【課題】容器部の外部にコイルを、容器部の内部には振動部を構成し、超音波を容器部の内部で直接出力することにより、容器を変形することなく、超音波を発生させてリークの可能性を最小化し、容器内の媒質に電波する超音波の伝達効率を測定し、圧力を測定する。
【解決手段】圧力測定装置は、容器部１０の側壁の外部に設けられる第１の磁化ヨーク１１０に巻取られた加振コイル部１２０と、第１の磁化ヨーク１１０に巻取られた受信コイル部１４０と、第１の磁化ヨーク１１０が設けられた容器部１０の側壁の内部に備えられる振動部１５０とから構成された磁歪送受信振動子１００と、加振コイル部１２０に所定の電流を与える制御部２０と、受信コイル部１４０により受信された超音波信号と、振動部１５０から出力された超音波信号とに基づき、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部６０とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静電容量型隔膜真空計が設置される測定環境、すなわち大気圧及び温度変動に対する静電容量型隔膜真空計の出力変動を低減させ、より高精度で再現性よく圧力を測定すること。
【解決手段】 圧力が測定される内部領域に面して配置されるダイヤフラムと、このダイヤフラムと対向して配置される検出電極とを有し、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を測定することで内部領域の圧力を測定する静電容量型隔膜真空計は、静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の温度を測定する温度測定部と気圧を測定する気圧測定部とを備え、この測定結果に基づき、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を補正して、内部領域の圧力として出力する。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の電極部分の腐食を防ぎ、固有共振インピーダンスを安定して一定に保つことができ、圧力等の測定精度、および圧力測定機器等としての信頼性および寿命を向上させた水晶振動子を含む計測装置を用いた圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 この計測装置は、圧力の変化に応じて変化する水晶振動子１８の共振インピーダンスを測定することに基づいて計測方法であり、該計測に用いる計測装置は、開口部２０ａを有し、内部に水晶振動子１８を収容する保護ケース２０と、この保護ケースの開口部に関連して設けられ、活性を有する気体分子を、衝突を生じさせながら移動させて開口部に導く通路としての隙間２５を形成する保護キャップ２４と、を備えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は感度を高める真空計を提供目的とする。
【解決手段】本発明は陰極ユニットと、陽極環と、遮蔽極と、イオン引出し極と、反射極と、コレクタと、を含む。前記遮蔽極は一端が前記陰極ユニットに対応し、他端が前記イオン引出し極に対応する。前記イオン引出し極の中心にイオン引出し穴を設置する。前記反射極は曲面に構成され、この曲面構成は遮蔽極のイオン引出し極に近い一方側を囲んでいる。前記コレクタは反射極の曲面構成の底部に設置され、かつイオン引出し穴に向ける。前記陽極環は遮蔽極の内部に固定されている。本発明にかかわる真空計はサドルフィールドの真空計と電離真空計の長所を結合し、体積が小さく、エネルギーの消耗が少なく、構成が簡単で、感度が高い特徴がある。 （もっと読む）

【課題】熱遷移効果が反映した圧力測定を行なう技術を提供する。
【解決手段】真空槽１１と、枝管１４を介して真空槽１１に接続された隔膜真空計１３にそれぞれ第一、第二の温度計２１、２２を取り付け、第一、第二の温度計２１、２２の測定結果と隔膜真空計１３の測定結果を圧力測定装置２０に入力させる。圧力測定装置２０の内部には、真空槽１１の温度と隔膜真空計１３の温度と隔膜真空計１３の測定値と、真空槽１１の内部圧力との関係が記憶されており、圧力測定装置２０は入力された測定結果から真空槽１１の内部圧力を求め、表示装置２８によって表示する。熱遷移効果が反映された圧力測定を行なうことができる。 （もっと読む）

