プロセス送信機（１０２）は、耐腐食性ハウジング（１１０）を含む。耐腐食性ハウジングは、第一の材料から形成され、フランジ部分（３１０）を含む。プロセス送信機（１０２）は、第二の材料から形成された外側リング（３０６）も含む。外側リングは、内径を有し、フランジ部分にろう付けされている。プロセス送信機（１０２）は、さらに、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラム（３０４）を含む。変形可能なダイヤフラム（３０４）は、ダイヤフラム（３０４）と内径に隣接する外側リング（３０６）との間の溶接シームにおいて、外側リング（３０６）に溶接され、流体シールを形成している。
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【課題】温度変化に伴う圧力測定値の誤差を減少させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジングの開口部２２を封止し、外部の圧力を前記ハウジング１２内部に伝達する受圧手段（ダイアフラム２４）と、感圧部（振動腕）４０ｃと前記感圧部の両端に接続される一対の基部（第１の基部４０ａ、第２の基部４０ｂ）とを有する感圧素子４０と、を有する圧力センサー１０であって、力の検出方向を検出軸とし、前記一対の基部を結ぶ直線と前記受圧手段の変位方向とが平行に配置されるとともに、前記基部の一方（第１の基部４０ａ）は、前記圧力により変位する前記受圧手段の中央領域２４ａに接続され、前記基部の他方（第２の基部４０ｂ）は、接続部材４２を介して前記受圧手段の固定側の周縁領域２４ｃに接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】センサハウジングの締結時に生じる出力特性のバラツキを抑えられる圧力センサを提供する。
【解決手段】流体圧力によって撓むダイヤフラム３０を備え、このダイヤフラム３０に生じる歪みに基づいて流体圧力を測定する圧力センサであって、センサ部収装穴１６とダイヤフラム円筒部３２との間に介装されダイヤフラムフランジ部３３とＯリング４６との間に介在するバックアップリング４５を備え、センサ部収装穴１６の内周面とダイヤフラムフランジ部３３の外周面との間にフランジ部外周間隙４４を画成し、バックアップリング４５はフランジ部外周間隙４４に入り込む環状はみ出し部４５ａを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】重力による圧力誤差を軽減した高精度な圧力センサを提供する。
【解決手段】筒型のハウジング１２の両端の開口部１２ａ、１２ｂを封止するダイアフラム（第１ダイアフラム１４、第２ダイアフラム１６）と、力の検出方向を検出軸とし、長手方向の両端を前記ダイアフラムに接続した感圧素子１８と、を有する圧力センサ１０であって、前記ダイアフラムに接続され、梃子の原理により前記ダイアフラムが受ける重力と反対方向の力を前記ダイアフラム掛ける反力生成部（第１反力生成部２０、第２反力生成部２２）を有してなる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で良好な感度の圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジング１２の口金２２を封止し、一面が受圧面であるダイアフラム３２と、力の検出方向を検出軸とする感圧部とを有し、当該感圧部の一端が前記ダイアフラム３２の他面の中央領域４０に接続し、前記感圧部の他端が前記ハウジング１２に接続し、前記検出軸は前記受圧面に対してほぼ垂直であり、前記中央領域４０と前記感圧部の一端との接触部分の外周は、前記中央領域４０の外周の内側にあり、前記中央領域４０の厚みは前記中央領域４０の周囲の部位の厚みよりも厚肉にしてなる。 （もっと読む）

【課題】応力検出素子を含んだ、圧力の変化に対して感度の高い感圧素子を提供すること。
【解決手段】弾性部材に形成された凹部の開口部とは反対側の薄肉領域をなすダイヤフラムと、前記開口部に設けられ、前記ダイヤフラムに曲げ応力が加わったときに開口部が広がることにより引張り応力が作用し、その引張り応力に応じた電気信号を出力する応力検出素子と、前記ダイヤフラムに設けられ、ダイヤフラムに厚さ方向の力が加わったときにその曲げ量を大きくするための錘と、を備えるように感圧素子を構成する。ダイヤフラムに加わる曲げ応力に対する応力検出素子に加わる引っ張り応力を大きくすることができるので、その感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】溶接後の受圧面に及ぶ残留応力を抑制し、経年劣化を改善した圧力センサー用のダイアフラム、およびこれを搭載した圧力センサーを提供する。
【解決手段】外面が外部圧力を受けて変形し、内面がハウジング１２内部の感圧素子３８に力を伝達する中央部（ダイアフラム本体）４０と、前記中央部（ダイアフラム本体）４０の外側であって、ハウジング１２に形成された口金２２の外周と溶接される周縁部（フランジ）４４と、を一体として同心円状に有し、前記口金２２を封止する圧力センサー１０用のダイアフラム３２であって、前記中央部（ダイアフラム本体）４０と前記周縁部（フランジ）４４との間に段差を形成する緩衝部４２を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】内部に受圧媒体としてのオイルを使用せず、力伝達部材の構造を簡素化することにより小型化し、圧力検出の測定精度を高めた感度の良い圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング４の第１の圧力入力口２の先端部には測定対象の液体の圧力に応じて撓む第１のダイアフラム５が取り付けられ、第２の圧力入力口３の先端部には大気圧に応じて撓む第２のダイアフラム６が取り付けられる。第１のダイアフラム５と第２のダイアフラムとの間にはシャフト７が取り付けられる。シャフト７の所定の位置には可動部材９が取り付けられている。力の検出軸方向に配置された両端の支持部をそれぞれ可動部材９と固定部材１０に接続支持することにより感圧素子１１が固定されている。感圧素子１１はその変位方向がシャフト７の変位方向と同一方向となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で感度の良い圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジング１２の口金２２を封止し、一面が受圧面であるダイアフラム３２と、前記ハウジング１２の内部から前記ダイアフラム３２の他面の中央部に接続した力伝達手段３４と、力の検出方向を検出軸とする感圧素子３８とを有し、前記力伝達手段３４の変位方向及び前記検出軸の方向は前記受圧面に対してほぼ垂直であり、前記感圧素子３８の一端は前記ハウジング１２に、他端は前記力伝達手段３４に、接着手段を介して支持固定され、前記接着手段が無機系接着剤４０である。 （もっと読む）

