【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧Ｖ_ａを印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０としたとき、（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）／Ｖ_ａが７０ｐｍ／Ｖ以上且つ比誘電率が７００以下である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、歪量および信頼性が向上した圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、圧電体層２０、及び前記圧電体層に電圧を印加する電極３０を有する圧電素子１００と、を含み、前記圧電体層は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層は、（１１１）面の配向強度αの、（１００）面の配向強度βに対する強度比γ（α／β）が、３以上である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの小型化を図ることが難しい。
【解決手段】流路部材５は、個別液室６の入口側開口９が形成された第１面２１と、ノズル配列方向の両端部に設けられ、第１面２１よりも液体流入方向と反対方向に突出した第２面２２と、第１面２１と第２面２２とを繋ぐ第３面２３とを有し、第２面２２から第３面２３に跨る領域と共通液室部材２０との間が封止部材である接着剤２４により封止され、接着剤２４により、流路部材５と共通液室部材２０との間のノズル配列方向における共通液室１０の壁面２５が形成される。 （もっと読む）

【課題】貫通孔の側壁を平坦に加工することのできる液体吐出装置の流路板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の流路板の製造方法は、面方位が｛１１０｝であるシリコン基板の一方の面と他方の面とを貫通する貫通孔と、前記一方の面側に形成され前記貫通孔と接続する流路と、を備えた液体吐出装置の流路板の製造方法であって、前記シリコン基板の前記一方の面上に第１マスクを形成し、前記第１マスク上に第２マスクを形成するマスク形成工程と、前記第２マスクを介して少なくとも一部にドライエッチングを含むエッチングを行い、前記貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記第２マスクを除去した後、前記第１マスクを介して前記貫通孔に対して結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔の側壁面を、前記シリコン基板の面方位｛１１１｝の面で構成するように前記貫通孔の側壁を加工する側壁加工工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッチングのばらつきによらず安定して基板を切断することができるシリコンウェハーのブレイクパターン、シリコンウェハー、および、シリコン基板を提供する。
【解決手段】表面を（１１０）面３９としたシリコンウェハー３８に、（１１０）面３９に直交する第１の（１１１）面４２の面方向に切断予定線を設定し、該切断予定線上に貫通孔４０を複数列設し、貫通孔４０は、第１の（１１１）面４２と、第１の（１１１）面４２と交差する第２の（１１１）面４３と、第２の（１１１）面４３と第１の（１１１）面４２とに交差する第３の（１１１）面４４と、を有し、第２の（１１１）面４３と第３の（１１１）面４４の端縁との交差点を、隣り合う貫通孔４０に最も近接する点とし、第１の（１１１）面４２に直交する方向における交差点の位置を、隣り合う貫通孔４０の当該交差点に近接する側の相対する第１の（１１１）面４２の間に設定した。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】湾曲形状部分を有する薄膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】マスクを介したＫＯＨエッチングによって、平面状の基板表面内に逆角錐台形状の穴部を形成する。基板表面上に酸化物層を形成する。酸化物層は、基板表面の穴部内の異なる小面の間に丸みを帯びた隅部を残して剥離させることができ、基板表面は、凹形の湾曲形状部分を有する薄膜を作製するためのプロファイル転写基板表面として用いることができる。又は、酸化物層にハンドル層を付けて、酸化物層の裏面が露出するまで基板を除去する。酸化物層の露出した裏面は、ハンドル層から離れる方向に突出した湾曲部分を含み、凸形の湾曲形状部分を有する薄膜を作製するためのプロファイル転写基板表面を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 流路内の段差は、インクを充填する際の流抵抗となるため、十分な量のインクをリフィルできず、近年求められているような高速の吐出周波数を達成することができない懸念がある。
【解決手段】 液体を吐出するために用いられるエネルギー発生素子を駆動して保護層を加熱しつつ、保護層に接する液体と保護層との間に電位差をかけることにより、保護層の表面に酸化層を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコン基板を速やかにエッチングし、犠牲層を良好に除去可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の表面であって液体供給口が開口する部位に、前記シリコン基板に対して選択的にエッチングされるアルミニウムを含有する犠牲層を形成する工程と、前記シリコン基板の裏面に、前記犠牲層に対応した開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクをマスクとして、８質量％以上１５質量％未満のＴＭＡＨ含む第一のエッチング液を用いて、前記シリコン基板をエッチングする第一のエッチング工程と、第一のエッチング工程後に、１５質量％以上２５質量％以下のＴＭＡＨを含む第二のエッチング液を用いて、前記犠牲層を除去する