流体供給容器を含むように構成され、流体供給容器に換気ガスが流され、容器から流体が漏れた場合の安全操作を提供する、筐体の換気ガス管理システムおよびプロセス。換気ガス流は、流体供給容器を含むそのような筐体、例えば、半導体製造施設においてはガスボックスまたはガスキャビネットの配置および操作に付随する種々の危険レベルに適応するように調整される。それによって、別の場合においてはそのような配置および操作に必要であった換気ガス要件の軽減を達成する。 （もっと読む）

圧力分配パッケージのための分配アセンブリは、独立しており、かつ別個のものである液体導管と抽出導管とを有するとともに、加圧気体導管を有するコネクタを含む。ライナ取り付け部アダプタには、液体抽出導管を画定するコネクタのプローブ部を受容するための長手方向の穴を含んでもよく、気体の除去を可能にする側方穴を含んでもよい。コネクタを分配アセンブリに挿入すると、（ａ）気体抽出導管と分配容積との間、（ｂ）液体抽出導管と分配容積との間、および（ｃ）加圧気体導管と圧力分配容器内の加圧されるべき空間との間に同時に流体連結が形成される。流体回路内の流体の存在または流動流体の相変化は、第１の感温体の出力と第２の感温体の出力を比較することによって検出してもよい。一方の検出素子は、気体に曝露しているが液体に曝露していない検出素子の温度を上昇させるためのヒータを含む。流体を分配するためのシステムおよび方法は、第１の圧力分配装置と、分配される流体の気体飽和への接近と相関する状態を検出するために配置された検出素子とを含み、そのような検出した状態に応答して、使用箇所に供給される圧力分配される流体の流れを組み合わせるために第２の圧力分配装置によって分配を開始する。
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マスキング材料、例えば、フォトレジストを除去するための方法、およびマスキング材料を除去することによって形成される電子デバイスが示される。例えば、マスキング材料を除去するための方法は、マスキング材料を、セリウムおよび少なくとも１つの追加的な酸化剤を含む溶液と接触させる工程を含む。セリウムは塩に含まれてもよい。塩は硝酸セリウムアンモニウムであってもよい。少なくとも１つの追加的な酸化剤は、マンガン、ルテニウムおよび／またはオスミウム含有化合物であってもよい。
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【課題】高純度の計量分配用気体を提供する。
【解決手段】気体貯蔵及び計量分配システム１０は、（ｉ）計量分配容器内に保持され、続いて選択的に容器１２から放出される可吸着計量分配用気体に、及び（ii）異質可吸着体に対する吸着親和性を有する物理的吸着剤１６を保持するための計量分配容器１２を有し、異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤は、そこから異質可吸着体の少なくとも一部を脱着させるように処理される。処理済み吸着剤１６は容器１２内に充填され、計量分配用気体の容器１２からの脱着及び放出による選択的計量分配が可能な高純度形態で、容器１２が計量分配気体を含有するに、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している容器１２が密封させるために、可吸着計量分配気体が容器１２に導入される。 （もっと読む）

例えば、Ｂ２Ｆ４またはその他のＢＦ３の代替物といったホウ素ソース材料を使用して、アークチャンバ熱生成によるドーパントガスの加熱および分解を抑制するために、ドーパントガス供給ラインにおいてドーパントガスの冷却を提供する、イオン注入システムシステムおよび方法。イオン注入システムの効率的な動作を達成するために、多様なアークチャンバ熱管理構成が、プラズマ特性の変形、特定の流れ構成、洗浄プロセス、電力管理、平衡シフト、抽出光学系の最適化、流路における堆積の検出およびソース寿命最適化と共に記載される。 （もっと読む）

