【課題】 圧力発生室のような凹部を比較的容易に高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及びシリコン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板用ウェハの一方面に振動板を介して圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、フッ硝酸をエッチング液として流路形成基板用ウェハの他方面側をエッチングするエッチング工程を少なくとも含み流路形成基板用ウェハを所定の薄さに形成する薄板化工程と、流路形成基板用ウェハの少なくとも他方面をオゾン水とフッ酸溶液とを用いて洗浄する洗浄工程と、流路形成基板用ウェハの他方面に所定パターンで保護膜を形成すると共に保護膜を介して流路形成基板用ウェハをウェットエッチングすることにより圧力発生室を形成する圧力室形成工程と、流路形成基板用ウェハと保護基板用ウェハとの接合体を所定の大きさに分割する分割工程とを具備するようにする。 （もっと読む）

【課題】マトリックス状に配列された圧電体が高密度で構成され、小型化が実現可能で、製造時の歩留まりを向上させるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】信号電極層４８から支持基板４４までの間を配線分離層５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄの積層構造として、各配線分離層５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄ毎に引き回し配線５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄをそれぞれ這わせるようにすることで、引き回し配線５０の引き回しを短くすることも可能となり、抵抗値を低減することができる。また、インクジェット記録ヘッド３２の長尺化、歩留まり改善、低コスト化を図ることができる。また、引き回し配線５０に必要とされる圧電体３８同士の列方向の間隔を狭くすることができ、圧電体３８の高密度化及びインクジェット記録ヘッド３２の小型化ができる。 （もっと読む）

【課題】 複数のヘッド構成要素に対して高精度に共通のノズル板を接着することができるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のヘッド構成要素１０を相互に固定して構成したヘッドユニット７と、ヘッドユニット７に固定されたノズル板１７とを備えている。ヘッド構成要素１０は、一対の主表面Ｍと上記一対の主表面Ｍに挟まれた前面Ｆとを有し、前面Ｆには内部に設けられた複数のインク室４にそれぞれ連通する複数の開口４ａが設けられている。ヘッドユニット７を構成するヘッド構成要素１０は、その主表面Ｍを相互に当接して固定されている。ノズル板１７は、ヘッドユニット７を構成する全てのヘッド構成要素１０に跨るようにヘッドユニット７の前面に当接されると共に、開口４ａに対応する位置にはノズル孔１６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 圧電層の撓みが隣接領域に与える影響を低減できるインクジェットヘッド用圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 圧電層４において圧力室１６の開口部１６Ａを外れる非開口領域Ａ２に、圧電層４の圧電特性を低下させる元素を拡散する。すると、元素が拡散した拡散領域は抗電界が高くなるため、通常の駆動電界では動作しない領域となる。このため、圧電層４のうち特定の圧力室１６に対応する開口領域Ａ１に電界を印加して撓ませたときに、その周囲にある非開口領域Ａ２が変位して隣接する圧力室１６に影響を与えることを抑制できる。これにより、クロストークを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 製造工程を簡略化でき、コストを低減できるとともに動作の安定化を図ることのできる圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッド、並びにそれらの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 拡散防止層を兼ねる下部電極３を振動板２と圧電層４との間に設ける。このような構成によれば、電極と拡散防止層とを兼ねる層を一の工程で作成することができるから、製造工程の簡略化およびコストの削減を図ることができる。また、従来のように電極層と拡散防止層とを二層構造とした場合と比較して、これらの層の物性が基板の撓みに与える影響を低減することができるため、圧電アクチュエータとしての動作を安定させることができる。
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【課題】 十分な圧電特性のない圧電体膜を用いながら、圧電体膜の面積を増加することで低電圧で駆動可能で、かつ噴射チャンネルを高密度に配列することができるインク噴射装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１１０には、噴射チャンネル１３０が振動板１２０を隔てて複数配置されている。噴射チャンネル１３０の内表面には駆動電極膜１５２、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる圧電体膜１４０、共通電極膜１５０が形成されている。また、圧電体膜１４０は、駆動電極膜１５２から共通電極膜１５０に向かう方向（矢印Ｐ）に分極されている。駆動電極膜１５２と共通電極膜１５０間に電圧を印加することで、圧電体膜１４０は面方向に収縮し、振動板１２０を湾曲させる。振動板１２０が復帰するとき、噴射チャンネル１３０内のインクに圧力を与えて、インクを噴射する。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子は，基体と、基体の上方に形成されたバッファ層５と、バッファ層５の上方に形成された圧電体膜６と、を含み、バッファ層５は、ペロブスカイト型のＰｂ（（Ｚｒ_１−ａＴｉ_ａ）_１−ｂＸ_ｂ）Ｏ_３からなり、Ｘは、Ｖ、Ｎｂ、およびＴａのうちの少なくとも二種からなり、ａは、０．１５≦ａ≦０．８の範囲であり、ｂは、０．０５≦ｂ≦０．４の範囲であり、圧電体膜６は、ペロブスカイト型のリラクサー材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 圧電層と電極との間の密着性を向上させることが可能な圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 絶縁材料層３１の表面上に複数の個別電極３２を形成するとともに、各個別電極３２の表面に凹部（貫通穴３２ａ）を形成し、個別電極３２の表面に圧電層３３を形成し、さらに、圧電層３３の表面に共通電極３４を形成するため、個別電極３２の表面上の圧電層３３の一部が貫通穴３２ａ内に入り込んで絶縁材料層３１に密着して、圧電層３３が個別電極３２から剥がれにくくなり、個別電極３２と圧電層３３の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 いくつかの基板除去技法を組み合わせて、各基板除去工程の特徴を利用できるようにする。
【解決手段】 基板３００の厚みの大部分の中を通ってブラインド形状４１２を形成するステップであって、ブラインド形状４１２は少なくとも１つの側壁表面４１６および底面４１８によって画定されるものである、ブラインド形状を形成するステップと、ブラインド形状４１２にウエットエッチレジスト材料を被着するステップと、底面４１８の少なくとも一部から前記ウエットエッチレジスト材料を除去するステップと、基板３００の前記厚みを通して貫通形状３０５を形成するほど十分に、少なくとも底面４１８を通して基板３００をウエットエッチングするステップとを含んでなる方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】た開口３を封止することで形成される中空構造部分２を有した機能素子１において、前記開口３の断面形状を、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成し、開口側壁部分が垂直面である場合に比べて、開口形成時の残渣物の除去を容易にし、前記開口３を封止する封止膜５の成膜材料を堆積させるのも容易にする。 （もっと読む）

