【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を提供する。特に冷陰極形電離真空計の生産現場における容易な校正方法を提供する。
【解決手段】表示が正確な計測器１２と誤差をもつ計測器１の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され、両者のセンサーが同一雰囲気中に配置された状態で校正を行なう。また冷陰極形電離真空計１の校正をスポット式行う。 （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を求める。特に冷陰極形電離真空計は生産現場においても校正が容易な方法を求める。
【解決方法】表示が正確な計測器と誤差をもつ計測器の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され，両者のセンサーが同一雰囲気中にあれば誤差の校正は容易に行えた。また冷陰極形電離真空計の校正もスポット式で簡単に行えた。 （もっと読む）

【課題】真空計内部における皮膜形成を抑制すること。
【解決手段】真空処理装置にバルブ２を介して取り付けられ、該真空処理装置内の圧力を計測する冷陰極電離真空計１と、バルブ２の開閉制御を行う第１制御機器２１と、冷陰極電離真空計１と通信線及び電源用ケーブルを介して接続されるとともに第１制御機器２１と信号線を介して接続され、第１制御機器２１からバルブ２の開閉制御信号が入力される第２制御機器２２とを備え、バルブ２が開状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が開始されて計測が実施され、バルブ２が閉状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が停止されて計測が終了される真空計システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明における課題は、長期間使用しても放電の誘発を短時間で行うことができる冷陰極電離真空計を提供することにある。
【解決手段】本発明にかかる冷陰極電離真空計は、陽極２と、陽極２とともに放電空間９を形成するように配置された陰極１と、放電空間９内に配置され、陰極１と電気的に接続された放電開始補助電極２５とからなり、放電開始補助電極２５は、陽極２の軸長手方向と平行に配置された電極部２６を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材の取り付けおよび交換を容易に行うことができ、その部材により放電が生じやすい冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、陰極４３の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、陽極４４と陰極４３との間の電界に直交する磁界を形成し、陽極４４と陰極４３との間に放電を起こす磁性手段（磁石４５ａ及び磁石４５ｂ）と、陰極４３の開口縁に嵌合され、その開口を覆うポールピース１４とを備え、ポールピース１４には、ネジ１５が着脱自在に螺合され、そのネジ１５の頭部が、陽極４４の先端部と相対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能であるとともに、放電開始後に安定した放電が行われる冷陰極電離真空計、放電開始補助電極板及び真空処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、陽極２と、該陽極２と共に放電空間９を形成するように配置された陰極としての測定子容器１と、陽極２と測定子容器１とに電圧が印加される場合に、測定子容器１における電界よりも電界が集中するように構成された突起部２１とを備え、突起部２１がフローティングとなるように該突起部２１が放電空間９内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端部が封止された放電空間９を有する測定子容器（陰極）１の内部に棒状の陽極２を配置し、この陽極２に放電開始補助電極５を取り付けた構造とする。放電開始補助電極５は、放電開始補助電極板７にカーボンナノチューブ層１０を形成することによって短時間で放電を誘発する。 （もっと読む）

【課題】より長寿命化を図ることができる冷陰極電離真空計を提供するものである。
【解決手段】アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有する測定子１と、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に電圧(Vd)を供給する電源１４、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に流れる電流(Id)を測定する電流計１５、及び電源１４を制御し、圧力(P)が低くなるにつれて電圧(Vd)を高くし、圧力(P)が高くなるにつれて電圧(Vd)を低くするように、前記圧力(P)の変化に追随して前記電圧(Vd)を絶えず調整して連続的に又は逐次変化させる制御回路３を備えた電子回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】棒状の陽極２、陽極を取り囲むように設けられた測定子容器（陰極）１、陰極１の外周に設けられた磁石３を具備する。そして、陰極１の放電空間９に陽極２の中心軸方向に向かって鋭角突起２１を有する放電開始補助電極５を配置する。放電開始補助電極５は陰極１に着脱可能に設け、放電開始補助電極５の鋭角突起２１の先端と陽極２との距離は０．３ｍｍ以上離して設置する。 （もっと読む）

