この発明は、熱測定方法を使用して、包装を備える真空要素（１）内または真空排気体内の気体圧力を決定する方法及びシステムであって、前記真空要素または真空排気体の外側にフラップ（１２）を有し、該フラップは自由縁部の領域において接合された２つのフィルム表面によって画成される。本発明によるシステムは、一方において、フラップの２つのフィルム表面間の隙間が、真空要素の包装内部の空間に連通していて、通気孔を有する薄い材料層で少なくとも部分的に満たされるという事実によって特徴づけられ、他方において、前記材料層の位置で、ガス圧力に依存するフラップの熱交換係数を測定する装置によって特徴づけられる。本発明は、この測定装置の動作の方法にも関する。
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デバイスの層を形成するのに使用される気化した有機物又は無機物の圧力を測定するためのピラニ型の真空ゲージであって、５ミクロン以下の厚さを有し、かつ、０．００３５／℃より高い抵抗温度係数を有する延長フィラメントであって、気化した有機物又は無機物に曝されるフィラメント；前記有機物の分子構造を壊さないように前記フィラメントの温度が６５０℃未満であるように、フィラメントに電流を印加する手段；及び抵抗の変化又は電流の変化に応答して、気化した有機物又は無機物の圧力の関数であるフィラメントからの熱損失を測定する手段を含む真空ゲージ。
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【課題】構成簡易で、小型化と圧力測定精度の高度化が容易であり、しかも外部振動に対し強く、センサ部とドライバ部との配線が不要で、センサ部に電源を必要とせず、設置が容易で、また圧力変化に対する反応が素早い、真空度測定装置を提供する。
【解決手段】円環状の弾性表面波周回経路１２ａが表面に沿い設けられ、弾性表面波を励起し受信する弾性表面波励起／受信手段１４が周回経路に対応して設けられている弾性表面波素子１０を備え、上記周回経路を周回する弾性表面波の強度を検出し周回に伴う上記強度の減衰量を基に真空度を測定するか、又は、周回経路を周回する弾性表面波の周回速度を検出し周回に伴う上記周回速度の変化を基に真空度を測定するか、又は、上記強度の減衰量及び／或いは上記周回速度の変化を基に真空度を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定環境に塵埃が侵入しても正常に動作することができる真空度測定装置および気相成長装置
【解決手段】取出用ボックス１２は、ターボ分子ポンプ１５により内部の気体を吸引される。ペニング真空計１４は、取出用ボックス１２内の気圧を測定する。測定値取得処理部２２は、ペニング真空計１４の測定値を取得する。異常値除去処理部２３は、連続した３つの測定値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を取得し、測定値Ｐ１と測定値Ｐ３とに基づき、ペニング真空計１４への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、これを満たさない測定値Ｐ２を取り除く。平均値算出処理部２４は、取り除かれなかった測定値の平均値を算出する。判定処理部２５は、平均値算出処理部２４が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する。 （もっと読む）

【課題】強酸化性ガスやその他の膜生成ガスなどカソード汚染ガスを含む圧力被測定環境において、カソード汚染による感度の低下、及び放電停止を防止することによって、安定に、かつ高精度に圧力を測定すること。
【解決手段】カソード２ａ、２ｂから熱電子放出を起こさないような温度にカソード２ａ、２ｂを加熱し、該アノード１とカソード２ａ、２ｂの間に直流電圧を印加し、かつアノード１とカソード２ａ、２ｂの間の空間に磁場を形成して放電を発生させ、その放電電流を測定することによって、真空容器１２内の圧力を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】ガスセンサは、シリコン材料から構成され、外部に加熱器(20)を含む選択性透過膜(13)を有する。膜(13)は、圧力センサを収容する排気されるハウジングを閉じる。ハウジングを囲む領域を排気するとき、熱放散が周囲の空気の全圧力の急速な変化の結果として変化し、その結果、信号のドリフト（drift ）が膜(13)の温度調節にもかかわらず生じる。本発明は少なくとも１つの第２加熱器(21,22) を備え、少なくとも１つの第２加熱器の温度が第１加熱器(20)と関係なく調整される。その結果、膜温度が、ハウジング内の全圧力が大幅に変化する場合でも極めて一定である。
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本発明は、基板（５）と少なくとも１つの質量要素（１）を有する圧力測定用のセンサ素子であって、前記質量要素（１）は、前記基板（５）に対して間隔を置いて配置されており、かつ前記質量要素（１）は、前記基板（５）および／または前記基板（５）に対して相対的に不動の支持体（６）と振動可能であるように接続されており、前記質量要素（１）と前記基板（５）との間に空隙が形成されており、該空隙の幅は、前記質量要素（１）の振動によって変化するセンサ素子に関する。空隙を画定する基板（５）の面には少なくとも１つの凹部および／または少なくとも１つの貫通部が設けられており、これは質量要素を包囲するガスまたはプラズマによる、質量要素の振動の減衰を小さくするために用いられる。このセンサ素子は、真空領域の圧力を測定するための圧力センサに使用される。本発明のセンサ素子を圧力記録器として使用することにより、大気空気圧の領域までの最大圧を検出することができる。検出できる最低圧は10^-6 mbrの領域にある。
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【課題】
ピラニ真空計で広い領域で精度の高い真空度を測定し、かつ、校正テーブルを不要にする。
【解決手段】
０℃におけるフィラメントの抵抗値Ｒ₀を求め(S1)、フィラメントの仕様からフィラメントの長さを決定し(S2)、フィラメント電流Ｉ_PGを求め(S3)、フィラメント抵抗値Ｒ_PGを求め(S4)、フィラメント表面温度Ｔを求め(S5)、係数Ａを求め(S6)、真空度に拠らないフィラメント電流Ｉ₀を求め(S7)、圧力Ｐを求める(S8)。作動電圧、ブリッジ回路の抵抗の抵抗値、フィラメントの物性値を用いて、A/D変換器の入力電圧に応じた圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】生産性，取扱い性，信頼性，機能性，検査性，メンテナンス性、さらにはリサイクル性の向上を図り、真空断熱材を搭載することによって、地球環境により一層やさしい自動車を提供する。
【解決手段】芯材１３をガスバリヤフィルム１２で覆い、真空引きをした真空断熱材１１を、被覆材１４と被覆材１５でさらに覆い、断熱体を形成している。このことにより、真空断熱材１１が外界からの衝撃等から保護され、傷つくことなく真空度を保つことができる。図３に示す一例では、被覆材１５は凹型容器になっており、この中に真空断熱材１１を収め、凸型の蓋が閉められている。真空断熱材を取り付ける際にも、直接取り付け面には被覆材が接触し、中の真空断熱材１１は保護されるため、生産性等の向上を可能としている。したがって、真空断熱材の使用態様の拡大が図られ、環境に配慮した自動車とすることができる。 （もっと読む）

