【課題】マイクロ流路を流れる流体の圧力を正確に測定することができる圧力測定デバイスを提供すること。
【解決手段】マイクロ流路Ｒの一部を形成するチューブ体１３と、チューブ体１３の外側表面に取り付けられた歪みセンサ１４とを備え、歪みセンサ１４により検出したチューブ体１３の壁部の歪みに基づいて、マイクロ流路Ｒを流れる流体の圧力を測定するように構成された圧力測定デバイス１０であって、チューブ体１３は、流体の流れ方向に垂直な断面が略扁平円形状とされ、この略扁平円形状の短軸Ｊ方向に互いに対向する壁部１３１ａ、１３１ｂに歪みセンサ１４を取り付けた。 （もっと読む）

【課題】現在使用されているものよりも高い帯域幅を有する、感度の高い圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１０２を包含し、ダイアフラムは剛性の外側部分と、ダイアフラムの第１の側と第２の側との間の圧力差に応じて変位する変位可能な内側部分とを有し、ダイアフラムに近接して配置されており、ダイアフラムの内側部分の変位をセンシングするセンサ１０４を包含し、センサと接続されており、ダイアフラムの変位から圧力差を求める監視制御システム１０６を包含する。 （もっと読む）

【課題】溶接歪みばらつきにより発生する予荷重ばらつきを低減する。
【解決手段】受圧用ダイヤフラム４０からロッド５０を介してセンサチップ６０に荷重を与えた状態で、ステム２０とメタルケース３０とを溶接した後、受圧用ダイヤフラム４０に圧力が印加されない状態で、受圧用ダイヤフラム４０からロッド５０を介してセンサチップ６０に与えられる予荷重が基準値を満たすように、ステム２０およびメタルケース３０のいずれかを歪ませる。この場合、ステム２０に追加溶接を行って追加溶接部９１を形成することで、意図的に溶接ひずみを生じさせて予荷重の調節を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】接合面に十分な接合強度を得ることができ、かつビーム側への接着剤のはみ出しに起因する振動特性の劣化も防ぐことができる圧力センサを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧力センサは、双音叉型圧電振動片２０を感圧素子とするダイヤフラム型の圧力センサ１０であって、ダイヤフラム部３４に形成された載置部３６に接合される前記双音叉型圧電振動片２０の結合部２４に貫通孔２８を設け、前記載置部３６における載置面３８と前記結合部２４における接合面とを接着剤１２にて固定し、前記接着剤１２を前記貫通孔２８に充填したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いシールを備え、部材の歪みによる出力変化が小さい圧力センサと、その製造方法を提供することである。
【解決手段】底部が薄肉部２１０とされた有底円筒部材および底部の一面に形成され底部の歪み量を検出する歪み量検出機構である歪みゲージ２２を有する圧力検出素子２０と、有底円筒部材の内部に被計測流体を導入する圧力導入継手１０とを備え、被計測流体の圧力を測定する圧力センサ１の製造方法であって、有底円筒部材の円筒部２１１の一端と圧力導入継手１０の一端を突き合わせ溶接する第１溶接工程と、第１溶接工程により形成された第１溶接ビード５１と並行して圧力導入継手１０に溶接を施す第２溶接工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて小型化を図ることができるとともに、検出精度の向上、消費電力の低減及び製造コストの低減を図ることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１は、平面状に形成されたインダクタ２を具備している。インダクタ２に対向するように、ダイヤフラム（導体部）３が設けられている。ダイヤフラム３は、圧力が印加されると変位し、インダクタ２とダイヤフラム３との間の間隔が、印加された圧力の大きさに応じて変動する。インダクタ２には、所定容量とされたキャパシタ４と、発振用インバータ５が接続され、高周波ＬＣ発振回路１０が形成されている。高周波ＬＣ発振回路１０の発振周波数は、１０ＭＨ以上である。 （もっと読む）

