【課題】本発明は、電離真空計に係り、特にカーボンナノチューブを利用する電離真空計に関する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、線形の陰極と、該線形の陰極を囲むように設置されている陽極と、該陽極を囲むように設置されているイオンコレクタと、を含む。前記線形の陰極、前記陽極、前記イオンコレクタは同軸に配置される。前記線形の陰極は、線形の基体と、該線形の基体に設置されているエミッタフィルムと、を備える。さらに、前記陰極のエミッタフィルムは、カーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】 二次電子増倍素子の測定系を再校正することなく正確な測定を維持できる方法を提供すること及び二次電子増倍素子の測定精度の変化に伴う再校正のために運転が停止されることがない真空処理装置を提供すること。
【解決手段】 真空中に設置した二次電子増倍素子４の設置初期に軟Ｘ線の強度を測定した初期強度値Ａと、該素子の測定使用中に測定した該軟Ｘ線の強度値Ｂとの比Ａ／Ｂを、該素子で測定される荷電粒子等の粒子の測定強度値に補正係数として乗ずる。 （もっと読む）

プロセッサと、第１のセンサと、第２のセンサとを有する計測機器である。該プロセッサは、物理的量の計測を実施する計測信号を出力するように適合される。該第１のセンサおよび該第２のセンサは該プロセッサに接続され、物理的量の第１の計測および第２の計測をそれぞれ生じるように動作可能である。該プロセッサは、計測信号が第１の計測に依存し、第２の計測に依存しない第１の計測範囲を定義する。該プロセッサは、計測信号が第２の計測に依存し、第１の計測に依存しない第２の計測範囲を定義する。第１の範囲および第２の範囲は既定の遷移で交わる。第１の計測および第２の計測は該遷移では異なり、計測信号において実施される計測は、急激に変化することなく、該遷移に交差する。
（もっと読む）

【課題】トランスデューサ型真空計において、装置にかかるコストの増大を抑制し、セットポイントの設定と、設定されたセットポイントの読み出しとを容易に行なうことができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法を提供する。
【解決手段】セットポイントを特定するための設定値Ａ、Ｂを記録する記憶手段７と、記憶手段７に記録された設定値Ａ、Ｂを読み出し可能な制御手段２と、制御手段２に対し設定値Ａ、Ｂの読出し命令を行なうための読出しスイッチ４と、所定数を示す信号を制御手段２に供給するためのロータリスイッチ６と、制御手段２の制御により少なくとも２値表示可能な表示手段８，９とを備え、制御手段２は、読出しスイッチ４の読出し命令により読み出された設定値Ａ、Ｂとロータリスイッチ６により供給された所定数を示す信号とが一致した場合に表示手段８，９により当該一致を示す表示を行なう。 （もっと読む）

容量式の真空測定セル（８）は全面的にセラミックで製作されている。封止されて結合されなくてはならない領域では、またはブッシングや測定接続部が設けられる領域では、結合されるべき酸化アルミニウムセラミック部品の間に少量のアルミニウム（３，６）が配置され、これら両方の部品が高められた温度と高められた圧力のもとで、水素のような還元性のガスを含む保護ガス雰囲気の存在下で押し合わされる。それによってすでに堅固な結合が成立する。これに続く次のステップで、高められた温度と酸素を含有する雰囲気の中で、まだ残っている可能性のある結合領域（３，６）の金属アルミニウムがさらに酸化されて酸化アルミニウムとなる。それによって結合領域（３，６）それ自体も、結合されるべき各部品自体と実質的に同一の材料からなるようにすることができる。それにより、特に攻撃性のプロセスガスに曝露される領域で、非常に高い耐食性が実現される。
（もっと読む）

【課題】屋外に設置される器具に真空ゲージを取り付けた場合でも、この真空ゲージが、天候の影響を受けることなく、確実に真空部の真空度を測定できる真空ゲージを備える屋外設置器具を提供する。
【解決手段】屋外設置器具1は、内部に真空部を形成するケース本体3と、ケース本体3における真空部の外側に取り付けられ、この真空部の真空度を測定する真空ゲージ6とを備える。ケース本体3に、真空ゲージ6を収納するゲージ収納部4を設けている。このゲージ収納部4は、遮光性を有し、透湿性の小さい材料で形成され、ケース本体3に対し着脱可能なカバー42を備える。このカバー42をケース本体3に固定することにより、ケース本体3とカバー42とにより密閉状態のゲージ収納部4を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電離真空計に係り、特にカーボンナノチューブを利用する電離真空計に関する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、基板及び該基板に設置されるエミッタフィルムを含む陰極と、前記陰極と所定の距離だけ離れて設置されるゲット電極と、前記ゲット電極と所定の距離だけ離れて設置されるイオンコレクタと、を含む。前記陰極のエミッタフィルムは、カーボンナノチューブと、低融点のガラス粒子と、導電粒子と、を含む。 （もっと読む）