【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】基材のエッチングを容易かつ安価に行い得るエッチング方法、このエッチング方法により加工された基板、このエッチング法を適用した電子部品の製造方法、信頼性の高い電子部品および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のエッチング方法は、基材をアルカリエッチング液によりエッチングするものであり、基材上に、主としてポリオルガノシロキサンで構成されるポリオルガノシロキサン膜を形成する第１の工程と、ポリオルガノシロキサン膜の所定パターンの領域に、ＳｉＯ_２化処理を施して、ポリオルガノシロキサンをＳｉＯ_２に変化させる第２の工程と、アルカリエッチング液によるポリオルガノシロキサンとＳｉＯ_２とのエッチングレートの差を利用して、基材をエッチングする第３の工程とを有する。 （もっと読む）

振動板の剥がれを防止して耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置を提供する。
基板の一方面に振動板を形成する工程と、振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程とを具備し、振動板を形成する工程が、基板の一方面側にスパッタ法によりジルコニウム層を形成すると共にジルコニウム層が形成された基板を７００℃以上に加熱した熱酸化炉に２００ｍｍ／ｍｉｎ以上の速度で挿入してジルコニウム層を熱酸化することで酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜を形成する絶縁体膜形成工程を少なくとも含むようにする。 （もっと読む）

流体吐出装置（１０３）は、第１の表面を有する基板（１１５）と、第１の表面上に形成される流体吐出器（２０１）と、流体吐出器の周囲に形成される発射室（２０２）を画定し、且つ発射室上のノズル（１０５）を画定するカバー層（１２４）とを備える。カバー層は少なくとも２つのＳＵ８層によって形成される。

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圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができ液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。さらには、圧電素子の駆動による振動板の変位量の低下を有効に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。 液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備し、少なくとも圧電素子３００を構成する各層のパターン領域が、無機絶縁材料からなる絶縁膜１００によって覆われているようにする。 （もっと読む）