【課題】半導体圧力センサが収納されており且つ外側がカバーで覆われている圧力センサにおいて、高い気密性を維持しつつ、構造の簡略化を図った圧力センサを提供する。
【解決手段】カバー６０内が圧力検出部１００で区切られて形成されている第１空間５１の内部には半導体圧力検出素子４１のリードピン４３及びリード線４７が収容されているが、第１接着剤７１により封入されているので、第１空間５１内に外部の水分等の液体が侵入することを阻止することができる。また、圧力検出部１１０の流管接続部材である受け部材２側とカバー６０との間に形成される第２空間５２も接着剤により封入されている。カバー６０の圧力検出部１１０側から第２空間５２を通じて水分等の液体が侵入しようとしても、第２空間５２内に封入されている第２接着剤７２によって阻止される。 （もっと読む）

【課題】容器及びダイアフラムに起因する感圧素子に対する熱歪みを抑制する圧力センサーを提供する
【解決手段】容器と、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記受圧手段の周縁部２４ｃから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した支柱３６と、前記支柱３６の先端を前記受圧手段の中央部２４ａ側に屈曲した支持部３８とを有する支持手段３４と、感圧部と前記感圧部の両端の各々に接続される第１及び第２の基部４０ａ，４０ｂとを有し、前記第１及び第２の基部４０ａ，４０ｂとの並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向と平行であって、前記受圧手段の中央部２４ａと前記支持部３８に固定した感圧素子４０と、を備え、前記支柱３６は、材質の異なる２以上の部材を厚み方向に張り合わせ、前記支持手段３４の熱膨張係数と前記感圧素子の熱膨張係数が同等となるように前記部材の厚みの比率を調整したことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】圧力検出用部品において、枠状部に求められる寸法精度を低減する。
【解決手段】
圧力検出用部品１０は、絶縁基体１と、絶縁基体１上に設けられた枠状部２と、絶縁基体１との間に密閉空間１３を形成するように枠状部上に設けられたダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の絶縁基体１と対向する側の面に相互に離間させて設けられた、静電容量形成用の第１の電極パターン４１および第２の電極パターン４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドに起こった環境状態の異常を検知することができる光学式センサを実現する。
【解決手段】本発明に係る光学式圧力センサ１のセンサヘッド２は、光源５から発せられた光を伝送する出射用光ファイバ１０と、出射用光ファイバ１０の端面に対する相対位置が圧力に応じて変位し、出射用光ファイバ１０の端面から出射された光を反射する反射板１５と、反射板１５が反射した光が入射される端面を有し、入射した光をそれぞれ第１および第２光検出器６・７に伝送する第１受光用光ファイバ１１および第２受光用光ファイバ１２とを備え、さらに、センサヘッド２内の湿度の変化に応じて、出射用光ファイバ１０の伝送損失を変化させる損失変化部１６を備える。 （もっと読む）

【課題】 共振そのものが抑えられたブルドン管式圧力計の内機を提供することを課題とする。そして、当該圧力計内機を提供することにより、耐振動および耐脈動性に顕著に優れたブルドン管式圧力計を提供することを課題とする。
【解決手段】 ブルドン管の‘一方の管先’が、ロットを介してセクター軸を回転軸とするセクターギアと連結され、前記ブルドン管の伸縮が前記セクターギアの動きを介してピニオン軸を回転させる力として伝達される構造を有するブルドン管式圧力計内機において、；（ａ）ブルドン管の‘もう一方の管先’が圧力導入パイプと連結され、当該圧力導入パイプを介して、圧力計の株の内部にある圧力導入路と連結しうる構造、及び、（ｂ）ブルドン管が、伸縮拡大機構を構成する部品（駆動部品を除く）のいずれか１ヵ所に直接取り付けて固定された構造、；を有することを特徴とする、ブルドン管式圧力計内機を提供する。 （もっと読む）

【課題】固定電極や封止ガラスなどの集合体であるセンサ本体の熱膨張率及びフランジ部などの固定用部材の熱膨張率により生じる熱応力によって、ダイアフラムが変形することを防止する。
【解決手段】固定電極２１が固定されたセンサ本体２と、センサ本体２との間で密閉空間を形成するダイアフラム構造体３と、ダイアフラム構造体３の受圧部を囲むように接合されて受圧部に流体を導く固定用部材４とを備え、ダイアフラム構造体３が、平板状のダイアフラム本体３１と、ダイアフラム本体３１の周縁部両側に設けられた熱膨張率が既知である第１のリング部材３２及び第２のリング部材３３とを有する。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部２１と、本体部２１に形成された電極固定孔２１１に挿入される固定電極２２と、小径部２３ａ及び大径部２３ｃを有するガード電極２３と、ガード電極２３の大径部２３ｃ及び固定電極２２を連結する第１封止ガラス２４と、ガード電極２３の小径部２３ａ及び本体部２１を連結する第２封止ガラス２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】利用可能な様式で再現性よく製造され得る、単純な構造体を有するキャパシタンスダイアフラムゲージを提供する。
【解決手段】圧力を測定するためのキャパシタンスダイアフラムゲージ１００は、シム１２２または他の隆起外周部分を介して本体構造体１１０に設置された、低いヒステリシス特徴を有するフラッシュダイアフラム１２０を備える。 （もっと読む）