【課題】放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】放電誘発部材２０が、記板状の基体２１と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔２２と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部２３と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部２４とを備え、前記貫通孔２２が複数の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔２２ａによって突起部２１ａが形成されると共に、前記貫通孔２２の中心部に前記陽極４４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】真空容器内の汚染物質から電極を保護することが可能な電離真空装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空容器13と、真空容器13内に設けられた陽極11と、真空容器13内に設けられた陰極12a,12bと、陽極11と陰極12a,12bの間に放電用電力を供給する放電用電源19と、陰極に加熱用電力を供給する陰極加熱用電源18と、陽極11と陰極12a,12bの間の空間に磁場を形成する手段16a,16bとを有し、真空容器13を他の真空容器に接続して他の真空容器内の圧力を計測し、又は他の真空容器内を排気する電離真空装置であって、真空容器13内のガスに放電を起こさせている間、陰極加熱用電源18により陰極12a,12bを加熱し、陰極12a,12bの温度を陰極12a,12bから熱電子が放出されない温度範囲内に保つ制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサが切換わった際にセンサの出力値が急変することなく滑らかに切換わるようになした圧力センサの出力補正方法及び圧力センサの出力補正装置を提供する。
【解決手段】測定範囲が互いに異なる複数の圧力センサを備え、一のセンサの出力が所定のセンサ切換え圧力に達した時、一のセンサから他のセンサに切換えるとともに、前記一のセンサの切換え時の圧力勾配を求め、前記圧力勾配に応じた移動平均回数Ｎを設定し、切換え後の他のセンサの出力値の代わりに、移動平均値を出力する。 （もっと読む）

【課題】高真空での安定した動作を実現しつつ、点火補助具の変形を抑制して組立作業性の改善を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計２１は、真空計本体２２と、真空計本体の内部に区画された放電空間２８と、真空計本体の内部に設置された軸状電極２６と、放電空間での放電を誘起する点火補助具２４Ａ，２４Ｂとを備え、点火補助具は、真空計本体に支持されるベース部４１と、ベース部に形成され軸状電極が貫通する貫通孔４２と、貫通孔の内周面から軸状電極に向かって突出する突起部４３とを備える。突起部４３は、軸状電極２６との間の放電を誘起して高真空での安定したプラズマの発生を実現する。また、真空計本体２２に対する軸状電極２６の組み付けの際に、突起部４３の変形を抑制できるので、組立作業性の改善を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業性に優れ、作業コストの低減を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計２１は、真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間２８を形成する第１，第２の金属ブロック２５Ａ，２５Ｂの対向面に、軸状電極２６が貫通する貫通孔を備えた板部材２４Ａ，２４Ｂがそれぞれ設置されている。これにより、放電空間で形成されたプラズマによるイオンのスパッタ作用およびプラズマ生成物の付着から、金属ブロックを保護することができる。また、金属ブロックの長寿命化を図ることができるとともに、クリーニング作業の簡素化を図ることができる。そして、板部材の交換も容易であるので、メンテナンス作業性の向上と、部品交換に伴う作業コストの低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電離真空計に係り、特にカーボンナノチューブを利用する電離真空計に関する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、線形の陰極と、該線形の陰極を囲むように設置されている陽極と、該陽極を囲むように設置されているイオンコレクタと、を含む。前記線形の陰極、前記陽極、前記イオンコレクタは同軸に配置される。前記線形の陰極は、線形の基体と、該線形の基体に設置されているエミッタフィルムと、を備える。さらに、前記陰極のエミッタフィルムは、カーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電離真空計に係り、特にカーボンナノチューブを利用する電離真空計に関する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、基板及び該基板に設置されるエミッタフィルムを含む陰極と、前記陰極と所定の距離だけ離れて設置されるゲット電極と、前記ゲット電極と所定の距離だけ離れて設置されるイオンコレクタと、を含む。前記陰極のエミッタフィルムは、カーボンナノチューブと、低融点のガラス粒子と、導電粒子と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高真空あるいは超高真空の真空容器内の真空度を、高価あるいは大型な装置を必要とせずに、簡易な手法で推定できる真空度推定方法を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された陰極３から冷陰極電界放出方式により電子を放出させ、この時に陰極３から放出される電子の電流量である電子放出電流を少なくとも所定時間の期間分、逐次計測する処理を、陰極３の温度をあらかじめ定めた所定温度に保持した状態で実行する。その計測された所定時間の期間分の電子放出電流の値の時系列データに基づいて真空容器１内の真空度を推定する。 （もっと読む）

【課題】強酸化性ガスやその他の膜生成ガスなどカソード汚染ガスを含む圧力被測定環境において、カソード汚染による感度の低下、及び放電停止を防止することによって、安定に、かつ高精度に圧力を測定すること。
【解決手段】カソード２ａ、２ｂから熱電子放出を起こさないような温度にカソード２ａ、２ｂを加熱し、該アノード１とカソード２ａ、２ｂの間に直流電圧を印加し、かつアノード１とカソード２ａ、２ｂの間の空間に磁場を形成して放電を発生させ、その放電電流を測定することによって、真空容器１２内の圧力を測定することを特徴とする。 （もっと読む）