【課題】 力覚センサーの先に設けられた機械機構により外力が変調される場合に、精度の高い外力検知を行う外力検知装置、ロボット制御システム及び外力検知方法等を提供すること。
【解決手段】 外力検知装置３０は、力覚センサー１０から出力されたセンサー情報を取得する取得部３２と、取得したセンサー情報に対して補正処理を行う補正部３４とを含み、力覚センサー１０には、外力ｆを変換して力Ｆとして力覚センサー１０に伝達する機械機構（ハンド１１０等）が設けられ、補正部３４は機械機構での変換の逆変換を補正処理として行う。 （もっと読む）

【課題】操作方向による荷重検出精度のばらつきを低減した多方向入力装置を提供すること。
【解決手段】表面側に複数の押圧部（３３ａ〜３３ｄ）が等角度間隔に配置される操作部材（３）と、操作部材（３）の裏面側に対向配置され、押圧部（３３ａ〜３３ｄ）と対応する表面側の位置にスイッチを備える基板（６）と、基板（６）の裏面側における操作部材（３）の中央に対応する位置に設けられる荷重センサ（７）と、荷重センサ（７）に対して荷重を印加できるように基板（６）の裏面側に配置されるフレーム（８）と、を備え、押圧部（３３ａ〜３３ｄ）に対する所定の押圧力により当該押圧部（３３ａ〜３３ｄ）と対応するスイッチの導通状態が切り替えられると共に、基板（６）の移動を伴って、フレーム（８）により押圧部（３３ａ〜３３ｄ）に対する押圧力に対応する荷重が荷重センサ（７）に印加されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】力検出装置に用いるセンサー素子の側面に配線層を形成することによって、配線スペースを小さくし小型の力検出装置を提供する。
【解決手段】α軸と、前記α軸に直交するβ軸と、前記α軸と前記β軸とに直交するγ軸とし、圧電基板と電極を、前記γ軸方向に積層して形成されるセンサー素子であって、前記電極の外形部の一部が前記圧電基板の外形部の一部に重なるよう配置される接続部を備え、前記γ軸の方向視において前記接続部が互いに重ならないように配置され、前記圧電基板の外周部の一部に、前記接続部と外部接続部とを電気的に接続する配線と、が形成されているセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】高い感度の力検出を可能とするセンサー素子と、そのセンサー素子を用いたセンサーデバイスおよび力検出装置と、その力検出装置を備える高い信頼性と安全性を有するロボットを提供する。
【解決手段】三方晶系の単結晶より形成された圧電基板と、前記圧電基板の一方の基板面に配置される第１電極と、他方の基板面に配置される第２電極と、を備えるセンサー素子であって、前記圧電基板の前記基板面は、結晶軸のＸ軸（電気軸）を含み、前記基板面と、前記結晶軸の前記Ｘ軸（電気軸）とＺ軸（光軸）とを含む面と、により成す角度θが、０°＜θ＜２０°であるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減することのできる把持用センサ及びロボットハンド駆動制御装置を提供する。
【解決手段】把持用センサ１０は、厚肉部１４に取り囲まれた空洞部１６と、空洞部１６を架橋して厚肉部１４上に形成されたメンブレン１８を有する基板１２と、メンブレン１８の一面１２ａ上に、下部電極３２、圧電体膜３４、上部電極３６の順に積層形成された圧電素子３０と、を備える。互いに電気的に分離された複数の圧電素子３０のうち、一部の圧電素子３０の上部電極３６上に、電気絶縁性材料からなる突起部３８が形成され、突起部３８を有する圧電素子３０は、垂直圧力を検出するための垂直圧力検出素子４０とされている。また、垂直圧力検出素子４０とは別の圧電素子３０として、超音波の送信及び超音波の受信の少なくとも一方に用いられる超音波素子４２を有し、該超音波素子４２は、少なくとも基板１２の空洞部１６上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成で高度な制御を実現可能なインホイールモータ駆動装置を提供する。
【解決手段】インホイールモータ駆動装置１１は、モータ側回転部材を回転駆動するモータ部と、モータ側回転部材の回転を減速して車輪側回転部材に伝達する減速部と、車輪側回転部材に固定連結された車輪ハブ２６と、車輪ハブ２６を回転可能に支持する車輪ハブ軸受と、モータ部、減速部、または車輪ハブ軸受を覆うケーシング１２と、ケーシング１２に取り付けられ、当該ケーシング１２に生じる歪みを検出可能な複数のセンサ４３と、センサ４３により出力された歪み信号に基づいて、車輪に負荷される荷重を演算する信号処理装置４６とを備える。 （もっと読む）

