【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。
【解決手段】複合型圧力計の製造方法は、静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を含む複合型圧力計の製造方法であって、エッチングにより、シリコン基板の第一面側に第一溝部と第二溝部を形成する溝形成工程と、シリコン基板の第一面側で第一溝部と第二溝部を覆うように、シリコン基板にガラス基板を接合する接合工程と、を含む。 （もっと読む）

（ａ）共通電極と（ｂ）中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、（ｉ）ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と（ｉｉ）ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、ダイアフラムが電極構造体に対して拘束され、共通電極が、中心電極およびリング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して中心電極およびリング電極と軸方向に位置合わせされるようにダイアフラムを支持するように配置された支持構造体とを備える改善された容量型マノメータであって、電極構造体が、ダイアフラムに対して、アライメント軸のまわりに角度間隔を置いて配置された少なくとも３つのクランプ位置で固定され、それぞれの適切な平面内に定義された角度がダイアフラムの拘束点を含み、ゼロ位置におけるダイアフラムの平面に対するそれぞれのクランプ位置の点が、電極ディスクの支持高さの変化を低減し、ダイアフラムと電極構造体の間に、より小さな間隙おとび改善された安定性を与えるように６０°と９０°の間にある改善された容量型マノメータ。複数のタブを含むスペーサリングと、アライメント軸のまわりに複数の等角度間隔で配置されたクランプ位置を定義するように、また、スペーサによって誘起される偶発的な半径方向せん断力、ならびに再現性および安定性に悪影響を与える恐れがある後続の考えられるスティックスリップの条件の可能性を解消するように、電極構造体を、スペーサリングに対してタブのそれぞれの位置でクランプするように構成されたクランプとを含むことにより、さらなる改善がもたらされる。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。
【解決手段】脱ガス電力レベルを上げながら、ゲージ圧の変化率を監視する。監視変化率からゲージ圧が圧力上限を超える可能性があると判断された場合、脱ガス電力の増加を停止あるいは脱ガス電力を減少させる。この運転を所定の最終的脱ガス条件を満たすまで継続する。脱ガス運転が無事終了した後、ディスプレイにその旨を表示する。 （もっと読む）

【課題】真空度の悪い雰囲気および／または活性ガスの雰囲気においても、荷電粒子の平均自由行程を正確かつ簡便に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る装置1007は、雰囲気ガスから真空的に隔離されたフィラメント111と、真空紫外光330を透過させるＵＶ透明型真空隔壁700と、雰囲気ガス内に設置され真空紫外光330を受けて光電子340を放出する光/電子変換電極610とを有した真空紫外光源600を備える。また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が０以上の距離である荷電粒子の第１の荷電粒子数を検出する第１のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第２の荷電粒子数を検出する第２のコレクタとを備える。上記装置1007の制御部1000は、第１、第２の荷電粒子数の比率から平均自由行程を算出する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプを検査するにあたり、信頼性の高い真空圧の測定データが得られる真空ポンプの検査方法および真空圧測定装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプＰの良否を判断する真空ポンプの検査方法であって、真空ポンプＰを量産品からなる真空ワークの代わりに検査専用タンク５に接続して検査専用タンク５の真空圧データを測定し、予め求めた真空ワークの真空圧基準データと検査専用タンク５の真空圧基準データとの相関関係に基づき、検査専用タンク５の真空圧データから真空ポンプＰの良否を判断する。検査専用タンク５は、真空計２のセンサ２ａが取り付けられ、真空ワークの代わりとして真空処理されるタンク本体６と、一端がタンク本体６に一体に取り付けられ、他端が真空ポンプＰに着脱自在に接続されるホース７とを有する。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】基準圧力の両側の二つの圧力領域において異なる態様で表示可能な圧力計において、従来よりも圧力指示特性を向上させる。
【解決手段】本発明の圧力計１０は、基部１５ａが基台１４に取り付けられるとともに先端が自由端部１５ｂとされ、全体として湾曲形状に形成されたブルドン管１５と、ブルドン管の自由端部に連結されたリンク機構１６と、リンク機構により駆動される指針１３と、基台に取り付けられ、ブルドン管と間隔を有して並行して延在する補強板ばね３０と、補強板ばねの先端部３０ｂとブルドン管の自由端部との間を連結し、基準圧力の一側の第１の圧力領域ではブルドン管の自由端部に対して補強板ばねによる拘束力を与えないとともに、基準圧力の他側の第２の圧力領域ではブルドン管の自由端部に対して補強板ばねによる拘束力を与える接続連結部３１、３２と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材の取り付けおよび交換を容易に行うことができ、その部材により放電が生じやすい冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、陰極４３の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、陽極４４と陰極４３との間の電界に直交する磁界を形成し、陽極４４と陰極４３との間に放電を起こす磁性手段（磁石４５ａ及び磁石４５ｂ）と、陰極４３の開口縁に嵌合され、その開口を覆うポールピース１４とを備え、ポールピース１４には、ネジ１５が着脱自在に螺合され、そのネジ１５の頭部が、陽極４４の先端部と相対向して配置されている。 （もっと読む）

