【課題】機器内外の温度変化を受けにくく、簡易な構造で、より正確にゼロ点を調整することができ、ひいては精度の高い微差圧計測をすることができる微差圧計を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム１３を挟んで区画された第１の測定室（高圧側測定室１１）及び第２の測定室（低圧側測定室１２）に接続された通気管（１４、１５）の一方、又は双方に備えられた切替バルブ（２１ａ、２２ａ）が所定のタイミングで動作して、流路の切り替えが行われ、第１の測定室（高圧側測定室１１）内の圧力と、第２の測定室（低圧側測定室１２）内の圧力とが等しくなることによって、ゼロ点の調整が行われる。 （もっと読む）

【課題】測定媒体の圧力脈動に起因してワイヤが断線してしまうことを防止できるようにした圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出室４０内のメタルダイアフラム３４とボンディングワイヤ１３との間において、メタルダイアフラム３４に対して圧力が印加される方向から見て、ボンディングワイヤ１３を覆うように配置されたシールド部材３６を備えるようにする。このように、ワイヤ１３を覆うようにシールド部材３６を配置することにより、仮に測定媒体の圧力脈動により圧力伝達媒体４１が流動したとしても、シールド部材３６にてワイヤ１３を覆っているため、圧力伝達媒体４１の流動がシールド部材３６にて遮られる。したがって、圧力伝達媒体４１の流動によってワイヤ１３が断線してしまうという不具合を無くすことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】水圧による歪を正確に計測することが可能な分布型光ファイバセンサの提供。
【解決手段】チューブと、該チューブの外周に配設された水圧歪検出用光ファイバと、該水圧歪検出用光ファイバに接するように設けられた多数の球体と、前記チューブの肉厚内に埋設された自重歪検出用光ファイバとを有し、且つ前記チューブ内に抗張力繊維とともにチューブに固定されていない状態で温度補償用光ファイバが収容されたことを特徴とする分布型光ファイバセンサ。 （もっと読む）

【課題】より正確な歪計測が可能であり、しかも水圧測定用と温度補償用とを１本の光ファイバで兼用させることで、低コスト化が可能な分布型水圧センサの提供。
【解決手段】長手方向に沿って連続的に又は断続的に光ファイバを収納可能な溝が設けられた管状体と、該管状体の外周に撚り合わされた光ファイバとを備え、前記管状体の外周に光ファイバが撚り合わされた撚り部と、前記管状体内に光ファイバが収納された直線部とが、前記管状体の長手方向に沿って交互に設けられ、前記管状体の先端部に設けられた撚り部又は直線部の先端側の光ファイバを折り返して管状体内に導入する折り返し部が設けられるとともに、該折り返し部から基端側に向かう光ファイバが管状体内に直線的に収納されて温度補償部が形成されてなる分布型水圧センサ。 （もっと読む）

【課題】圧力流体中に含まれる塵埃等の検出部への進入を防止し、前記圧力流体の圧力検出を確実且つ安定的に行う。
【解決手段】圧力スイッチ１０は、ハウジング１２を構成するケース２８に孔部３０を介して継手ホルダ１８が装着され、前記継手ホルダ１８に配管７７が接続された継手２０が接続される。この継手ホルダ１８には、貫通孔４２の中央部に前記ハウジング１２内に収容された検出部１６と一直線上に配置された防護壁６８を有し、継手２０の管路７８を通じて検出部１６へと導入される圧力流体が、前記防護壁６８を避けるように一組の連通口７０ａ、７０ｂへと迂回するように流通する。 （もっと読む）

【課題】ノイズに起因する測定値の誤差を排除できる圧力測定装置を提供する。
【解決手段】第１の振動子２１、第２の振動子２２および第３の振動子２３をセンサチップ上に設ける。選択部５は、ノイズの影響により第１の振動子２１、第２の振動子２２または第３の振動子２３の共振周波数が変動したことを検出するとともに、ノイズの影響が検出されなかった２つの振動子を選択する。演算部６は、選択された２つの振動子の共振周波数に基づいてセンサチップの変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガス等であっても好適に使用することができ、かつ簡易な構成で高精度な測定が可能な差圧センサを提供する。
【解決手段】圧力室１ａ，１ｂ間に生じた差圧に応じて可動部材５を位置検知部４側に変位させる外力と、可動部材５との接触度合いで変化する位置検知部４の電気抵抗に応じた通電量で電磁コイル８が発生した可動部材５を引き戻す電磁力との釣り合い位置における通電量を検知結果として出力する。 （もっと読む）