【課題】オイル封止型の圧力センサにおいて、振動により発生するオイルの流れによってワイヤに印加される応力を低減する。
【解決手段】ケース１には、測定圧力を受圧するオイル７０と、圧力検出用のセンシング部２０と、信号を取り出すためのターミナル１０ａと、センシング部２０とターミナル１０ａとを電気的に接続するワイヤ４０とが備えられ、センシング部２０およびワイヤ４０はオイル７０に封止されており、ケース１におけるワイヤ４０の周囲部のうちオイル７０振動により発生するオイル７０の流れにおけるワイヤ４０の上流側には、ワイヤ保護部材としての蓋部材２が、当該オイル７０の流れとワイヤ４０との間に介在するように設けられ設けられており、それによってオイル７０の流れがワイヤ４０に当たるのを防止している。 （もっと読む）

【課題】安全板が破裂する前に高圧ガス収容体内の圧力上昇の程度の把握を可能とする圧力監視装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ１に取り付けられて該ガスボンベ１の収容空間と連通する内部空間１１が形成された支持体１０と、該支持体１０の内部空間１１内にて支持され上記収容空間の圧力を受けて塑性撓み変形が可能な安全板１２とを有している圧力監視装置６において、上記内部空間１１は、安全板１２により二つの室に仕切られて一方が受圧面側の受圧室１１Ａとしてそして他方が受圧面とは反対側の作用面側の作動室１１Ｂとして形成され、該作動室１１Ｂには撓み変形時の安全板１２の作用面に圧せられて移動する可動体１３が案内支持されており、支持体１０は外部と上記作動室１１Ｂとを連通せしめた視認孔１６が形成されていて、安全板１２の撓み変形により移動した上記可動体１３の一部が上記視認孔１６で外部から視認できる可視部を形成している。 （もっと読む）

【課題】取付ネジ部材と主体金具のネジ孔部との螺合の緩みを抑え、取付ネジ部材と主体金具の導通を確保することができる共振型ノッキングセンサを提供する。
【解決手段】共振型ノッキングセンサ１は、金属製の振動板２１と、振動板２１に貼着され、一対の電極を有する圧電素子２２とから構成される振動体１１と、振動体１１を収容する有底筒状をなし、基準電位とされたエンジンブロック２００に対して固定される主体金具１２と、軸線O方向に沿って延び、振動体１１を支持すると共に、ネジ部４１が主体金具１２の底部のネジ孔部３７に螺合される金属製の取付ネジ部材１３とを備える。そして、ネジ孔部３７と取付ネジ部材１３のネジ部４１との隙間には、導電性接着剤２５が充填され、一対の電極のうち一方が、振動板２１、取付ネジ部材１３、導電性接着剤２５、及び主体金具１２を介して、基準電位に設定される。 （もっと読む）

【課題】高真空での安定した動作を実現しつつ、点火補助具の変形を抑制して組立作業性の改善を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計２１は、真空計本体２２と、真空計本体の内部に区画された放電空間２８と、真空計本体の内部に設置された軸状電極２６と、放電空間での放電を誘起する点火補助具２４Ａ，２４Ｂとを備え、点火補助具は、真空計本体に支持されるベース部４１と、ベース部に形成され軸状電極が貫通する貫通孔４２と、貫通孔の内周面から軸状電極に向かって突出する突起部４３とを備える。突起部４３は、軸状電極２６との間の放電を誘起して高真空での安定したプラズマの発生を実現する。また、真空計本体２２に対する軸状電極２６の組み付けの際に、突起部４３の変形を抑制できるので、組立作業性の改善を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力検出装置又はタイヤ空気圧検出システムにおいて、消費電力を低減しつつ、容易に軽量、小型化した圧力検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力検出素子２０は、固定電極３と、前記固定電極３に対向して配置され、圧力に応じて位置が変化するダイヤフラム５に設けられた可動電極６とを備え、前記固定電極３と前記可動電極６が、圧力が所定の圧力Ｐ以上のとき接触状態となり、前記所定の圧力Ｐ未満のとき非接触状態となるように構成されている。圧力検出装置は、前記圧力検出素子２０を同一の半導体基板２上に２以上形成した圧力検出素子群を有し、前記それぞれの圧力検出素子２０ａ，２０ｂ，２０ｃが、前記固定電極３と前記可動電極６が接触する前記所定の圧力Ｐが異なっている。 （もっと読む）

