【課題】センサ装置の小型化を可能にする。
【解決手段】ハウジング１２およびモールドＩＣ１６が一体化された後に、治具５０によりハウジング１２がインジェクタボデー１０に螺合されるセンサ装置において、モールドＩＣ１６を貫通する複数のピン４０は、一端がハウジング１２のピン挿入孔１２２に挿入されて固定されると共に、他端がモールドＩＣ１６から突出している。そして、ピン４０と治具５０とを係合させて、治具５０によりハウジング１２をインジェクタボデー１０に螺合させる。これによると、従来のようにハウジング１２の外形をモールドＩＣ１６よりも大きくする必要がない。したがって、ハウジング１２の外形をモールドＩＣ１６よりも小さくして、センサ装置を小型にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの回転軸と円弧状の中継ターミナル部材の中心軸の軸ずれを小さくする。
【解決手段】複数の中継ターミナル２００のうち最外部に位置する最外部中継ターミナルに３つの突出片２００ｂを設け、突出片２００ｂの外周面をモールド樹脂層２０１よりも径方向外側に突出させる。そして、ハウジング１２を治具４０に固定した後に、突出片２００ｂの外周面を治具４０のガイド面４４に当接させた状態で、中継ターミナル部材２０をシールドカバー１８側に向かって移動させて、中継ターミナル部材２０をシールドカバー１８に固定する。このように、３つの突出片２００ｂの外周面をガイド面４４に当接させて中継ターミナル部材２０を位置決めすることにより、ハウジング回転軸Ｘと中継ターミナル部材２０の中心軸の軸ズレを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ装置の周囲のスペースを有効に利用可能にする。
【解決手段】ハウジング２１に形成された係合部２１３に治具が係合され、治具によりハウジング２１が回転されてハウジング２１が被取り付け部材に螺合されるセンサ装置であって、螺子締結が完了した時点の被取り付け部材に対するハウジング２１の回転方向位置が略一定の位置になるようにし、ハウジング２１の回転軸Ｘ方向に沿って見たときの係合部２１３の形状を非正多角形にし、ハウジング２１やモールドＩＣ２３の周囲のうちスペースに余裕がある部位側に係合部２１３やモールドＩＣ２３をずらして配置することにより、センサ装置の周囲のスペースを有効に利用する。 （もっと読む）

【課題】モールドＩＣの接地状態を安定且つ長期に亘って維持可能にする。
【解決手段】シールドカバー１８に、ハウジング１２およびリードフレーム１６１を溶接することにより、モールドＩＣ１６は、シールドカバー１８、ハウジング１２、およびインジェクタボデー１０を介して接地される。シールドカバー１８は、モールド樹脂との密着性やボンディングワイヤの接続性を考慮する必要がなく、また高い強度も必要ではないため、ハウジング１２やリードフレーム１６１との溶接性が良好な材料を選定することができる。そして、そのような材料のシールドカバー１８に対してハウジング１２およびリードフレーム１６１を溶接することにより、良好な溶接状態が得られる。 （もっと読む）

【課題】中継ターミナル部材と出力側ターミナル部材の、ターミナル平面方向の位置決めを、容易且つ正確に行えるようにする。
【解決手段】出力側ターミナル部材の出力側ターミナルは、短冊状で平行に配置されている。中継ターミナル部材２０は、中継ターミナル２００、２０１として、出力側ターミナルと電気的に接続される円弧状の接続部が同心円状に配置された複数の円弧状中継ターミナル２００と、出力側ターミナル２２１と電気的に接続される中心接続部が円弧状中継ターミナル２００の中心に配置された中心部中継ターミナル２０１とを備えている。中心部中継ターミナル２０１の中心接続部に突起部２０３を設け、出力側ターミナルにおける中心接続部に電気的に接続される部位に孔を設け、突起部２０３を孔に挿入することにより、中継ターミナル部材２０と出力側ターミナル部材のターミナル平面方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】モールドＩＣおよび中継ターミナル部材と出力側ターミナル部材との回転方向の相対位置が不定であるセンサ装置において、モールドＩＣ等を電気ノイズから保護するための構造を小さい体格で実現する。
【解決手段】モールドＩＣ１６および中継ターミナル部材２０の側面を覆う第１シールド部材５０と、出力側ターミナル部材２２における側面および反ハウジング側端面を覆う第２シールド部材５２とを備え、第１シールド部材５０に対して第２シールド部材５２を第１シールド部材５０の周方向の任意の位置で固定可能にする。これにより、第２シールド部材５２の形状を出力側ターミナル部材２２の外形に合わせたコンパクトな形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の変化を静電容量の変化として検出するダイアフラム構造を備えた圧力センサにおいて、圧力センサのパッケージにリードピンを気密封止するハーメチックシール部に作用する応力を大幅に低減する。