【課題】缶詰の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 搬送されている缶詰１の缶端部に於ける内圧によって変形する部分Ｂの変位を計測して缶詰１の内圧の良否を判定する缶詰内圧判定方法に於いて、帯状にレーザ光を缶端部に照射して、その缶端部の内圧によって変形する部分Ｂと、変形しない部分Ａ，Ｃとを同時に計測し、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｂの平均変位量を求め、そのレーザ光の向きを変えて上記と同様に計測して、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｅの他の平均変位量を求め、上記二つの平均変位量からさらに平均値を算出して、その平均値と予め設定した許容設定範囲とを比較して缶詰内圧の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】缶詰１の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 四本のスポット式レーザ変位センサ４１，４２，４３，４４から半導体レーザ光をスポット的に缶詰１の缶端部の搬送方向下流側表面に照射して、その反射光から内圧によって変形する部分での基準点からの距離を一箇所測定し、内圧によって変形しない部分での基準点からの距離を二箇計測し、内圧によって変形する部分の距離から内圧によって変形しない部分での距離をそれぞれ差し引いて内圧によって変形する部分に於ける二個の変位量を求め、その二個の変位量を平均して第１の平均変位量を算出し、さらに缶詰搬送方向の下流側でも上流側と同様に第２の平均変位量を算出し、内圧によって変形する部分に於ける各平均変位量からさらに平均値を算出し、その変位量の平均値が予め設定しておいた許容設定範囲内に有るか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上を図ることの可能な磁界検出型の物理量センサ及びマイクロフォンを提供する。
【解決手段】被検出磁界を形成する磁界形成部１０と、被検出磁界の第１方向成分Ｈｘに応じた電気信号を出力する磁界検出部４と、外部からの振動入力に応じて第１方向ｘと交差する第２方向ｙに磁界形成部１０と磁界検出部４とを相対振動させる振動薄膜３とを備えたマイクロフォン１において、磁界形成部１０を、磁界検出部４の第２方向ｙ一方側に配置され一組の磁極間に第１磁界Ｈ１を発生する第１磁界発生部１１と、磁界検出部４の第２方向ｙ他方側に配置され一組の磁極間に第２磁界Ｈ２を発生する第２磁界発生部１３とから構成する。これにより、第１磁界発生部１１と第２磁界発生部１３との間に互いの第１方向成分が逆向きの第１磁界Ｈ１と第２磁界Ｈ２との合成磁界である被検出磁界を形成する。 （もっと読む）

【課題】歪受感部の面積を小さくでき、且つ、抵抗値を調節しても歪みに対する検出感度や抵抗特性が変化しない歪ゲージの抵抗値調節方法を提供することを目的とする。また、その抵抗値調節方法で抵抗値を調節した歪ゲージと、その歪ゲージを用いたダイヤフラム型の圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】歪ゲージ２０は、歪受感部２０Ｂ、２０Ｄがダイヤフラム１４の中央部１４Ｘに配置され、歪受感部２０Ａ、２０Ｃがダイヤフラム１４の周辺部１４Ｙに配置される。歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値調節は、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの表面全体を覆うように導電性ゲル２２を配置した後、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄを陽極として電圧を印加し、歪ゲージ２０の表面全体に陽極酸化膜を形成し、さらに、陽極酸化膜の厚みを調節することによって、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値を調節する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素であり、交換が容易であり、温度の影響が避けられる筒内圧センサを提供する。
【解決手段】ピストン１２が収容されたシリンダ１３の外殻であるシリンダライナ１４の外側に冷却水流路１５を隔ててシリンダブロック１６を有するエンジン１１に取り付けられてシリンダ１３内の気圧である筒内圧を検出する筒内圧センサ１であって、シリンダブロック１６の外側からシリンダブロック１６を貫通してシリンダライナ１４に当接され、筒内圧によって変位するプッシュロッド２と、シリンダブロック１６の外側でプッシュロッド１４の変位を検出する変位センサとを備えた。 （もっと読む）

