【課題】溝、チャネル等の凹部を有する基体の凹部の内面に形成されるパリレン膜の膜厚分布を低減できる成膜装置、成膜方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】溝、チャネル等の凹部を有する基体１６３の少なくとも前記凹部の内面にポリパラキシリレン又はその誘導体を含む膜を形成する成膜チャンバー１５３を備える成膜装置であって、前記基体１６３を第一の目標設定温度に制御する基体加熱機構を有することを特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】変位量を向上させることができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッドの圧電体膜(17)は、キャビティ(Ca)の第１方向の略中央部に配置され、圧電体膜の前記第１方向の幅(Wp1)は、前記キャビティの前記第１方向の幅（Wc1)より小さく、前記圧電体膜の前記第１方向の両側に前記キャビティの形成領域であって、前記圧電体膜の形成領域とならない第１領域(腕部20)を有し、下部電極(15)は、前記第１領域に配置された開口部(OA1)と、前記開口部と交互に配置される橋部(BA)と、を有する。かかる構成によれば、前記圧電体膜の形成領域と前記キャビティの形成領域とが重ならない第１領域の下部電極が抜かれた構成となり、変位量を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントを行うことなく流路とノズルの位置ズレを防ぐとともに、流路が微細であってもエッチングムラを抑制してノズル孔を高精度に形成することができるノズル孔の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】内部を貫通する流路１２を有し、少なくとも片面に前記流路の開口部１４ａ，１４ｂが形成されている流路基板１０と、前記流路に通じるノズル孔を形成するためのノズル基板２０を準備する基板準備工程と、前記流路基板の流路の開口部１４ｂが形成されている片面に、該開口部を塞ぐように前記ノズル基板を接合する接合工程と、前記流路基板の前記流路を介して、高圧流体とエッチング液を含むエッチング混合流体を前記ノズル基板に供給してエッチングすることにより、前記流路に通じるノズル孔２２を形成するエッチング工程と、を有するノズル孔の形成方法。 （もっと読む）

【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）

【課題】電気熱エネルギー変換体の温度を検知する際の精度を向上する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、半導体基板と、前記半導体基板の上に配された第１の絶縁層と、電気エネルギーを受けて、前記液体に作用させるための熱エネルギーを加熱領域に発生させる電気熱エネルギー変換体と、前記第１の絶縁層と前記電気熱エネルギー変換体との間に配された第２の絶縁層と、前記第１の絶縁層と前記第２の絶縁層との間に配され、前記電気熱エネルギー変換体の温度を検知する薄膜温度検知素子と、前記電気熱エネルギー変換体に電流を供給するためのスイッチ素子と、前記スイッチ素子に接続された配線層とを備え、前記配線層に含まれる配線の膜厚よりも、前記薄膜温度検知素子の膜厚は薄い。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、かつ変位特性が良好なアクチュエータの製造方法およびアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１００は、基板１０の上方に振動板２０を成膜する工程と、バッファ層３０を成膜する工程と、下部電極層４２を成膜する工程と、下部電極層４２をパターニングする工程と、パターニングにより残された下部電極層４２の上方、およびパターニングにより露出されたバッファ層３０の上方に、圧電体層４４を成膜する工程とを含むため、圧電体層４４は、全体的にグレインサイズが小さく均一であり、アクチュエータ１００は、高い信頼性を有することができる。さらに、上部電極層４６を成膜する工程と、圧電体層４４および上部電極層４６をパターニングする工程と、を含む。下部電極層４２をパターニングする工程は、下部電極層４２を、塩素系ガスと酸素系ガスとを含む混合エッチングガスを用いてエッチングする工程を有する。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表面側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０をエッチングして犠牲膜を底面とする貫通孔ｈを形成する工程と、基板１を裏面側からエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、流路形成膜１０をエッチングしてノズル開口部２２を形成する工程と、リザーバ５及び貫通孔ｈを介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成して貫通孔ｈを塞ぐ工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成する工程と、基板１を裏面側から犠牲膜が露出するまでエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、リザーバ５を介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、流路形成膜１０にノズル開口部２２を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】共通電極を部分的に切り欠かれた複雑な形状とすることなく、配線部が通過する個別電極の間の領域における圧電層の歪み発生を抑制すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ５は、振動板と３０と、振動板３０の複数の圧力室１４と対向する領域にそれぞれ配置された複数の個別領域３２と、複数の個別電極３２からそれぞれ延びるとともに、対応する個別電極３２以外の他の個別電極３２の間の領域を通過するように配置された複数の配線部３５と、複数の個別電極３２を覆うように振動板３０に配置された圧電層３３と、圧電層３３の振動板３０と反対側の面に、複数の個別電極３２と対向するように配置された共通電極３４とを有する。そして、複数の配線部３５の、少なくとも前記他の個別電極３２の間を通過する部分が、第２絶縁層３８によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】撥水性能が長時間維持可能な、信頼性の高い液滴吐出ヘッド、及びこれを具備する画像形成装置を提供する。
【解決手段】金属材料よりなるノズル基材３１のノズル形成面側に、ＳｉＯ₂層３２が連続膜として形成されており、このＳｉＯ₂層３２上に、撥水層３３が形成されており、撥水層３３は、少なくとも一つのパーフルオロアルキル基と、少なくとも一つのアルコキシシリル基とを有する化合物を含有しているものとした液滴吐出ヘッドを提供する。 （もっと読む）

