラー9は、例えば球状である。また、フィラー9の直径は、例えば10nm以上200nm以下に設定されている。また、フィラー9の含有率は、0.05重量%以上3重量%以下であることが望ましい。また、フィラー9の熱膨張率は、例えば−5ppm/℃以上5ppm/℃以下であることが望ましい。また、フィラー9としては、例えば酸化珪素等を用いることが望ましい。
【0022】
第一硬化層5aは穴部Hを有しており、穴部H内には焼結導体10aが形成されている。焼結導体10aは、導電性ペーストを穴部H内に充填し、これを焼結することにより形成される。このため、焼結導体10aは、めっき法により形成される場合と比較して、機械的強度が高く、第一硬化層からの剥れが抑制される。なお、穴部Hの開口幅は、例えば50μm以上200μm以下に設定されている。
【0023】
導電性ペーストは、金属材料及び樹脂材料を含む。かかる金属材料としては、銅、銀、錫、インジウム、ビスマス又は亜鉛等あるいはこれらの合金を用いることが望ましい。また、かかる樹脂材料としては、液状エポキシ樹脂等を用いることが望ましい。ここで、導電性ペーストは、銅と、第一硬化層5aに含まれる熱硬化性樹脂の熱分解温度より融点が低い金属である低融点金属と、を含むことが望ましい。その結果、導電性ペーストを焼結する際に、かかる低融点金属により導電性ペースト中の銅粒子の結合性を高めることができるため、焼結導体10aの電気抵抗を低減することが可能となる。低融点金属としては、錫、インジウム、ビスマス又は亜鉛あるいはこれらの合金等を用いることが望ましい。なお、導電性ペーストにおける低融点金属の体積パーセント濃度は、例えば40%以上80%以下に設定されている。なお、熱分解温度とは、JISK7120‐1987に準ずる熱重量測定において、樹脂の質量が5%減少する温度のことをいう。
【0024】
基体7の上面側に位置する焼結導体10aは、下面側に位置する焼結導体10aより、基体7の平面(XY平面)の中心に近いことが望ましい。その結果、電子部品4が実装される配線基板2の上面側の配線密度を、外部回路に接続される配線基板2の下面側の配線基板密度に比べて高くすることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0025】
第二硬化層5bにはビア孔Vが形成されており、ビア孔V内にはビア導体10bが形成されている。なお、ビア導体10bは、金属材料からなり、本実施形態では、銅が使用されている。また、ビア孔Vの開口幅は、例えば10μm以上50μm以下に設定されている。
【0026】
配線基板2の上面側のビア導体10bは、下面側のビア導体10bより、第二硬化層5bの平面(XY平面)の中央側に形成されていることが望ましい。その結果、電子部品4が実装される配線基板2の上面側の配線密度を、外部回路に接続される配線基板2の下面側の配線密度に比べて高くすることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0027】
電子部品4は、バンプ4を介して第二導電層6bに電気的に接続されている。バンプ4の材料には、導電性材料が用いられる。導電性材料としては、例えば銅、銀、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス又はアンチモン等を用いても構わない。電子部品4には、例えばIC若しくはLSI等の半導体素子又はコンデンサ等を用いても構わない。半導体素子の材料としてはシリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム砒素リン、窒化ガリウム又は炭化珪素等を用いても構わない。ここで、最外層の第二硬化層5bには、電子部品4との熱膨張率の差を低減する材料が用いられることが望ましい。半導体素子を用いる場合、最外層の第二硬化層5bの材料には、例えば、液晶ポリマー、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂あるいはこれらの混合物を用いれば、電子部品4と絶縁層7との熱膨張率の差を低減し、はんだリフロー時の加熱又は電子部品4の発熱によって生じる熱応力を低減することができる。なお、電子部品4の厚み寸法は、例えば0.1mmから1mmのものを使用することができる。
【0028】
上述したように、本実施の形態によれば、配線基板2の内層である第一硬化層5aにて、焼結導体10aの機械的強度を高め、且つ配線基板2の外層である第二硬化層5bにて、ビア導体10bを小型化することができる。その結果、配線基板2の信頼性を高めるとともに、配線基板2表面の配線密度を高めることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0029】
次に、上述した配線基板2を含む実装構造体1の製造方法について、図面に基づいて説明する。
【0030】
(1)図4Aに示すように、第一未硬化層5axを複数準備する。第一未硬化層5axとしては、例えば、基材に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させたシートが用いられる。ここで、熱硬化性樹脂は、未硬化の樹脂であることが望ましい。なお、未硬化とは、JISK6900‐1994に準ずるA‐ステージ又はB‐ステージのことをいう。
【0031】
(2)図4Bに示すように、各第一未硬化層5axに、穴部Hを形成する。穴部Hの形成は、例えばYAGレーザー装置又は炭酸ガスレーザー装置を用いる。穴部Hは、各第一未硬化層5axにおいて、異なる位置に形成されていても構わない。また、後述する積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axに形成される穴部Hは、積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって開口幅が狭くなるように形成されることが望ましい。
【0032】
(3)図4Cに示すように、各穴部Hに、例えば印刷法等を用いて、未焼結の導電性ペーストを充填し、未焼結導体10axを形成する。
【0033】
(4)図5Aに示すように、第一導電層6aを、例えば転写法等により、未焼結導体10axの露出面及び第一未硬化層5ax上に形成する。なお、後述する基体7の上下面となる第一未硬化層5axには、第一導電層6aを形成しない。
【0034】
(5)図5Bに示すように、各第一未硬化層5axを積層する。具体的には、各第一未硬化層5axに含まれる熱硬化性樹脂を未硬化の状態に保ちつつ、各第一未硬化層5axを積層し、未硬化の積層体7aを形成する。ここで、積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axに形成される穴部Hの開口幅が積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって狭くなるように、第一未硬化層5axを積層する。
【0035】
(6)図5Cに示すように、第二硬化層5bを準備し、第二硬化層5bの下面に第二導電層6bとなる金属層11を被着させる。第二硬化層5bとしては、例えば、フィラー9を含有するポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂から成るシートを用いる。
【0036】
金属層11は、例えばスパッタ法、蒸着法又はめっき法等により、第二硬化層5b上に被着されている。具体的には、以下のように形成されることが望ましい。まず、スパッタ法を用いて、第二硬化層5bの下面にニッケル‐クロム合金を被着する。そして、電気めっき法を用いて、ニッケル‐クロム合金に銅を被着させることにより、金属層11を形成する。その結果、金属層11を容易に薄く形成することができる。なお、金属層11の厚みは、例えば1μm以上6μm以下に設定されていることが望ましい。
【0037】
