【課題】 空気流量計（ＡＦＭ）１より出力されたＡＦＭ出力信号（パルス周波数信号）から換算される空気流量の応答性および計測精度を向上させることを課題とする。
【解決手段】 ＡＦＭ１より出力されるパルス周波数信号の立下がりエッジの発生時刻を検出して、パルス周波数信号の立下がりエッジの発生時刻をエッジ発生時刻レジスタに順次記憶する。次のサンプリングタイミングに到達したら、パルス周波数信号の立下がりエッジの発生時刻間の間隔時間を内部クロックで、同一のサンプリング周期中における平均周期として検出し、その平均周期を空気流量に直接換算しているので、パルス周波数信号から空気流量に変換するまでの変換時間が長くなったり、また、変換誤差が大きくなったりして変換精度が落ちることがない。これによって、ＡＦＭ１より出力されたパルス周波数信号から換算される空気流量の応答性および計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】流路を複雑化することなく且つ簡単な構成で広範囲の流量を高精度に計測することができる流量計を提供すること。
【解決手段】流体の流路Ｓ中に配置したヒータ３２と、流路Ｓにおける流体の流れ方向にヒータ３２から間隔をおいて下流側に配置した第１の温度センサ３３と、ヒータ３２から間隔をおいて上流側に配置した第２の温度センサ３４と、第１および第２の温度センサ３３，３４が出力する第１および第２の流速信号に基づいて流体の流量を測定する流量計であって、ヒータ３２を正弦波状駆動信号で駆動する駆動手段１５と、第１および第２の温度センサ３３，３４からの第１および第２の流速信号を合成して合成波流速信号を生成する合成手段９と、合成手段９からの合成波流速信号と正弦波状駆動信号との位相差を検出する位相差検出手段１１と、位相差検出手段１１で検出された位相差に基づいて、流量を算出する流量算出手段１３とを備えている。 （もっと読む）

流量制御システム（１０、２０）は、流量センサ（１２）、弁制御装置（１３）、信号プロセッサ（１４、１６）、制御プロセッサ（１４、１６）、およびインターフェイス（１４、１７）を含む。流量センサ（１２）は、流量を特徴付けるセンサ信号を生成する。弁制御装置（１３）は、制御出力に応じて流量を制御する。信号プロセッサ（１４、１６）は、センサ信号を、時間の関数として流量を特徴付ける流量信号に変換し、制御プロセッサ（１４、１６）は、設定値および流量信号に応じて制御出力を生成する。インターフェイス（１４、１７）は、設定値を表す入力を受け取り、流量信号を表す流量出力を送り、流量制御システム（１０、２０）の動作状態を直接示す診断出力を送る。 （もっと読む）

【課題】流体の流速乃至流量の高精度な測定を実現できる流速計及び流量計を提供する。
【解決手段】流体の流路上に間隔をおいて配置したヒータ３３および温度センサ３５を有する流速センサ３と、ヒータ３３に一定の周期で電圧が変化する周期電圧波形の駆動信号を入力する駆動手段５と、駆動信号と温度センサ３５から出力される流速信号との位相差を検出し、検出した位相差から流速を算出する演算手段とを備えた流速計において、ヒータ３３に入力される駆動信号をＡＤ変換する第１のＡＤ変換手段９と、温度センサ３５から出力される流速信号をＡＤ変換する第２のＡＤ変換手段８とをさらに備え、演算手段は、第１および第２のＡＤ変換手段９，８からの出力をＦＦＴ演算して位相差を検出し、検出した位相差から、流路を流れる流体の流速を算出するデジタルシグナルプロセッサ１０またはフィールドプログラマブルゲートアレイ１５で構成されている。 （もっと読む）

【課題】設定変更に伴うコストを低減することのできる流量計を提供する。
【解決手段】流量計１は、管路７を流れるガスの流量を検出する流れセンサ１２と、流れセンサ１２により検出された瞬時流量に対応する出力電流を外部に出力する入出力インターフェース３５と、流れセンサ１２により検出された瞬時流量により検出された瞬時流量から入出力インターフェース３５により出力される出力電流への対応（流量−出力対応）を設定するＣＰＵ３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】記憶装置から消去された積算流量を再度読み出せる流量計を提供する。
【解決手段】流路11が設けられた流路保持体10、流路11を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8、検出された流量に基づいて、流路11を流れた流体の積算流量を算出する積算流量算出回路301、算出された積算流量を保存する第1の積算流量記憶装置400、第１の積算流量記憶装置400に保存された積算流量を消去する指示を受け付けるインタフェース350、インタフェース350が指示を受け付けた場合に、第1の積算流量記憶装置400に保存された積算流量を消去する消去回路302、及び第1の積算流量記憶装置302から消去された積算流量を保存する第2の積算流量記憶装置401を備える。 （もっと読む）

