【課題】 真空計の取り付け条件によらず、高精度の圧力測定が可能な静電容量型隔膜真空計を提供する。
【解決手段】 静電容量型隔膜真空計１００の傾斜角を検出する傾斜角センサ１４を具備する。また、静電容量型隔膜真空計１００を真空装置２に対して第一の傾斜角（＋９０度）、第二の傾斜角（０度）及び第三の傾斜角（−９０度）で取り付けた場合の静電容量圧力依存性を記憶部に記憶させておく。そして、傾斜角センサ１４で検出された傾斜角情報に基づいて圧力測定値は補正され、静電容量−圧力特性データは第一乃至第三の傾斜角において実際に測定され、記憶される。 （もっと読む）

【課題】真空加熱装置内で熱によりはんだが溶けた時に発する不純物が真空度測定装置に流入するのを防止し、不純物が真空度測定装置内に蓄積されことなく、かつ、真空加熱装置内の真空度を精度よく測定可能とすることを目的とする不純物の流入防止装置を提供する。
【解決手段】金属製箱体と蓋体とを真空下で加熱してはんだで溶着する真空加熱装置と、真空加熱装置の真空度を測定する真空度測定装置を連結する装置であって、両端を開口した金属製円筒状の支持管２に金属製円筒状の連設管３を流通可能に直角状に突設し、支持管２内には片側の開口部１１から、固定板５の中央に突設した支持棒６の先端部に複数の流入防止板７を所定の間隔で固定した流入防止具３を挿通、装着し、各流入防止板７に複数の流通孔８を形成するとともに隣接する流入防止板７の流通孔８は交差状になるよう流入防止板７を配してある。 （もっと読む）

【課題】ガス分子の熱移動が対流によって支配される粘性流領域においても、測定子容器の形状を改良することなく、測定精度を向上させることができる熱伝導型真空計及びそれを備えた真空容器を有する真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】金属線からなる熱フィラメントを測定子容器の内部に有し、該測定子容器と連通する真空容器内の圧力を測定する熱伝導型真空計であって、該熱フィラメントに振動を与える振動発生機構を備えていることを特徴とする熱伝導型真空計及び該熱伝導型真空計を具備している真空容器を有することを特徴とする真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計でより広い範囲の気体の圧力を測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】初期加振用信号源41,42から出力された振動体24,28の固有振動数に対応した周波数の信号が加振電極29,30に印加され、振動体24,28が加振される。初期加振用信号源41,42は初期駆動するときのみ使用され、振動体24,28が振動し始めた後はスイッチ回路39,40が切り替えられる。容量電圧変換回路33,34から出力された信号の位相を位相シフト回路35,36でシフトし、増幅器37,38を経て、加振電極29,30に印加され、共振状態を保つ。加振電極29,30に印加する駆動信号の電圧が一定となるように増幅器37,38のゲインを調整した場合、振動体のQ値に対応して振動体24,28の振幅、つまり、容量電圧変換回路33,34から出力される信号の大きさが変化する。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】棒状の陽極２、陽極を取り囲むように設けられた測定子容器（陰極）１、陰極１の外周に設けられた磁石３を具備する。そして、陰極１の放電空間９に陽極２の中心軸方向に向かって鋭角突起２１を有する放電開始補助電極５を配置する。放電開始補助電極５は陰極１に着脱可能に設け、放電開始補助電極５の鋭角突起２１の先端と陽極２との距離は０．３ｍｍ以上離して設置する。 （もっと読む）

【課題】放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】放電誘発部材２０が、記板状の基体２１と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔２２と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部２３と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部２４とを備え、前記貫通孔２２が複数の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔２２ａによって突起部２１ａが形成されると共に、前記貫通孔２２の中心部に前記陽極４４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】二重電極静電容量型ダイアフラムセンサ（ＣＤＳ）のようなセンシング素子に対する電気インターフェースの性能の改善及びコストの軽減を行う。
【解決手段】励磁電圧と、しっかりと結合された差分用電流変成器（１１１）とが差分静電容量圧力計に結合されて差分電流を発生する。この差分電流は、効果的に差分電流を統合する電荷増幅器（１１２）の低インピーダンス加算ノードに入力される。電流変成器（１１１）及び増幅器（１１２）を取り囲む遮蔽構造体（１１５）は励磁電圧電位に駆動される。（励磁信号に対応する）ガード電位を出力信号から除去するため、励磁電圧源（１１０）に結合されたコモンモード変成器（１１３）を電荷増幅器（１１２）の出力が通過する。次に、同期検出器（１１４）が、結果として生じた信号を、センサ（１０）の差分静電容量を示すＤＣレベルに変換する。 （もっと読む）

