【課題】プローブ間の離間距離を連続的に調節し、各プローブを試料に押当てる力の再現性を高めて導電率を精度良く測定可能な導電率測定装置を提供する。
【解決手段】試料支持面２ａ上に試料Ｓ１が固定される試料台２と、試料支持面に平行な面に沿って隣接配置される観察用プローブ３及び把持用プローブ４を有する２端子ピンセット１５と、試料台と２端子ピンセットとを試料支持面に平行な方向及び垂直な方向に移動させる移動手段と、観察用プローブを振動させる加振手段１０と、観察用プローブの変位を測定する変位測定手段と、観察用プローブに対して把持用プローブを接近又は離間する方向へ移動させてプローブ間の距離を調節するプローブ駆動手段１２と、２端子ピンセットをそれぞれ試料に接触させ、この状態で２端子ピンセット間に電流を流しそのときの２端子ピンセット間の電気的特性から試料上の２点間の導電率を測定する第１の測定手段３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電子ビーム照射で変質しやすい試料を、操作性やスループットを損なわずに正確にイオンビームエッチング加工する手段を提供する。
【解決手段】 イオンビーム鏡筒１と電子ビーム鏡筒２を有し、イオンビームによるエッチング加工中の試料の状態を電子ビームによる観察あるいは計測可能な装置において、第一に加工部分全体を含む電子ビームによる二次信号による観察像を取得し、第二に前記観察像の中で照射可能領域７と照射禁止領域８を設定し、第三に前記照射可能領域７のみに電子ビーム照射を制限する。 （もっと読む）

【課題】 円筒型圧電アクチュエータの駆動を行う場合に、周囲に配置される部品や配線材と円筒型圧電素子の間でのノイズの混入を抑制し、装置の誤動作の防止と測定精度の向上をはかるとともに、円筒型圧電素子の周囲を取り巻く部品や配線材のショートや、真空中での放電を抑え、装置の破損を防止して信頼性や耐久性を向上させることが可能な円筒型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 円筒形に形成され、少なくとも内周面と外周面にそれぞれ電極が設けられた円筒型圧電素子1と、前記円筒型圧電素子を駆動する駆動電源(8,9,10)とを備える円筒型圧電アクチュエータにおいて、該円筒の前記外周面のほぼ全体を覆うように、単一の帯状電極7を設け、該電極7をグランド電位に接続した上で前記内周面上の電極(3,4,5,6)を前記駆動電源に接続し駆動電圧を印加するようにした。 （もっと読む）

【課題】 オーバーハングがなく、下地へのダメージの少ないEUVLマスクの黒欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】 集束イオンビーム6の物理スパッタエッチングで黒欠陥領域5のうち正常パターン3と接する部分をスロープ加工し、スロープ加工で残った黒欠陥3をフッ化キセノンのガスアシストエッチングで除去する。あるいは集束イオンビームの物理スパッタエッチングで黒欠陥領域のうち正常パターンと接する部分に対して溝堀加工を行い、溝堀加工で残った黒欠陥をガスアシストエッチングで除去する。 （もっと読む）

【課題】例えばゴミの除去等の目的に応じてワークの先端形状を自由に変換することができ、加えて、ワークが汚染された場合であっても容易に対処できる。
オペレータの技量に左右されず、例え初心者のオペレータが操作する場合であっても、欠陥を認識することができる。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡に組みつけられ、観察または加工対象となる試料に対向配置された探針をそれぞれ先端に有する２つのプローブからなるピンセット１２、ピンセットによって、複数種あるうちの一つが択一的に把持される当該複数種の交換用ワークとを備える。交換用ワークとしては、観察用探針ワーク、コンタクトホール用ワーク、隅移動用ワーク、切削用ワーク、へら形状ワークがある。 （もっと読む）

【課題】 自己検知型カンチレバーを用いて測定する場合に、走査型プローブ顕微鏡本体側の電気部品の劣化を防止し耐久性が向上すると共にカンチレバーの交換が容易な走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーモジュールを提供する。
【解決手段】 先端に探針２０ａを有し自己の変位を検出する変位検出手段を備えると共に該変位検出手段の検出用電極端子２５ａを備えたカンチレバー２０と、カンチレバーを先端部４０ａに保持し延長部４０ｃを介して後端部４０ｂに外部接続用端子４０ｄを有するカンチレバー保持部４０ｘと、検出用電極端子と外部接続用端子とを電気的に接続する接続構造４０ｙとを備えるカンチレバーモジュール４０である。 （もっと読む）

【課題】 外部磁場がＴＥＳに与える影響を大幅に抑制することが可能なＸ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線を受けてそのエネルギーを温度変化として検出し電流信号として出力するＴＥＳ７と、ＴＥＳ７を内部に配置すると共に超伝導状態となる超伝導磁気シールド８と、超伝導磁気シールド８を被包すると共に該超伝導磁気シールド８が超伝導状態になるまで外部磁場を遮蔽する室温磁気シールド９と、を備え、超伝導磁気シールド８と室温磁気シールド９とが、互いに同心円状に配置された円筒状である。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバー加振手段の劣化を防止すると共に、カンチレバーホルダ全体の振動を低減して測定精度を向上させた走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ、及び走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡用ホルダ１０は、先端に探針２ａを有するカンチレバー２と、カンチレバーを先端部４ａに保持し後端部にフランジ４ｂを有するカンチレバー保持部４と、カンチレバーを振動させるカンチレバー加振手段６と、ベース部８ａ、８ｂとを備え、ベース部に設けられた開口８ａｙ内にカンチレバー保持部が収容され、ベース部における試料２００側と反対面８２にフランジが表出し、フランジと反対面の間にカンチレバー加振手段が介装されてカンチレバー加振手段のみによってカンチレバー保持部が支持される。 （もっと読む）

【課題】 半導体集積回路等の微細な集積回路の修正等を行う際、配線を低抵抗で形成することができる集積回路の配線形成方法を提供する。
【解決手段】 集積回路２上の配線を必要とする部分２ｃｘを集束イオンビーム１０ａにより掘出す工程と、掘出し工程によって掘出された部分に対し、銀４０をコートした走査トンネル顕微鏡探針２１に電圧パルスを印加して該探針から銀原子を移動させる走査トンネル顕微鏡法により、銀配線４ｃを形成する工程とを有する集積回路の配線形成方法であって、配線を必要とする部分の線幅が１μｍ以下である場合は走査トンネル顕微鏡法を用い、線幅が１μｍを超える場合は、集積回路上の配線を必要とする部分に対し、非サーマル方式のインクジェット装置から銀粒子を含むインクを噴射した後に、レーザー又は加熱した走査プローブ顕微鏡の探針でインクを乾燥させるインクジェット法により銀配線を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭ装置で観察する試料において、試料凹部にある物質を凹部外へ除去することを課題とする。
【解決手段】 異物2が凹部3にある、試料9を、探針1を用いて形状観察する。この時の3次元形状データを元にして、探針1先端と、試料9間距離を、垂直方向には異物水平直径7以下、水平方向には異物直径8以下となるように制御したまま、探針1が異物2に側面から接触するようにする。このとき、探針1を振動させたまま、異物2と接触させることで異物2が探針1に付着することを防ぐ。そして、探針1先端により異物2を凹部3の外に移動させた後、凹部3外で探針1の振動が停止するほどに試料9に接触させることにより、異物2を接触させた場所へ脱落させる。この作業の繰り返すことにより、凹部3内にあった異物2を除去し、凹部3外へ移動させることができる。 （もっと読む）