【課題】より確実に低侵襲で歯科治療が可能な歯科用治療装置を提供する。
【解決手段】歯科用治療装置１０Ａは、５．７μｍ〜６．６μｍの波長域の波長を有するレーザ光Ｌを出力するレーザ光源１１と、レーザ光源をパルス駆動すると共に、レーザ光源から出力されるパルス状のレーザ光のパルス幅及び繰り返し周波数の少なくとも一方を制御する制御部１２と、レーザ光源から出力された光を、う蝕部位２１を含む歯２０に照射するための照射光学系１３と、を備える。この歯科用治療装置では、制御部が前記パルス光のパルス幅及び前記繰り返し周波数の少なくとも一方を制御することによって、う蝕部位２１を選択的に切削する。 （もっと読む）

【課題】 集積回路の検査精度を向上させることができる集積回路検査装置を提供する。
【解決手段】 集積回路検査装置１は、半導体基板２１、及び半導体基板２１の表面２１ａ側に形成された回路部２２を有する集積回路２０を検査するための装置である。集積回路検査装置１は、集積回路２０に照射される光Ｌを発生する光発生部３と、集積回路２０に照射される光Ｌの波長幅を調整する波長幅調整部５，１４と、集積回路２０に照射される光Ｌの照射位置を調整する照射位置調整部８と、光発生部３からの光Ｌが半導体基板２１の裏面２１ｂを介して回路部２２に照射されたときに、集積回路２０からの光Ｌを検出する光検出部１２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】分光装置における光学部材の位置調整を容易化する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列された分光部５と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対向して設けられた複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋを有する波長選択部２５と、光電面７、複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍ及び複数のアノード１４を有する光電子増倍管２と、波長選択部２５を筐体内で保持する保持部５０とを備え、保持部５０は、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋが一方向に配列された本体部５１と、本体部５１から互いに対向するように突出する一対の壁部５２，５２と、を含み、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの配列方向に沿って一対の壁部５２，５２の間に配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】基板面に対して大きく傾斜した（或いは垂直に近い）半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品１２を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域１１をエッチングして凹部を形成する第１のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜１４を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜１４を覆う窒化シリコン膜１６を形成する窒化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】半導体試料のグラウンドと電気特性測定手段のグラウンドとの間の電位差に揺らぎが生じる場合でも、当該電位差の揺らぎに起因するノイズの発生を確実に抑制することが可能な半導体試料の検査装置を提供すること。
【解決手段】半導体試料の検査装置ＩＥ１は、半導体試料Ｓに定電圧を印加する定電圧源９と、半導体試料Ｓの電気特性を測定する電気特性測定部１１と、電気特性測定部１１に入力される信号に、外部電源装置４１に接続される半導体試料Ｓのグラウンド（サンプルグラウンドＧ１）と定電圧源９のグラウンド（検出回路グラウンドＧ２）との電位差を逆相にして加算する逆相加算部３３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 面取りされた角部を有する有効部を板状の加工対象物から精度良く切り出すことを可能にするレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】 板状の加工対象物１から、面取りされた角部１９を有する有効部１８を切り出すためのレーザ加工方法である。角部１９に至る有効部１８の一方の側面１８ａに沿いかつ角部１９を通るように延在する切断予定ライン５１に沿って、レーザ光Ｌの集光点Ｐを相対的に移動させることにより、切断予定ライン５１に沿って加工対象物１の内部に改質領域を形成する。その後に、角部１９の面取り面１９ａに沿うように延在する切断予定ライン５３に沿って、レーザ光Ｌの集光点Ｐを相対的に移動させることにより、切断予定ライン５３に沿って加工対象物１の内部に改質領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】試料の所望の位置を観察することが可能な固浸レンズを用いた試料観察方法、及び固浸レンズを保持するレンズホルダを提供する。
【解決手段】保持部材６の凹部７内に配置された試料Ｓを観察する試料観察方法であって、凹部７内に光学部材３０を挿入して、光学部材３０の接触面３２を保持部材６の開口面９から突出させた状態で試料Ｓの上に光学部材３０を載置する工程と、光学部材３０の接触面３２の上に、固浸レンズ２０のレンズ下面２２を押し当てる工程と、固浸レンズ２０を光学部材３０の接触面３２に沿って移動させる工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で安定したパルスＸ線を発生させることができるＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置１は、Ｘ線源１０、照射部２０、結像部３０、検出部４０、真空容器５０および制御部６０を備える。Ｘ線源１０は、Ｘ線を連続的に出力する。照射部２０は、入力端２１および出力端２２を有し、Ｘ線が或る特定の方位に沿って入力端２１に到達すると、そのＸ線を出力端２２から試料９０へ出力することができる。結像部３０は、試料９０で発生した二次Ｘ線の像を検出部４０の受光面上に結像する。検出部４０は、照射部２０の出力端２２から出力されたＸ線が試料９０に照射されたときに試料９０で発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線または散乱Ｘ線）を入力して、この二次Ｘ線の入力に応じて電荷を発生して蓄積し、その蓄積した電荷を読み出す。 （もっと読む）