【課題】 流れる流体の流量が大きくなる領域と流れる流体の流量が小さくなる領域においてＳ／Ｎ比を向上させることが可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、伝熱手段を周期的な駆動信号で駆動すると共に上流側及び下流側の温度検出手段の温度検出信号を駆動信号に基づき同期検波して上流側及び下流側の温度を演算して流量を求める駆動演算手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、流路上であって下流側の温度検出手段の外側の位置に設けられた第２の温度検出手段と、流路を流れる液体の温度を伝熱手段で制御すると共に測定する流量に応じて上流側及び下流側の温度検出手段で検出された温度の温度差若しくは下流側の温度検出手段と第２の温度検出手段における温度検出の時刻の時刻差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ヒータ抵抗の駆動電圧を精度良く安定して制御することができる放熱型流量センサを提供する。
【解決手段】コンパレータ１５の比較結果を可変クロック１６およびアップダウンカウンタ１７に入力する。そして、ヒータ抵抗１４を加熱する場合、可変クロック１６から出力される第１の周期ｔｂのクロック信号に応じてアップダウンカウンタ１７がアップカウント動作を行い、Ｄ／Ａコンバータ１８の出力を素早く上昇させてヒータ抵抗１４の駆動電圧を上昇させる。他方、ヒータ抵抗１４の加熱を停止する場合、第１の周期ｔｂよりも遅い第２の周期ｔａのクロック信号に応じてアップダウンカウンタ１７がダウンカウント動作を行い、少しずつヒータ抵抗１４の駆動電圧を下げる。このようにして、ヒータ抵抗１４を駆動制御して、傍熱抵抗１２と吸気温度計測抵抗１３との温度差が一定になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】熱式流量計において、被測定ガスに含まれる液相成分の気化による流量検出誤差を補正する。
【解決手段】熱式流量計は、被測定ガス中に配置したセンサ素子の第１の発熱抵抗体Ｒｈ１及び第２の発熱抵抗体Ｒｈ２から構成される発熱抵抗体に、それぞれ異なる所定の電圧を印加して第１の温度状態と第２の温度状態を設定し、第１の温度状態における被測定ガスの第１の流量値Ｑ１と、第２の温度状態における被測定ガスの第２の流量値Ｑ２とを算出し、第１の流量値と第２の流量値との比（Ｑ１／Ｑ２）、又は前記比の４乗値（Ｑ１／Ｑ２）^４に基づいて流量補正値ΔＱを算出し、被測定ガスの流量を補正する補正回路５００を備える。 （もっと読む）

【課題】バッテリ電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス変調制御方式の熱式ガス質量流量計を実現する。
【解決手段】発熱センサ素子５の両端電圧Ｖ１、Ｖ２を同時に測定するとともに、発熱センサ素子５に流れる電流値を検出して、抵抗値算出手段３３により抵抗値を算出する。これにより、バッテリ電源１の電圧が変動した場合でも正確に発熱センサ素子５の抵抗値を知ることができる。発熱センサ素子５の正確な抵抗値から、発熱センサ素子５の温度を正確に算出することができるので、バッテリ電源１の電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス幅変調制御の熱式ガス質量流量計を実現できる。 （もっと読む）

