【課題】良品としてのヘッド用チップの歩留まりを上げ、その絶対数を十分に確保するようにし、これによって製造コストの低減化を可能にした、インクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを貯留する圧力室２と、圧力室２に設けられてインクを吐出するためのノズルと、圧力室２の内圧を変化させ、ノズルから圧力室２内のインクを吐出させるためのアクチュエーター４と、を具備してなるインクジェットヘッドの製造方法である。基板上に液相法又は気相法を用いてアクチュエーター４を形成し、上部構造体６を製造する工程と、基板から上部構造体６を分離する工程と、基板とは別に、圧力室２を有する下部構造体５を形成する工程と、上部構造体６と下部構造体５とを接合する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 振動板に含まれる鉄やクロムの熱処理による圧電体層への拡散を防止することにより、品質が均一で歩留まりの高い液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 鉄又はクロムを含有する基板上に、アモルファス状態の酸化膜、窒化膜或いは酸窒化膜からなる拡散防止層を形成する工程と、前記拡散防止層の上に、下部電極層を形成する工程と、前記下部電極層の上に、圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層形成後、熱処理を行う工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法により製造することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】無機顔料を含むインクをインクジェットヘッドで吐出する際のヘッド寿命を長期化することができるインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド５０から少なくとも無機顔料を含有する光硬化型インクを吐出するインクジェット記録装置において、インクジェットヘッド５０には、有機フィルム上にシランカップリング剤、アルコシシラン化合物及びフルオロアルキルシラン化合物を用いてシリコンレジン層を形成し、該シリコンレジン層上にフッ素樹脂を用いてフッ素樹脂層を形成したノズルプレート６０を有するとともに、インクには、蛍光増白剤を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応答速度を上昇でき、電圧印加用駆動回路を強くかつ安定して連結することの可能なインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータは、振動板１２０の上部に形成され、複数の圧力チャンバ１３１にそれぞれインクを吐出するための駆動力を提供するものであって、振動板１２０上に形成された下部電極１４１と、下部電極１４１上の、複数の圧力チャンバ１３１にそれぞれ対応する位置に形成された圧電膜１４２と、下部電極１４１上に圧電膜１４２の一端部と接して形成された支持パッド１４４と、圧電膜１４２の上面および支持パッド１４４の上面に、圧電膜１４２の上面から支持パッド１４４の上面まで延びるように連続して形成された上部電極１４３とを備える。そして、支持パッド１４４の上部において、上部電極１４３とＦＰＣ１５０とのボンディングが行われる。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の残留振動を速かに減衰させることが可能なインクジェットプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバを有する流路形成基板１１０と、この流路形成基板１１０の上部に形成されて、圧力チャンバ１１１にインクを吐出するための駆動力を供給する圧電アクチュエータ１４０と、少なくとも圧電アクチュエータ１４０の上部に形成されて、圧電アクチュエータ１４０の残留振動を減衰させるダンピング層１６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】優れた加工品質を有するノズルを備えた液滴吐出ヘッドを簡易かつ効率的に得ることが可能な、液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルプレート２の表面に撥水膜１０を形成する第１の工程、撥水膜１０の表面に熱溶融材料からなる保護層１１を形成する第２の工程、ノズルプレート２に、少なくとも撥水膜１０を貫通してノズル２ａを形成する第３の工程、及び保護層１１を撥水膜１０から除去する第４の工程を含む製造方法により液滴吐出ヘッド１を製造する。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜に適した配向度を安定して再現性良く得ることにより、安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子及びこれを用いたインクジェト式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極４２上にＴｉ膜を形成した後、圧電体薄膜４３を構成する圧電体層を複数回成膜し、この圧電体薄膜４３上に上部電極４４を形成して圧電体素子４０を製造する。圧電体層を複数回成膜するにあたり、初回の成膜における焼成温度を、他の回の各成膜における焼成温度より高い温度とする。また、初回の成膜における焼成時間を、他の回の各成膜における焼成時間より長い時間とする。これにより１００面配向度を向上させ、下部電極の酸化やＰｂの拡散も防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜を安定的に形成することを可能とする。
【解決手段】基板１上に下部金属膜、圧電薄膜、上部金属膜７の順に積層された構造の圧電薄膜素子において、圧電薄膜は２層以上で形成されており、下部金属膜に接して形成された圧電薄膜は、その上部に形成された圧電薄膜よりも炭素濃度が高く、下部金属膜に接して形成された圧電薄膜の炭素濃度は２×１０¹⁹〜５×１０²⁰ａｏｔｍｓ／ｃｍ³である。 （もっと読む）