(7)図6Aに示すように、金属層11を加工して、第二硬化層5b上に第二導電層6bを設ける。金属層11の加工方法としては、例えば、まず第二硬化層5bに被着された金属層11に、感光性樹脂を用いたフォトレジスト技術等の従来周知の薄膜加工技術を用いてレジストをパターニングし、次に、レジストより露出した金属層11を、塩化第二鉄若しくは塩化第二銅等の水溶液を主成分とするエッチング液を用いてエッチングし、第二導電層6b上に被着したままのレジストを、水酸化ナトリウム水溶液等を用いて除去する方法が挙げられる。
【0038】
ここで、図6Bに示すように、第二導電層6bが設けられた第二硬化層5bの下面の露出した表面を粗化することにより、突起8を形成することが望ましい。具体的には、プラズマ処理又は反応性イオンエッチング処理等により、第二導電層6bより露出した第二硬化層5bを厚み方向にエッチングし、突起8を形成する。ここで、フィルム5byは、エッチングにより除去されにくいフィラー9を含むため、フィラー9を含まない突起8より厚み方向への高さが高い、フィラー9を含む突起8を形成することができる。
【0039】
(8)図7及び図8Aに示すように、第二硬化層5bに形成された第二導電層6bが未焼結導体10axの露出面に当接するように、第二硬化層5bを積層体7aの上下面に配置する。このように、第二硬化層5bに第二導電層6bを予め形成しておき、これを第一未硬化層5axに配置するようにしているため、第二導電層6bの形成時に施されるエッチングが第一未硬化層5axに対して行われることを抑制し、第一未硬化層5axへの損傷を低減することができる。その結果、第二導電層6bを形成する際に下地となる第一未硬化層5axの表面状態を良好に保つことができ、配線基板2の信頼性が向上する。また、第一未硬化層5axと比較して、第二硬化層5bの損傷は配線基板2への影響が小さいため、容易に第二導電層6bを設けることができる。また、第二導電層6b及び第二硬化層5bにより未焼結導体10axを構成する導電性ペーストを穴部H内に閉じ込め、後述する焼結導体10aを所望の形状に形成できるため、配線基板2の歩留まりを向上させることが可能となる。また、導電性ペーストを穴部H内に閉じ込めることにより、導電性ペーストが穴部H内から第一未硬化層5ax上にはみ出て第二導電層6b間を短絡させることを抑制できる。また、穴部H内からはみ出た導電性ペーストが第二導電層6bの上面に付着してしまうことを抑制できる。
【0040】
(9)図8A及び図8Bに示すように、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮し、未硬化の樹脂を含む第一未硬化層5axに第二導電層6bを埋設することにより、導電性ペーストからなる未焼結導体10axを厚み方向に圧縮する。その結果、第二導電層6bの厚みに対応する分だけ、未焼結導体10axは厚み方向に圧縮されるため、未焼結導体10axに含まれる金属材料の密度を高め、焼結導体10aの電気抵抗を低減することができる。
【0041】
また、図8Bに示すように、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮することにより、第一未硬化層5axと第二硬化層5bとを当接させ、第一未硬化層5axに第二硬化層5bの突起8を埋入させる。これにより、アンカー効果を生じるとともに第一未硬化層5axと第二硬化層5bとの接着面積を増加させ、第一未硬化層5axと第二硬化層5bとの接着強度を高めることができる。その結果、焼結導体10aと第二導電層6bとの接着強度を強固にし、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。ここで、上述したように、フィラー9により突起8が高く形成されているため、積層体7aと第二硬化層5bとの接着強度を高める効果をより向上させることができる。なお、圧縮時の圧力は、例えば2MPa以上5MPa以下に設定されていることが望ましい。
【0042】
ここで、積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axの穴部Hの開口幅は、穴部H内の未焼結導体10axが露出した積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって狭くなるように形成されているため、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する際に、未焼結導体10axが穴部H内から積層体7aの内部に向かって抜け出る可能性が低減する。その結果、未焼結導体10axを厚み方向に効率良く圧縮でき、未焼結導体10axに含まれる金属材料の密度をより高めることができる。
【0043】
(10)積層体7a及び第二硬化層5bを加熱する。その結果、第一未硬化層5axに含まれる樹脂を硬化させて第一硬化層5aを形成し、複数の第一硬化層5aから成る基体7を形成するとともに、未焼結導体10axを焼結させて焼結導体10aを形成する。また、第一未硬化層5axに含まれる樹脂を硬化させることにより、第一硬化層5a及び第二硬化層5b同士が接着される。その結果、穴部H内に焼結導体10aが設けられているとともに上下面に第二硬化層5bが接着した基体7を形成することができる。このように、第一未硬化層5axに含まれる樹脂の硬化と、未焼結導体10axの焼結と、第一未硬化層5a及び第二硬化層5bの接着と、を同時に行うため、工程数を低減できる。また、基体7及び第二硬化層5bを、接着剤を介することなく接着させることができるため、配線基板2を薄くすることができる。
【0044】
積層体7ax及び第二硬化層5bの加熱温度は、基体7に含まれる樹脂の硬化開始温度及び未焼結導体10axを構成する導体の焼結開始温度以上、基体7に含まれる樹脂の熱分解温度未満に設定されていることが望ましい。なお、硬化開始温度とは、樹脂が、JISK6900‐1994に準ずるC‐ステージとなる温度のことをいう。また、焼結開始温度は、JISH7008‐2002に準ずる。
【0045】
また、未焼結導体10axに含まれる低融点金属の融点が、第一未硬化樹脂5axに含まれる樹脂の熱分解温度より低いため、基体7及び第二硬化層5bを、低融点金属の融点より高い温度で加熱することにより、低融点金属を溶融させつつ未焼結導体10axを焼結することができる。その結果、焼結導体10aに含まれる銅と低融点金属とが合金化し、焼結導体10aの電気抵抗を低減させることができる。また、第二導電層6bに含まれる銅と焼結導体10aに含まれる低融点金属とが合金化し、焼結導体10aと第二導電層6bとの接着強度を高め、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。ここで、上述のように基体7及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する際に焼結導体10aに含まれる低融点金属の密度を高めれば、合金化する低融点金属の密度が高まるため、電気的抵抗を低減し、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。
【0046】
(11)図9Aに示すように、第二硬化層5bに、ビア孔Vを形成し、ビア孔V内に第二導電層6bの少なくとも一部を露出させる。ビア孔Vの形成は、例えばYAGレーザー装置又は炭酸ガスレーザー装置を用いる。なお、第二導電層6bの露出した一部を露出部6bxとする。ビア孔Vは、第二硬化層5bの上面に対して、垂直方向からレーザー光が照射されることによって形成される。なお、ビア孔Vは、レーザーの出力を調整することによって、第二硬化層5bの表面から基体7の表面に向かって開口幅が狭くなるように形成することができる。
【0047】