圧力測定セル構造は光学式の隔膜圧力変換器２３を含んでおり、該隔膜圧力変換器は、ハウジング本体１およびこれからわずかな間隔をおいて配置された隔膜５を含んでおり、該隔膜は測定されるべき気体状の媒体を有するプロセス空間１２に暴露されており、ハウジング本体１は光学的に透明な窓３を有している。この窓３から間隔をおきながら光学経路９を介して隔膜５の表面へ光を入力結合および出力結合するための光ファイバ２２を備える信号記録ユニット３２が設けられており、それによって隔膜５の撓みを信号評価ユニット２４で検出するための測定区間が形成されており、それによってファブリ・ペロ干渉計構造が構成される。このときプロセス空間１２は室壁３０により大気１０に対して遮蔽するように取り囲まれており、プロセス空間１２は分離手段２５で区切られており、それにより分離手段２５，３１とこれから間隔をおく室壁３０との間に人工気象空間１１が形成されている。信号記録ユニット３２は光学的に挿通するように室壁３０に配置されており、分離手段２５は少なくとも光学経路９の領域に光学的に透明な手段２５ａを有しており、それにより隔膜圧力変換器２３と信号記録ユニット３２との間で光学的な圧力信号を伝送するための光学的な結合が成立している。
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【課題】低コストのダイヤフラム式マノメータを提供する。
【解決手段】マノメータは、上表面及び上表面よりも高く伸張する側壁を有するモノリシック基部１０２と、基部の上表面によって支持される複数の導電性素子１１２と、基部の側壁と接続され、基部の上表面に対して導電性素子の上部に位置するダイヤフラム１０８と、ダイヤフラムの上部から基部を覆うカバー１０４とを含む。また、基部と接続するガラス被膜１１０と、導電性素子と接続され、圧力の変化に応じて動くダイヤフラムに反応する導電性素子の間の寄生容量結合における変化を感知するよう構成される電子回路を備えている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能であるとともに、放電開始後に安定した放電が行われる冷陰極電離真空計、放電開始補助電極板及び真空処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、陽極２と、該陽極２と共に放電空間９を形成するように配置された陰極としての測定子容器１と、陽極２と測定子容器１とに電圧が印加される場合に、測定子容器１における電界よりも電界が集中するように構成された突起部２１とを備え、突起部２１がフローティングとなるように該突起部２１が放電空間９内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気またはガス雰囲気にある容器内において、真空度と温度の計測に、最も効果的な方法を具体化する。
【解決手段】温度計と真空計を単一ケース内に収納した。図３はその一例を示す。最上部の表示器は大型のものを用い、その時点の真空度と温度を交互に表示する。その下部に小型の表示器があり一段目と二段目は特定の温度設定値に達した時、また三段目と四段目は特定の真空度に達した時、外部に信号を送出する機能を持つ。これらに小型表示器の設定により温度と真空度の組み合わせ等、各種の使用方法が可能になった。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端部が封止された放電空間９を有する測定子容器（陰極）１の内部に棒状の陽極２を配置し、この陽極２に放電開始補助電極５を取り付けた構造とする。放電開始補助電極５は、放電開始補助電極板７にカーボンナノチューブ層１０を形成することによって短時間で放電を誘発する。 （もっと読む）