【課題】突出部付キャップのＦＤ・ＦＵ値を測定者の個人差によることなく、測定誤差も少なく高精度で測定でき、安定した測定条件で計測できる。
【解決手段】圧力センサ８を備えたダミー容器２の開口部に突出部付きキャップ２７を装着して、前記ダミー容器内の内圧を減圧する減圧工程、該減圧工程に続き前記ダミー容器内を加圧する加圧工程を有し、減圧工程で前記突出部付きキャップの突出部がフリップダウンをする時、加圧工程で前記突出部がフリップアップする時の音をマイクロフォン２３で検知し、該音の検知によりタイミング信号を発生させてその瞬間のダミー容器内の内圧を圧力センサ８から読み出してフリップダウン値及びフリップアップ値として表示する。 （もっと読む）

【課題】放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、更に、陽極の取り付けの方向性がなく、容易に陽極を交換することができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】圧力を測定するチャンバーと連通した空間に設けられた筒状の陰極２３と、前記筒状の陰極２３の内部空間に配置された棒状の陽極５と、前記陽極５と陰極２３との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極５と陰極２３との間に放電を起こす磁性手段２５ａ，２５ｂとを備え、前記陽極５の先端部に螺子部５ｂが形成され、陰極２３の筒内の空間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱損失型真空計２００の全圧力レンジにわたりほぼ完全な温度補償を達成する方法および装置を提供する。
【解決手段】センサレッグＲＳと温度補償レッグＲ２とが直列に接続されているか、またはセンサレッグＲＳと固定抵抗レッグとが直列に接続されており、センサレッグＲＳ両端の電圧を測定する。さらに、温度補償レッグＲ２のサブレッグ１２４の両端の電圧も測定する。温度補償レッグＲ２は、直列に接続された温度補償サブレッグ１２４および温度安定サブレッグ１２２を有してもよい。サブレッグは、１つまたは複数の温度検知素子および／または温度安定素子を有してもよい。 （もっと読む）

本発明は、２つの平坦なハウジング部分（１，４）の間に配置されたダイヤフラム（２，４１）を備え、第１のハウジング部分（１）は基準真空室（１０）を形成しており、第２のハウジング部分（４）は測定されるべき媒体と接続するための接続手段（５）を備える測定真空室（９）を形成しており、ダイヤフラムの撓みを測定するための手段が設けられている測定セルに関するものであり、測定されるべき媒体に曝露されるダイヤフラム表面（４１ａ）は構造化された表面として構成されており、それによりダイヤフラムに堆積した測定媒体の材料による応力曲げが大幅に低減されるようになっている。
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【課題】放電を誘発する簡単な手段を設けることにより、操作開始後瞬時に圧力を測定できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力を測定するチャンバー３０に連通したエンクロジャー２２に設けられた陽極２４および陰極２３と、前記陽極２４と陰極２３との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極２４と陰極２３との間に放電を起こす磁性手段２５ａ，２５ｂとを備えた冷陰極電離真空計１において、前記空間内に、接触状態および非接触状態となる電極３，４を有する放電誘発手段２を設け、前記電極３，４の接点開閉時に発生する放電から生成される電子を用いて、前記陰極２３と陽極２４間の放電を誘発する。 （もっと読む）