ここで、第二導電層6bの第二硬化層5bと当接する一部は、ニッケル‐クロム合金からなるため、ビア孔V内に第二導電層6bの露出部6bxを形成する際に、レーザー光は、第二導電層6bのニッケル‐クロム合金に照射される。ニッケル‐クロム合金は銅等の金属と比較して融点が高いため、レーザー光照射の際に第二導電層6bの溶融が抑制される。その結果、第二導電層6bの損傷を低減し、配線基板2の電気的信頼性を高めることができる。また、ニッケル‐クロム合金は銅等の金属と比較して融点が高いため、レーザー光照射の際に第二導電層6bの温度が上がる。その結果、レーザー光照射の際に、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続部にて、焼結導体10aに含まれる低融点金属が溶融して第二導電層6bと結合し、レーザー光照射後に、第二導電層6bの温度が下がって低融点金属が固化することにより、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続を強固にできる。また、第二導電層6bの厚みが6μm以下に設定されていると、レーザー光照射の際に、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続部にて、第二導電層6bの温度が上がりやすくなり、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続を強固にできる。
【0048】
(12)図9Bに示すように、ビア孔Vにビア導体10を形成するとともに、第二絶縁層5bの表面に第二導電層6bを形成する。ビア導体10及び第二導電層6bは、以下に示すセミアディティブ法により形成されることが望ましい。まず、無電解めっき法により、第二硬化層5bの表面及び第二導電層6bの露出部6bxの表面にめっきを析出させ、無電解めっき層を形成する。なお、無電解めっき層の厚みは、例えば0.1μm以上0.5μm以下に設定されていても構わない。次に、第二硬化層5bにレジストをパターニングし、無電解めっき層の一部をレジストにより被覆する。次に、電気めっき法により、無電解めっき層の露出した表面にめっきを析出させ、電気めっき層を形成し、ビア導体10を形成する。なお、電気めっき層の厚みは、例えば3μm以上15μm以下に設定されていても構わない。そして、第二硬化層5bからレジストを除去した後、無電解めっき層をエッチングして除去することにより、絶縁層5bの表面に第二導電層6bを形成する。
【0049】
ここで、めっき法によりビア導体10bを形成するため、穴部Hの開口幅と比較して、ビア孔Vの開口幅を小さくしてもビア導体10bを形成することができる。その結果、配線基板2の外層である第二硬化層5bにて、ビア導体10bを小型化し、配線基板2の上側主面の配線密度を高めることができる。ここで、(8)に記載したように、第二導電層6bを形成する際に、第二導電層6b及び第二硬化層5bにより未焼結導体10axを構成する導電性ペーストを穴部H内に閉じ込め、穴部H内からはみ出た導電性ペーストが第二導電層6bの上面に付着してしまうことを抑制したため、第二導電層6bの露出部6bxは、焼結導体10aを構成する導電性ペーストの付着が抑制されている。その結果、露出部6bxの表面にめっきが効率良く析出して、ビア導体10bを効率良く形成できる。このため、第二導電層6bとビア導体10bとの電気的接続の不良の発生を抑制し、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。
【0050】
(13)図9C及び図10Aに示すように、第二硬化層5bの主面に、ポリイミド樹脂等の接着層5cを介して、第二硬化層5bを貼り合わせる。貼り合わせは、例えば加熱プレス機を用いて、加熱加圧をすることにより行われる。
【0051】
(14)図10Bに示すように、最外層の第二硬化層5bに、上述した方法を用いて、ビア孔Vを形成する。
【0052】
(15)図10Cに示すように、ビア孔Vに、上述した方法を用いて、ビア導体10b及び第二導電層6bを形成する。
【0053】
(16)図11Aに示すように、(13)から(15)の工程を繰り返すことにより、基体7の上下面に接着層5c、第二硬化層5b及び第二導電層6bを交互に複数層積層して、配線基板2を作製する。
【0054】
上述したように、本実施の形態によれば、第二導電層6bを形成する際に下地となる第一未硬化層5axの表面状態を良好に保ち、信頼性に優れた配線基板2を得ることができる。
【0055】
(17)図11Bに示すように、電子部品4をバンプ3を介して第二導電層6bに電気的に接続させて、配線基板2の上側主面に電子部品4を実装することにより、実装構造体1を作製する。
【0056】
なお、本発明は上述の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、上述した本発明の実施形態は、基体7が3層の第一硬化層5aから成る構成に関して説明したが、基体7を構成する第一硬化層5bの層数は3層に限られず、1層であっても、3層以外の複数層であっても構わない。
【0057】
また、第二硬化層5bとして硬化した樹脂を含む樹脂フィルムを用いる構成に関して説明したが、第二硬化層5b、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有しても構わない。また、第二硬化層5bとして未硬化の熱硬化性樹脂を含む第二未硬化層を用いて、基体7とともに加熱する際に、第二未硬化層を第二硬化層5bにしてもよい。
【0058】
また、上述した本発明の実施形態は、第二硬化層5b及び第二導電層6bを積層する際に、第二硬化層5b上に第二導電層6bを形成する構成に関して説明したが、第二硬化層5b上に接着層5cを形成した後、接着層5c上に第二導電層6bを形成しても構わない。これにより、第二絶縁層5bと第二導電層6bとの接着強度を高めることができる。
【0059】
また、上述した本発明の実施形態は、第二絶縁層5bにビア導体10及び第二導電層6bを形成する方法としてセミアディティブ法を用いた製造方法について説明したが、セミアディティブ法の代わりに、サブトラクティブ法及びフルアディティブ法を用いた製造方法も可能である。
【図面の簡単な説明】
【0060】
【図1】本発明の実施形態にかかる実装構造体の平面図である。
【図2】本発明の実施形態にかかる実装構造体の断面図である。
【図3】図2に示す実装構造体のX1部分の拡大図である。
【図4】図4A、図4B及び図4Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図5】図5A、図5B及び図5Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図6】図6Aは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図であり、図6Bは、図6Aに示す実装構造体の製造工程を説明するX2部分の拡大図である。
【図7】図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図8】図8Aは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図であり、図8Bは、図8Aに示す実装構造体の製造工程を説明するX3部分の拡大図である。
【図9】図9A、図9B及び図9Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図10】図10A、図10B及び図10Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図11】図11A及び図11Bは図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【符号の説明】
【0061】
1 実装構造体
2 配線基板
3 バンプ
4 電子部品
5a 第一硬化層
5ax 第一未硬化層
5b 第二硬化層
5c 接着層
6a 第一導電層
6b 第二導電層
6bx 露出部
7 基体
7a 積層体
8 突起
9 フィラー
10a 焼結導体
10ax 未焼結導体
10b ビア導体
11 金属層
H 穴部
V ビア孔
【技術分野】
【0001】
本発明は、各種オーディオビジュアル機器や家電機器、通信機器、コンピュータ機器又はその周辺機器などの電子機器に使用される配線基板の製造方法と、かかる配線基板に電子部品を実装した実装構造体の製造方法と、に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来より、IC(Integrated Circuit)若しくはLSI(Large Scale Integration)等の半導体素子又はコンデンサ等の電子部品を実装する配線基板が知られている。
