【課題】安全性（感電防止機構）を備えつつ操作性が考慮された高電圧印加試料ホルダーを装着可能な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を装填する試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が、電子顕微鏡の鏡筒を支持する架台上に設置されたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】複数の温調ブロックを外周上に保持する保持具ベースと、その保持具ベースを温調する温度制御装置としての二次冷却機構を設けた核酸増幅装置において、温度制御安定性に優れ、より小型で消費電力や排熱量の低減された二次冷却機構を搭載した核酸増幅装置及びそれを用いた核酸検査装置を提供する。
【解決手段】検体と試薬を混合した反応液の核酸を増幅させる核酸増幅装置において、保持具ベース４に設けた少なくとも１つの反応容器１０５を保持する複数の温調ブロック１０において、保持具ベース４内の温度斑を最小限に収めるため、連続的に反応容器１０５を架設するおよび温調を開始する温調ブロック１０の順番やタイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】検出面積の拡大のために大きく、また温調効率および検出精度向上のために薄く製作したフローセルの反りを補正し、破損させることなく平面度を高く保つための、フローセル，温調機構，固定機構，反り防止機構を備えた安価な核酸分析用反応デバイスを提供する。フローセルを構成する基板をそれぞれ薄く、また大きくすると、フローセル単体で高い平面度を出すことが難しく、製作段階でフローセルが反ってしまい、温調機構との密着性が失われて温調効率が低下する他、検出ユニットによる検出精度が低下する。
【解決手段】本発明のシステムは、まず温調機構上にフローセルを位置精度良く固定する機構として、フローセルの側面を押さえる機構を備え、カバー機構で上から押さえつけてフローセルを高い平面度を持った温調に沿わせることで、反りを矯正する。それらの機構に最適な、一方の基板がもう一方の基板よりも小さい構成のフローセル形状を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料ダメージ及びコンタミネーションを増加させることなく、加速電圧の使用範囲が比較的大きい電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡は、電子銃からの電子線を試料に照射する電子線光学系と、試料からの電子を検出する電子検出器とを有する。電子検出器は、セラミックシンチレータと、該セラミックシンチレータからの光を電流に変換する光電変換素子とを有し、前記セラミックシンチレータは、蛍光体を焼結して形成したセラミック蛍光体を含み、該セラミック蛍光体の厚さは、２００〜３００μｍである。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダミー材料の除去により形成される溝や孔に容易にトップラウンドを設けることができるドライエッチング方法を提供する。
【解決手段】本発明は、層間酸化膜に周囲を囲まれたダミー材料を除去することにより溝または孔を形成するドライエッチング方法において、前記ダミー材料を所定の深さまでエッチングし、前記エッチング後に等方性エッチングを行い、等方性エッチング後に前記ダミー材料の残りを除去することを特徴とするドライエッチング方法である。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

【課題】試薬情報が読取れなかった場合、試薬容器が設置されていないため読取れないのか、試薬容器が設置されているにも拘らず読取れないのかを、より構成が簡単な機構で実現する。
【解決手段】試薬吸引位置で試薬分注機構に備わる分注ノズル２３が上下移動する自動分析装置にあって、上下移動で分注ノズル２３の先端が試薬保管庫内の試薬容器２２への接触を検知するノズル先端接触検知機構を備え、ノズル先端接触検知機構による試薬容器の接触検知と接触未検知により前記試薬保管庫内での試薬容器２２の有無を検知することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第１の差動排気用絞りと、該第１の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第２の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第１の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第２の真空ポンプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 電子線の遮断による像情報の欠落の問題を低減し、かつ電位分布が異方的となる問題を改善した、電子顕微鏡に用いる位相板を提供する。
【解決手段】 一つにつながった開口部２３を持ち、開口部に、開口部の外郭部から開口部中心へ向かう複数の電極１１を配置する。それぞれの電極１１の断面は、導体もしくは半導体でなる電圧印加層２４を、絶縁層２５を介して導体もしくは半導体からなるシールド層２６で覆った構造とする。これにより、電極１１による電子線遮断を低減し、さらに電位分布が異方的となる問題を改善する事が可能な位相板を構成する。 （もっと読む）