【課題】流体を保存し、分配するために、制限なく、適切な結合を確保し、流体汚染の問題を回避する。
【解決手段】流体保存および分配パッケージの用途に有用に使用される事前接続検証結合部と、流体分配作業にて圧力で圧縮されるライナーを組み込んだ流体保存および分配パッケージに有用に使用される空き検出システムと、キャップ付き容器からの分配コネクタの取り外しを容易にする人間工学的に強化された構造と、容器キャップの誤使用を防止するキャップ保全性保証システムと、適切な分配アセンブリと容器との結合を確保するキーコードシステムとを含み、種々のデバイス、構造および装置、さらに技術および方法を含む、流体保存および分配システムおよびプロセス。ゼロまたは略ゼロヘッドスペースの性質を達成し、オーバーパック容器内のライナーから分配される液体の可溶化効果を防止または改善する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＦＥライナからの粒子数を削減する。
【解決手段】１枚以上のＰＴＦＥフィルムが、２０時間を超える時間、摂氏１５０度（℃）を超える温度に加熱され、次に、ＰＴＦＥフィルムが冷却される。ＰＴＦＥフィルムは、２００℃を超えて２５０℃未満の温度に、最も好ましくは約２２８℃の温度に加熱してもよい。ＰＴＦＥフィルムは、５０時間を超える間か、または最も好ましくは約１００時間、一定の温度に維持してもよい。ＰＴＦＥフィルムは、熱処理可能なＰＴＦＥフルオロポリマーフィルムであってもよく、また多数の熱影響部を有してもよい。熱影響部は、熱処理の前後に作られてもよい。一般に熱影響部は、通常は圧力下で２枚以上のＰＴＦＥフィルムを一緒に溶接することによって、もたらされる。被熱処理ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フルオロポリマーが熱処理されるべき「最適」温度および「最適」期間が決定される。 （もっと読む）

【課題】流体を保存し、分配するために、制限なく、適切な結合を確保し、流体汚染の問題を回避する。
【解決手段】流体保存および分配パッケージの用途に有用に使用される事前接続検証結合部と、流体分配作業にて圧力で圧縮されるライナーを組み込んだ流体保存および分配パッケージに有用に使用される空き検出システムと、キャップ付き容器からの分配コネクタの取り外しを容易にする人間工学的に強化された構造と、容器キャップの誤使用を防止するキャップ保全性保証システムと、適切な分配アセンブリと容器との結合を確保するキーコードシステムとを含み、種々のデバイス、構造および装置、さらに技術および方法を含む、流体保存および分配システムおよびプロセス。ゼロまたは略ゼロヘッドスペースの性質を達成し、オーバーパック容器内のライナーから分配される液体の可溶化効果を防止または改善する。 （もっと読む）

本開示は、特に少量の保管及び分配システムに適し得る、ブロー成形された、剛性で折り畳み可能なライナーに関する。剛性で折り畳み可能なライナーは、例えば、外容器無しで使用される、自立ライナーであってよく、固定された圧力分配缶から分配されてもよい。剛性で折り畳み可能なライナーにおける折り目は、実質的に排除され得るため、ピンホール、溶接割れ、及びオーバーフローに関連する問題が実質的に低減または排除される。本開示は、また、サイズを拡大縮小可能で、２００Ｌ以上の保管に使用可能な、襠付きまたは襠無しライナーに関する。フレキシブルな襠付きライナーは、当該ライナーが分配缶内に導入可能なように折り畳み可能である。ライナーは、厚い材料で作られて、ピンホールに関連する問題を実質的に低減または排除でき、また、より強固な溶接を含んで、溶接割れに関連する問題を実質的に低減または排除してもよい。
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【課題】保管、輸送および使用のためにコンパクトな構造を有するバッグインドラム流体容器と、かかるタイプの容器を利用する統合された流体供給システムを提供する。
【解決手段】液体の貯蔵および分配のためのバッグインドラム容器１０であって、内部容積を有する実質的に剛性のオーバーパックと、前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができる、可撓性フィルム材料からなる３次元の閉鎖ライナ１２とを備える容器。 （もっと読む）