【0003】
かかる配線基板は、特許文献1に示すように、穴部内に形成された導体を有する基体と、基体上に形成され、導体に当接する導電層と、導電層上に積層された絶縁層と、を備えている。
【0004】
なお、特許文献1には、穴部内に充填された導電性ペーストを有する未硬化の積層体上に銅箔を配置し、加熱加圧により積層体を硬化して基体を形成するとともに導電性ペーストを焼結した後、銅箔をエッチングして導電層を形成する工程を備えた配線基板の製造方法が記載されている。しかしながら、このような配線基板の製造方法によれば、銅箔のエッチングにより基体が損傷を受け、配線基板の信頼性が低下するという問題があった。
【特許文献1】特開2004−288806号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、信頼性に優れた配線基板の製造方法及びかかる配線基板を用いた実装構造体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0007】
また、本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明の一形態にかかる実装構造体の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を第一硬化層にし、前記未焼結導体を焼結導体にする工程と、前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の一形態にかかる実装構造体の製造方法は、少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化して第二硬化層を形成し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法によれば、導電層を形成する際に下地となる層の表面状態を良好に保ち、信頼性に優れた配線基板を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下に、本発明の実施形態にかかる配線基板を含む実装構造体を図面に基づいて詳細に説明する。
【0012】
実装構造体1は、配線基板2と、配線基板2の上面にバンプ3を介してフリップチップ実装された電子部品4と、を含んで構成されている。
【0013】
配線基板2は、第一硬化層5a及び第一導電層6aを交互に積層して構成される基体7と、基体7の上面及び下面に積層される第二導電層6b、第二硬化層5b及び接着層5cと、を含んで構成されている。
【0014】
本実施形態においては、第一導電層6a及び第二導電層6bは、電気信号を伝達する信号層と、電子部品4に接続されるグランド層と、を含んで構成されている。なお、第一導電層6a及び第二導電層6bは、導電性材料により形成される。導電性材料は、例えば銅、銀、金、ニッケル、クロム、チタン、モリブデン、タングステン又はジルコニウムあるいはこれらの合金等を含む。
【0015】
第一硬化層5aは、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有している。基材は、例えばガラス繊維、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又は全芳香族ポリアミド樹脂等を縦横に織り込んで形成されている。熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂又はシアネート樹脂等を用いることができる。第一硬化層5aは、基材作製後、基材に熱硬化性樹脂を含浸させることにより、作製される。また、第一硬化層5aは、基材を用いない構造、例えば低熱膨張樹脂からなる構造を有していても構わない。低熱膨張樹脂としては、例えばポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂、全芳香族ポリアミド樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂又は液晶ポリマー樹脂等を用いることができる。
【0016】
接着層5cは、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂等を含む。熱硬化性樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シアネート樹脂、シリコン樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂のうち少なくともいずれか一つを使用することができる。熱可塑性樹脂としては、はんだリフロー時の加熱に耐える耐熱性を有する必要があることから、構成する材料の軟化温度が200℃以上であることが望ましく、例えば液晶ポリマー等を使用することができる。なお、接着層5cの熱膨張率は、例えば15ppm/℃以上80ppm/℃以下である。また、接着層5cは、厚みが例えば1μm以上18μm以下となるように設定されている。なお、熱膨張率は、JISK7197‐1991に準ずる試験方法により測定される平均線膨張率のこという。
【0017】
第二硬化層5bは、硬化した樹脂を含む樹脂フィルムを用いることが望ましい。樹脂フィルムは、例えばモノマー若しくはオリゴマーの樹脂を溶剤に溶解して乾燥する方法、又は、熱硬化性樹脂を加熱溶融してフィルム状に押し出し成形して延伸加工する方法等により作製される。樹脂フィルムとしては、弾性変形可能であって、耐熱性と硬さに優れた特性の材料を用いることが望ましい。この様な特性を有する樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂、全芳香族ポリアミド樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂又は液晶ポリマー樹脂等、あるいはこれらの樹脂の混合物を用いることができる。なお、液晶ポリマーとは、溶融時に液晶状態あるいは光学的に複屈折する性質を有するポリマーを指し、一般に溶液状態で液晶性を示すリオトロピック液晶ポリマーや溶融時に液晶性を示すサーモトロピック液晶ポリマー、あるいは熱変形温度で分類される1型、2型及び3型のすべての液晶ポリマーを含むものである。
【0018】
なかでも、樹脂フィルムは、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又はポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂を含有することが望ましい。ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂は、熱膨張率が−5ppm/℃以上5ppm/℃以下と小さい。このような低熱膨張樹脂を使用することによって、配線基板2の熱膨張率を、電子部品4の熱膨張率に近づけることができ、配線基板2と電子部品4との間の熱応力を低減することができる。
【0019】
また、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂又はポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂を含有する樹脂フィルムは、ポリイミドフイルムに比較して吸水率が低いため、積層した場合でも内部の層に水分が蓄積されにくいため、大気中に長期間保存された状態であっても、水分を除去する処理を行う必要がなく、製造工程を単純化することができる。なお、第二硬化層5bは、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有してもよい。また、第二硬化層5bの厚みは、例えば1μm以上25μm以下となるように設定されている。
【0020】
また、図3に示すように、第二硬化層5bの第一硬化層5aと当接する下面には、突起8が形成されていても構わない。突起8が、第一硬化層5aに埋入することにより、アンカー効果を生じ、且つ第二硬化層5bと第一硬化層5aとの接着面積を増加させるため、第二硬化層5bと第一硬化層5aとの接着強度を高めることができる。