【課題】圧力検知部の表面水が凍結しても反応ガスの温度により早期に解凍され、圧力センサ取付け時にネジの締め込みによる圧力検知部の異常な変形を防止する圧力センサを提供する。
【解決手段】燃料電池に供給排出される反応ガスの供給排出配管２に設けられ、配管２内の反応ガスの圧力を測定する圧力センサ１であって、ネジが切られ配管２の管壁３と係合する係合部５と、配管２の反応ガス流路４に面し、変位することで配管２内の圧力を検知する圧力検知部６と、圧力検知部６に設けられ圧力検知部６の変位を測定する変位センサ７と、係合部５と圧力検知部６とを配管２の反応ガス流路４と流通する緩衝層１４を挟んで接続し、圧力センサ１が配管２に係合される際に、ネジのトルクにより発生する応力に対して変形することで圧力検知部１に発生する異常な変位を吸収する緩衝部８と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、特に携帯可能／輸送可能な装置内の空気を圧縮するためのコンプレッサユニットに関する。前記コンプレッサユニットは、モータとコンプレッサと圧力計とを備え、前記圧力計は、ねじ結合部を介してコンプレッサユニットに結合され、圧力計への圧力媒体の供給はねじ山を通して行われる。
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隔膜真空測定セルを製造する方法が提供され、隔膜（２）の一方の側には間隔をおきながら第１のハウジングプレート（１）が縁部領域で、結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）の他方の側には間隔をおきながら第２のハウジングプレート（４）が縁部領域で結合手段（３）により封止をするように配置されており、第２のハウジングプレート（４）は開口部を有しており、該開口部には測定セル（８）を測定されるべき媒体と接続するために接続手段（５）が結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）と両方のハウジングプレート（１，４）は金属酸化物でできている。測定セルが真空室（６４）の中で、特に測定セルの開口部を通じてＡＬＤ法によりコーティングされ、それにより測定真空室（９）の内壁および開口部が接続手段（５）とともに保護層（１３）で被覆され、それにより少なくとも隔膜（２）の結合手段（３）が腐食から保護されるように覆われる。
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【課題】小型化で、簡易な回転機構により表示部が回転する検出器を提供すること。
【解決手段】検出器１０は、流体用の配管に取り付けられる継手部２０と、継手部２０に取り付けられ、センサ６０が収納されたケース部３０と、ケース部３０に取り付けられ、基板７０が収納されたホルダ部４０と、ホルダ部４０に取り付けられ、遮光板５３が一体成形されたカバー部５０とからなる。
ホルダ部４０には、円環状の第一の凸部４２１と、突出部４２３を有した板ばね４２２と、第一の凸部４２１の内周側に沿って一部がさらに突出した回転抑止部とが一体成形されている。
ケース部３０には、第一の凸部４２１と係合する円環状の第一の凹部３２が形成され、その内面には溝部３３が形成されている。第一の凹部３２の内周側には、円環状の第二の凹部３４が設けられ、その底面には立ち上がり部３５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型軽量化を図ることができるファン回転制御装置を提供する。
【解決手段】変位部材の変位を拡大機構５２５によって拡大して可動端子２５３ｃを作動してポテンショメータの抵抗値を変化させる圧力−抵抗値変換機構２５Ａと、抵抗値に応じた電気信号によりファン回転用モータに供給する電力を調節してファン回転用モータの回転数を制御する制御回路とがケース内に収容される。拡大機構の第１の回動レバー５２１が、回動中心寄りに当接された変位部材の変位に応じて回動される。第２の回動レバー５２２が、回動中心寄りに当接された第１の回動レバーの自由端部の変位によって回動され自由端部に設けられた可動端子を作動させる。第１の回動レバーの当接面５２１ｃ１が第１の回動レバーの回転中心を通るレバー軸と直交する軸に対して鋭角をなす傾斜面であり、第２の回動レバーの当接面５２２ｄ１が円弧状である。 （もっと読む）

プロセス流体圧力測定システムは、コープレイナー・マニホールド（１２０）に連結するプロセス流体圧力トランスミッタを含む。コープレイナー・マニホールド（１２０）は、プロセス流体源に連結可能な第１の穿孔（１１２）、および第１の穿孔に接続されて排出孔（１０８）内で終端する排出流路（１１４）を含む。コープレイナー・マニホールド（１２０）は、弁軸（５２）を受けるように構成された少なくとも１つのポート（１２２）を含む。弁軸（５２）をコープレイナー・マニホールドに直接係合することで、コープレイナー・マニホールドに選択的な排出口を設ける。また、本発明の態様は、流体をプロセス流体圧力トランスミッタに連結するためのコープレイナー・マニホールドと、そのようなコープレイナー・マニホールドに排出口を設ける方法とを含む。
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【解決手段】
構造物内で容量的に結合された電極の少なくとも一つの対が、ダイヤフラムに加えられる圧力または力を測定する圧力または力センサー内のダイヤフラムの撓みを検知するために用いられる。構造物は、半導体ウエハー、または、平面表示パネルなどの実際の基板の特性（寸法、硬度、面積、柔軟性などの一つまたは複数の特性）と実質的に同じ特性を有することが好ましい。せん断力の測定に関しては、部材が研磨または平坦化のプロセスを経る表面に対して接触し、押し付けられ、二つの表面間に水平方向の力が加えられる場合に、部材上のせん断力を測定するために少なくとも一つのセンサーが用いられる。構造物と構造物表面が、半導体ウエハーまたは平面表示パネルなどの実際の基板と実質的に同じ特性（寸法、摩擦係数などの一つまたは複数の以上の特性）を有することが好ましい。 （もっと読む）