【課題】 内部構造の単純化による製造性の向上，製造工数の低減及び製造コストの削減を図るとともに、振動環境による接合部（接続部）の断線や接触不良等を回避し、信頼性を高める。
【解決手段】 ハウジング２内に、少なくとも、圧力を電気信号に変換する圧電素子３と、この圧電素子３から得られる電気信号を処理する回路基板部４と、圧電素子３と回路基板部４を電気的に接続するリード部５とを備えてなる圧力センサ１を構成するに際して、リード部５を直線状のピン部材５ｐにより形成し、リード部５の一端５ｓ側を、回路基板部４に貫通させ、かつ回路基板部４の反対側で当該回路基板部４に接続するとともに、リード部５の他端５ｔを、圧縮した導電性を有する弾性部材７を介して圧電素子３側の電極部６に接続する。 （もっと読む）

【課題】 電源回路部の小型化及びコストダウン、更には発光輝度の均一化及び低消費電力化を図るなど、従来の相反する問題点を解消するとともに、汎用性及び表示の多様性を高める。
【解決手段】 複数のＬＥＤ２…と単一の第一スイッチ素子３ａ，３ｂ，３ｃ…を直列接続し、かつ各ＬＥＤ２…にそれぞれ第二スイッチ素子４…を並列接続した複数のＬＥＤ回路７ａ，７ｂ，７ｃ…を電源回路部８に並列接続してなる表示マトリクス回路部９と、各第一スイッチ素子３ａ…を所定時間（Ｔｓ）ＯＮにする制御を順番に行うとともに、表示マトリクス回路部９の各ＬＥＤ回路７ａ…に跨がる行Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ…を構成する複数の第二スイッチ素子４…を第一スイッチ素子３ａ…のＯＮに対応してＯＮ／ＯＦＦ制御する制御回路部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】デポジットの侵入による悪影響を回避し得る圧力センサの取付構造を提供する。
【解決手段】圧力センサ１００は、検出部を先端に有する小径部１０１と、基端側に位置する大径部１０２と、これら小径部１０１と大径部１０２との間に位置するシール部３３とを備え、センサ装着孔２０１は、圧力センサ１００の小径部１０１に対して非接触状態でこれを取り囲む小径孔部２０２と、圧力センサ１００の大径部１０２を取り囲む大径孔部２０３と、これら小径孔部２０２と大径孔部２０３との間に位置し、かつ圧力センサのシール部３３が当接する段孔部２０４とを有し、圧力センサ１００の小径部１０１とセンサ装着孔２０１の小径孔部２０２との間の空隙にベローズシール３００が装着されている。 （もっと読む）