【0021】
また、第二硬化層5bには、フィラー9が含有されていても構わない。ここで、フィラー9を含む突起8の厚み方向(Z方向)への高さは、例えばフィラー9の平均直径の2分の1以上5倍以下に設定されており、20nm以上500nm以下が望ましい。なお、第二硬化層5bに含有されるフィラー9は、例えば球状である。また、フィラー9の直径は、例えば10nm以上200nm以下に設定されている。また、フィラー9の含有率は、0.05重量%以上3重量%以下であることが望ましい。また、フィラー9の熱膨張率は、例えば−5ppm/℃以上5ppm/℃以下であることが望ましい。また、フィラー9としては、例えば酸化珪素等を用いることが望ましい。
【0022】
第一硬化層5aは穴部Hを有しており、穴部H内には焼結導体10aが形成されている。焼結導体10aは、導電性ペーストを穴部H内に充填し、これを焼結することにより形成される。このため、焼結導体10aは、めっき法により形成される場合と比較して、機械的強度が高く、第一硬化層からの剥れが抑制される。なお、穴部Hの開口幅は、例えば50μm以上200μm以下に設定されている。
【0023】
導電性ペーストは、金属材料及び樹脂材料を含む。かかる金属材料としては、銅、銀、錫、インジウム、ビスマス又は亜鉛等あるいはこれらの合金を用いることが望ましい。また、かかる樹脂材料としては、液状エポキシ樹脂等を用いることが望ましい。ここで、導電性ペーストは、銅と、第一硬化層5aに含まれる熱硬化性樹脂の熱分解温度より融点が低い金属である低融点金属と、を含むことが望ましい。その結果、導電性ペーストを焼結する際に、かかる低融点金属により導電性ペースト中の銅粒子の結合性を高めることができるため、焼結導体10aの電気抵抗を低減することが可能となる。低融点金属としては、錫、インジウム、ビスマス又は亜鉛あるいはこれらの合金等を用いることが望ましい。なお、導電性ペーストにおける低融点金属の体積パーセント濃度は、例えば40%以上80%以下に設定されている。なお、熱分解温度とは、JISK7120‐1987に準ずる熱重量測定において、樹脂の質量が5%減少する温度のことをいう。
【0024】
基体7の上面側に位置する焼結導体10aは、下面側に位置する焼結導体10aより、基体7の平面(XY平面)の中心に近いことが望ましい。その結果、電子部品4が実装される配線基板2の上面側の配線密度を、外部回路に接続される配線基板2の下面側の配線基板密度に比べて高くすることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0025】
第二硬化層5bにはビア孔Vが形成されており、ビア孔V内にはビア導体10bが形成されている。なお、ビア導体10bは、金属材料からなり、本実施形態では、銅が使用されている。また、ビア孔Vの開口幅は、例えば10μm以上50μm以下に設定されている。
【0026】
配線基板2の上面側のビア導体10bは、下面側のビア導体10bより、第二硬化層5bの平面(XY平面)の中央側に形成されていることが望ましい。その結果、電子部品4が実装される配線基板2の上面側の配線密度を、外部回路に接続される配線基板2の下面側の配線密度に比べて高くすることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0027】
電子部品4は、バンプ4を介して第二導電層6bに電気的に接続されている。バンプ4の材料には、導電性材料が用いられる。導電性材料としては、例えば銅、銀、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス又はアンチモン等を用いても構わない。電子部品4には、例えばIC若しくはLSI等の半導体素子又はコンデンサ等を用いても構わない。半導体素子の材料としてはシリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム砒素リン、窒化ガリウム又は炭化珪素等を用いても構わない。ここで、最外層の第二硬化層5bには、電子部品4との熱膨張率の差を低減する材料が用いられることが望ましい。半導体素子を用いる場合、最外層の第二硬化層5bの材料には、例えば、液晶ポリマー、ポリイミドベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂あるいはこれらの混合物を用いれば、電子部品4と絶縁層7との熱膨張率の差を低減し、はんだリフロー時の加熱又は電子部品4の発熱によって生じる熱応力を低減することができる。なお、電子部品4の厚み寸法は、例えば0.1mmから1mmのものを使用することができる。
【0028】
上述したように、本実施の形態によれば、配線基板2の内層である第一硬化層5aにて、焼結導体10aの機械的強度を高め、且つ配線基板2の外層である第二硬化層5bにて、ビア導体10bを小型化することができる。その結果、配線基板2の信頼性を高めるとともに、配線基板2表面の配線密度を高めることができるため、配線基板2に小型の電子部品4を実装することが可能となる。
【0029】
次に、上述した配線基板2を含む実装構造体1の製造方法について、図面に基づいて説明する。
【0030】
(1)図4Aに示すように、第一未硬化層5axを複数準備する。第一未硬化層5axとしては、例えば、基材に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させたシートが用いられる。ここで、熱硬化性樹脂は、未硬化の樹脂であることが望ましい。なお、未硬化とは、JISK6900‐1994に準ずるA‐ステージ又はB‐ステージのことをいう。
【0031】
(2)図4Bに示すように、各第一未硬化層5axに、穴部Hを形成する。穴部Hの形成は、例えばYAGレーザー装置又は炭酸ガスレーザー装置を用いる。穴部Hは、各第一未硬化層5axにおいて、異なる位置に形成されていても構わない。また、後述する積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axに形成される穴部Hは、積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって開口幅が狭くなるように形成されることが望ましい。
【0032】
(3)図4Cに示すように、各穴部Hに、例えば印刷法等を用いて、未焼結の導電性ペーストを充填し、未焼結導体10axを形成する。
【0033】
(4)図5Aに示すように、第一導電層6aを、例えば転写法等により、未焼結導体10axの露出面及び第一未硬化層5ax上に形成する。なお、後述する基体7の上下面となる第一未硬化層5axには、第一導電層6aを形成しない。
【0034】
(5)図5Bに示すように、各第一未硬化層5axを積層する。具体的には、各第一未硬化層5axに含まれる熱硬化性樹脂を未硬化の状態に保ちつつ、各第一未硬化層5axを積層し、未硬化の積層体7aを形成する。ここで、積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axに形成される穴部Hの開口幅が積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって狭くなるように、第一未硬化層5axを積層する。
【0035】
(6)図5Cに示すように、第二硬化層5bを準備し、第二硬化層5bの下面に第二導電層6bとなる金属層11を被着させる。第二硬化層5bとしては、例えば、フィラー9を含有するポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール樹脂から成るシートを用いる。
【0036】
金属層11は、例えばスパッタ法、蒸着法又はめっき法等により、第二硬化層5b上に被着されている。具体的には、以下のように形成されることが望ましい。まず、スパッタ法を用いて、第二硬化層5bの下面にニッケル‐クロム合金を被着する。そして、電気めっき法を用いて、ニッケル‐クロム合金に銅を被着させることにより、金属層11を形成する。その結果、金属層11を容易に薄く形成することができる。なお、金属層11の厚みは、例えば1μm以上6μm以下に設定されていることが望ましい。
