【課題】フレキシブル基板を曲げて収納する際に、ダメージを与えることがないとともに省スペースでフレキシブル基板を収納することができるセンサを提供。
【解決手段】ダイアフラム１１の被測定部にキャップ１７を設け、このキャップにフレキシブル基板１５の一端部１５Ａを接続し、このフレキシブル基板１５の他端部１５Ｂをダイアフラム１１と離れて配置された回路基板に接続し、フレキシブル基板１５を、一端部１５Ａと、この一端部１５Ａに対して９０°以上の角度で回路基板とは離隔する方向に向け曲げて形成するとともにダイアフラム１１の外周面に沿って湾曲配置した帯状部１５Ｃと、この帯状部１５Ｃに対して９０°以上の角度で曲げて形成し回路基板に接続した他端部１５Ｂとを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】センサ基板に温度変化による撓みや歪みを生じさず低コストで製造可能な圧力センサを提供することである。
【解決手段】金属ダイヤフラム２と、歪ゲージ３を備えて金属ダイヤフラム２の表面に接着されるセンサ基板４とを備え、センサ基板４は接着側となる裏面に環状の凹部５を備えて裏面の中央部６と外周部７とを金属ダイヤフラム２に接着してなる圧力センサにおいて、凹部５を密閉せずに大気開放したので、センサ基板４に温度変化による撓みや歪みを生じさせることを防止でき、凹部５を真空とする必要も無くなり製造コストも低減されて圧力センサ１を低コストで製造可能となる。 （もっと読む）

【課題】ブルドン管の基端部を継ぎ手の取付孔に十分にロウ付けすることができるブルドン管の取付構造を提供すること。
【解決手段】継ぎ手１の取付孔１Ｂの内部に溜まっている空気を排出する切欠き９をブルドン管３の基端部３１に形成する。ブルドン管３を継ぎ手１にロウ付けするために、継ぎ手１に形成された取付孔１Ｂとブルドン管３との間に溶融したロウ材８を流入させても、取付孔１Ｂの内部に溜まった空気が切欠き９及び圧力導入孔１Ａを通じて外部に排出されることになり、溶融したロウ材８がブルドン管３の基端部全体に行き届くことになる。 （もっと読む）

【課題】高温の処理を行うことなく、磁気抵抗効果素子を有する基板と、ハード磁性層を有する基板とを確実に接合してなる磁気式圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気式圧力センサは、一方の主面側に設けられたＧＭＲ素子１２を有するガラス基板１１と、ガラス基板１１の一方の主面上に金−スズ共晶接合されており、ＧＭＲ素子１２と対向するようにハード磁性層２０を有するシリコン基板１６と、金−スズ共晶接合の接合領域を区画すると共に、ガラス基板１１とシリコン基板１６との間の間隔を制御するスペーサ１８と、を具備し、シリコン基板１６側の金−スズ共晶接合領域に密着性向上層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】冷熱サイクル耐用性に優れ、実用的であるサニタリ用オイルレス圧力センサを提供する。
【解決手段】一面が測定流体に接する金属製測定ダイアフラム１と、前記測定ダイアフラムの他面に順次積層蒸着された絶縁薄膜２、薄膜歪ゲージ３および電極パッド薄膜４と、前記電極パッド薄膜に接続され、前記薄膜歪ゲージの電気信号を取り出す中継リード線５とを備えた圧力センサにおいて、前記電極薄膜の膜厚を２．０〜６．０μｍに選定し、前記中継リード線を前記電極パッド薄膜に直接溶接する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに設けられた検出部からの信号を、配線基板およびターミナルを介して取り出すようにした圧力センサにおいて、ターミナルを用いることなく、圧力センサのＧＮＤに関する電気的接続を行う。
【解決手段】ターミナル５１の中間部を封止する樹脂部材５２に、インサート成形によって、導電性を有する導体材料よりなる導電性部材７０を設け、この導電性部材７０を介して配線基板３０のＧＮＤ端子部３３とハウジング１０とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】内燃機関のシリンダ内のシリンダ圧を恒常的に測定でき、しかも内燃機関の構造的な変更を必要とせずに比較的低コストで実現できる、シリンダ圧測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、支持スリーブ（１０）がタイロッドを部分的に取り囲むように少なくとも１つの固定機構を介してシリンダのタイロッドに固定可能である、軸方向に分割された支持スリーブ（１０）を備える、内燃エンジンのシリンダの燃焼室内の圧力を燃焼室の外部で測定するための内燃エンジン用シリンダ圧測定装置であって、支持スリーブ（１０）には少なくとも１つの伸長測定ストリップが割り当てられ、測定されるシリンダ圧によって引き起こされるタイロッドの長さの変化が、軸方向に分離された支持スリーブ（１０）の長さの変化を引き起こし、これにより１またはそれぞれの伸長測定ストリップの長さの変化を引き起こす、シリンダ圧測定装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ネジ締め固定によらずに、ステムをハウジングに対して固定できるようにしつつ、ステムとハウジングとの間のシールが行えるようにする。
