【課題】 構造が単純で安価な真空度センサと、コストの上昇を抑えながら、吸着力の確認ができる吸着装置とを提供することである。
【解決手段】 内部と外部との圧力が等しい通常状態で所定の形状を保つ形状保持能力を有する一方、内部が真空になったときその真空度に応じて変形するとともに、真空状態から通常状態になったとき上記所定の形状に復帰する復帰能力を備えたエア収容体１９と、このエア収容体１９に設け、真空検出空間に連通させる連通口１９ｂと、上記連通口に連通させた真空検出空間の真空度に応じて上記エア収容体１９が変形したとき、その変形に追随する接点を有するスイッチ２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計ＩＧは、ヘアピン状に成形されたフィラメント２と筒状の輪郭を有するグリッド３とイオンコレクタ４とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を求める。特に冷陰極形電離真空計は生産現場においても校正が容易な方法を求める。
【解決方法】表示が正確な計測器と誤差をもつ計測器の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され，両者のセンサーが同一雰囲気中にあれば誤差の校正は容易に行えた。また冷陰極形電離真空計の校正もスポット式で簡単に行えた。 （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を提供する。特に冷陰極形電離真空計の生産現場における容易な校正方法を提供する。
【解決手段】表示が正確な計測器１２と誤差をもつ計測器１の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され、両者のセンサーが同一雰囲気中に配置された状態で校正を行なう。また冷陰極形電離真空計１の校正をスポット式行う。 （もっと読む）

【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の変化を検出するダイアフラム構造を備えた圧力センサにおいて、電磁シールド構造の部品点数を削減して生産性を向上させる。
【解決手段】パッケージ１０内部の基準真空室１０Ｂと圧力導入部１０Ａとを隔絶するセンサチップ１０と、一端がセンサチップ１０に接続され他端が挿通孔１３ａを介してパッケージ１０外部に露出しケーブル９０の芯線９１に接続される複数のリードピン４１と、各リードピン４１とケーブル９０との接続部を電磁シールドする電磁シールド部７０と、を備える圧力センサ１である。電磁シールド部７０は、複数のリードピン４１を導入する複数の導入孔７１ｂが設けられた板状部７１ａと、板状部７１ａと結合して各リードピン４１とケーブル９０との接続部を取り囲むハウジング部７２と、を有する単一の筐体である。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の変化を検出するダイアフラム構造を備えた圧力センサにおいて、圧力センサのパッケージにリードピンを気密封止するハーメチックシール部に作用する応力を大幅に低減する。
【解決手段】パッケージ１０内部の基準真空室１０Ｂと圧力導入部１０Ａとを隔絶するセンサチップ１０と、一端がセンサチップ１０に接続され他端が挿通孔１３ａを介してパッケージ１０外部に露出しケーブル９０に接続される複数のリードピン４１と、挿通孔１３ａと各リードピン４１との間を気密的に封止するハーメチックシール部４３・６０と、各リードピン４１の他端とケーブル９０との接続部を電磁シールドする電磁シールド部７０と、を備える圧力センサ１０である。電磁シールド部７０は、複数のリードピン４１を導入する複数の導入孔７１ｂが設けられた板状部７１ａを有する。板状部７１ａに応力緩和部を設ける。 （もっと読む）

