【課題】計測精度の向上を図ることができる熱式流量計を提供する。
【解決手段】流体の流れに対して上側、下側サーマルセンサ３ａ，３ｂを逆向きになるように配置した。流体の流れ方向に対して、上側、下側サーマルセンサ３ａ，３ｂを逆向きに配置し、サーマルセンサ３ａ，３ｂの検出信号（温度差データ）に対して差分処理を行い流量算出のための差分データを得る。差分処理を行うことにより、温度・圧力による影響量がキャンセルされるので、出力ゼロ点のドリフトひいては外乱の影響が抑制される。 （もっと読む）

【課題】目標温度まで迅速に上昇させることができ、かつ、ロス電力の小さい定抵抗制御回路を提供する。
【解決手段】ヒータ抵抗Ｒｈが目標温度のときに平衡状態となるようにブリッジ回路２を構成する直列固定抵抗Ｒ２、一対の並列固定抵抗Ｒ３及びＲ４の抵抗値が設定されている。ブリッジ回路２と定電圧源３との間にＦＥＴＱ１が設けられている。比較回路４が、第１電圧Ｖｈが第２電圧Ｖｍからヒステリシス電圧Ｖhysを差し引いた電圧を下回ったときにＦＥＴＱ１をオンし、第１電圧Ｖｈが第２電圧Ｖｍにヒステリシス電圧Ｖhysを加算した電圧を超えたときにＦＥＴＱ１をオフするように設けられている。 （もっと読む）

本発明は、センサ１０２及びこのセンサと協働するための制御ユニット７０２に関する。このセンサ１０２は、導管３０６を流れる流体３０８の速度を測定するのに役立つ。前記センサ１０２は、熱測定原理を使用し、この測定原理は、加熱素子１０６により損失される電力量に作用する外乱に関してロバストである。センサ受信器１１０は、前記センサ１０２と協働するための制御ユニット７０２に含まれる制御送信器７２２により発生する電磁放射線を受信するために配される。この電磁放射線は、前記流体を加熱するために配される加熱素子１０６に給電するために使用される。前記センサ１０２に含まれるトランスデューサ装置により発生する測定信号に基づいて、制御アクチュエータ７２４は、前記流体の速度を制御する。この目的のために、センサ送信器１１６は、前記測定信号を制御受信器に送信するために配される。
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エーロゾル発生システムにおいてパフを示す流体流れを感知するための流量センサシステムを提供する。センサシステムは、感知抵抗器と電圧出力とを含む感知回路を含む。感知回路は、抵抗の変化に基づいて流体流れを検出するように構成される。感知回路は、感知抵抗器の抵抗の変化が電圧出力の変化を引き起こすように構成される。センサシステムはまた、感知回路に給電するために感知回路にパルス駆動信号を供給するように構成された信号発生器を含む。感知回路は、パルス駆動信号が高である時に給電され、パルス駆動信号が低である時に給電されない。センサシステムは、パフが予期又は検出されず、かつパルス駆動信号が第１の周波数を有する第１のモード、及びパフが予期又は検出され、かつパルス駆動信号が第１の周波数よりも高い第２の周波数を有する第２のモードで作動するように構成される。 （もっと読む）

【課題】周波数出力端子の保護と、信号波形の帯域を十分に確保することができる周波数出力装置を提供する。
【解決手段】周波数信号を出力する周波数出力装置２の出力端子にバリスタ素子Ｚｓ１を設ける。これにより、例えばバリスタ電圧を超える電圧が出力端子に印加された場合に、そのバリスタ電圧を超える電圧分を接地側に流して、周波数出力装置２に高電圧のサージ電圧が入力されるのを防ぎ、周波数出力装置２を保護する。また、放電時における放電量を少なくして電圧の変化を滑らかにし、電圧の立ち下がり時におけるピーク電流を下げて、ラジオノイズ等の電磁誘導ノイズの影響を低減し、必要な周波数信号の帯域を確保する。 （もっと読む）