【課題】パリレンマスクを用いたシリコン湿式エッチング方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板の表面にパリレンからなる１次エッチングマスクを形成する段階と、１次エッチングマスクを用いてシリコン基板を１次湿式エッチングすることによって、第１要素を形成する段階と、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜からなる２次エッチングマスクを形成する段階と、２次エッチングマスクを用いてシリコン基板を２次湿式エッチングすることによって、第２要素を形成する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】 簡易なプロセスで、再現性がよい液体吐出ノズルヘッドを提供する。
【解決手段】 ＰＥＴシート３３上にポリイミドを塗布等して、ポリイミド膜３２を形成し、このポリイミド膜３２に対して、ドライエッチングして所望の形状の孔３４を形成する（図３（Ａ））。この際、ポリイミド膜３２のエッチング形状は、垂直ではなく、エッチング方向に対して、テーパ形状を持つようにする。シリコン基板３１には、ドライエッチングを用いて、所望の寸法および形状を有する孔３５を形成しておく（図３（Ｂ））。
以上のようにして準備されたシリコン基板３１とＰＥＴシート３３上に形成されたポリイミド膜３２とを、図３（Ａ）と図３（Ｂ）とにおいて、矢印で示すように、貼り合せる。 （もっと読む）

【課題】精度の高い基板を効率よく作製することによってスループットの改善、高歩留まりを図った液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】ノズル基板５と、キャビティ基板３と、吐出室１２と連通して供給口１４となる部分、吐出室１２に供給するリザーバ１３となるリザーバ凹部、吐出室１２とノズル穴１６を連通させるノズル連通穴１５となる部分、吐出室１２の一部となる第２の凹部１２ｂ及びリザーバ１３に液体を供給する液体供給口１０となる部分を有するリザーバ基板４とを少なくとも備え、第１の凹部１２ａと第２の凹部１２ｂとにより吐出室１２が形成された液滴吐出ヘッド１であって、リザーバ基板４の表面から所望の深さにエッチングの進行を停止させるエッチングストップ層１８を設け、エッチングストップ層１８によってリザーバ基板４に形成する被エッチング領域の深さを均一にするようにした。 （もっと読む）

【課題】良質なペロブスカイト型酸化物薄膜を得ることのできる成膜方法、該成膜方法により成膜した薄膜からなる圧電体を有する圧電素子、該圧電素子を有する液体吐出ヘッドおよび該液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置を提供する。
【解決手段】（Ａ１_x，Ａ２_y，Ａ３_z）（Ｂ１_j，Ｂ２_k，Ｂ３_l，Ｂ４_m，Ｂ５_n）Ｏ_pで表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の薄膜を基板上に成膜する方法であって、前記元素を含む原料を前記基板上に供給する工程を複数種有し、前記元素Ａ１〜Ａ３、Ｂ１〜Ｂ５を複数のグループに分け、該グループに属する元素を含む原料を、前記グループ毎にそれぞれ別工程で前記基板上に供給することを特徴とする成膜方法。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出特性を向上してコストを低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０の一方面に振動板を介して圧電素子３００を形成する工程と、前記流路形成基板１０の他方面側から前記圧力発生室１２を形成する工程と、各圧力発生室１２毎又は圧力発生室１２群毎の中から選定した少なくとも１つ毎の前記振動板の共振周波数を測定すると共に測定結果に基づいて前記圧力発生室１２の内面に亘って耐液体性を有する材料からなる保護膜１５を前記圧力発生室１２毎又は圧力発生室１２群毎に厚さを変更して形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】安定した印刷品質が得られるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法及びインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２６に連通する圧力発生室２２に付設された圧電素子３１を駆動することにより圧力発生室内に圧力を付与して前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド２０の駆動方法において、圧電素子に所定電圧を印加することによりノズル開口からインク滴を吐出させる印刷動作が実行されていない期間に、圧電素子を構成する両電極２８、３０間の電気的接続状態を制御した状態で圧電素子を保持し、印刷動作時のインク吐出特性を所定範囲内に維持することにより、安定した印刷品質を得る。 （もっと読む）