【解決手段】金属ステム２０の段部２３が、ハウジング１０における圧力導入通路１２内の座面１３に対して、金属ステム２０の他端側から一端側へ向かって押し付けられシールされるようにする。さらに、このように金属ステム２０を座面１３に対して押し付けることを、ステム配置部１４の端部１４ａを押し潰したかしめ部１５にて行う。このような構造によれば、金属ステム２０を圧力導入通路１２に対してネジ締め固定を行う場合のように、シール部Ｋの面圧が大きくばらつくことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】圧力検知手段を固定するときに損傷を与えるおそれのない取り付けを可能とした圧電センサである。
【解決手段】圧力を伝達する圧力伝達手段１１と、圧力伝達手段により伝達される圧力を受けて電気信号に変換する圧電素子とを含む圧力検知手段１１を、開口部側に面して主体金具の内部に装入する。装入された圧力検知手段は、保持部材を介して押し当てられ、押圧部材により押圧保持される。保持部材は、止め部材により回転制止された状態となっている。圧力検知手段は押圧する部材と擦れ合うことなく押圧固定される。
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【課題】金属ガラス薄膜を構成要素とする、新規なマイクロマシン及びそれを用いたセンサ並びにマイクロマシンの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロマシン１は、基板２と基板２に配置される金属ガラス薄膜３とを備えている。金属ガラス薄膜３は、基板の開口部２Ａ上に配置してもよいし、金属ガラス薄膜３は基板に配置されているカンチレバーであってもよい。好ましくは、基板２はＳｉからなり、金属ガラス薄膜３は、Ｚｒ−Ａｌ−Ｃｕ−Ｎｉ系又はＰｔ−Ｐｔ−Ｂ−Ｚｒ系の材料からなる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに圧力検出部を有するステムを２つ備えた圧力センサにおいて、圧力媒体の低圧から高圧までの幅広い圧力レンジで圧力を検出するに際し、低圧の圧力を精度良く検出する。
【解決手段】ハウジング１０に２つのステムを設け、一方のステムのダイヤフラムを薄くして感度を向上させて低圧用とし、他方を高圧用とする。また、低圧用のステムに対応した圧力導入孔１３の開口部１２に、一定値の圧力が導入されると開口部１２を閉塞する弁部材１６を設ける。 （もっと読む）

圧力測定装置はエンジンの室内に配置するために用いられる。圧力測定装置はハウジングと、ハウジングからハウジングの燃焼室側の開口にて部分的に突出する力伝達素子と、ハウジングの内室に配置されている圧力センサとを有する。ここで、圧力センサは力伝達素子に作用の点で接続されている。また、圧力センサが配置されているハウジングの内室の燃焼室側の開口をシールしているダイアフラムが設けられている。有利には金属ダイアフラムとして形成されているダイアフラムは力伝達素子の軸方向に配向されている力伝達部分を有する。また、圧力センサはダイアフラムの力伝達部分によって力伝達素子に作用の点で接続されている。それにより、ダイアフラムの熱に起因する長さの変化が少なくとも部分的に補正される。この長さの変化とは例えば高温の燃料ガスにより引き起こされ、圧力センサにより行われる圧力測定を周期的な精度低下に導くものである。
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【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 （もっと読む）

隔膜真空測定セルを製造する方法が提供され、隔膜（２）の一方の側には間隔をおきながら第１のハウジングプレート（１）が縁部領域で、結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）の他方の側には間隔をおきながら第２のハウジングプレート（４）が縁部領域で結合手段（３）により封止をするように配置されており、第２のハウジングプレート（４）は開口部を有しており、該開口部には測定セル（８）を測定されるべき媒体と接続するために接続手段（５）が結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）と両方のハウジングプレート（１，４）は金属酸化物でできている。測定セルが真空室（６４）の中で、特に測定セルの開口部を通じてＡＬＤ法によりコーティングされ、それにより測定真空室（９）の内壁および開口部が接続手段（５）とともに保護層（１３）で被覆され、それにより少なくとも隔膜（２）の結合手段（３）が腐食から保護されるように覆われる。