【課題】高圧測定用の第１の振動方向と低圧測定用の第２の振動方向とを使い分けることで測定可能な圧力範囲を広げている真空計において、測定する気体の圧力によって振動方向を切り替える際の測定不能な時間の発生を無くすとともに、振動方向を切り替える回路が必要ないようにした真空計を提供する。
【解決手段】真空計の機構部分を成す構造体は、錘1、梁2および振動体固定部3からなる振動体4、振動体4を第1の振動方向に加振する加振電極5および6、振動体4を第2の振動方向に加振する加振電極7および8、振動体4の第1の振動方向の振動を検出するための振動検出電極9および10、振動体4の第2の振動方向の振動を検出するための振動検出電極11および12から構成される。 （もっと読む）

【課題】１組の加振電極による静電力で振動体を測定可能な圧力範囲が異なる２方向に振動させることが可能であり、さらには、測定する気体の圧力によって振動方向を切り替える回路が必要ないようにした真空計を提供する。
【解決手段】真空計の機構部分を成す構造体は、錘1、梁2および振動体固定部3からなる振動体4、振動体4を加振するための加振電極5および6、振動体4の第１の振動方向の振動を検出するための振動検出電極7および8、第１の振動方向と直交する第２の振動方向の振動を検出するための振動検出電極9から構成される。そして振動体4と加振電極5および6は、略Ｖ字形に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 加熱手段を備えた圧力センサにおいて、加熱制御のために高分解能でかつ時間比例周期を短くできる時間比例制御を実現する。
【解決手段】 圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を加熱するヒータ２と、受圧部１の温度を検出する温度センサ３と、この温度センサ３で検出された温度が設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するコントローラ５とを備える。コントローラ５は、検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、下位ビット信号を第１矩形波信号と比較して、下位ビット信号が第１矩形波信号より大きいときに上位ビット信号に１を加算する。そして、演算出力ビット信号を第２矩形波信号と比較して、該演算出力ビット信号が第２矩形波信号より大きいときは１、演算出力ビット信号が第２矩形波信号以下であるときは０として、演算出力ビット信号を１ビット信号に変換し、ヒータ２の加熱量を制御する制御出力として生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。
【解決手段】真空中の気体密度を測定するシステムは、真空計と、真空計を収容するハウジングと、ハウジングの外部表面に固定される磁石とを備える。磁石は可撓性磁気片であり、ハウジングの外部表面の周りに配置される。真空計は、ハウジングの管状部に沿って縦方向に延伸するグリッド絶縁体ポストを含み、磁石は、グリッド絶縁体ポストに隣接するハウジングの外部表面に固定されていて且つグリッド絶縁体ポストに対して横向きにされている。磁石は可撓性磁気片であり、クランプが磁石を、ハウジングの外部表面に固定する。 （もっと読む）

【課題】電子源の歪力を軽減しながら、様々な圧力レベルでの動作において、スパッタリングによる損傷を受けることがない電離真空計、そのような電離真空計を使用した圧力測定方法、および真空の気体雰囲気内での各種方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計１００は、電子１２５を放出する電子源１０５と、イオン化空間を形成する陽極１２０と、電子とイオン化空間における気体との衝突によって生成されるイオンを収集する収集電極１１０とを備える。なお、コントローラ１０５ａにより、動作時の電子源１０５からの放出電流を、圧力以外の検出パラメータに応答して能動的に制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を抑制しつつパッケージ内の真空度を検出できる赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】周囲の真空度に依存する電気的特性を有し、遠赤外の輻射エネルギ強度を検出するダイオード31を備える。ダイオード31を収容するパッケージを備える。ダイオード31の少なくとも一部の電気的特性を検出することでパッケージ内の真空度を検出可能な検出回路36を備える。真空度を検出するための構成を別途設けるなど構成を複雑化することなく、パッケージ内の真空度を検出できる。 （もっと読む）

