【課題】ゲルマニウム層が露出した基板表面を洗浄でき、かつゲルマニウム層の膜減り抑制と優れた洗浄効率とを両立できる基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】ゲルマニウム層が露出した基板表面に洗浄液を供給する基板洗浄方法であって、洗浄液として、アルカリ物質の添加によってｐＨが７より大きい値に調整されたオゾン水を用いる。基板処理装置は、ゲルマニウム層が露出した表面を有する基板Ｗを保持するスピンチャック１２と、スピンチャック１２に保持された基板Ｗの表面に、アルカリ物質の添加によってｐＨが７より大きい値に調整されたオゾン水からなる洗浄液を供給する洗浄液供給機構２０とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で、高アスペクト比の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極を得るための技術を提供する。
【解決手段】第１活物質材料を線状に吐出する第１ノズルを集電体に対して相対移動させて、集電体上に複数本の第１線状部を形成する第１塗布工程と、第１線状部を乾燥させる第１乾燥工程と、第２活物質材料を線状に吐出する第２ノズルを集電体に対して相対移動させて、集電体上における第１線状部の間に、第２線状部を形成する第２塗布工程と、第１線状部及び第２線状部を乾燥させる第２乾燥工程と、を含み、関係式（１）：Ｈ_１＜Ｈ_２（式中、Ｈ_１は第１線状部の高さであり、Ｈ_２は第２線状部の高さ）を満たす電池用電極の製造方法。 （もっと読む）

【課題】無機微粒子の分散状態を長期間にわたり維持可能な分散剤が含まれた塗布液を用いることなく、所望の光沢を有する印刷物を一般的な印刷用紙を使用して長期間にわたり安定して印刷する。
【解決手段】インクジェット装置は、光反射性を有する無機微粒子が分散された分散液を貯留する第１貯留部と、バインダー水溶液を貯留する第２貯留部と、分散液とバインダー水溶液とを混合して塗布液を得る混合部と、分散液とバインダー水溶液とを混合部にそれぞれ供給する供給部と、塗布液を基材に塗布する塗布部と、塗布液が塗布された基材にインクを吐出するインクジェットヘッドとを備え、混合部における塗布液の調製後、塗布液中における無機微粒子の凝集時間に応じて定まる予め設定された時間内に、塗布部が塗布液を基材に塗布する。 （もっと読む）

【課題】 往復移動するノズルに対して可撓性の塗布液供給管により塗布液貯留部から塗布液を送液した場合においても、塗布液の流量を一定に維持して塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 圧力変動吸収機構７０は、圧力吸収部７１と流量抵抗部７２とを備える。圧力吸収部７１は、塗布液供給管６４から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させるものであり、肉薄の樹脂製の軟質チューブ７３から構成される。また、流量抵抗部７２は、塗布液供給管６４や軟質チューブ７３よりも内径が小さい、すなわち、より小さなオリフィスを有する肉厚の樹脂製の硬質チューブ７４から構成される。 （もっと読む）

【課題】電磁波パルスを利用して取得される試料の情報の画像化を、効率良く行う技術を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置１００は、照射部１２を試料Ｗに対して相対的に移動させる移動機構１５と、検出部１３に入射するプローブ光ＬＰ１２の光路長が互いに相違する第１の測定用光路長、第２の測定用光路長および第３の測定用光路長のそれぞれに設定されるように遅延部１４を制御する制御部１７を備えている。また、テラヘルツ波測定装置１００は、検出部１３にて検出された電界強度を、ＲＧＢの階調特性を示す階調データに変換するデータ変換部２５と、検出部１３にて検出される電界強度に関する情報が前記階調データに応じた色調で表現された画像を生成する画像生成部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】版胴上における位置決め部材への刷版の当接を精度よく検出する。
【解決手段】刷版検出装置１０は、回転軸を中心とする版胴３の外側面３０上において、回転軸に平行な方向に互いに離間して設けられる一対の位置決め部材３３、刷版９の一辺のエッジ９１が一対の位置決め部材３３の双方に当接する際に、エッジ９１により押されることにより、一対の位置決め部材３３に当接する一対の導通部材５３、および、一対の導通部材５３が一対の位置決め部材３３に当接することにより電気的に閉じられる回路に設けられる検出部を備える。これにより、版胴３上における双方の位置決め部材３３への刷版９の当接を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で、高アスペクト比の固体電解質層を確実に形成することができ、大容量化及び高速充放電に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極を得るための技術を提供。
【解決手段】活物質材料を線状に吐出する第１ノズルを集電体に対して相対移動させて、集電体上に複数本の線状活物質部を形成する線状活物質部形成工程と、第１電解質材料を線状に吐出する第２ノズルを集電体に対して相対移動させて、複数本の線状活物質部上のそれぞれに線状電解質部を形成して線状活物質・電解質部を形成する第１電解質層塗布工程と、線状電解質部に光を照射して硬化させる光硬化工程と、線状活物質・電解質部全体と、集電体上における線状活物質・電解質部の間と、に、第２電解質材料を塗布して第２電解質層を形成する第２電解質層塗布工程と、を含む全固体電池の製造方法。 （もっと読む）

【課題】効率良く安価に電磁波パルスの測定精度を向上する技術を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置１００は、テラヘルツ波を試料Ｗに照射する照射部１２と、試料Ｗを透過したテラヘルツ波の電界強度を検出する検出部１３と、レーザ光源１１から検出部１３までの光路長を段階的に変更することによって、検出部が前記電磁波パルスの電界強度を検出するタイミングを段階的に変更する遅延部１４と、光路長を変更する変更範囲を設定する変更範囲設定部２３とを備えている。変更範囲設定部２３は、遅延部１４が、光路長を第１の変更範囲で段階的に変更した場合に、前記試料を透過または反射した前記電磁波パルスが前記検出部で検出されるときの前記光路長を含む前記光路長の範囲を、第２の変更範囲に設定する、前記遅延部１４は、光路長を変更範囲Ｒ２で段階的に変更する際に、光路長を変更範囲Ｒ１で段階的に変更する場合よりも細かく変更する。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、異形基板に効率よくパターン形成を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】マニホールド空間となる窪部５５２およびこれに連通する複数の溝部５５３を有するハウジング本体５５ａと、例えばシリコーンゴム製の弾性部材５５ｂと、一部の溝部５５３に対応する位置に貫通孔５５５が設けられたカバー部材５５ｃとを重ね合わせて吐出ノズル５５が構成される。貫通孔５５５に臨む弾性部材５５ｂを押圧して弾性変形させ、溝部５５３と弾性部材５５ｂとで囲まれた塗布液流路の断面積を変化させることで、塗布液の吐出・停止を制御する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）