【課題】より長寿命化を図ることができる冷陰極電離真空計を提供するものである。
【解決手段】アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有する測定子１と、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に電圧(Vd)を供給する電源１４、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に流れる電流(Id)を測定する電流計１５、及び電源１４を制御し、圧力(P)が低くなるにつれて電圧(Vd)を高くし、圧力(P)が高くなるにつれて電圧(Vd)を低くするように、前記圧力(P)の変化に追随して前記電圧(Vd)を絶えず調整して連続的に又は逐次変化させる制御回路３を備えた電子回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計でより広い範囲の気体の圧力測定ができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】駆動用信号源10から出力された信号は駆動電圧調整回路11によって増幅もしくは減衰され、さらにその位相が反転回路12で反転され、反転回路12の出力および駆動電圧調整回路11の出力がそれぞれ加振電極5および6に印加される。振動体4が振動することによる振動体4と振動検出電極7および8との間の静電容量の変化を容量電圧変換回路13および14で電圧に変換し、容量電圧変換回路13および14の出力電圧を差分回路15で差分することで振動体の振幅に応じた最終的な出力電圧を得る。この出力電圧を駆動電圧調整回路11にフィードバックして振動体の振幅が振幅指令値として設定された一定値となるようにゲインを制御するとともに、気体の圧力領域に応じた振幅指令値の切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】 測定範囲が分子流領域以外の領域でも測定可能であり、かつ従来の真空計の耐振性や耐久性を改善し、衝撃や振動の加わる低温機器の真空度測定や監視などに好適であり、測定対象の圧力が上昇しても故障し難く、測定範囲の広い低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】 低温機器用真空計において、真空断熱部内に配置される低温源１と、この低温源１から離隔ｓ，ｍ，Ｌをとって対向するように配置される複数の受熱板２，３，４と、前記低温源１の温度を測定する温度センサ５と、前記複数の受熱板２，３，４のそれぞれの温度を測定する複数の温度計センサ６，７，８と、熱シールド板または隔壁９の温度を測定する温度センサ１０とを具備し、前記低温源１の温度および前記熱シールド板または隔壁９の温度と前記複数の受熱板２，３，４それぞれの温度分布から前記真空断熱部内の圧力域を検出する。 （もっと読む）

【課題】耐振性や耐久性を改善した低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】低温機器用真空計において、真空断熱容器内に配置される低温源１、受熱板２、低温源１の温度を測定する第１の温度センサ４、受熱板２の温度を測定する第２の温度センサ５、熱シールド板又は隔壁３の温度を測定する第３の温度センサ６とを具備し、低温源１と受熱板２との離隔、低温源１と受熱板２が対向する面の面積、受熱板２の比熱及び質量、熱シールド板又は隔壁３から受熱板２への熱侵入量と、低温源１及び受熱板２の平衡温度と熱シールド板又は隔壁３の温度に基づいて、低温源１と受熱板２の間の熱伝達率を求め、熱伝達率と圧力の関係を基に受熱板２の平衡温度を計算し、受熱板２の平衡温度と圧力の関係より、受熱板２の温度に基づいて真空断熱容器内の圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】磁界によって感度が変化する真空計の測定子を、磁界中の最適位置に配するように構成された真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置１００は、真空ポンプ３６により内部が減圧された真空処理室３０と、真空処理室３０内に磁界を形成する一対の磁界形成手段３２、３３と、真空処理室３０内の圧力を測定できる真空計５０と、を備え、真空計５０の測定子は、磁界形成手段の対３２、３３の一方による磁界の強度が、磁界形成手段の対３２、３３の他方による磁界の強度によって相殺される取り付け空間に配されている。 （もっと読む）