【課題】流量と流れ方向の検出信頼性の低下が抑制された流量センサを提供する。
【解決手段】電流の印加によって発熱する発熱抵抗体と、温度に応じて抵抗値が変化する複数の温度測定用抵抗体を有するセンサ部と、少なくともセンサ部の出力信号を処理する出力部を有する回路部と、電源電位とされ、センサ部及び回路部と配線を介して電気的に接続された電源端子、接地電位とされ、センサ部及び回路部と配線を介して電気的に接続された接地端子、及び回路部と電気的に接続されて、出力部によって処理された出力信号を外部に出力する出力端子を有する外部接続用端子と、を備える流量センサであって、発熱抵抗体と接地端子とを電気的に接続する第１接地配線と、複数の温度測定用抵抗体と接地端子とを電気的に接続する第２接地配線とが、電気的に独立している。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、環境温度が変化した場合であっても、流量検出の精度を十分に確保可能とする。
【解決手段】発熱抵抗体への通電を周期的なオンオフの駆動により行い、１対の測温抵抗体相互間の抵抗差の検出信号であるブリッジ出力Ｖｂに基づいてセンサ出力となる電圧Ｖｓを算出する構成とする。その際、上記オンオフの駆動を、発熱抵抗体への通電をオンにした時点ｔonからブリッジ出力Ｖｂの値が飽和する前の所定の時点ｔ１までの時間を半周期Ｔ／２として行うとともに、上記オンオフの駆動により出力される交流信号の振幅に基づいて、センサ出力となる電圧Ｖｓを算出する構成とする。これにより、被検流体の流量がゼロのときのセンサ出力を、センサ出力の基準として用いることなく、流量検出を行えるようにする。 （もっと読む）

【課題】広い範囲で流量を測定できる熱式流量計を実現すること。
【解決手段】流路の一部に設けられ流路を流れる流体に温度変化を与える伝熱部と、前記流路上のそれぞれ異なる位置に設けられ前記流体の温度を検出する複数の温度検出部と、前記複数の温度検出部のうち最上流に設けられた温度検出部の検出信号を補正用の検出信号としてその他の検出信号から差し引き、得られた補正後の各検出信号に基づき外気温変化の影響を除外して流量を測定する流体情報検出部、とを備えることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体および測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、環境温度に対する依存性を排除した上で、定温度差制御を行えるようにする。
【解決手段】発熱抵抗体２２を被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱する定温度差制御においては、被検流体の流量（すなわちセンサ出力）と発熱抵抗体２２に供給される電力との間に一定の関係があることに鑑み、発熱抵抗体２２に供給される電力を一定にするための定電力制御を、定温度差制御と並行して行う構成とする。これにより、従来のように基準抵抗体を用いることを必要とせずに定温度差制御を行えるようにし、これにより環境温度に対する依存性を排除する。 （もっと読む）

【課題】流体中の気泡の検出が可能な熱式流量計を実現すること。
【解決手段】流路の一部に設けられ流路を流れる流体に温度変化を与える伝熱部と、この伝熱部近傍に前記流路の流れに沿って設けられ流体の温度を測定する２つの温度検出部と、前記伝熱部で流体に断続的に温度変化を与えたときに得られる前記各温度検出部の検出信号に基づきそれぞれのピークとこれらピークの時間差を求め、あらかじめ記憶されている流体の種別および流量に応じたそれぞれのピークとこれらピークの時間差を比較して気泡の有無を判断する流体情報検出部、とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正確な流量の測定を可能とし、被測定流体の化学反応の進行度や混合の度合い、濃度などの流体の物性変化を測定できる熱式流量計を実現すること。
【解決手段】流路を流れる流体の温度を制御し加熱部の上流側および下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計であって、前記流路上のそれぞれ異なる位置で前記流体の温度を検出する複数の温度検出部と、前記検出された温度に基づいて流体温度の伝熱時間を算出し、前記流体の物性変化を検出する流体情報検出部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】計測時間の長期化及び応答性の低下を抑制しつつ、コスト減を図ることが可能な流体検出装置を提供する。
【解決手段】流体検出装置１は、増幅器３０によって増幅されたアナログ信号Ｓｃと所定電圧との比較結果により、切替スイッチ５０を制御するコンパレータ４０を備えている。切替スイッチ５０は、第１設定及び第２設定間で切り替えられ、第１設定時にＡＤコンバータ６０に０．５Ｖの第１基準電圧を供給し、第２設定時にＡＤコンバータ６０に４Ｖの第２基準電圧を供給する。また、ＡＤコンバータ６０は、マイクロコンピュータ７０により算出される流体情報が異なっている場合において、第１設定時に出力するデジタル信号Ｓｄと、第２設定時に出力するデジタル信号Ｓｄとの値を同じとする重複領域を有している。 （もっと読む）

【課題】流体温度が急速に変化する場合や、流体温度が高い場合においても精度良く流量を検出できる熱式流量計を提供することにある。
【解決手段】
プローブＰＲは、第１の主発熱抵抗体ＭＨ１と、第１の主発熱抵抗体ＭＨ１と異なった温度に設定された第２の主発熱抵抗体ＭＨ２と、二つの主発熱抵抗体ＭＨ１，ＭＨ２の支持体を加熱する副発熱抵抗体ＳＨとを備える。センサ制御回路ＳＣＵのＣＰＵは、二つの主発熱抵抗体を用いて流体温度を求め、二つの主発熱抵抗体の少なくとも一方を用いて流体の流量を求める。 （もっと読む）