【課題】水等の液体の外力を受けるベローズの気泡による影響を回避した圧力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧力センサ１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０に固定する固定部３２と、固定部３２と支点を介して揺動自在に接続した可撓部３４とからなる力伝達手段３０と、一端を固定部３２に固定し、他端を可撓部３４に固定した感圧素子４０と、可撓部３４の第一の受圧面３５ａに第一の受圧部外壁を接触させた第一ベローズ５０と、第二の受圧部外壁をハウジング２０外に突出させた第二ベローズ６０と、一端を第二ベローズ６０の内部を通して第二ベローズ６０の受圧部内壁に接し、他端を可撓部３４の第二の受圧面３５に接して可撓部３４と第二ベローズ６０の受圧部６２とを接続する力伝達シャフト７０と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】支持構造体４とダイアフラム３との溶接時における熱応力による歪みを可及的に小さくするとともに、支持構造体４とダイアフラム３間の剛性を大きくして、固定電極２及びダイアフラム３間の距離の変化を可及的に小さくして、圧力センサ１の出力を安定させる。
【解決手段】圧力により変位するダイアフラム３と固定電極２との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサ１であって、前記固定電極２と前記ダイアフラム３との対向面の距離を規定する凹部４１を有し、前記固定電極２の電極面が、前記凹部４１の底面４１１と略同一平面上に設けられ、前記ダイアフラム３が、前記凹部４１を覆うように前記凹部４１の開口周縁部４０１に設けられる一体成型された支持構造体４を具備する。 （もっと読む）