【課題】材料の衝撃試験における荷重の測定において、衝撃によって発生する荷重振動を簡便に抑制する荷重測定方法および装置を提供する。
【解決手段】試験片に衝撃を与える撃芯を有し、前記撃芯に隣接した荷重検出部を有し、前記撃芯と前記荷重検出部を駆動するロッドを有し、前記ロッドにより前記撃芯と前記荷重検出部を駆動することで、前記撃芯により試験片に衝撃を与え、前記荷重検出部により衝撃荷重を検出する衝撃荷重測定方法であって、前記荷重検出部と前記ロッドとの間に低反発性樹脂を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３軸方向の力に対する検出能力に大きな差が出ない力検出装置と、その力検出装置を実現するセンサー素子を提供する。
【解決手段】非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、導電性を有する電極基板と、を有し、前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置されるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は：作業ロールチョックの軽微な改造のみで配備可能であり、プロジェクトブロックを含むハウジングの大規模な改造が不要であり；圧延する板材の板厚が変化しても、作業ロールチョックに作用する弾性歪を正確に常に測定することが可能であり；そして、その正確に測定された弾性歪に基づいて、高精度の蛇行・キャンバー制御、反り制御、および零点調整が実現できる、圧延装置および圧延方法を提供する。
【解決手段】少なくとも上下一対の作業ロールと補強ロールとを有する圧延装置において、前記作業ロールの作業側ロールチョックおよび駆動側ロールチョックの入側および出側に発生する圧延方向の弾性歪を測定する歪測定手段を備えていることを特徴とする圧延装置、および該装置を用いて実施できる圧延方法。特に、前記歪測定手段は測定信号を無線で伝送してもよい。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の水平方向の位置決め精度を確保しながら製造効率も向上させる。
【解決手段】圧電素子保持板１１０に複数の挿通孔１１０ｈを形成し、この挿通孔に中空形状のガイド部材１１２を挿通させて圧電素子保持板１１０を積層する。その後、ガイド部材１１２の中空部分に与圧ボルト１１４を通して上部部材１０２と下部部材１０４とを締結することによって、圧電素子保持板１１０（圧電素子）を与圧する。ここで、ガイド部材１１２の中空部分を与圧ボルト１１４の外径よりも小さくしておき、与圧ボルト１１４を通すとガイド部材１１２が押し広げられて挿通孔に当接するようにしておく。こうすれば、圧電素子保持板１１０の積層時には、挿通孔とガイド部材との間に隙間があるので迅速に積層することができ、積層後は与圧ボルト１１４を通してガイド部材１１２を押し広げることで、圧電素子保持板１１０を精度良く位置決めすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子をウエハから容易に無駄なく形成することができ、ｘ方向とｙ方向とで感度が異ならない力センサーを提供する。
【解決手段】圧電素子の外周形状は、少なくとも４つの辺を有し、４つの辺のうちの第１辺と第２辺とは互いに平行で、残りの第３辺と第４辺とも互いに平行で、第１辺と第２辺との間隔と、第３辺と第４辺との間隔とは等しく、更に、第１辺の延長線と第３辺の延長線とは直交する形状に形成されている。こうすれば、同一のウエハから切断したものを、ｘ方向用圧電素子あるいはｙ方向用圧電素子として共通して使用することができるので、ｘ方向とｙ方向の感度を揃えことができる。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを有する基板１１と、第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ第一の開口部１１１Ａの上方に配置された第一の検出部１３Ａと、支持膜１２上、かつ第二の開口部１１１Ｂの上方に配置された第二の検出部１３Ｂと、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂの上に配置された弾性部材１６と、を備え、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂのそれぞれは、圧電積層部１４を備え、弾性部材１６は、基板１１の厚み方向で見た平面視で、少なくとも、第一の検出部１３Ａ、第二の検出部１３Ｂ、並びに第一の検出部１３Ａと第二の検出部１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２上を覆い、弾性部材１６表面は、基板１１面と平行に形成されている触覚センサー素子１０。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】開口部１１Ａ〜１１Ｄを有する基板１０と、開口部１１Ａ〜１１Ｄを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ開口部１１Ａ〜１１Ｄ上方に配置された検出部１３Ａ〜１３Ｄと、検出部１３Ａ，１３Ｂ上に配置された弾性部材１６Ａと、検出部１３Ｃ，１３Ｄ上に配置された弾性部材１６Ｂと、を備え、基板１０厚み方向で見た平面視で、開口部１１Ａの重心と開口部１１Ｂの重心とを結ぶ線分と、開口部１１Ｃの重心と開口部１１Ｄの重心とを結ぶ線分とは離間し、かつ非平行であり、弾性部材１６Ａは、前記平面視で、検出部１３Ａ，１３Ｂ、並びに検出部１３Ａ，１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２の上を覆い、弾性部材１６Ｂは、前記平面視において、検出部１３Ｃ，１３Ｄ、並びに検出部１３Ｃ，１３Ｄとに挟まれる領域の支持膜１２の上を覆う触覚センサー素子２。 （もっと読む）

