【課題】低温の原料ガスが原因となる膜質低下の問題を抑えることができるＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】チャンバと、チャンバ内に設けられ、基板が載置されるとともに、載置された基板の温度を上昇させる基板ヒータ部を有するアノード電極と、アノード電極に対向する位置に配置され、チャンバ内に原料ガスを供給するガス供給口が形成されたカソード電極を有するカソードユニットと、を備え、カソードユニットには、アノード電極側に流路制御板が設けられており、この流路制御板は、ガス供給口から吐出された原料ガスのアノード電極側への流れを抑える遮蔽部と、カソード電極側とアノード電極側とに連通して開口するガス流通孔とを有する。 （もっと読む）

【課題】駆動モーターの回転不安定による吐出乱れを抑えることにより、塗布状態を安定させるピストンポンプ及びそれを備える塗布装置を提供する。
【解決手段】ポンプ駆動部に駆動モーター直結の減速機とは別に、減速比を選択可能な減速機構を設け、各種塗布条件によりポンプの吐出速度を変更する場合、減速比を変えることにより駆動モーターの回転数を定格回転数またはその近傍に維持し、駆動モーターの回転を安定させることにより、駆動モーター回転起因の吐出乱れを抑制する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ化学プラント中に発生する気液混合体のプラグフローは、収率の低下につながるので、気液分離が必要である。しかし、従来の知られている分岐管の内壁の濡性を変えたり、気液分離タンクを用いる方法では、気体のプラグフローを精度よく分離し排出することはできなかった。また、導電性の液体ばかりでなく、非導電性の液体でも気液分離が必要であった。
【解決手段】流路中の気体の存在を電気抵抗、静電容量（誘電率）の測定からいずれか１つでも変化した場合は気体が流れていると判断し、分岐路に配置された排気バルブを開く。 （もっと読む）

【課題】常温または低温下で高粘度の液体を吐出させることが可能で、さらに分解・洗浄が容易な微小液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出口が形成されているノズルプレート１１と、一方を前記吐出口と液密に連結され、他方が開口端となる貫通孔を有し、外部から前記貫通孔に向かって液供給路が形成されているボディー部１３と、前記開口端上に覆設されたダイヤフラム１６と、前記ダイヤフラムの開口端側に前記吐出口に向かって連結されたポペット１７と、前記開口端側の前記ポペットの反対側から前記ダイヤフラムに連結された駆動シャフト１９と、前記ボディー部との間で前記ダイヤフラムを狭持すると共に、前記駆動シャフトを保持する駆動クランプを１８有する微小液滴吐出装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少量の液漏れであっても正確に検知でき、かつ設置スペースに制限があるマイクロ化学プラントに設置できる光学的液漏れ検知装置を提供することを目的とする。
【解決手段】前記シリンジポンプに固定されるホルダー手段と、前記ホルダー手段に連結され、前記シリンジポンプの開口端より重力下方に配置される傾斜面と、前記傾斜面の周囲に設けられた縁壁と、前記傾斜面と縁壁で形成された重力最下部に配置された投光器および受光器と、前記投光器にレーザ光を送るレーザ光源と、前記受光器の光量変化を検知する測定器を備える液漏れ検知装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】気泡の発生を防止するとともに、仮に供給される塗布液に気泡が混入した場合でも、気泡が混入した状態の塗布液が排出されるのを防止することができる気泡除去装置及びこの気泡除去装置を備える基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板上に塗布液を塗布する塗布部に塗布液タンクから供給された塗布液の気泡を除去する気泡除去装置であって、容器部２１に、前記容器部の底面部４４側とその反対側の上面部４３側とに仕切る仕切り板２５が傾斜させた状態で設けられ、この仕切り板の最下位置に位置する最下位置端部５１には、仕切り板の厚さ方向に貫通する液流通孔２５ｂの少なくとも一部が形成されており、この液流通孔を通じて、前記吐出口４５ａから吐出された塗布液を最下位置端部に対向する側壁４５ｂに伝わせて落下させる。 （もっと読む）

【課題】 透明基板内部にマーキングされた識別コードの読み取り装置において、前記基板を載置するテーブルの表面が凹凸形状をしていたり、前記基板そのものの裏面が凹凸形状をしたりしている場合、所望の識別コードだけでなく背景形状も観察してしまい、識別コードを正しく認識することが困難で、照明の形態や波長を選定したり、照明を当てる角度を工夫したりする必要があった。
【解決手段】 透明基板内部にマーキングされた識別コードの読み取り装置及び方法において、観察手段と、前記観察手段の観察視野よりも外側に配置された照明手段とを備え、前記照明手段から照射されて、前記透明基板内面で複数回反射されて、前記識別コードを通過又は前記識別コードに反射して、前記基板外部に放出された光を、前記観察手段に結像させる結像手段とを備えていることを特徴とする、識別コードの読み取り装置装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】 伸縮性を備えたニット素材などのウエブを連続して供給するために、旧ウエブと新ウエブのそれぞれの端部を繋ぎ合わせるバットスプライス装置およびバットスプライス方法を提供すること。
【解決手段】 切断作業台に備えられたウエブの押さえ具が、新ウエブをウエブロールから切断作業台の上まで引きだし、切断作業台の面上のウエブを伸びや縮みの無い状態にした後、新ウエブを切断作業台に押さえつける新ウエブ押さえ具と、旧ウエブの走行を停止し、旧ウエブを伸びや縮みの無い状態にした後、旧ウエブと新ウエブとを切断作業台に押さえつける旧ウエブ押さえ具と、から構成されていることを特徴とするバットスプライス装置およびバットスプライス方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 連続しておこなわれる包装体の内部の測定対象ガスの特定ガス濃度測定に対し、操作の単純化を図る。
【解決手段】 本発明によれば、包装体内部の測定対象ガスを採取するプローブと測定対象ガスの特定ガス濃度を測定する本体とから構成される特定ガス濃度計において、プローブの機構をあるいは、本体の測定部に設けた圧力や流量の変動を特定ガス濃度測定開始信号として、操作するにおいて、測定開始スイッチを操作することなく、プローブ先端の中空針が包装体内部に刺通されたと同時に測定を開始することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置上にマーキングされた識別コードは、視認性を向上させるためにドット部を重ね塗りすると、ドット部の高さと底面積の比（いわゆるアスペクト比）が高くなるにつれて、外部から力が加わった時に識別コードの一部にドット欠けや脱落や倒れが起きる可能性が高くなる。
【解決手段】 半導体装置に識別コードをマーキングする装置及び方法であって、識別コードの凹凸部の高低差を埋めるように、識別コードの上から溝埋め材を塗布する、或いは前記識別コードを積層させて形成することを特徴とする、識別コードのマーキング装置及び方法。さらに、前記識別コードがマーキングされた半導体装置。 （もっと読む）