説明

株式会社日立ハイテクサイエンスにより出願された特許

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【課題】液体に何ら影響を受けずに自己検知型プローブを利用して試料を液中観察すること。
【解決手段】探針30aが先端に形成されていると共に基端側が本体部30bに支持されたカンチレバー30と、該カンチレバーの変位量に応じて抵抗値が変化する歪抵抗素子と、歪抵抗素子に電気接続された配線部32と、を有する自己検知型プローブ2と、2枚の絶縁性シート21と両シートの間にパターニングされた配線パターン22とを有し、カンチレバーを外側に突出させた状態で本体部を支持すると共に、少なくとも一端側が液体外に引き出されるように長尺な帯状に形成されたフレキシブル基板20と、配線部と配線パターンとを接続する接続部材23と、配線部、接続部材及び該接続部材と配線パターンとの電気接続箇所を被覆する樹脂部24と、液体外に引き出されたフレキシブル基板の端部に形成された外部接点22aと、を備えている液中観察用センサ3を提供する。 (もっと読む)



【課題】 検出手段を支持する支持構造において、外乱に強く、大きな試料測定に対しても分解能の低下を抑えた剛性の高い、分析、検査及び計測に係わる装置構造の提供およびその構造を用いたプローブ顕微鏡の提供を目的とするものである。
【解決手段】 少なくても1軸方向に移動可能な手段に設置された分析対象となる試料に対して、相対する位置に設置される検出手段を支持する構造として門型円弧形状を有する形にした。また、前記検出手段の支持が該門型円弧形状を有する構造に直下に配置する試料ホルダの平面部に略垂直な面を形成し、該垂直面に検出手段を支持する配置構成にした。そして、前記門型円弧形状の曲線は、カテナリ−曲線(懸垂線)に順ずる曲線構造を形成するようにした。 (もっと読む)








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