【課題】高真空圧から一気圧近い低真空圧までの高帯域で高感度である薄膜ピラニー真空センサと真空計測装置を提供する。
【解決手段】基板から熱分離した一個の薄膜１０もしくは、分割された薄膜に、少なくとも一個のヒータと、一個もしくは複数個の温度センサとを備え、加熱された前記薄膜の部分からヒートシンクまでの距離が０．１μｍから１０μｍの範囲内の空隙となるようにヒートシンクに突起部を設けて、この狭い空隙を介して薄膜からヒートシンクに熱伝達を行わせる。また、これを用いた真空計測装置を提供する。 （もっと読む）

真空計（１５）用ダイヤフラム装置はダイヤフラム（２０）を包囲する管状ダイヤフラムケーシング（１４）を含んでなり、前記ケーシングは真空計（１５）と連通するための出口孔（１６）と被測定対象チャンバと連通するための接続孔（２２）とを有し、前記ダイヤフラム（２０）は前記双方の孔（１６，２２）の間に配置されており、さらに前記ダイヤフラム（２０）は螺旋巻き山（２１）を有するスクリューダイヤフラムとして形成され、前記螺旋巻き山のフランクの外径は前記ダイヤフラムケーシング（１４）の内壁に密接し、前記螺旋巻き山のフランクの前記外径と前記内壁との間のガス漏通を阻止してガスの流れを基本的に前記螺旋巻き山に沿った通路に強制誘導し、かつ、前記出口孔（１６）は前記管体（１４）の一端に配置され、前記接続孔（２２）は前記管体の反対側の他端に配置され、前記スクリューダイヤフラム（２０）は軸方向目視方向において前記ダイヤフラム装置（２５）が前記双方の孔（１６，２２）の間で光学的に密であるように形成されている。
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【課題】絶対校正と比較校正とをＩｎ−Ｓｉｔｕ状態で一つの装置にて校正が可能になるようにする。
【解決手段】本発明は、体積が互いに異なる真空チェンバーへ気体を順次的に拡張させ、真空チェンバーの圧力を計算する静的法標準器で絶対校正された基準真空ゲージを用いて真空ゲージの移動なく、Ｉｎ−Ｓｉｔｕ状態でオリフィス気体流れ制御方法に従って真空ゲージの比較校正が可能な装置の開発に関し、細部技術としては、静的法による基準真空ゲージ絶対校正と、オリフィス気体流れ制御方法による真空ゲージ比較校正結合技術、低真空から高真空領域までの基準圧力発生技術、及び校正技術、オリフィス気体流れ安定化方法による真空ゲージ比較校正に関する技法を含む。本発明は、真空ゲージの絶対校正と、比較校正とがそれぞれ別の装置のみで可能であったことを２つの校正装置を結合した新たな装置の開発のため、校正時間短縮と、移動校正などの校正效率の向上に関するものである。 （もっと読む）

【課題】発生する雑音電流を極めて小さくすることが可能であり、超高真空領域から極高真空領域に亘る全圧の測定を簡単且つ高精度に行うことができる電離真空計を提供する。
【解決手段】電子銃部は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、加速させた電子を筒状格子型電極Ｌ１内に入射する。電子収集電極Ｌ３は、筒状格子型電極Ｌ１の他端側に設けられ、筒状格子型電極Ｌ１内を通過してその他端側から出射した電子を収集する。イオン収集電極Ｌ４は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、Ｌ１内を飛行する電子によって発生したイオンを収集する。これにより、ほとんど全部の電子を電子収集電極Ｌ３に収集することが可能となり、従来の電離真空計において主要な雑音電流であったＸ線光電子電流や電子衝撃脱離イオン電流などの発生を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】電気デバイス内の高圧状態を判断するための方法、及び電気デバイス内の高圧状態を検出する装置を提供する。
【解決手段】遮断器内の高圧状態を検出する方法及び装置であって、高強度の超音波を、音波導波管を通じて真空遮断器の外壁に入射し、次いで、反射及び再送信される応答信号を聞き取る。応答信号の特性を利用して、この遮断器内の圧力を判断し、かつ望ましくない高圧状態の存在を判断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空チャンバの圧力測定システムに関し、もっと詳しくは超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置とその圧力測定方法に関する。
【解決手段】このために、内部に所定の真空が形成された真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０の外面に密着され、前記真空チャンバ１０の内部に超音波６２を発射する超音波発射手段と、超音波発射手段から発射された超音波６２が前記真空チャンバ１０に衝突して反射された反射波６４を受信するための超音波受信手段と、超音波受信手段から反射波６４を検出する反射波検出手段と、反射波検出手段から検出された反射波６４から振幅を分析する振幅分析手段と、を含むことを特徴とする超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置が提供される。 （もっと読む）