【課題】温度特性の優れた圧力センサーを提供すること
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２の内部にセンサーチップ３を搭載してなり、センサーチップ３は、異なる位置に設けられパッケージ２に固定される少なくとも一対の固定部３２１、３３１と、固定部３２１、３３１間に形成され、パッケージ２の熱膨張によって生じ、一対の固定部３２１、３３１を介してセンサーチップ３に加わる応力を緩和する応力緩和部３４とを有している。また、応力緩和部３４は、切り欠きである。 （もっと読む）

【課題】端板と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、さらに気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供する。
【解決手段】端板である底板部材１２と、底板部材１２に接合される側壁部材３０とを備え、内部に圧電素子を収納可能な圧電素子収納容器１１であって、底板部材１２には、側壁部材３０の内周面に嵌入する嵌入部７０と、側壁部材３０における接合側端面に当接する当接部７２とが設けられ、嵌入部７０と当接部７２との間には、少なくとも１つの段差部としての凹状溝７４が形成されており、 側壁部材３０には、接合状態において嵌入部７０と当接部７２との間に位置し、底面部分８３との間に段差を設けると共に底板部材１２における凹状溝７４との間に空隙を形成する凸状部８０を設け、前記空隙には接着剤９０が充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサをエンジンブロックの取付穴にネジ結合するときに、当該ネジの回転による摩擦や軸振れの影響がシール部材に及ぶことなく、当該ネジ結合を可能とする。
【解決手段】圧力センサ１００は、一端部に受圧部１を有する筒状胴体部１を、その一端部側から取付穴２０１に挿入するとともに、胴体部１の一端部側の部位にシール部材３００が設けられている。胴体部１の他端部側には、第１のネジ部３ａを有する別体のネジ部材３が設けられ、取付穴２０１の内面には第２のネジ部２０３が設けられ、ネジ部材３を取付穴２０１の軸周りに回転させることで当該両ネジ部３ａ、２０３によってネジ結合が成されるが、胴体部１とネジ部材３とは隙間を有するので、ネジ部材３の回転中、胴体部１はネジ部材３とともに回転しない。そして、ネジ部材３には、ネジ結合の結合力により胴体部１を取付穴２０１に対して押さえつける押さえ部３ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】蓋部材と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供する。
【解決手段】蓋部材２２と、内部に圧電素子を収納すると共に前記蓋部材の周囲を取り囲む側壁部材３０を備える容器本体を有する圧電素子収納容器１１であって、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面を跨いで配置された中間部材５０を有し、蓋部材２２と側壁部材３０、および中間部材５０の対向面間に接着剤６０を介在させて接合したことを特徴とする。このような特徴を有する圧電素子収納容器１１において、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面に凹状溝５２を設け、中間部材５０は、凹状溝５２内に配置する構成とすると良い。 （もっと読む）

本明細書には、デバイスに印加される圧力を検出する方法及びデバイスが説明されている。一実施形態において、前記デバイスは、第一の層と、前記第一の層の下部に位置する第二の層とを備える。前記第一の層及び前記第二の層はキャビティを形成する。前記デバイスは、前記キャビティ内に配置された複数のディスプレイ素子をさらに備える。前記デバイスは、前記第一の層及び前記第二の層の間の相対的な運動を測定するように構成されたセンサをさらに備える。他の一実施形態において、前記デバイスは音波を検出しうる。
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ＭＥＭＳデバイス（１００）が集積回路チップ（１０１）と、リードフレームベースのプラスチック成形本体（１２０）を含むパッケージとを有し、パッケージは本体の厚み（１２１）を通る開口（１２２）を備える。可動フォイル部品（１３０）が本体（１２０）に固定され、開口（１２２）を少なくとも部分的に横切って延びうる。チップ（１０１）は、フォイルを横切って拡がるようにリード（１１０）にフリップ実装され、フォイル（１３０）からギャップにより隔てられうる。リードは、予め製造された個別部品のリードフレーム上にあってもよく、或いは犠牲キャリア上に金属を堆積し、その金属層をパターニングするプロセスフローによって製造されてもよい。その結果のリードフレームは平坦であってもよく、或いは積層型のパッケージ・オン・パッケージデバイスに有用なオフセット構造を有してもよい。
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【課題】深い穴を有する金属部材を備えた圧力センサにおいて、金属部材中を透過するおそれの有る気体の圧力を精度良く検出することが可能な技術を提供する。
【解決手段】圧力センサは、気体の圧力を検出するために用いられるものである。この圧力センサは、一端が開口し他端に底を有する穴部であって前記気体が導入される穴部を備えた金属部材と、金属部材の外面の、穴部の底に対向する位置に設けられた圧力検知部と、穴部の底に配置され、気体の透過を抑制する金属製の透過抑制層と、透過抑制層を穴部の底に固定する樹脂層と、備えている。 （もっと読む）