測定量（１２）の変化に従って変化する光学的な経路長差（ｄ_Ｇａｐ）を光に対して生成する空洞共振器（１１）を含む測定セル（５）による測定量（１２）の評価のために、次の各ステップが提案される：光導波路（４）の経路に配置された結合器（３）を介して前記光導波路（４）により白色光源（２）の光（１）を前記空洞共振器（１１）へ導入し、前記空洞共振器（１１）から前記光導波路へ反射された光（１’）の少なくとも一部を前記結合器（３）によって出力結合し、この反射された光（１’）を光学式の分光計（６）へ供給し、前記分光計（６）で反射された光（１’）の光学的なスペクトルを判定して、分光計信号（８）を生成し、前記分光計信号（８）を計算ユニット（９）へ供給し、前記分光計信号（８）は前記計算ユニット（９）により干渉図形へ直接的に変換され、その強度推移からそれぞれの振幅極値の位置が判定され、このそれぞれの位置が、測定量（１２）を含む、前記空洞共振器内での光学的な経路長差のそれぞれの値を直接的に表している。
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空気の圧力を検知または測定する圧力センサー、及び該圧力センサーへの空気の流入を防ぐ装置、すなわち、圧力センサー内への空気、水分及び異物の流入を防止するために使用される装置を提供する。本発明の圧力センサーは、圧力測定対象である被測定空気が流通する空気流通部と、該空気流通部を通じて流通される被測定空気の圧力を検知する圧力検知部と、空気流通部と圧力検知部の間に設けられ、被測定空気が圧力検知部に流入されることを遮断すると共に、被測定空気の圧力変化によって少なくとも移動又は変形が発生する空気遮断部とを含む。本圧力センサーは水分または異物の圧力センサーへの流入を完全に防ぎ、これによって圧力センサーの不良を最小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】劣化せず、ＢＡ型電離真空計の短所を持たず、かつ、チャンバ内の気体の化学種の化学組成を変化させることなく動作できる冷電子放出型の電離真空計、および気体圧力測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイ、イオン化体積空間およびイオンを収集する収集電極を備える。マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部と、前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部とを備えている。イオン化体積空間では、電子が気体の化学種と衝突してイオンを生成し、収集電極がこのイオンを収集する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内の汚染物質から電極を保護することが可能な電離真空装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空容器13と、真空容器13内に設けられた陽極11と、真空容器13内に設けられた陰極12a,12bと、陽極11と陰極12a,12bの間に放電用電力を供給する放電用電源19と、陰極に加熱用電力を供給する陰極加熱用電源18と、陽極11と陰極12a,12bの間の空間に磁場を形成する手段16a,16bとを有し、真空容器13を他の真空容器に接続して他の真空容器内の圧力を計測し、又は他の真空容器内を排気する電離真空装置であって、真空容器13内のガスに放電を起こさせている間、陰極加熱用電源18により陰極12a,12bを加熱し、陰極12a,12bの温度を陰極12a,12bから熱電子が放出されない温度範囲内に保つ制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で圧力を簡易に検知すること。
【解決手段】
内部の圧力が変動するチェンバー（１）内に配置され、結晶水を含有するシアノ架橋金属錯体（６）により構成され、圧力変動に伴う前記シアノ架橋金属錯体（６）の電荷移動相転移に基づいて圧力を測定することを特徴とする圧力素子（３）。 （もっと読む）

【課題】フィラメントを有するセンサー部と制御系とが離れていても測定精度が高く、構造が簡易で、かつ圧力の測定範囲が広い定電流型ピラニ真空計を提供する。
【解決手段】被測定系に設置される圧力測定用フィラメント２と、圧力測定用フィラメントに少なくとも２つの異なる値の定電流を供給する定電流供給手段４，５と、圧力測定用フィラメントの出力電圧が所定の切替閾値になった時、低圧力側で低い定電流を供給し高圧力側で高い定電流を供給するよう、前記定電流供給手段の定電流値を切替える定電流切替制御手段１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱電対を本来の温度センサとして用いるが、物理量を計測するための加熱用のジュール加熱によるヒータとしても動作させて、単純な構造で、高感度、高精度の熱伝導型センサ用の熱電対ヒータとこれを用いた温度計測装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０に熱電対を形成し、この熱電対を熱電対ヒータ部として電流を流して薄膜１０をジュール加熱できるようにした熱電対ヒータと、ジュール加熱を止めて、本来の温度差センサとしても動作させるようにする。温度差センサとして、熱電対を電流検出型熱電対として利用する。更に熱電対ヒータを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有する温度計測装置とする。 （もっと読む）

【課題】移動が可能な真空ゲージ較正装置を開発し、運転中の真空装置に取り付けられた真空ゲージを取り外すことや、移動することなしに、真空運転状態で較正ができるようにした、移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置及びその使用方法を提供する。
【解決手段】真空装置と被較正用真空ゲージとを連結する管路を開閉する真空遮断用バルブと；被較正用真空ゲージに連結された移動用真空ゲージ較正装置とから構成され、前記移動用真空ゲージ較正装置は、被較正用真空ゲージ側に、基準用真空ゲージと、真空連結用バルブと、真空チャンバーと、ゲートバルブと、排気装置とが順次に連結具備され；真空チャンバーに圧力を発生させるために、真空チャンバーと連結されたガス供給源と；ガス供給源内のガスの流れを制御して真空チャンバーに供給するリークバルブと；真空チャンバー内の真空圧を測定するための真空チャンバー用真空ゲージとが含まれて構成される。 （もっと読む）

