【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット７が内部に形成されている口金３において、従来では振動波（振動波に基づくキャビテーション）の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに口金先端９を浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット７を通じて口金内部に気体を、スリット７の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端９を洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。 （もっと読む）

【課題】各チャンバーの処理速度が異なる場合であっても、基材の片面に接触することなく処理中基材を一時的に保持することにより品質の安定した処理済基材を得ることができる基板表面処理装置を提供する。
【解決手段】基材送出リールから送出された基材の処理面に各処理を行って処理後の基材を下流側の基材巻取リールに巻き取る基材表面処理装置であって、基材の処理面に処理を行う処理チャンバーと、処理後の基材を一時的に滞留させるバッファチャンバーと、を備えており、バッファチャンバーは、固定ローラと、この固定ローラに対して接離可能に移動する余長調整ローラとを有しており、固定ローラ及び余長調整ローラは、基材の進行方向に対して傾斜して配置されており、固定ローラのローラ面と余長調整ローラのローラ面とに基材の処理面の裏面を接触させつつ、余長調整ローラを移動させることにより基材の長さに応じて基材を滞留させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】同等の特性を有している複数のセルによって一つの太陽電池モジュールを、従来よりも簡単に作製する。
【解決手段】複数の細長い太陽電池用のセル７を、その長辺側の縁部７ａ，７ａ同士が重なるようにして、一方向に並べて構成した太陽電池モジュールＭを製造する方法及び製造システムである。光電変換を行う発電層１８が表面に形成されている帯状部材３を巻くリール１２から、当該帯状部材３を繰り出し、前記帯状部材３を次々と所定長さに切断してセル７を作製し、切断した順にセル７を送り出す。前記一方向に向かって複数のセル７が並ぶように、送り込まれた順にセル７を前記一方向に向かって並べると共に、並べる際にセル７の縁部７ａ，７ａ同士を重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池セルへの水分侵入を確実に防止し、それと同時に、発電効率も上昇させる太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】基板と、この基板上に、裏面電極と、光を受光して発電する発電層と、光を透過させる透明電極とがこの順に積層されて形成される太陽電池素子と、前記太陽電池素子を保護する保護層と、前記保護層と前記基板との間に充填される樹脂製の封止層と、を有し、前記保護層側から光を取り入れる太陽電池モジュールであって、前記太陽電池素子は、薄膜を複数層積層させて形成されるバリア膜で覆われており、前記バリア膜は、その上層が下層を覆って形成され、各層の外周端部は前記基板に接する部分を有しており、このバリア膜の上から前記封止層及び前記保護層で覆われている構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板が薄く大型化しても静電気により基板が割れるのを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する石材製のステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を有しており、前記ステージの基板が載置される載置面には、載置された基板を前記載置面に吸着させる吸着溝が形成されており、この吸着溝にはアース接続された導電材が埋設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の塗布膜に乾燥ムラが生じるのを抑えて基板を搬送することができ、また、装置の製造上及び組付上の誤差が大きい場合でもパーティクルの発生を抑えることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ステージの表面から浮上させた基板を基板ガイドでガイドしつつ搬送する基板搬送装置であって、基板ガイドは、基板の側面に当接することで基板を拘束するとともに、ステージの表面と垂直な方向に変位可能な基板ガイド本体と、基板ガイド本体をステージの表面から浮上させる浮上ユニットと、基板ガイド本体をステージの表面側に付勢させる付勢手段と、を備えており、基板ガイド本体は基板の側面に当接する基板当接部を有しており、この基板当接部の高さ位置が、浮上ユニットと付勢手段により、ステージの表面から浮上する基板の高さ位置に維持される構成とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に乾燥ムラを生じさせずに基板を加熱しながら搬送することができる浮上搬送加熱装置を提供する。
【解決手段】基板を超音波振動浮上させる振動板部２と、前記振動板部を加熱するヒータ部３と、前記振動板部に超音波振動を与える超音波発生部４と、基板の端部を支持して基板の浮上方向と垂直な方向に基板を搬送する搬送部５と、を備える浮上搬送加熱装置であって、ヒータ部３は、振動板部２の基板を浮上させる面の裏面側に振動板部２と所定間隔を設けて配置され、基板の搬送方向と直交する方向の振動板部２の寸法は同方向の基板Ｗの寸法よりも大きく、ヒータ部３により振動板部２が加熱されることにより、浮上搬送中の基板Ｗ全面が振動板部２によって加熱される。 （もっと読む）

【課題】粘着シートに貼られた半導体チップにダメージを与えず、確実に粘着シートから取り外すことができ、多品種に対応できるピックアップ装置を提供する。
【解決手段】粘着シート１５に貼られた半導体チップ１０のピックアップ装置において、半導体チップを支持する筐体２とピックアップされる半導体チップを押し上げる爪部４とを備え、筐体にはサポート面と開口部２２が備えられ、爪部は半導体チップを押し上げる爪先端部４１と爪本体屈曲部４２と爪上側他端部とを有し、爪本体屈曲部には、支持ピン３５を通す孔部が備えられており、筐体内部には筐体内スライダ部３と上限ストッパ部５とが備えられ、筐体内スライダ部をスライドさせることにより、支持ピンが上昇して爪先端部が上昇するとともに、爪上側他端部が上限ストッパ部と当接することで爪先端部が半導体チップ内側へ向かって閉じる機構を備えていることを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。 （もっと読む）

【課題】マイクロリアクタのマイクロ流路は、被反応流体の高粘性化または顆粒や結晶の析出を伴う反応用途に用いた場合に、流路が閉塞することがある。また、低温でのマイクロ反応でも安定した閉塞防止ができる低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置およびそれを用いた方法が望まれる。
【解決手段】被反応流体の混合または／反応を進行させるため、混合部と流路形成体からなる広域のマイクロ流路の閉塞防止のため、超音波振動を付与する超音波振動付与手段を備えることが効果的である。また、超音波振動付与手段が発熱を発するため冷却を要するが、低温での混合または／反応を安定しておこなうために、低温のため超音波振動付与手段の冷却媒体の温度が露点以下となっても結露しないように冷却用ガス循環部内に除湿機能を備える。 （もっと読む）

【課題】被対象流体が合流した後、マイクロリアクタの入口ポートを通じて合流室へ流入するため、混合滞留時間の制御性が不十分な面があった。また、コンパクトで製作が容易な構成が望まれる。
【解決手段】 混合および／または反応の対象となる複数種類の被対象流体を導入するための入口ポートと、入口ポートに連通し被対象流体を混合および／または反応させるためのマイクロ流路と、マイクロ流路に連通し混合および／または反応済みの被対象流体を取り出すための出口ポートとを備え、第１マイクロ流路と第２マイクロ流路とを交互に形成するように構成されたマイクロリアクタの前記入口ポートと前記流路形成体上部の合流室を接続することにより、滞留時間の制御性を向上させ、また、被対象流体の逆流防止を図った構成のマイクロリアクタを提供する。 （もっと読む）