【課題】圧電素子の変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供する。
【解決手段】ノズル２１に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、この圧電素子３００が、チタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を含有する圧電体層７０と、圧電体層７０の一方の面側に設けられる第１の電極６０と、圧電体層７０の他方の面側に設けられる第２の電極８０とで構成されており、圧電体層７０に含まれるジルコニウムとチタンとの組成比Ｔｉ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）が０．４０以上０．５０未満の範囲であり且つ圧電体層７０の少なくとも第１の電極６０上に形成された部分が、下地層から受ける応力によって相転移した正方晶系の結晶を含んでいる構成とする。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の剥離等の破壊や圧力発生素子の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、第１の層５０上に気相成膜法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、第２の層５６上に塗布液を塗布し、焼成することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、第３の層５６の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】組成傾斜を抑制し圧電体膜の組成がＭＰＢ付近から外れないように圧電体層の組成を所望の組成で厚さ方向に略均一化することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法は、圧電体層形成工程が、第１電極上に、鉛（Ｐｂ）、チタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を少なくとも含む圧電体前駆体膜７１を成膜する前駆体膜成膜工程と、圧電体膜を構成する組成物の少なくとも一つを含有し、圧電体膜の組成を調整する圧電体組成調整膜を成膜する調整膜成膜工程と、圧電体前駆体膜及び圧電体組成調整膜を一括して焼成する焼成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】成膜工程においてエアロゾルが噴きつけられることによって振動板が変形するのを抑制する。
【解決手段】まず、磁化されてない強磁性体からなる２枚の振動板４０のうち、一方の振動板４０に外部磁場を印加することにより、この振動板４０を磁化させ、磁化した一方の振動板４０に他方の振動板４０を近づけて、磁力によって２枚の振動板４０を接着する。そして、２枚の振動板４０の対向していない側のそれぞれの表面に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により圧電層４１を成膜する（成膜工程）。成膜された圧電層４１を所定の温度で熱処理を施す。具体的には、圧電層４１がそれぞれ形成された２枚の振動板４０を、圧電層４１のアニール温度及び振動板４０の消磁温度以上の温度で加熱する（加熱工程）。これにより、加熱工程において、振動板４０の磁化の消磁が行われ、２枚の振動板４０が分離される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位低下を抑制して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】圧電素子３００が、第１の電極６０と、第１の電極６０上に形成される圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成される第２の電極８０とで構成され、圧電体層７０の内部に、圧電体層７０の面内方向に沿って脱分極領域７１を第１の電極６０及び第２の電極８０に接触することなく形成する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と振動板から成る圧力発生部材（アクチュエータ）の曲がり方向を一様にして液体吐出量を増加させると共に、製造コストを上げたり集積度を低下させないように、圧力発生部材について工夫すること。
【解決手段】圧力室(15)と、この圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(17)及び液体供給路(18)と、上記圧力室の一部を構成する振動板(14)、及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子(13)により構成され、上記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、上記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出装置を前提として、
上記振動板(14)の一部の剛性を変えて、上記電気機械変換素子の曲がり方向が一様になるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】上凸変位駆動方式の液体吐出装置における応力に起因したマイクロクラックが抑制され、耐久性に優れた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置３Ａは、圧電素子１Ａが上部電極４０側に凸変位駆動する素子であり、圧電体３０の上部電極４０側の面に、液体貯留室６１の内壁面位置Ｗ又はその近傍、若しくは液体貯留室６１の内壁面位置Ｗより外側の領域に溝部３１が形成されている。上部電極がリング状電極の場合には、圧電体の上部電極側の面に、リング状の上部電極の内端面位置又はその近傍に溝部が形成される。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用のマイクロメカニカルなプランジャの耐久性を向上する。
【解決手段】パドル８は、ノズルチャンバ２内からノズルチャンバ２の１つの壁において規定されたインク噴出ノズル４を通って液体を噴出する。パドル８は、使用中はインク噴出ノズル４に対向しインク噴出ノズル４から間隔を置いて配置された略平らなプランジャ表面を提供するように構成された第１の部分と、第１の部分の周辺におけるプランジャ表面上に形成されて第１の部分の構造上の支持を行う第２の部分とを含み、それによって、使用中、プランジャが作動してインクを、インク噴出ノズル２を通って噴出している間、第２の部分がスペーサとしての役割を果たして、プランジャ表面がインク噴出ノズル４に触れるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】ノズルごとにばらつきが少ない段差構造を高精度に形成し、吐出安定性、メンテナンス性を向上させる。
【解決手段】孔部を有する基材上に第１プラズマ重合膜を形成する工程と、前記第１プラズマ重合膜に水素プラズマ処理を行う工程と、前記第１プラズマ重合膜上に前記第１プラズマ重合膜と同一材料で構成される第２プラズマ重合膜を形成する工程と、マスクを用いて酸化処理又はエッチング処理によって前記第２プラズマ重合膜における前記孔部の開口周辺部に対応する部分を選択的に除去し、前記孔部よりも拡径した段差構造を形成する工程と、前記段差構造が形成された前記第１及び第２プラズマ重合膜の表面に酸化処理を行う工程と、前記酸化処理が行われた前記第１及び第２プラズマ重合膜の表面に前記撥液膜を形成する工程と、を含む撥液膜形成方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】基板の固定する面をステージに密着させて強固に固定するとともに、基板をステージから容易に取り外す。
【解決手段】振動板３１をチャンバー７０内の水が張られたステージ７１上に載置する（載置工程）。次に、水を固化させて、振動板３１をステージ７１上に密着して強固に固定する（固化工程）。続いて、振動板３１の上面に、流路ユニット４との接合後に平面視で各圧力室と重なる領域を覆うように、圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する（圧電層形成工程：成膜工程）。その後、ステージ７１と振動板３１の間に固化して介在していた氷を融解させる（融解工程）。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が残存することを防止する。
【解決手段】まず、振動板３１と、流路ユニット４の一部を構成するキャビティプレート４１及びベースプレート４２の３枚のプレートを積層して金属拡散接合により接合する（第１接合工程）。次に、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。その後、圧電層３２、振動板３１、及び、プレート４１，４２を所定のアニール温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。次に、振動板３１、キャビティプレート４１、及び、ベースプレート４２の３枚のプレートにより形成されたインク流路内に流体を流し込み、インク流路内を洗浄することで、インク流路内に侵入した粒子を除去する（液体流路洗浄工程）。 （もっと読む）