【課題】高精度、高分解能な流量計測が可能でコストの安い流量計測装置を提供すること。
【解決手段】被測定対象の流体の流路上に配置したヒータ（３３）と前記流路における流体の流れ方向に前記ヒータ（３３）から間隔をおいて下流側に配置された温度センサ（３５）とを有するフローセンサ（３）を移相回路として含み、前記温度センサ（３５）の出力を増幅手段（１）で反転増幅して前記ヒータ（３３）にフィードバックすることにより発振する移相発振回路（１，３）と、前記移相発振回路（１，３）より出力される発振出力の周波数を計測する周波数計測手段（５）と、前記周波数計測手段（５）で計測された前記周波数に基づいて前記流体の流量に算出する流量算出手段（５）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】センサの異常判定をより詳細に、何が原因であるかを判定できる熱式流量計を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路に配置され、該流体を加熱するヒータ素子Ｒｈと、ヒータ素子によって加熱された流体の温度を測定する感温素子Ｒｕ，Ｒｄを備えたセンサチップと、ヒータ素子へ印加する電気的信号に基づく判定と、感温素子から出力される電気的信号に基づく判定との相関関係からこれに対応する異常を判定し出力する出力制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】
高精度ＥＧＲセンサを提供することを目的とする。また、該センサによりＥＧＲ流量を制御する再循環システムを提供する。
【解決手段】
被測定ガスの流れの中に配設して流量を検出する発熱抵抗体と、この発熱抵抗体と電気的に接続され、前記発熱抵抗体を用いて被測定ガスの流量に応じた信号を出力する外部回路から構成される熱式ガス流量計において、該発熱抵抗体を蒸気形成温度以上に加熱制御することを特徴とする熱式ガス流量計である。 （もっと読む）

【課題】センサ出力の温度に依存するゼロ点変動を低減することのできる熱式流量計を提供する。
【解決手段】ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサ、前記ガスの温度を検出する温度検出素子、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路、および前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備え、特に前記センサ回路の駆動を周期的に停止させて一対の感熱素子の自己発熱を抑制するセンサ電源と、このセンサ電源の動作に同期して前記センサ回路の駆動開始直後であって、前記一対の感熱素子が自己発熱した熱により温度上昇する前に前記センサ回路の出力を抽出するサンプリング回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】センサ出力を用いて制御機器をリアルタイムに制御する必要がある場合であっても、そのセンサ出力を簡易にゼロ点補正することのできる熱式流量計を提供する。
【解決手段】ヒータ回路の駆動停止時に検出されるセンサ回路の出力をゼロ点基準値として求め、前記ヒータ回路の駆動時に前記センサ回路の出力を所定の周期でサンプリングすると共に、サンプリングした前記センサ回路の出力と前記ゼロ点基準値との差をゼロ点補正したセンサ出力として求めるゼロ点補正手段とを備え、流量変動が大きいとき、または温度変化がないときには、ヒータ回路の駆動停止を禁止して前記ゼロ点基準値の更新を中断する。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、センサ出力のゼロ点校正を行っている間も被検流体の流量検出を略正確に行えるようにする。
【解決手段】ゼロ点校正のために発熱抵抗体への通電を停止している間、液温検出用の基準抵抗体に通電して、この基準抵抗体を、通常の流量検出時における発熱抵抗体の加熱設定温度（すなわち発熱抵抗体への通電停止直前（ｔ＝−１）に基準抵抗体により検出されたメタノールの液温に対して所定温度高い温度）に加熱し、このとき基準抵抗体に供給される電力Ｐ（ｔ）に基づいて、校正期間中の各時点におけるセンサ出力Ｖｓ（ｔ）を、下記演算式
Ｖｓ（ｔ）＝Ｖｓ（０）＋Ａ・（Ｐ（ｔ）−Ｐ（０））
を用いて、補助的に得る構成とする。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、センサ出力のゼロ点校正を短時間で略正確に行えるようにする。
【解決手段】発熱抵抗体への通電停止時点Ｔ０における被検流体の流量Ｑと、この通電停止時点Ｔ０から所定時間ｔ経過した時点Ｔ１におけるセンサ出力Ｖｓ１とから、通電停止時点Ｔ０から十分に長い時間経過した時点Ｔoff におけるセンサ出力Ｖｓであるセンサ出力の平衡値Ｖoff を、下記演算式
Ｖoff ＝Ｖｓ１−Ａ／Ｑ^ｎ
Ａ：定数
ｎ：０＜ｎ＜１の範囲内の定数
を用いて予測し、この予測された平衡値Ｖoff に基づいてゼロ点校正を行うようする。 （もっと読む）