圧力且つ機械式センサが、約８０ＧＰａ以下の弾性率（ヤング率）及び約１，０００ＭＰａ以上の引張り強さを備えるチタンとタンタルの合金で作られた検出コンポーネントを有する。高い引張り強さ及び低い弾性率と弾性率の非常に低い温度依存性が相俟った結果として、広い温度範囲にわたって高い分解能及び正確な測定値が得られる。
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圧力監視システム２００は圧力センサ２１４と、第一の熱膨張係数を有しプロセス流体に接する少なくとも一つの開口部２２６を含むボディとを備える。少なくとも一つの隔離ダイヤフラム２３０が前記ボディに結合され、前記少なくとも一つの開口部２２６内に設置される。前記少なくとも一つの隔離ダイヤフラム２３０は前記プロセス流体と接する第一の面を有する。少なくとも一つの流路２２２が前記ボディ内に配置され、前記第一の隔離ダイヤフラムの第二の面に接する充填液を含むよう構成される。前記少なくとも一つの流路２２２は前記第一のダイヤフラム２３０と前記圧力センサ２１４との間に設置される。少なくとも一つの膨張チャンバ２４２は前記第一の流路に結合され、第二の熱膨張係数を有する挿入物２４６を含む。前記ボディの前記第一の熱膨張係数は前記挿入物２４６の前記第二の熱膨張係数よりも大きい。
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【課題】 本発明は、外部のイメージング装置で確認される生理学的な圧力を測定するのに効果的な埋設可能な圧力測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の一態様においては、所定量の流体が、ハウジング内の可撓性部材に封止される。また、可撓性部材の一端には、位置指示部材が連結される。流体は、外部の圧力変化に応じて可撓性部材を伸縮させる。生理学的な圧力は、ハウジングに対する位置指示部材の相対的な位置を確認することによって測定される。外部イメージングシステムは、位置指示部材とハウジングに付された目盛りマークを見るのに使用される。もう一つの態様においては、ハウジング内で軸方向に移動可能な長手部材が設けられる。封止部材は、ハウジングの一部に一定量の空気を封止し、長手部材の一端と封止可能に係合する。生理学的な圧力は、長手部材の位置を測定するイメージングシステムを使って測定される。 （もっと読む）

【課題】封止電極端子にリードピンを安定させた状態で支持して信頼性の向上を図ることができるとともに部品の共通化を図って低コストで製造できる圧力センサを提供。
【解決手段】封止電極端子１２のリードピン１６を基板１７で固定し、封止電極端子１２の板状部１４に、基板１７と封止電極端子１２の板状部１４との間を所定のスペースｄに規定するとともに基板１７を支持する支持部１４Ｅ１，１４Ｅ２を設け、リードピン１６、基板１７及び板状部１４を一体化させる。板状部１４から突出したリードピン１６は、その先端側が基板１７に支持され、この基板１７が支持部１４Ｅ１，１４Ｅ２を介して板状部１４に支持固定されているため、リードピン１６の根元にかかる横荷重が減少することになり、封止される部分の信頼性の低下が防止され、圧力センサ素子１３の出力の長期安定化を確保できる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板を曲げて収納する際に、ダメージを与えることがないとともに省スペースでフレキシブル基板を収納することができるセンサを提供。
【解決手段】ダイアフラム１１にキャップ１６を設け、このキャップ１６にフレキシブル基板１４の一端部１４Ａを接続するとともにフレキシブル基板１４の他端部１４Ｂをダイアフラム１１と離れる方向に延びて継ぎ手１０に保持し、このフレキシブル基板１４を湾曲した状態で支持するカバー２２をキャップ１６に取り付ける。フレキシブル基板１４が局所的に鋭角に曲げられることがないため、フレキシブル基板１４に設けられた銅パターン１４Ｅにクラックが生じることがない。 （もっと読む）

【課題】導電性のばねエレメント３１と対抗エレメント３２とを有し、該ばねエレメントと対抗エレメントとが、少なくとも１つのコンタクト領域３５を介して機械的に接触している形式の、内燃機関の燃焼室内の圧力を測定するためのセンサ装置３０を改良して、高い測定感度及び高い熱的な安定性に基づいて、高い測定精度が得られるようにする。
【解決手段】ばねエレメント３１のコンタクト表面が、対抗エレメント３２のコンタクト表面とは異なる湾曲プロフィールを有し、ばねエレメント３１を弾性的に変形させる力作用又は圧力作用に基づいて、ばねエレメント３１と対抗エレメント３２との間のコンタクト領域３５の大きさが変化し、ばねエレメント及び／又は対抗エレメントのコンタクト表面が、高抵抗のコーティング部３１１を備え、コンタクト領域３５の大きさの変化に基づいて、ばねエレメント３１及び対抗エレメント３２より成る装置の抵抗が変化する。 （もっと読む）