トランスミッタ（１０）は、プロセスパイプ中のプロセス流体の流量を感知する。プロセスパイプ（２０）は、プロセス流体の一次流を運ぶ、その中に配置された流量制限部（２２）を含むことができる。インパルス配管（３０）が、プロセス流体の二次流を流量制限部の上流側から下流側まで運ぶように構成されている。界面動電要素（１２）がインパルス配管（３０）内に配置され、一次流に関する界面動電位を発生させるように構成されている。トランスミッタ（１０）内の計測回路が、界面動電要素（１２）を横切る界面動電位を計測し、界面動電位をプロセスパイプ（２０）中のプロセス流体の流量に関連させるように構成されている。
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【課題】測定対象物の壁面に取り付けることによる特性変動を抑制できる圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング３０の部屋３２に切欠き部３９を形成する。この切欠き部３９があるため、軸力によってハウジング３０が変形したとしても、その変形による影響が溶接部３７まで伝わらない。このため、リングウェルド３６もしくはメタルダイアフラム３５が負圧方向（圧力導入孔３１側に引っ張られる方向）に力を受けることを抑制でき、オイル４１が封入された圧力検出室４０に影響を与えることを抑制できる。これにより、圧力検出室４０内の圧力が所望の基準圧からずれることを防止でき、圧力センサＳ１の特性変動を抑制できる。したがって、正確な圧力検出が行える圧力センサＳ１にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】より微小な圧力変化をも検知することができる光学式圧力センサを提供する。
【解決手段】ベースフィルムに第１面及び第２面の間を貫通する貫通孔が設けられ、光ファイバのＦＢＧ部が平面視において前記貫通孔上に位置するように前記光ファイバが前記ＦＢＧ部以外の領域において前記ベースフィルム２に固定される。本発明に係る光学式圧力センサは、前記ベースフィルムの前記第２面が対象物体の表面に直接又は間接的に密着するように、対象物体に装着される。 （もっと読む）

【課題】ブルドン管内に残留した流体を速やかに排出でき、ブルドン管内を流れる流体の流量を増加できる圧力計及びクロマトグラフ装置を提供することにある。
【解決手段】ブルドン管式圧力計１は、対となるブルドン管２Ａ，２Ｂを有し、ブルドン管２Ａの自由端部４Ａとブルドン管２Ｂの自由端部４Ｂを接続管６によって接続している。この接続管６は、ブルドン管２Ａの内部空間とブルドン管２Ｂの内部空間を連絡する。ブルドン管２Ａ，２Ｂは、同じ材質及び同じ寸法で作製されており、流体の圧力に対応して同じ動きをする。管路１２Ａ内を流れる流体は、ブルドン管２Ａの自由端部３Ａ内に流入する。この流体は、ブルドン管２Ａ内を通り、ブルドン管２Ａの自由端部４Ａから接続管６内を通ってブルドン管２Ｂの自由端部４Ｂ内に達する。ブルドン管２Ｂ内に流入した流体は、固定端部３Ｂから管路部１２Ｂに導かれる。 （もっと読む）

とりわけ自動車のエアコン装置の冷媒回路で使用するための、流動媒体の圧力および温度を測定するための差込みセンサ（１１０）が提案される。この差込みセンサ（１１０）は、センサ軸（１２０）を備えるセンサ本体（１１２）と、このセンサ本体（１２０）に実質的に同心に配置された圧力センサ（１２４）を有する。さらにセンサ本体（１２０）には、圧力センサを流動媒体と接続するための貫通孔部（１２６）と、温度センサ（１４０）をその中に収容する温度センサ孔部（１３２）が設けられている。前記温度センサ孔部（１３２）は温度センサ孔軸（１３４）を有し、この温度センサ孔軸は、前記流動媒体に向いた側の前記センサ軸（１２０）の端部（１３０）に向かって傾斜している。
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【課題】圧力センサ１０において、歪みゲージ２６を設けたダイヤフラム２０を凍結から保護することに起因するコストの大幅な上昇を防止して、かつ、圧力検出の精度を良好にすることである。
【解決手段】取付用筒部１２に固定したダイヤフラム２０の外側に隙間を介して弾性材製のカバー３０を設けて、ダイヤフラム２０を気密かつ液密に密封する。カバー３０を、有底短円筒状の本体部とつば部とを備える構成とする。カバー３０の弾性変形により、カバー３０の底板部をダイヤフラム２０の底板部に接触可能とする。 （もっと読む）