プロセス流体圧力トランスミッタ（１０）は、圧力センサ（１６）と、トランスミッタ電子機器（１８）と、アイソレーション・システム（１４）とを含む。圧力センサ（１６）は、圧力によって変化する電気的特性を有する。トランスミッタ電子機器は、圧力センサ（１６）に結合され、電気的特性を感知して圧力出力を計算する。アイソレーション・システム（１４）は、ベース部材（３０）と、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）と、封入液（３８）とを含む。アイソレーション・ダイヤフラム（３２）は、ベース部材（３０）に装着され、圧力センサ（１６）とプロセス流体との間に介在する。封入液（３８）は、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）と圧力センサ（１６）との間に配設される。ベース部材（３０）及びアイソレーション・ダイヤフラム（３２）は異なる材料から構成されて、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）の熱膨張係数が、ベース部材（３０）の熱膨張係数よりも大きくなる。
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本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法、相応の構成素子複合体、及び相応のマイクロマシニング型の構成素子に関する。本発明に係る方法は、以下のステップ、すなわち、第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び第１の背面側の表面（Ｒ１；Ｒ１′；Ｒ１′′；Ｒ１′′′）を備える、多数の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）の第１の複合体（Ｗ１；Ｗ１′；Ｗ１′′；Ｗ１′′′）を用意するステップと、第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）及び第２の背面側の表面（Ｒ２；Ｒ２′′′）を備える、対応する多数のキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）の第２の複合体（Ｗ２；Ｗ２′）を用意するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び／又は前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）に、排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を備える構造化された付着層（ＳＧ）を印刷するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、それぞれ１つの半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）及び対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）を備える多数のマイクロマシニング型の構成素子に対応するようにアライメント調整するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、前記構造化された付着層（ＳＧ）を介して、圧力を印加した状態で結合するステップであって、各々の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）が前記対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）に、それぞれのマイクロマシニング型の構成素子に対応するように結合され、このとき、周囲雰囲気のガスが前記排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を通して外部に逃げることができるように結合するステップと、マイクロマシニング型の構成素子を個別化するステップと、を有する。
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本発明は、内燃機関のチャンバ２９内の測定のための圧力センサ１、特に、圧力測定グロープラグに関する。この圧力センサ１は、ハウジング２と、圧力を捕捉するための圧力要素３と、圧力の方向に圧力要素３の下流でハウジング２内に配置され、センサ要素５を有する測定要素４と、ダイアフラム７とを備える。このダイアフラムは、その第１の端部９で圧力要素３に恒久的に連結され、その第２の端部１０で連結１９においてハウジング２に直接又は間接的に恒久的に連結され、圧力要素３はダイアフラム７を介して測定要素４上に支持される。
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【課題】流体の温度及び圧力を測定できる上限が高く、しかも高感度に圧力を検出できる検圧装置、及びその受圧部の成形方法を提供する。
【解決手段】検圧装置４は、導通部材１と弾性薄肉管２と検出手段３とを備える。導通部材１は、その一端５から他端６を貫く導通孔７が形成され、一端５から他端６の途中に、導通孔７に通じる検圧孔８が開放されている。弾性薄肉管２は、導通部材１の導通孔７に嵌入され、平面状の受圧部９が形成されている。検出手段３は、導通部材１にハウジング３１を介して固定されたロードセル１０と、受圧部９に加わる力をロードセル１０に伝達する連結部材１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上しつつ、圧力検出部を取替え可能な圧力検出機能一体型の燃料噴射装置を提供する。
【解決手段】インジェクタ２は、アクチュエータボデー（インジェクタボデー）１５１とは別体形成されるとともに当該アクチュエータボデー１５１に対して取替え可能に一体的に固定されるとともに、内部にダイアフラム部１８ｎと圧力センサチップ１８ｆなどからなる圧力検出部８０を有するヘッドボデー９０を備える。この場合、インジェクタボデーに固定する前に、ヘッドボデー９０単体で圧力検出部８０の動作チェックを行なうことができる。従って、正常と判断されたものをインジェクタボデーに固定することができるため、インジェクタ２を完成させる前に、圧力検出部８０が原因となるインジェクタ２の歩留まり低下を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】被測定媒体が感圧ダイアフラムに付着して堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、センサダイアフラム３２０の一面は被測定媒体を導入する圧力導入室側とし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側とし、センサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁がセンサダイアフラムのコンデンサ室側の周縁よりも圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て外側に位置し、かつセンサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁のコンデンサ室側の周縁に対する圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見た広がり幅が、センサダイアフラム３２０の半径の１％〜１５％となっている。 （もっと読む）

【課題】高温高圧域での圧力計測が可能な耐熱性を有する圧力センサ用光ファイバケーブルを提供する。
【解決手段】被検出圧力により変形可能な支持体１３と、支持体１３に支持された圧力検知用光ファイバ１１と、支持体１３を被覆する外被１６を備える圧力センサ用光ファイバケーブル１０において、支持体１３がアルミニウム製の中空パイプからなり、外被１６がフッ素系樹脂からなる。支持体１３は外周面にらせん状の溝１４を有し、圧力検知用光ファイバ１１は、らせん状の溝１４に配置され、かつ外被１６に被覆されていることが好ましい。また、支持体１３を構成する中空パイプの中空部１５に温度補償用光ファイバ１２が配置されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】受圧流体の管路内への流出汚染を伴うことのない、製造が容易で構造が簡単な、管路内流体の圧力計測装置を提供する。
【解決手段】管路内を流れる圧力流体の圧力を計測する圧力計測装置は、圧力流体が流れる管路を与える管であって、その外周面の一部を環状に削り取ることによって形成され、圧力流体の圧力に応じて変動する薄膜状の受圧部（２３）を有する管（２１）と、管の受圧部を包囲するように嵌装され、計測用の開口部（２５）を有する外筒保持部材（２２）と、開口部に挿入された荷重変換器（３１）であって、管の受圧部に接触可能に配置され且つ受圧部の変動に応じて変位する検知素子（３３）を有し、検知素子の変位を、管路内を流れる圧力流体の圧力を示す電気信号に変換する荷重変換器（３１）とを備える。 （もっと読む）

【課題】内部に受圧媒体としてのオイルを使用しない構造の圧力センサを提供するとともに、圧力センサの測定精度を高めることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ１は、内部を真空とするとともに対向して配置した第１の圧力入力口２と第２の圧力入力口３とを備え後述する各構成要素を収容するハウジング４と、第１の圧力入力口２の先端部に配置し測定対象の液体の圧力に応じて撓む第１のダイアフラム５と、第１のダイアフラム５に対して垂直方向に第１のダイアフラム５に一端を接続した第１のシャフト６と、第２の圧力入力口３に配置し大気側の圧力が加わるベローズ７と、第１のシャフト６の他端とベロー７の他端とを一端８ａに接続したカンチレバー８と、カンチレバー８の他端８ｂと固定部材９との間に配置された感圧素子１０と、により構成する。 （もっと読む）