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【課題】測定可能の圧力範囲の拡大が可能であり、また測定精度の向上が可能なピラニ真空計を提供する。
【解決手段】電気抵抗体４０を表面に配置して、基板の貫通孔２４を跨ぐように形成された浮膜３２と、浮膜３２を囲むように基板の表面に形成された周辺膜３６と、浮膜の中心を挟んで対称に配置され、浮膜３２の外周を周辺膜３６に連結する一対の連結膜３４とを備え、電気抵抗体４０の両端部が、一対の第１連結膜３４の表面を通って、周辺膜３６の表面に引き出されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】焼成を行わず、かつ、半導体チップに形成される素子への高温による影響を抑制しつつ、半導体チップを金属ステムに接合できるようにする。
【解決手段】集積化チップ４０をガラス板にて構成されたガラス台座５０に陽極接合したのち、一体化されたガラス台座５０と共に集積化チップ４０を金属ステム１０に搭載し、金属ステム１０とガラス台座５０とを陽極接合することで、これらが接合されるようにする。これにより、４００℃以下での低温度で接合が可能になり、集積化チップ４０に形成されたアンプ機能を実現する回路部への影響を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】受圧用ダイアフラムが受けた圧力を圧力伝達部材を介してセンサチップに伝達することにより圧力検出を行う圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラムおよびセンサチップの温度を適切に下げる。
【解決手段】オイルＷが流通するエンジン２００に設けられた取付穴２０１に、中空筒状の金属ケース２０を挿入することにより圧力センサ１００がエンジン２００に取り付けられており、オイル通路６０を金属ケース２０に設けるとともに、ハウジング３０にもオイルＷが流れる通路７１、７２を設け、エンジン２００と圧力センサ１００との間を、オイル送り配管部材８１およびオイル戻し配管部材８２によって接続することで、エンジン２００内のオイルＷを金属ケース２０の中空部に流通させ、エンジン２００へ戻すことにより、受圧用ダイアフラム１０およびセンサチップ４０の熱をオイルＷを介して放熱する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、圧力計をコンパクトに構成するとともに、圧力表示面を所定の向きで流体機器等に取り付けることができ、かつ、被測定流体の圧力変動の応答遅れがなく、正確な圧力を計測できる高圧圧力計を安価に提供することである。
【解決手段】本発明高圧圧力計は、プランジャー用ブロック２のプランジャー摺動口２１内をシール部材２６でシールされて摺動するプランジャー６とシリンダブロック１のシリンダ口１１内をシール部材５２でシールされて摺動するピストン５とを有し、プランジャー６の外径をピストン５の外径より小さくし、被測定圧力流体の高圧圧力を前記プランジャー６で受圧して前記ピストン５で圧力伝達流体を押圧して圧力計測体で計測する。プランジャー６をシールする前記シール部材２６は、アセタール樹脂で形成されたバックアップリング３４を介して支持されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて、高精度に気圧を計測することができる気圧センサを提供すること。
【解決手段】内部に密閉空間が形成された密閉筐体と、この密閉筐体の少なくとも一部の壁面を構成し外気圧の変化に応じて密閉空間の容積が変化可能なよう変形する第一の薄板部材と、この第一の薄板部材に当接して当該薄板部材の固有振動数を検出する第一のＰＺＴと、を備え、第一の薄板部材と同一の振動特性を有する第二の薄板部材を、密閉筐体の外部に当該密閉筐体に当接させて備えると共に、第一のＰＺＴと同一の温度特性を有し第二の薄板部材に当接して当該第二の薄板部材の固有振動数を検出する第二のＰＺＴを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力を受ける受圧用ダイアフラムを備える圧力センサにおいて、冷却機構を設けることなく、受圧用ダイアフラムに対する熱歪みの影響を低減する。
【解決手段】ケースと、ケースの一端部に設けられ、一面が被測定圧力Ｐを受ける受圧面２１として構成されるとともに受圧面２１に被測定圧力Ｐを受けて歪む受圧用ダイアフラム２０と、ケースの内部に設けられ受圧用ダイアフラム２０から被測定圧力Ｐが伝達される圧力伝達部材６０とを備える圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラム２０は、受圧面２１を構成する第１の層２０ａと、圧力伝達部材６０寄りの部位に位置する第２の層２０ｂとを有するとともに、第１の層２０ａと第２の層２０ｂとは、互いに熱膨張係数の異なる材料よりなるものである。 （もっと読む）