【課題】 安価な材料で、耐熱性及び剛性に優れ、高い加工精度で大面積の液体吐出ヘッドを製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 まず、一方向凝固シリコン（柱状、多結晶シリコン）からなる基板５２が電気炉において熱酸化され、酸化シリコン層５４が約５μｍ形成される（図３（ａ））。次に、酸化シリコン層５４上に下部電極５６、圧電膜５８及び上部電極６０が形成される（図３（ｄ））。次に、基板５２の図中下面に、マスク材料としてアルミニウム膜６２が成膜されてパターニングされ、異方性エッチングにより、インク室６４が形成される（図３（ｅ））。そして、ノズル７０Ａを有するノズルプレート７０が、インク室隔壁５２Ａを挟んで振動板５４と対向する面に接着剤によって貼り付けられる（図３（ｇ））。これにより、つなぎのない幅約２３０ｍｍ、有効印刷幅がＡ４サイズのライン状の液体吐出ヘッド５０が作成される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエーター素子、なかでも液体吐出ヘッドの圧電体素子に好適に用いることのできる厚膜の圧電体膜及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電体膜を気相成膜する際に、圧電体膜の構成材料のキュリー温度以上の温度で基板上に圧電体膜を成膜する成膜工程を複数に分割し、各成膜工程間に所定時間の成膜停止工程を設定する。 （もっと読む）

【課題】基板に含有する金属元素の圧電素子への拡散を防止して圧電素子の性能及び信頼性を確保し、好ましい液体吐出を実現する液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】圧力室５２の天面を形成する振動板５６（基板）には、ＴｉＡｌＮやＴｉＣｒＡｌＮなどの金属膜が成膜され、これらの金属膜を酸化処理したＡｌ_２Ｏ_３及びＴｉＯ_３を含む保護膜５９が形成される。更に、保護膜５９の振動板５６と反対側の面に下部電極５７Ａ及び上部電極５７を有する圧電素子５８が接合される。振動板５６と圧電素子５８との間に金属酸化膜からなる保護膜を設けることで、圧電素子５８（圧電体５８Ａ）を結晶化する熱処理工程において、圧電素子５８に対する振動板５６に含有する鉄の拡散が防止され、圧電素子５８の性能劣化が防止される。 （もっと読む）

【課題】エアが圧力室内に残留しにくくし、液体の吐出性能の低下を抑制する。
【解決手段】インクジェットヘッド３０は、流路ユニット２７と圧電アクチュエータ２１とを含んでいる。流路ユニット２７は、複数の圧力室１０が形成された金属製のキャビティプレート１０８と、各圧力室１０に連通する孔が形成された複数の金属製のプレート１０２〜１０７とを有しており、互いに拡散接合されている。圧電アクチュエータ２１は、キャビティプレート１０８に拡散接合された振動板３３を有している。振動板３３、キャビティプレート１０８、サプライプレート１０７には、圧力室１０を画定する隔壁１２８及びこれと重なる領域において、溝３４，４１〜４３が形成されている。各溝３４，４１〜４３は、隔壁１２８の壁面１２９及びこの壁面１２９がプレートの積層方向に延長することで形成された仮想延長面から離れて位置している。 （もっと読む）

【課題】 駆動耐久性を増加させることが可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッドおよびそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 静電アクチュエータを有するインクジェットヘッド１０において、弾性変形可能な一方の対向部材である振動板２２と、この振動板２２に絶縁膜２６および一定の間隙（ギャップ）Ｇを介して対向配置された他方の対向部材である個別電極３１と、これら個別電極３１と振動板２２との間に駆動電圧を印加し静電気力を発生させる駆動制御回路（駆動手段）４とを備え、振動板２２の下面に形成された絶縁膜２６の表面に、下記一般式で表される処理剤を用いて撥水膜を形成する。
【化６】
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【課題】大きな圧電性を有する圧電体、その製造方法及び圧電素子並びにそれを用いた均一で高い吐出性能を示し、微細なパターニングを行うことが可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】単結晶または１軸配向結晶の圧電体であり、該圧電体の単位格子の３つの格子長さａ、ｂ、ｃが、それぞれ同温度かつ同組成のバルク状単結晶体の単位格子の格子長さａ₀、ｂ₀、ｃ₀より小さく、かつ前記圧電体の単位格子の体積が、同温度かつ同組成のバルク単結晶体の単位格子の体積より小さいことを特徴とする圧電体。 （もっと読む）