【課題】運転状態でも真空度低下検出が可能であるとともに、リアルタイムに真空度低下検出および警報出力が可能なタンク形真空遮断器を提供する。
【解決手段】大地電位とされた外部タンク１０内に真空インタラプタ２０が収納されたかつ真空インタラプタ２０の固定電極２２ａ側の端を覆う固定側シールド３０ａを備えたタンク形真空遮断器１であって、真空インタラプタ２０のセラミック筺体２１の固定電極２２ａ側の端を密封する固定側金属栓２３ａの外面に取り付けられたかつセラミック筺体２１内の真空度が低下すると固定側シールド３０ａから先端が突出して外部タンク１０との間に放電を発生させる針状電極４１を備えた真空度低下検出装置４０と、真空遮断器１に取り付けられたかつ外部タンク１０と針状電極４１との間に発生した放電を検出するための放電検出アンテナ５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】真空計内部における皮膜形成を抑制すること。
【解決手段】真空処理装置にバルブ２を介して取り付けられ、該真空処理装置内の圧力を計測する冷陰極電離真空計１と、バルブ２の開閉制御を行う第１制御機器２１と、冷陰極電離真空計１と通信線及び電源用ケーブルを介して接続されるとともに第１制御機器２１と信号線を介して接続され、第１制御機器２１からバルブ２の開閉制御信号が入力される第２制御機器２２とを備え、バルブ２が開状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が開始されて計測が実施され、バルブ２が閉状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が停止されて計測が終了される真空計システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】不調または故障の原因を容易に割り出すことができる周囲のガス圧を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】周囲のガス圧を測定するための装置は、ゲージ・アセンブリーにおいて、真空ゲージ１６５と、真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０と、計器の故障後に故障の原因を調査できるように、真空ゲージ１６５によって検出された測定データを不揮発性メモリ１４０に保存してエラー事象に応答するマイクロコントローラ３８０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 より信頼性が高い測定が可能な圧力測定装置及び圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 第１抵抗素子１３を有し、気体の圧力に対応した電気信号を出力する第１検知部４と、前記第１検知部４に近接配置され、前記第１抵抗素子１３より表面積が小さい第２抵抗素子１４を有し、前記気体の圧力に対応した電気信号を出力する第２検知部５と、前記第１検知部４の出力値から前記第２検知部５の出力値を差し引いて前記気体の圧力を算出する演算部８とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】電子刺激離脱（ＥＤＳ）によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ１と、イオンコレクタ１の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド２と、グリッド２の外側に設けられた熱電子放出フィラメント３と、グリッド２と導通を確保しつつ支持する支柱部６とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ１の径方向において、グリッド２及びフィラメント３に対向する支柱部６の表面を被覆し、フィラメント３よりも低い電位に保たれるコーティング１６ａを備えることで、支柱部６の表面からのＥＤＳによるガス放出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明における課題は、長期間使用しても放電の誘発を短時間で行うことができる冷陰極電離真空計を提供することにある。
【解決手段】本発明にかかる冷陰極電離真空計は、陽極２と、陽極２とともに放電空間９を形成するように配置された陰極１と、放電空間９内に配置され、陰極１と電気的に接続された放電開始補助電極２５とからなり、放電開始補助電極２５は、陽極２の軸長手方向と平行に配置された電極部２６を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部２１と、本体部２１に形成された電極固定孔２１１に挿入される固定電極２２と、小径部２３ａ及び大径部２３ｃを有するガード電極２３と、ガード電極２３の大径部２３ｃ及び固定電極２２を連結する第１封止ガラス２４と、ガード電極２３の小径部２３ａ及び本体部２１を連結する第２封止ガラス２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計で測定が不連続になること無く、広い範囲の圧力を測定可能な真空計を提供する。
【解決手段】振動体と、振動体を静電力により駆動する加振電極部と、振動体を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、駆動信号を加振電極部に印加して振動体を共振状態に保持し、振動体の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えてなり、前記振動体を共通の雰囲気内に複数個備え、各振動体により測定可能な圧力範囲をそれぞれ異ならせ，かつ，前記圧力範囲を一部オーバーラップさせて構成し、各振動体に対応させて前記圧力測定部を複数個設け、各圧力測定部の圧力測定信号同士を組合せて演算する演算部を有する演算処理ユニットを備え、常時各圧力測定部による各圧力測定を行なうとともに、演算部による組合せ演算値に基づく演算処理ユニットの出力信号を真空計の圧力測定信号とする。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント表面に多量の酸素が吸着しているような場合に、この酸素を可及的速やかに脱離させるようにした酸素検出計を提供する。
【解決手段】 真空容器Ｗに装着されてその内部の酸素を検出する本発明の酸素検出計Ｍ１は、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメント１と、グリッド２と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の可変電源Ｅ１とを備える。フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流が所定値に保持されるように可変電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、このときフィラメントを流れる電流値から酸素を検出する。また、エミッション電流が所定値となるときのフィラメント電流より大きな電流をこのフィラメントに流し得る通電手段Ｅ３、ＳＷｆを更に備える。 （もっと読む）

【課題】従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、圧力測定部の測定出力信号による測定圧力レベルを基準圧力レベルと比較する圧力レベル判定部を有するとともに、圧力レベル判定部の判定出力信号に応じて振動体４と検出電極６との間の電位差を可変する電位差変更手段を備えてなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の振動検出信号への混信を低減するとともに振動体と検出電極との静電引力による接触を防止した上で、従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、駆動信号生成部は、前記駆動信号として、交流信号に直流の駆動信号バイアス電圧が加算された信号を生成する構成としている。 （もっと読む）