【課題】変換率設定用抵抗器及び変換用コンデンサの温度変化を抑制することで検出誤差を低減する流量検出装置を提供する。
【解決手段】流量検出装置１０はブリッジ回路１１、Ｖ／Ｆ変換回路１９などから構成されている。Ｖ／Ｆ変換回路１９では、ブリッジ回路１１により出力されるアナログ信号が電流に変換され、この電流によりコンデンサ１８が充電される。一方、コンデンサ１８の充電電圧が所定電圧に達する度に同コンデンサ１８が放電される。Ｖ／Ｆ変換回路１９は、コンデンサ１８の充電電圧に基づいて上記アナログ信号に応じた周波数のディジタル信号を出力する。ここで、上述したＶ／Ｉ変換の変換率は抵抗器１７の抵抗値により設定される。ブリッジ回路１１及びＶ／Ｆ変換回路１９が実装されるセラミック基板２２において、抵抗器１７及びコンデンサ１８をパワートランジスタＴＲ1からの伝熱を緩和する熱緩和領域分だけ離間させて実装する。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションやゼロ調整を頻繁に行なう必要のない熱式流量計を提供する。
【解決手段】流路の近傍に配置され、前記流路を流れる液体を過熱若しくは冷却する伝熱手段と、
前記流路の近傍であって前記伝熱手段から等間隔の上流側及び下流側に配置され、前記液体の温度を測定する第１,第２温度検出手段と、
前記伝熱手段と下流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第３温度検出手段と、
前記第１,第２,第３温度検出手段手段からの出力信号に基づいて原理の異なる２つの演算方式で流量を演算する流量演算手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】定常流量域での流体流量を高精度に計測すると共に、定常流量域を外れた過大流量についても計測することのできる簡易な構成の熱式流量計を提供する。
【解決手段】一対の感温素子を備えたセンサチップの上記感温素子の近傍温度を該センサチップに沿って通流する流体の温度よりも一定温度だけ高める加熱手段と、前記一対の感温素子により検出される温度差から前記流体の流量を求める第１の流量演算手段と、前記前記加熱手段の駆動エネルギから前記流体の流量を求める第２の流量演算手段と、前記第１の流量演算手段が求めた流量が流量閾値を超えるとき、前記第１の流量演算手段が求めた流量に代えて前記第２の流量演算手段が求めた流量を出力する出力制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】汚損物の付着による特性変動が抑制され、長期にわたり測定精度を高く維持することが可能な熱式流量計を簡単な構成で実現する。
【解決手段】ダイアフラム部２の表面には発熱抵抗体６を形成し、発熱抵抗体６の両側（空気流上下流側）には温度差センサ９〜１２を形成する。温度センサ９、１０は発熱抵抗体６の上流側、温度差センサ１１、１２は発熱抵抗体６の下流側に配置し、温度差センサ９〜１２の両側には加熱温度センサ８ａ、８ｂを形成する。加熱温度センサ８ａ、８ｂの温度は空気流の温度よりも一定温度高くなるように制御されことから、センサ素子１の汚損物が付着した場合でも加熱温度センサ８ａ、８ｂの温度は一定に保たれ、流量を検出する温度差センサ１０、１２は加熱温度センサ８ａ、８ｂの内側に位置することから温度変化は小さく、特性変動が抑制され、長期にわたり測定精度を高く維持することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な計算手段を必要とせず、脈動成分の振幅が大きく、かつ、高い周波数であっても高精度の流量計測を行うことのできる流量計を得る。
【解決手段】メイン流路１に、その一端が連通する袋状の空間部２を設ける。第１の流速センサ３はメイン流路１を流れる気体の流速を検出し、第２の流速センサ４は、空間部２を出入りする気体の流速を検出する。これら第１の流速センサ３及び第２の流速センサ４の出力の差分値を得ることにより、気体の流速に脈動成分が含まれている場合、その変動範囲を小さくすることができ、その結果、これを受ける回路にて精度の高い流速値を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】微少流量から大流量まで高精度で検出することができる流量検出装置を提供する。
【解決手段】上流側サーミスタＴＨ１及び下流側サーミスタＴＨ２の少なくとも一方を加熱する加熱回路３１と、その抵抗値変化の差を電圧として取り出す差動増幅回路３３と、その電圧を処理して流量に対応した信号を出力する演算部３６と、演算部３６の出力信号に基づいて出力電圧のゼロ点を微調整するゼロ点微調整回路３４を含む検出回路３とを備え、演算部３６は、両サーミスタを同時に加熱したときの冷却時間の差を第１の流量値として取り出す第１の検出動作と、ゼロ点微調整回路３４を駆動しつつ一方のサーミスタのみを加熱しそのサーミスタの冷却時間を第２の流量値として取り出す第２の検出動作と、上流側サーミスタＴＨ１のみを加熱したときの下流側サーミスタＴＨ２が温度上昇するまでの時間を第３の流量値として取り出す第３の検出動作とを選択的に実行する。 （もっと読む）

【課題】感度が良く、安価で、茎の直径が小さな植物の茎液流を測定することができる茎液流測定用センサ、茎液流測定装置及び茎液流測定方法を提供する。
【解決手段】茎液流測定用センサ１は、絶縁性の合成樹脂フィルム又はシート、或いは、絶縁性のセラミックウェハなどの無機材料のシート又薄い板からなる基材２と、その表面に配置された一対の薄膜金属測温抵抗体３、５と、その一対の抵抗体３、５の間に並列に形成された薄膜金属ヒータ４、さらに、薄膜金属測温抵抗体３、５の電気信号をそれぞれ取り出す一対の導電性材料６、及び薄膜金属ヒータ４へ電流を供給する導電性材料７からなる。基材２の表面は、薄膜金属測温抵抗体３、５及び薄膜金属ヒータ４を配置した後、絶縁材料８でコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】連続的な計測であっても計測精度の再現性を向上する。
【解決手段】フローセンサ１のヒータ４の温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように前記ヒータ４を駆動する流体計測装置２０において、流量の計測期間にわたってヒータ４を間欠的に駆動させる制御を行うヒータ制御手段４１ａと、前記ヒータが４駆動を停止する度に上流側温度信号及び下流側温度信号の差を非駆動時温度信号として取り込む非駆動時温度信号取込手段４１ｂと、ヒータ４の駆動に応じて上流側温度センサ８及び下流側温度センサ５が出力する各温度信号の差を、前記非駆動時温度信号に対応した駆動時温度信号として取り込む駆動時温度信号取込手段４１ｃと、該駆動時温度信号を非駆動時温度信号に基づいて補正する補正手段４１ｄと、該補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段４１ｅと、を有する。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）