第二のエッチング工程と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】配線部の形成にメッキ法を採用するにあたり生じ得る圧電素子の動作不良を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズルに連通する圧力発生室を変位させる圧電素子３００と、圧電素子３００の上に少なくとも一部が乗り上げられ、該圧電素子３００と電気的に接続されるリード電極９０と、を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、リード電極９０は、第１の導電層１２１と、メッキ法により形成され、第１の導電層１２１を覆う第２の導電層１２２と、を有しており、メッキ法により第２の導電層１２２を形成する前に、リード電極９０が接続される圧電素子３００の乗り上げ面１３０ａに、導電性を有する酸化膜１３１を形成する酸化膜形成工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の貫通によってダメージを受ける可能性を低減したインク吐出ヘッドの製造方法及びインク吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成された絶縁膜１２ａと、絶縁膜１２ａに形成されたヒーター１３とが準備される。そして、基板１１の一方の面の一部であって、ヒーター１３から離間した第１領域に形成された絶縁膜１２ａが、基板の厚み方向に除去される。そして、耐インク性及び耐異方性エッチング性を有する第１保護膜１４及び第２保護膜１５が、基板１１の一方の面に形成される。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の振動可能領域のバラツキを低減し、生産性、信頼性を向上した液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４が連通する液室６を形成する流路板と、液室６の壁面を形成する振動板部材２と、振動板部材２の液室６と反対側面に設けられて、振動板部材２の振動可能領域２ａを変位させる圧電アクチュエータ１００と、流路板１に直接又は振動板部材２を介して接合された支持部材２０とを備え、支持部材２０には、隣り合う液室６間の隔壁５に対向して振動板部材２の液室６と反対側の面に接合された裏打ち部２２が設けられ、裏打ち部２２のノズル配列方向の幅Ｗ２は、液室６間の隔壁５のノズル配列方向の幅Ｗ１より広く、裏打ち部２２のノズル配列方向の幅Ｗ２により振動板部材２の振動可能領域２ａのノズル配列方向の幅Ｗ３が規定されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体室となるリザーバの一部を構成するリザーバ部３１及び電導性を有する接続配線２００を有するリザーバ形成基板用ウェハ１３０と、リザーバ部３１と連通してリザーバを構成する連通部１３を含む液体流路及びリザーバ部３１と連通部１３との間を閉塞する配線層１９０を有する流路形成基板用ウェハ１１０と、が接合状態となった後に、上記液体流路に臨む壁面部に保護膜１６を形成する保護膜形成工程を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、保護膜形成工程の前に、配線層１９０を貫通させる貫通工程と、接続配線２００を被覆する被覆膜１４０を形成する被覆膜形成工程と、を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００の製造方法は、シリコン基板１０に、シリコン基板１０の第１面１３から第２面１４まで貫通するノズル孔２０を形成する工程と、第１面１３と、第１面１３および第２面１４に接続されたシリコン基板１０の第３面１６と、に被覆膜を形成する工程と、平面視において、被覆膜が形成された第１面１３の、ノズル孔２０を含む第１領域１１をマスク部材で覆うことにより、第１面１３を、第１領域１１と、第１領域１１を囲む第２領域１２と、に区画する工程と、マスク部材をマスクとしてエッチングを行い、第２領域１２に形成された被覆膜の少なくとも一部と、第３面１６に形成された被覆膜と、を除去する工程と、酸素プラズマアッシングを行い、少なくとも被覆膜が除去された第３面１６に、酸化シリコン膜３４を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の構造を最適化して吐出性能のバラツキを抑え、高画質化する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズル孔２０を有するノズル基板２と、複数の流路隔壁４により仕切られ、前記ノズル孔２０に連通する加圧液室１４を有する液室基板１と、前記加圧液室１４の一方の壁を構成する振動板（５〜７）と、前記振動板上に設け互いに積層された下電極８、圧電材層９、上電極１０とを備え、前記振動板（５〜７）上の前記流路隔壁部１４に対応する位置に補強層１２を設け、前記補強層１２の振動板側の下面の幅を補強層上部の幅より広く形成した。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ前駆体溶液を液体吐出ヘッドから吐出させて基板に塗布するときに付随液滴を基板に付着させず電気機械変換膜を高精度に形成できる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出することにより白金族電極４６にＰＺＴ前駆体溶液４９を塗布する塗布工程と、塗布したＰＺＴ前駆体溶液４９を熱処理して結晶化する熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、塗布工程は、ノズル板５１を例えば負極、白金族電極４６を正極にして、電圧を印加する印加工程と、帯電したＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出する吐出工程と、吐出された主液滴４９ｄを白金族電極４６に塗布する主液滴塗布工程と、付随液滴４９ｅを異極性の吸引力によりノズル板５１に吸引させて回収する回収工程と、を備える。 （もっと読む）