【課題】液封式真空ポンプと接続された減圧部における真空度の異常を検知する。
【解決手段】液封式真空ポンプ４と接続された減圧部３の実際の真空圧力と、液封式真空ポンプ４へ供給される封液の温度に基づいて算出した減圧部３の正常到達真空圧力とを比較して、前記減圧部３における真空度が正常か否かを判定することを特徴とする。また、前記真空圧力は、液封式真空ポンプ４と接続された減圧部４と連通する容器８内の液体を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて算出する。 （もっと読む）

真空測定セル構造の較正をするために次の方法手順が提案される：ａ）測定セル構造（１）を較正装置（１０）と接続し、測定接続部（５）を真空容積部（５８）に接続するとともに信号回線（２０）を介して測定セルインターフェース（８）を較正進行制御部（１１）に接続し、ｂ）測定セル構造部で設定可能な一定の値に合わせて第１の加熱温度を調整し、ｃ）少なくとも１つの所定の圧力を真空容積部（５８）で生成し、それと同時に測定セル構造（１）および少なくとも１つの参照測定セル（６）の真空信号を検出することによって測定セル構造（１）の第１の較正ステップを実行し、検出された圧力値を較正データ記憶装置（１３）に保存し、ｄ）測定セル構造（１）と参照測定セル（６）の判定された相違値から較正プロセッサ（１４）で補正値を算定し、これらの相違値を較正進行制御部（１１）の較正データ記憶装置（１３）に中間保存し、ｅ）さまざまな所定の作業点で判定された参照測定セル（６０）に対する圧力と温度の相違する値について、算定された補正値を測定セルデータ記憶装置（６）へ伝送することによって測定セル構造（１）を調節する。
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【課題】 本発明は、実質的に全面的にセラミックで構成されていて、それにより高い程度に耐食性のある容量式の真空測定セルに関する。
【解決手段】 非常に低い圧力を高い精度で測定できるようにするため、厚さ２５０μｍ以下の非常に薄いセラミックダイヤフラムを使用し、このセラミックダイヤフラムは応力なしに、かつ左右対称にセラミックケーシングの内部に配置される。 （もっと読む）

【課題】圧力センサが切換わった際にセンサの出力値が急変することなく滑らかに切換わるようになした圧力センサの出力補正方法及び圧力センサの出力補正装置を提供する。
【解決手段】測定範囲が互いに異なる複数の圧力センサを備え、一のセンサの出力が所定のセンサ切換え圧力に達した時、一のセンサから他のセンサに切換えるとともに、前記一のセンサの切換え時の圧力勾配を求め、前記圧力勾配に応じた移動平均回数Ｎを設定し、切換え後の他のセンサの出力値の代わりに、移動平均値を出力する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業性に優れ、作業コストの低減を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計２１は、真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間２８を形成する第１，第２の金属ブロック２５Ａ，２５Ｂの対向面に、軸状電極２６が貫通する貫通孔を備えた板部材２４Ａ，２４Ｂがそれぞれ設置されている。これにより、放電空間で形成されたプラズマによるイオンのスパッタ作用およびプラズマ生成物の付着から、金属ブロックを保護することができる。また、金属ブロックの長寿命化を図ることができるとともに、クリーニング作業の簡素化を図ることができる。そして、板部材の交換も容易であるので、メンテナンス作業性の向上と、部品交換に伴う作業コストの低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル素子のキャビティ内の圧力を求めるマイクロメカニカル真空センサが提供される。
【解決手段】 このセンサは、基板２と、基板に接続される少なくとも１つの導電性支持部材４と、少なくとも１つの支持部材３によって支持されると共に、支持部材によって基板から離間され、基板との間に空間を設ける熱抵抗層１とを備える。このセンサは、熱抵抗層が基板から実質的に熱絶縁されるように構成される。このセンサは、キャビティ内の圧力が、センサによって検出される温度値によって求められるように駆動するようにさらに構成される。 （もっと読む）

【課題】高真空での安定した動作を実現しつつ、点火補助具の変形を抑制して組立作業性の改善を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計２１は、真空計本体２２と、真空計本体の内部に区画された放電空間２８と、真空計本体の内部に設置された軸状電極２６と、放電空間での放電を誘起する点火補助具２４Ａ，２４Ｂとを備え、点火補助具は、真空計本体に支持されるベース部４１と、ベース部に形成され軸状電極が貫通する貫通孔４２と、貫通孔の内周面から軸状電極に向かって突出する突起部４３とを備える。突起部４３は、軸状電極２６との間の放電を誘起して高真空での安定したプラズマの発生を実現する。また、真空計本体２２に対する軸状電極２６の組み付けの際に、突起部４３の変形を抑制できるので、組立作業性の改善を図ることができる。 （もっと読む）