【課題】所望の体積の液滴を形成することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は、ノズルプレート１０と、ノズルプレート１０の上方に形成された圧力室２２と、圧力室２２の上方に形成された振動板３０と、振動板３０の上方に形成された第１圧電素子４０と、を含み、ノズルプレート１０は、 ノズル孔１２が設けられた基板１１と、基板１１の下方に形成され、ノズル孔１２と連通している開口部１４が設けられた第２圧電素子１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が侵入することを防止する。
【解決手段】まず、インク供給口１８を覆うように振動板３１上にフィルタ７２を載置した後（流入孔覆設工程）、フィルタ７２と、振動板３１と、７枚のプレート４１〜４７を積層して金属拡散接合により接合する（接合工程）。次に、フィルタ７２の上面に封止膜７３を形成するとともに、フィルタ７２の複数の孔に入り込んだポリイミド樹脂が固化することでインク供給口１８を封止する（開口封止工程）。その後、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させて圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。次に、圧電層３２を所定のアニール処理温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。封止膜７３はアニール処理工程においてインク供給口１８から除去される。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が侵入することを防止する。
【解決手段】まず、振動板３１と、流路ユニット４の一部を構成するプレート４１〜４７の７枚のプレートとを積層して金属拡散接合により接合する（第１接合工程）。次に、インク流路内に水を充填し（充填工程）、この水を固化させる。その後、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。その後、圧電層３２、振動板３１、及び、プレート４１〜４７を所定のアニール温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）このとき、インク流路内の氷は、熱により融解してノズル２０から流れ出すとともに、アニール温度が水の気化温度よりも高いため蒸発し、インク流路内から完全に排出される。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本方法は、半導体ウェーハ上に支持膜を形成する段階と、前記支持膜上に抵抗パターンを形成する段階と、前記抵抗パターンを含む前記基板の上部面を覆う保護膜を形成する段階と、前記保護膜及び支持膜をパターニングして前記半導体ウェーハの一部を露出する開口部を形成する段階と、前記半導体ウェーハを貫通するノズル部を形成する段階と、前記ノズル部にインクを供給するためのインクカートリッジを前記保護膜に付ける段階と、を含み、前記ノズル部を形成する段階は、前記開口部を通じて露出された前記半導体ウェーハを等方性エッチングして前記支持膜の下部に半球形の上部ノズル部を形成する段階と、前記開口部を通じて露出された前記上部ノズル部の下部面を異方性エッチングして前記半導体ウェーハを貫通する下部ノズル部を形成する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電性能と耐久性とがいずれも良好なＰＺＴ系の圧電体膜を提供する。
【解決手段】圧電体膜の製造方法は、式（Ｐ）で表されるペロブスカイト酸化物からなる圧電体膜の製造方法において、ａ／ｂ≧１．０７の条件で成膜を行う工程（Ａ）と、ａ／ｂ＜１．０７の条件で成膜を行う工程（Ｂ）とを順次実施して、パイロクロア相を含まないペロブスカイト単相構造であり、ａ／ｂ≦１．０６である圧電体膜を製造する。Ｐｂ_ａ（Ｚｒ_ｘ，Ｔｉ_ｙ，Ｍ_{ｂ−ｘ−ｙ}）_ｂＯ_ｃ・・・（Ｐ）（式中、Ｍは１種又は２種以上のＢサイト元素を示す。０＜ｘ＜ｂ、０＜ｙ＜ｂ、０≦ｂ−ｘ−ｙ。ａ：ｂ：ｃ＝１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができ液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。さらには、圧電素子の駆動による振動板の変位量の低下を有効に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備し、少なくとも圧電素子３００を構成する各層のパターン領域が、無機絶縁材料からなる絶縁膜１００によって覆われているようにする。 （もっと読む）

【課題】低電圧印加で振動板の十分な変位量が得られる静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】電気分極したエレクトレット層１、絶縁層２、電極層３が順に積層された電極側部材１０の電極層３に、可撓性及び導電性を有する振動板２１が絶縁膜２５を介して変形可能に密接配置されており、振動板２１と電極層３との間に電圧を印加して振動板２１を変形させるようにした静電アクチュエータ。 （もっと読む）

液体イジェクタは、基板、加熱素子、誘電体層及びチャンバを含む。基板は第１の表面を含む。加熱素子は、当該加熱素子と基板の第１の表面との間にキャビティが存在するように、基板の第１の表面の上方に配置される。誘電体層は、キャビティが横方向で当該誘電体層によって境界されるように、加熱素子とキャビティとの間に配置される。チャンバは、ノズルを含み、加熱素子の上方に配置される。チャンバは、キャビティが液体から隔離されるようにして、該液体を受け入れるような形状にされる。
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【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、上部電極４０の上面の端部に形成された第１保護層５０と、少なくとも第１保護層５０、上部電極４０および圧電体層３０を覆うように形成された第２保護層６０と、を含み、第１保護層５０の一方の側面、上部電極４０の側面および圧電体層３０の側面は、それぞれ連続して、１つの傾斜面７０となるように形成される。 （もっと読む）