【0037】
(7)図6Aに示すように、金属層11を加工して、第二硬化層5b上に第二導電層6bを設ける。金属層11の加工方法としては、例えば、まず第二硬化層5bに被着された金属層11に、感光性樹脂を用いたフォトレジスト技術等の従来周知の薄膜加工技術を用いてレジストをパターニングし、次に、レジストより露出した金属層11を、塩化第二鉄若しくは塩化第二銅等の水溶液を主成分とするエッチング液を用いてエッチングし、第二導電層6b上に被着したままのレジストを、水酸化ナトリウム水溶液等を用いて除去する方法が挙げられる。
【0038】
ここで、図6Bに示すように、第二導電層6bが設けられた第二硬化層5bの下面の露出した表面を粗化することにより、突起8を形成することが望ましい。具体的には、プラズマ処理又は反応性イオンエッチング処理等により、第二導電層6bより露出した第二硬化層5bを厚み方向にエッチングし、突起8を形成する。ここで、フィルム5byは、エッチングにより除去されにくいフィラー9を含むため、フィラー9を含まない突起8より厚み方向への高さが高い、フィラー9を含む突起8を形成することができる。
【0039】
(8)図7及び図8Aに示すように、第二硬化層5bに形成された第二導電層6bが未焼結導体10axの露出面に当接するように、第二硬化層5bを積層体7aの上下面に配置する。このように、第二硬化層5bに第二導電層6bを予め形成しておき、これを第一未硬化層5axに配置するようにしているため、第二導電層6bの形成時に施されるエッチングが第一未硬化層5axに対して行われることを抑制し、第一未硬化層5axへの損傷を低減することができる。その結果、第二導電層6bを形成する際に下地となる第一未硬化層5axの表面状態を良好に保つことができ、配線基板2の信頼性が向上する。また、第一未硬化層5axと比較して、第二硬化層5bの損傷は配線基板2への影響が小さいため、容易に第二導電層6bを設けることができる。また、第二導電層6b及び第二硬化層5bにより未焼結導体10axを構成する導電性ペーストを穴部H内に閉じ込め、後述する焼結導体10aを所望の形状に形成できるため、配線基板2の歩留まりを向上させることが可能となる。また、導電性ペーストを穴部H内に閉じ込めることにより、導電性ペーストが穴部H内から第一未硬化層5ax上にはみ出て第二導電層6b間を短絡させることを抑制できる。また、穴部H内からはみ出た導電性ペーストが第二導電層6bの上面に付着してしまうことを抑制できる。
【0040】
(9)図8A及び図8Bに示すように、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮し、未硬化の樹脂を含む第一未硬化層5axに第二導電層6bを埋設することにより、導電性ペーストからなる未焼結導体10axを厚み方向に圧縮する。その結果、第二導電層6bの厚みに対応する分だけ、未焼結導体10axは厚み方向に圧縮されるため、未焼結導体10axに含まれる金属材料の密度を高め、焼結導体10aの電気抵抗を低減することができる。
【0041】
また、図8Bに示すように、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮することにより、第一未硬化層5axと第二硬化層5bとを当接させ、第一未硬化層5axに第二硬化層5bの突起8を埋入させる。これにより、アンカー効果を生じるとともに第一未硬化層5axと第二硬化層5bとの接着面積を増加させ、第一未硬化層5axと第二硬化層5bとの接着強度を高めることができる。その結果、焼結導体10aと第二導電層6bとの接着強度を強固にし、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。ここで、上述したように、フィラー9により突起8が高く形成されているため、積層体7aと第二硬化層5bとの接着強度を高める効果をより向上させることができる。なお、圧縮時の圧力は、例えば2MPa以上5MPa以下に設定されていることが望ましい。
【0042】
ここで、積層体7aの最外層に配置される第一未硬化層5axの穴部Hの開口幅は、穴部H内の未焼結導体10axが露出した積層体7aの主面から積層体7aの内部に向かって狭くなるように形成されているため、積層体7a及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する際に、未焼結導体10axが穴部H内から積層体7aの内部に向かって抜け出る可能性が低減する。その結果、未焼結導体10axを厚み方向に効率良く圧縮でき、未焼結導体10axに含まれる金属材料の密度をより高めることができる。
【0043】
(10)積層体7a及び第二硬化層5bを加熱する。その結果、第一未硬化層5axに含まれる樹脂を硬化させて第一硬化層5aを形成し、複数の第一硬化層5aから成る基体7を形成するとともに、未焼結導体10axを焼結させて焼結導体10aを形成する。また、第一未硬化層5axに含まれる樹脂を硬化させることにより、第一硬化層5a及び第二硬化層5b同士が接着される。その結果、穴部H内に焼結導体10aが設けられているとともに上下面に第二硬化層5bが接着した基体7を形成することができる。このように、第一未硬化層5axに含まれる樹脂の硬化と、未焼結導体10axの焼結と、第一未硬化層5a及び第二硬化層5bの接着と、を同時に行うため、工程数を低減できる。また、基体7及び第二硬化層5bを、接着剤を介することなく接着させることができるため、配線基板2を薄くすることができる。
【0044】
積層体7ax及び第二硬化層5bの加熱温度は、基体7に含まれる樹脂の硬化開始温度及び未焼結導体10axを構成する導体の焼結開始温度以上、基体7に含まれる樹脂の熱分解温度未満に設定されていることが望ましい。なお、硬化開始温度とは、樹脂が、JISK6900‐1994に準ずるC‐ステージとなる温度のことをいう。また、焼結開始温度は、JISH7008‐2002に準ずる。
【0045】
また、未焼結導体10axに含まれる低融点金属の融点が、第一未硬化樹脂5axに含まれる樹脂の熱分解温度より低いため、基体7及び第二硬化層5bを、低融点金属の融点より高い温度で加熱することにより、低融点金属を溶融させつつ未焼結導体10axを焼結することができる。その結果、焼結導体10aに含まれる銅と低融点金属とが合金化し、焼結導体10aの電気抵抗を低減させることができる。また、第二導電層6bに含まれる銅と焼結導体10aに含まれる低融点金属とが合金化し、焼結導体10aと第二導電層6bとの接着強度を高め、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。ここで、上述のように基体7及び第二硬化層5bを厚み方向に圧縮する際に焼結導体10aに含まれる低融点金属の密度を高めれば、合金化する低融点金属の密度が高まるため、電気的抵抗を低減し、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。
【0046】
(11)図9Aに示すように、第二硬化層5bに、ビア孔Vを形成し、ビア孔V内に第二導電層6bの少なくとも一部を露出させる。ビア孔Vの形成は、例えばYAGレーザー装置又は炭酸ガスレーザー装置を用いる。なお、第二導電層6bの露出した一部を露出部6bxとする。ビア孔Vは、第二硬化層5bの上面に対して、垂直方向からレーザー光が照射されることによって形成される。なお、ビア孔Vは、レーザーの出力を調整することによって、第二硬化層5bの表面から基体7の表面に向かって開口幅が狭くなるように形成することができる。
【0047】