【課題】真空度、気体や液体の流量などの物理量を計測するための高感度、高精度、計測範囲拡大ができるような熱伝導型センサとこれを用いた熱伝導型計測装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０Ａと薄膜１０Ｂが、互いに熱抵抗を有するように熱抵抗部４５を設けた構造であり、薄膜１０Ａにはヒータ２５と温度センサ２０Ａ、薄膜１０Ｂには温度センサ２０Ｂを備えた熱伝導型センサであって、薄膜１０Ｂは、カンチレバ状に飛び出した構造で、かつ薄膜１０Ａから熱を受け取る構造とし、温度センサ２０Ａや温度センサ２０Ｂを温度差センサ、特に電流検出型熱電対とする。また、ヒータ２５を、一定電力供給、一定電流、一定電圧、または一定温度上昇分になるように制御すると、単純な構造の熱伝導型センサで済み、更に高感度で高速、さらに単純な回路構成となる熱伝導型計測装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】気体の圧力を精度よく求めることが可能な圧力測定装置１８５を提供する。
【解決手段】気体の圧力に対応した電気信号を出力するピラニ真空計１０と、ピラニ真空計１０の出力から気体の圧力を求める換算式を算出する演算装置（ＣＰＵ）と、ピラニ真空計に近接配置され、気体の圧力を測定する第２圧力計１００とを備え、第２圧力計１００は、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲より狭い範囲で気体の圧力を測定し、演算装置（ＣＰＵ）は、第２圧力計による気体の圧力測定結果を用いて、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲の全体に適用される換算式を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、切替弁の切替作業等を要することなく、容易且つ確実に幅広い範囲の圧力を測定することのできる圧力計を提供することにある。
【解決手段】本発明の圧力計は、圧力測定対象に連通される流路（導入管１００の内部等）、該流路に連通されるブルドン管などの高圧用検出手段２００、及び、該高圧用検出手段２００の変形に基づいて変位する指針３００を備える圧力計で、前記流路に連通される低圧用検出手段６００、及び、流路６００が一定圧以上の際に流路と低圧用検出手段６００との連通状態を阻止する連通阻止手段を備え、低圧用検出手段６００が、低圧用検出手段６００の変形に基づいて前記指針３００を変位させるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】高真空あるいは超高真空の真空容器内の真空度を、高価あるいは大型な装置を必要とせずに、簡易な手法で推定できる真空度推定方法を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された陰極３から冷陰極電界放出方式により電子を放出させ、この時に陰極３から放出される電子の電流量である電子放出電流を少なくとも所定時間の期間分、逐次計測する処理を、陰極３の温度をあらかじめ定めた所定温度に保持した状態で実行する。その計測された所定時間の期間分の電子放出電流の値の時系列データに基づいて真空容器１内の真空度を推定する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の温度を一定に制御することで、水晶振動子の固有共振抵抗と温度との相関特性データの収集工数と演算回路とをなくしてコストダウンし、被測定気体にも影響を与えずにメインテナンスも容易な水晶式気体圧力計及びそれを用いた真空装置を提供する。
【解決手段】ヒータ７０を金属製の筒体５４の外壁に接して大気側に配置し、金属製の筒体５４とフィルタ部材６０を熱伝達部材として熱伝達して、水晶振動子３０を加熱する。 （もっと読む）

【課題】 音叉型水晶振動子の温度を極めて効率よく一定に制御することで、温度校正のためのデータ収集工数や演算回路をなくして、コストダウンを図ることができる水晶式気体圧力計を提供すること。
【解決手段】 それぞれ矩形断面の２つの腕部３２Ａ，３２Ｂとそれを連結する基部３４とを有する音叉型水晶振動子３０を含み、音叉型水晶振動子の固有共振抵抗Ｚ_０と、測定された共振抵抗Ｚとの差ΔＺから、気体の圧力を測定する水晶式気体圧力計１である。この圧力計１は、音叉型水晶振動子３０の２つの腕部３２Ａ，３２Ｂ及び基部３４の表面に互いに絶縁して形成された第１，第２の電極パターン７０Ａ，７０Ｂと、２つの腕部３２Ａ，３２Ｂ及び基部３４の少なくとも一つの表面３２Ａ３，３２Ｂ３に形成され、かつ、少なくとも一つの表面３２Ａ３，３２Ｂ３に形成された第１，第２の電極パターン７０Ａ，７０Ｂの一方または双方と互いに絶縁して形成された発熱抵抗体パターン７２とを有する。 （もっと読む）