【課題】 エッチング液からの保護をより完全に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハからなりノズル開口に連通する圧力発生室１２を含む第１の液体流路が設けられた流路形成基板が一体的に形成される流路形成基板用ウェハ１００上に圧力発生素子３００を形成する成膜工程と、シリコンウェハからなり圧力発生室１２に液体を供給する第２の液体流路が設けられた接合基板が一体的に形成された接合基板用ウェハ１３０を流路形成基板用ウェハ１００上に接合すると共に有機フィルム１４０を接合基板用ウェハ１３０の流路形成基板用ウェハ１００の接合側とは反対側の表面全体に接合する工程と、流路形成基板用ウェハ１００をウェットエッチングすることにより圧力発生室１２を形成するエッチング工程と、有機フィルム１４０を除去する除去工程と、流路形成基板用ウェハ１００及び接合基板用ウェハ１３０を所定の大きさに分割する分割工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法などのエピタキシャル成長法或いは配向成長法よってインクジェットヘッドに適した圧電素子を作製する圧電素子の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０の上面に下部電極１８を成膜し、下部電極１８上にスパッタ法で圧電体膜２０を成膜し、圧電体膜２０の上面に上部電極２２を成膜する。圧電体膜２０を２５０℃（抗電界が０Ｖ以下になる温度）以上の温度に加熱した後に所定の電圧を印加して、この状態を１分間維持する。その後、温度を下降させながら抗電界以上の電圧印加を維持するように印加電圧を制御し、圧電体膜２０の温度が１００℃以下になった時点で電圧印加を解除する。上部電極２２から下部電極１８に向かう方向に分極方向が反転された圧電素子２３が作製される。 （もっと読む）

【課題】下電極をオーバーエッチングしたエッチング量を取得することができると共に、圧電素子の特性が均一化されたアクチュエータ装置の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板１０の一方面に下電極６０、圧電体層及び上電極８０を積層形成し、当該上電極８０及び圧電体層を同時にエッチングすることにより圧電素子３００を形成するアクチュエータ装置の製造方法であって、前記基板１０上に前記圧電素子３００の電極とは電気的に不連続で且つ前記下電極６０と同一層を有し、且つ前記上電極８０及び前記圧電体層が前記エッチングにより除去された前記下電極を有するテストパターン４００を形成する工程と、当該テストパターン４００の下電極電気抵抗値を測定することで前記圧電素子３００を形成した際の前記下電極６０のエッチング量を取得する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワイピング動作に対する耐久性と信頼性が優れ、良好な撥水性能を長期間保持できる撥水膜を形成した液滴吐出ヘッドと、その製造方法、および画像記録装置を提供する。
【解決手段】記録液滴を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズル形成基材のSiO₂膜上に、少なくとも一個のパーフルオロアルキル基と少なくとも一個のアルコキシシリル基を有するポリマー又は/及びオリゴマー(A)と、式(1)で表されるシラン化合物(B)とを反応させて撥水膜を固着させ、該基材と、記録液室と、記録液を吐出させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドとする。Si(Y)(OR)₃ …(1)［式(1)中、Rは水素原子又はアルキル基を表し、Yは置換基を有してもよいアルキル基あるいは置換基を有してもよいアリール基、又は式(1)におけるOR基(前記と同義)を表す。各々のRは同じでも異なってもよい。］ （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】金属以外の材料からなる仮基板４００上に絶縁体膜５５を形成し、該絶縁体膜５５上に圧電体層７０を形成し、圧電体層７０をパターニングし、圧電体層７０上に下電極膜６０を形成し、下電極膜６０上に振動板を構成する弾性膜５６及び保護膜５７を順次積層し、圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０に、圧電体層７０が振動板を介して圧力発生室１２に対向するよう仮基板４００を接合し、仮基板４００を除去することにより絶縁体膜５５を露出させ、絶縁体膜５５の圧力発生室１２に対向する領域を除去して開口部を形成し、開口部を介して露出した圧電体層７０に接続する上電極膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のエネルギー変換効率を向上させた液滴吐出装置を得る。
【解決手段】Ｖ／ｔ_ｐ＝２・σ_ｉ・ｔ_ｉ／ｄ_３１・Ｅ_Ｐ・ｔ_ｐの関係式から、保護膜厚ｔ_ｉに合わせて保護膜６０の応力σ_ｉを設定することで、圧電素子５２のエネルギ効率を良好にすることができる。つまり、保護膜６０の膜応力を利用することにより、アクチュエータ６２の変位量は低下するが圧電素子５２のエネルギ変換効率を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、封止不良を防止でき、材料コスト及び製造コストを削減できる液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】電極基板１０の個別電極１２ａが形成された面には、個別電極１２ａに対応した端子部１２ｂが個別電極１２ａと離隔して形成され、電極基板１０の個別電極１２ａと端子部１２ｂとの間には、封止材２５を封入するための貫通した封止溝穴１３が形成され、キャビティ基板２０の電極基板１０と対向する面には、封止溝穴１３を横切って個別電極１２ａと端子部１２ｂとを接続するリード配線１２ｃが形成され、電極基板１０のキャビティ基板２０と対向する面の反対側から、電極基板１０とキャビティ基板２０との間に封止溝穴１３を介して封止材２５を堆積させ、ギャップを封止した。 （もっと読む）

【課題】圧電体層にクラックが生じることを防止して信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０の一方面側に、密着層６２、白金層６３及び拡散防止層６４からなる下電極膜６０を形成する工程と、下電極膜６０上に、圧電材料を塗布し、焼成してダミー層７４を形成する工程と、ダミー層７４を除去することにより下電極膜６０を露出させる工程と、露出した下電極膜６０上に、有機金属化合物のゾルを塗布して圧電体前駆体膜７１を形成すると共に、圧電体前駆体膜７１を加熱焼成して結晶化して圧電体膜７２を形成する圧電体膜形成工程を行うことによって圧電体膜７２によって構成される圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に上電極膜８０を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）