ここで、第二導電層6bの第二硬化層5bと当接する一部は、ニッケル‐クロム合金からなるため、ビア孔V内に第二導電層6bの露出部6bxを形成する際に、レーザー光は、第二導電層6bのニッケル‐クロム合金に照射される。ニッケル‐クロム合金は銅等の金属と比較して融点が高いため、レーザー光照射の際に第二導電層6bの溶融が抑制される。その結果、第二導電層6bの損傷を低減し、配線基板2の電気的信頼性を高めることができる。また、ニッケル‐クロム合金は銅等の金属と比較して融点が高いため、レーザー光照射の際に第二導電層6bの温度が上がる。その結果、レーザー光照射の際に、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続部にて、焼結導体10aに含まれる低融点金属が溶融して第二導電層6bと結合し、レーザー光照射後に、第二導電層6bの温度が下がって低融点金属が固化することにより、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続を強固にできる。また、第二導電層6bの厚みが6μm以下に設定されていると、レーザー光照射の際に、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続部にて、第二導電層6bの温度が上がりやすくなり、第二導電層6bと焼結導体10aとの接続を強固にできる。
【0048】
(12)図9Bに示すように、ビア孔Vにビア導体10を形成するとともに、第二絶縁層5bの表面に第二導電層6bを形成する。ビア導体10及び第二導電層6bは、以下に示すセミアディティブ法により形成されることが望ましい。まず、無電解めっき法により、第二硬化層5bの表面及び第二導電層6bの露出部6bxの表面にめっきを析出させ、無電解めっき層を形成する。なお、無電解めっき層の厚みは、例えば0.1μm以上0.5μm以下に設定されていても構わない。次に、第二硬化層5bにレジストをパターニングし、無電解めっき層の一部をレジストにより被覆する。次に、電気めっき法により、無電解めっき層の露出した表面にめっきを析出させ、電気めっき層を形成し、ビア導体10を形成する。なお、電気めっき層の厚みは、例えば3μm以上15μm以下に設定されていても構わない。そして、第二硬化層5bからレジストを除去した後、無電解めっき層をエッチングして除去することにより、絶縁層5bの表面に第二導電層6bを形成する。
【0049】
ここで、めっき法によりビア導体10bを形成するため、穴部Hの開口幅と比較して、ビア孔Vの開口幅を小さくしてもビア導体10bを形成することができる。その結果、配線基板2の外層である第二硬化層5bにて、ビア導体10bを小型化し、配線基板2の上側主面の配線密度を高めることができる。ここで、(8)に記載したように、第二導電層6bを形成する際に、第二導電層6b及び第二硬化層5bにより未焼結導体10axを構成する導電性ペーストを穴部H内に閉じ込め、穴部H内からはみ出た導電性ペーストが第二導電層6bの上面に付着してしまうことを抑制したため、第二導電層6bの露出部6bxは、焼結導体10aを構成する導電性ペーストの付着が抑制されている。その結果、露出部6bxの表面にめっきが効率良く析出して、ビア導体10bを効率良く形成できる。このため、第二導電層6bとビア導体10bとの電気的接続の不良の発生を抑制し、配線基板2の電気的信頼性を向上できる。
【0050】
(13)図9C及び図10Aに示すように、第二硬化層5bの主面に、ポリイミド樹脂等の接着層5cを介して、第二硬化層5bを貼り合わせる。貼り合わせは、例えば加熱プレス機を用いて、加熱加圧をすることにより行われる。
【0051】
(14)図10Bに示すように、最外層の第二硬化層5bに、上述した方法を用いて、ビア孔Vを形成する。
【0052】
(15)図10Cに示すように、ビア孔Vに、上述した方法を用いて、ビア導体10b及び第二導電層6bを形成する。
【0053】
(16)図11Aに示すように、(13)から(15)の工程を繰り返すことにより、基体7の上下面に接着層5c、第二硬化層5b及び第二導電層6bを交互に複数層積層して、配線基板2を作製する。
【0054】
上述したように、本実施の形態によれば、第二導電層6bを形成する際に下地となる第一未硬化層5axの表面状態を良好に保ち、信頼性に優れた配線基板2を得ることができる。
【0055】
(17)図11Bに示すように、電子部品4をバンプ3を介して第二導電層6bに電気的に接続させて、配線基板2の上側主面に電子部品4を実装することにより、実装構造体1を作製する。
【0056】
なお、本発明は上述の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、上述した本発明の実施形態は、基体7が3層の第一硬化層5aから成る構成に関して説明したが、基体7を構成する第一硬化層5bの層数は3層に限られず、1層であっても、3層以外の複数層であっても構わない。
【0057】
また、第二硬化層5bとして硬化した樹脂を含む樹脂フィルムを用いる構成に関して説明したが、第二硬化層5b、例えば熱硬化性樹脂中に基材を備えた構成を有しても構わない。また、第二硬化層5bとして未硬化の熱硬化性樹脂を含む第二未硬化層を用いて、基体7とともに加熱する際に、第二未硬化層を第二硬化層5bにしてもよい。
【0058】
また、上述した本発明の実施形態は、第二硬化層5b及び第二導電層6bを積層する際に、第二硬化層5b上に第二導電層6bを形成する構成に関して説明したが、第二硬化層5b上に接着層5cを形成した後、接着層5c上に第二導電層6bを形成しても構わない。これにより、第二絶縁層5bと第二導電層6bとの接着強度を高めることができる。
【0059】
また、上述した本発明の実施形態は、第二絶縁層5bにビア導体10及び第二導電層6bを形成する方法としてセミアディティブ法を用いた製造方法について説明したが、セミアディティブ法の代わりに、サブトラクティブ法及びフルアディティブ法を用いた製造方法も可能である。
【図面の簡単な説明】
【0060】
【図1】本発明の実施形態にかかる実装構造体の平面図である。
【図2】本発明の実施形態にかかる実装構造体の断面図である。
【図3】図2に示す実装構造体のX1部分の拡大図である。
【図4】図4A、図4B及び図4Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図5】図5A、図5B及び図5Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図6】図6Aは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図であり、図6Bは、図6Aに示す実装構造体の製造工程を説明するX2部分の拡大図である。
【図7】図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図8】図8Aは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図であり、図8Bは、図8Aに示す実装構造体の製造工程を説明するX3部分の拡大図である。
【図9】図9A、図9B及び図9Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図10】図10A、図10B及び図10Cは、図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【図11】図11A及び図11Bは図1に示す実装構造体の製造工程を説明する断面図である。
【符号の説明】
【0061】
1 実装構造体
2 配線基板
3 バンプ
4 電子部品
5a 第一硬化層
5ax 第一未硬化層
5b 第二硬化層
5c 接着層
6a 第一導電層
6b 第二導電層
6bx 露出部
7 基体
7a 積層体
8 突起
9 フィラー
10a 焼結導体
10ax 未焼結導体
10b ビア導体
11 金属層
H 穴部
V ビア孔
【特許請求の範囲】
【請求項1】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、
を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項2】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第一未硬化層は、前記未焼結導体が設けられる穴部を有しており、