【課題】高速変形を含む広範囲の変形速度における高精度引張荷重または圧縮荷重を計測するに際して、たとえ偏心荷重が作用しても荷重を正確に計測することができる荷重計測装置を得る。
【解決手段】引張荷重又は圧縮荷重を計測する柱状の荷重検出部２と、該荷重検出部２の軸線方向の一端側に設けられて引張荷重又は圧縮荷重を作用させる接触部５及び他端側に設けられた支持部６とを有する荷重計測部材１と、該荷重計測部材１を、この荷重計測部材１と非接触で荷重検出部２の軸線周りに覆う筒部３と、該筒部３の内周面と荷重計測部材１の接触部５及び支持部６における筒部３の内周面との対向面との間に介在させた複数の転動子４とを備え、該転動子４を、荷重により変位した接触部５及び支持部６を、筒部３の内周面に沿って荷重検出部２の軸線方向に案内する方向に転動自在に配設する。 （もっと読む）

【課題】生産性が良好で、かつ応力の検出精度が高い応力検出素子、センサーモジュール、および電子機器を提供する。
【解決手段】応力検出素子１００は、互いに平行する第一直線部１１１Ａ及び第二直線部１１１Ｂを有する開口部１１１を備えたセンサー基板１１と、開口部１１１を閉塞する支持膜１２と、第一直線部１１１Ａに沿い、かつ、開口部１１１の内外に跨って支持膜１２上に設けられる第一圧電素子１３Ａと、第一直線部１１１Ａに沿い、かつ、開口部１１１の内外に跨って支持膜１２上に設けられる第一弾性部１４１Ａと、平面視において、第二直線部１１１Ｂに沿い、かつ、開口部１１１の内外に跨って支持膜１２に設けられる第二弾性部１４１Ｂと、を具備し、第一弾性部１４１Ａの第一弾性端部１４３Ａ、及び第二弾性部１４１Ｂの第二弾性端部１４３Ｂは、弾性間ギャップＧｘを介して対向する。 （もっと読む）

【課題】過荷重が加えられる場合でも、荷重センサの破損を防止すること。
【解決手段】操作荷重に応じた信号を出力する荷重センサ（４）と、操作荷重が加わる一端側から荷重センサ（４）に当接する他端側に延在し、延在方向の途中部分を支点として荷重センサ（４）に対して操作荷重を伝える腕部材（３）と、腕部材（３）に対向して配置され、腕部材（３）を揺動可能に係止するベース部材（２）と、腕部材（３）の一端側を操作荷重の作用方向に対して逆方向に押圧し、支点を介して荷重センサ（４）に初期荷重を生じさせる片持バネ（２２）とを備え、一端側において腕部材（３）に加えられた操作荷重は、支点を介して他端側において腕部材（３）に対し荷重センサ（４）の初期荷重を減少させる方向に力を作用させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】力検出装置への組み込みにおいても、センサー素子の位置ずれが発生せず、高いセンサー感度が維持されるセンサーデバイス、および力検出装置を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１００は、圧電体４０と、電極５０とを積層して形成されるセンサー素子６０と、前記センサー素子を収納する、第１容器１０と第２容器２０と、を備え、前記第１容器１０および第２容器２０により、前記圧電体４０および前記電極５０の積層方向に前記センサー素子を押圧する押圧部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧力センサー６は、開口部６１Ａを有する支持体６１と、支持体６１上に設けられて、開口部６１Ａを閉塞するダイアフラム部７を有する支持膜６２、及びダイアフラム部７上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体６３を備えた圧力検出部９と、圧力検出部９上に、支持膜６２の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部６４Ａを有するとともに、支持膜６２を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１が開口部６１Ａと重なる位置、または開口部６１Ａよりも外側に形成される枠体６４と、枠体６４を閉塞する封止膜６５と、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１、封止膜６５、圧力検出部９により形成される内部空間６６に充填されるシリコーンオイル２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】固定側電極及び可動側電極による被溶接部材の加圧力を容易にかつ確実に検出することのできる加圧力検出工具を提供する。
【解決手段】第１溶接電極１３２及び第１溶接電極１３２に隣接して被溶接部材に当接する制御加圧部１３４と、第１溶接電極１３２と対向して被溶接部材に当接する第２溶接電極１３３とによって被溶接部材を挟持加圧し、挟持加圧状態で第１溶接電極１３２と第２溶接電極１３３との間で通電してスポット溶接するスポット溶接装置１３０の加圧力を検出する加圧力検出工具１０であって、第１溶接電極１３２側から制御加圧部１３４が当接する当接範囲Ｒ１を有するベース部２１、ベース部２１の当接範囲Ｒ１側に設けられて第１溶接電極１３２の加圧力を検出する第１加圧力センサ３０、第１加圧力センサ３０に対してベース部２１を介在してベース部２１に設けられて第２溶接電極１３３の加圧力を検出する第２加圧力センサ３１を備える。 （もっと読む）