【課題】電離型の第１の測定素子による中真空から高真空領域の圧力の測定と、第２の測定素子の固有測定領域の、双方に及ぶ測定領域を安定して測定できる。
【解決手段】複合型真空計は、測定子容器２と、測定子容器中に設けられ、かつフィラメント３、グリッド４及びイオンコレクタ８を含む構成電極を具える、電離型構造を有する第１測定部と、グリッド４の軸延長上付近に設けられ、水晶振動子１８と該水晶振動子１８を包みこむ構造を有する水晶振動子容器１９を具える、第２の測定部と、前記第１の測定部と前記第２の測定部とを空間的に分離するシールド板１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の薄膜を振動させる励振手段である静電引力駆動と共振を利用しなくても済む、単純な構造と回路構成となる熱伝導型気圧センサを提供する。
【解決手段】カンチレバ状の薄膜に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。 （もっと読む）

【課題】一つの小型の真空センサを用いて広い範囲の圧力測定を行うことができ、且つ動作特性の良い小型で高感度の圧力測定を行うことができることを課題とする。
【解決手段】測定気体の圧力を測定する外部回路を、可動電極・固定電極間の静電容量と周囲電極・参照電極間の静電容量とを利用してサーボ制御用電圧を生成して低い圧力を検出するための第１回路部分と、サーボ電極と可動電極の間の静電容量を検出して高い圧力を検出するための第２回路部分と、圧力の範囲に応じて第１回路部分と第２回路部分を切り換える切換手段とによって構成した。 （もっと読む）

圧力測定セルは、第１のハウジング本体（１）と、このハウジング本体の近傍に配置された隔膜（２）とを有しており、両者はセラミック製である。隔膜（２）は第１のハウジング本体（１）と結合された外側縁部を有しており、それにより基準真空室（２５）を形成する。セラミック材料から製作される第２のハウジング本体（４）は隔膜（２）と向かい合うとともに、隔膜の外側縁部と結合されており、第２のハウジング（４）は隔膜（２）とともに圧力測定室（２６）を形成する。第２のハウジング本体（４）は、測定されるべき媒体と圧力測定セルを接続するための接続管（５）を有している。第１のハウジング本体（１）、第２のハウジング本体（４）、および隔膜（２）は隔膜の外側縁部のところで互いに気密に結合されており、第１のハウジング本体（１）の中央領域には、第１のハウジング本体を通過して少なくとも隔膜の中央領域まで達する穴（７）が形成されており、この穴（７）に向かい合うように隔膜（２）の表面は第１の光学反射面（１０）として構成されている。光ファイバ（１５）が穴（７）に配置されて気密に取り付けられており、それにより隔膜の表面へと光を案内する。ファイバ（１５）の端部は少なくとも第１のハウジング本体（１）の表面に達しており、ファイバ端部（１６）と隔膜（２）の反射面との間に光学キャビティ（３０）が構成されるように隔膜（２）の第１の光学反射表面と結合する第２の光学反射面として構成されており、該キャビティは隔膜（２）の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計の一部である。
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【課題】常圧から高真空までの広い圧力範囲で圧力を正確に検出可能であり、かつ、低コストで生産が可能で、経時変化によるメンテナンス性にも優れた圧力測定装置を提供する。
【解決手段】ピラニ真空計から出力された、気体の圧力に対応した電圧値Ｖ（出力）は、ドライバ２を介して演算部４に入力される。演算部４では、予め設定された閾値を参照し、入力された電圧値が閾値よりも低い場合は、メモリー７に記憶された数式３を用いて圧力を算出する。また、入力された電圧値が閾値よりも高い場合は、メモリー７に記憶された数式４を用いて圧力を算出する。 （もっと読む）

【課題】気体の対流によって電気抵抗体の出力電流が変動することを防止し、使用する際の取付け方向によらず、常に安定して圧力の測定が可能な熱伝導型真空計を提供する。
【解決手段】空洞２１は、２つの屈曲部４９ａ，４９ｂの間の電気抵抗体４０が配された領域Ｓにおいて、ピラニ真空計１０を使用する際に重力方向Ｗに沿った方向となる長さＬを、対流が生じない長さ、即ち１ｍｍ以下となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力測定に必要な超音波発信及び受信の効率を増加させて、正確度を向上させ、高真空でも圧力測定が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧力測定装置は、容器部１０の外壁に密着された超音波加振部２０と、超音波加振部２０位置の容器部１０の内壁に付着された音響インピーダンス整合層５０aと、容器部１０の外壁に密着された超音波受信部３０と、超音波受信部３０位置の容器部１０の内壁に付着された第２の音響インピーダンス整合層５０bと、超音波加振部２０と連結されて超音波を制御する制御部２２、及び、制御部２２と連結されて超音波加振部２０から出力される超音波と超音波受信部３０で受信された超音波の信号とに基づいて、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部６０、を含む。 （もっと読む）