【課題】気体分子を電離させ、生成したイオンの数から圧力を求める方式の真空計は、圧力が高くなるに伴い、イオンと気体分子との衝突などの相互作用が無視できなくなり、イオンやカソード電極から放出される電子の平均自由行程が短くなる。これにより、圧力に対して集イオン電極に到達するイオンの割合が低下して、真空計の指示値の精度が低下する。
【解決手段】真空中の気体分子を電離させてイオンを生成し、生成したイオンを捕捉してイオン電流を検出し、検出したイオン電流から圧力指示値を算出する真空測定方法であって、少なくとも感度の圧力依存特性を取得する工程と、算出された圧力指示値を感度の圧力依存特性で補正する工程を有する真空測定方法により、真空計の指示値の精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高い隔膜式の気体圧力計を提供する。
【解決手段】ＳＯＩウエハ２０の活性層２１と埋め込み酸化膜層２２を残して、ＳＯＩウエハ２０の埋め込み酸化膜層２２下の支持層２３に形成されて密閉された基準室１１と、基準室１１の上に残されたＳＯＩウエハ２０の活性層２１と埋め込み酸化膜層２３で構成される隔膜１２と、を備える。特に、基準室１１の内壁に、ＳＯＩウエハ２０の支持層２３をエッチングする際のエッチングストッパとなるエッチングストッパ２５を備える。また、隔膜１２の一部に、ＳＯＩウエハ２０の支持層２３をエッチングして基準室１１を形成するためのエッチングガスを導入する導入口２６と、導入口２６を塞ぐ封止２７と、を備える。導入口２６は、ＳＯＩウエハ２０の支持層２３側の表面に形成してもよい。 （もっと読む）

真空圧力測定装置は、衝突電離によってイオン（２２）を形成するための反応ゾーン（３０）を備える電子源（１）を含んでおり、電子源（１）は電子（２１）の通過開口部（４０）を介して反応ゾーン（３０）と連通するように接続されている。電子源は、真空室（７）を備える絶縁性ハウジング（６）で取り囲まれており、真空室（７）を外部領域に対して封止するように分離するとともに少なくとも部分的に電子透過性に構成されたナノ膜（５）を少なくとも１つの部分領域で支持する隔膜支持体（４）として壁部が構成されており、この真空室（７）の中には電子（２１）を放出するための陰極（２）が配置されており、ナノ膜（５）の領域および／またはナノ膜の表面には陽極構造（３）が設けられており、それにより電子（２１）がナノ膜（５）に向かって案内されて少なくとも部分的に該ナノ膜を通り抜けるように案内されるようになっており、ナノ膜（５）は真空圧力測定装置の真空室に接している。
（もっと読む）

【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 （もっと読む）

隔膜真空測定セルを製造する方法が提供され、隔膜（２）の一方の側には間隔をおきながら第１のハウジングプレート（１）が縁部領域で、結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）の他方の側には間隔をおきながら第２のハウジングプレート（４）が縁部領域で結合手段（３）により封止をするように配置されており、第２のハウジングプレート（４）は開口部を有しており、該開口部には測定セル（８）を測定されるべき媒体と接続するために接続手段（５）が結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）と両方のハウジングプレート（１，４）は金属酸化物でできている。測定セルが真空室（６４）の中で、特に測定セルの開口部を通じてＡＬＤ法によりコーティングされ、それにより測定真空室（９）の内壁および開口部が接続手段（５）とともに保護層（１３）で被覆され、それにより少なくとも隔膜（２）の結合手段（３）が腐食から保護されるように覆われる。
（もっと読む）

【課題】測定可能の圧力範囲の拡大が可能であり、また測定精度の向上が可能なピラニ真空計を提供する。
【解決手段】電気抵抗体４０を表面に配置して、基板の貫通孔２４を跨ぐように形成された浮膜３２と、浮膜３２を囲むように基板の表面に形成された周辺膜３６と、浮膜の中心を挟んで対称に配置され、浮膜３２の外周を周辺膜３６に連結する一対の連結膜３４とを備え、電気抵抗体４０の両端部が、一対の第１連結膜３４の表面を通って、周辺膜３６の表面に引き出されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定媒体が感圧ダイアフラムに付着堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップ３０を備えた静電容量型圧力センサにおいて、圧力センサの感圧ダイアフラム３２の測定媒体と接触する面３２ａに所定パターンの凹凸部３２ｂを連続して形成することで当該面を複数の小さい領域３２ｃに画成した形状として、感圧ダイアフラム３２の測定媒体と接触する面３２ａに付着して堆積した測定媒体の収縮又は伸長に起因する感圧ダイアフラム３２の厚さ方向の撓みを抑えて圧力センサの零点シフトを軽減する。 （もっと読む）