前記穴部の開口幅が、前記導電層が当接される前記未焼結導体の露出面を有する前記第一未硬化層の一方主面から他方主面に向かって狭くなっていることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項3】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱する温度が、前記樹脂の硬化開始温度及び前記未焼結導体の焼結開始温度以上、前記樹脂及び前記樹脂の熱分解温度未満であることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項4】
請求項3に記載の配線基板の製造方法において、
前記未焼結導体が、前記樹脂及び前記樹脂の熱分解温度より低い融点を有する金属を含有し、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱する工程では、
前記金属を溶融させつつ前記未焼結導体を焼結させることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項5】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第二硬化層の表面には、突起が形成されており、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程では、
前記第一未硬化層に前記突起を埋入させることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項6】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第二硬化層にビア孔を形成し、該ビア孔内に前記導電層の少なくとも一部を露出させる工程と、
前記導電層の露出部にめっきを析出させて、ビア導体を形成する工程と、
を更に備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項7】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、
を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項8】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、
前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、
を備えたことを特徴とする実装構造体の製造方法。
【請求項9】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化して第二硬化層を形成し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、
前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、
を備えたことを特徴とする実装構造体の製造方法。
【請求項1】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、
を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項2】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第一未硬化層は、前記未焼結導体が設けられる穴部を有しており、
前記穴部の開口幅が、前記導電層が当接される前記未焼結導体の露出面を有する前記第一未硬化層の一方主面から他方主面に向かって狭くなっていることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項3】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱する温度が、前記樹脂の硬化開始温度及び前記未焼結導体の焼結開始温度以上、前記樹脂及び前記樹脂の熱分解温度未満であることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項4】
請求項3に記載の配線基板の製造方法において、
前記未焼結導体が、前記樹脂及び前記樹脂の熱分解温度より低い融点を有する金属を含有し、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱する工程では、
前記金属を溶融させつつ前記未焼結導体を焼結させることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項5】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第二硬化層の表面には、突起が形成されており、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程では、
前記第一未硬化層に前記突起を埋入させることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項6】
請求項1に記載の配線基板の製造方法において、
前記第二硬化層にビア孔を形成し、該ビア孔内に前記導電層の少なくとも一部を露出させる工程と、
前記導電層の露出部にめっきを析出させて、ビア導体を形成する工程と、
を更に備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項7】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結する工程と、
を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項8】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
表面に導電層が形成された、樹脂を含む第二硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、
前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、
を備えたことを特徴とする実装構造体の製造方法。
【請求項9】
少なくとも一部を露出させた未焼結導体が設けられた、樹脂を含む第一未硬化層を準備する工程と、
導電層が形成された、樹脂を含む第二未硬化層を、前記導電層が前記未焼結導体に当接されるように、前記第一未硬化層上に配置する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を厚み方向に圧縮する工程と、
前記第一未硬化層及び前記第二未硬化層を加熱することにより、前記第一未硬化層を硬化し、前記第二未硬化層を硬化して第二硬化層を形成し、前記未焼結導体を焼結して焼結導体を形成する工程と、
前記第二硬化層上に電子部品を実装し、該電子部品と前記焼結導体とを電気的に接続させる工程と、
を備えたことを特徴とする実装構造体の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2010−10481(P2010−10481A)
【公開日】平成22年1月14日(2010.1.14)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−169282(P2008−169282)
【出願日】平成20年6月27日(2008.6.27)
【出願人】(000006633)京セラ株式会社 (13,660)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年1月14日(2010.1.14)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年6月27日(2008.6.27)
【出願人】(000006633)京セラ株式会社 (13,660)
【Fターム(参考)】
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