【解決手段】筒状のハウジング１２及びハウジング１２の端部に接合される板状のカバー１３を有するパッケージ１０と、パッケージ１０の内部に形成される基準真空室１０Ｂと圧力導入部１０Ａとを隔絶する圧力検出用のセンサチップ３０と、センサチップ３０に電気的に接続されるとともにカバー１３の挿通孔１３ａを介してパッケージ１０の外部に露出するリードピン４１と、挿通孔１３ａとリードピン４１との間を気密的に封止する封着用ガラスで構成されるハーメチックシール部４３・６０と、を備える圧力センサ１０であって、カバー１３の内側面に凹部１３ｂを形成することにより応力吸収用の薄肉部１３ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】圧力検出素子と基板との安定した電気的接続を形成する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサは、有底筒状の第１のケースと、筒状の第２のケースと、第１と第２のケースとの間に配置され、第１と第２のケースを接続する筒状の接続部材であって、弾性を有する接続部材と、を備える。また、圧力センサは、圧力検出素子と、台座と、回路部が配置された基板と、圧力検出素子と回路部とを電気的に接続するための電気配線路と、を備える。接続部材には、接続部材の外側からワイヤボンディングによりボンディングワイヤを形成するための開口部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】水中で稼動する機器に防水構造で装着すること、低価格、正確な計測、良好な防水性及び小型化が可能な荷重センサを用いた圧力測定装置２を提供することが目的である。
【解決手段】防水シート１１で凹型の筐体５１の開口部を覆うことで防水性を得ると共に外部からの荷重を受けている。防水シート１１が低価格であり、そのシール面及び受圧面が広いことにより、低価格、良好な防水性、正確な計測及び小型化を可能とする荷重センサを用いた圧力測定装置２を提供することができた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感度が高く特性の向上した圧力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】中空孔２２を内側に設けた筒部２３とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部２４とからなる容器２１と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路３５とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体３６の圧力を検出する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】 検出対象の初期圧力にかかわりなく、微小な差圧を正確に検出できること。
【解決手段】 高圧変動対象に接続した高圧検出室３６と、低圧変動対象に接続した低圧検出室３７と、これら高圧検出室３６及び低圧検出室３７に隣接し、フラッパー２とノズル１０とを備えた圧力増幅機構とを備え、圧力増幅機構には、ノズル１０に流体を供給する流体供給経路１２と、ノズル１０を通過した流体を排出する排出経路１５とを設け、上記圧力増幅機構で増幅された圧力に基づいて上記高圧検出室３６と低圧検出室３７との差圧を検出する差圧検出装置において、上記圧力増幅機構と区画された基準圧力室２０と、この基準圧力室２０と上記低圧検出室３７とを連通する連通路２４と、上記増幅機構によって増幅された圧力と上記基準圧力室の圧力との差圧を検出する差圧検出手段４、１３、１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 燃焼機の燃焼室内の圧力を測る際の熱による影響を低減する。
【解決手段】 燃焼機用圧力検出装置用パッケージ１は、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、上面に形成された凹部５および凹部５から下面にかけて貫通した貫通孔４を有した基体と、基体２の凹部５を覆って上面に取着されたダイヤフラム３と、基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられた圧力検出素子６とを具備する。ダイヤフラム３から圧力検出素子６に熱が伝わりにくくなり、燃焼室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができるので、圧力検出素子６による圧力の測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の素子面に対し交差する方向から作用する振動・衝撃を抑制する圧力センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、容器と、前記容器の開口部２２を封止し、受圧部の外側に周縁部を有すると共に力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端３２ａを固定し、他端３２ｂを前記一端３２ａから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、前記受圧部に固定される第１の基部４０ａを有し、第２の基部４０ｂを前記第１の基部４０ａから前記受圧手段の変位方向と平行に配置した感圧素子４０と、前記感圧素子４０の前記第２の基部４０ｂを固定する第１の接続片３６と、前記第１の接続片３６の両端を前記第１の接続片３６のいずれか一方の主面側に延出させて前記支持手段３２の他端３２ｂと接続する第２の接続片３８を備えた固定板３４と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】センサチップとリードとを簡易な構成にて確実に電気的に接続し得るセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】コネクタケース３０には、ハウジング２０との組み付け時に当該ハウジング２０に取り付けられたセンサチップ４０の接点部４１の直上にて当該接点部４１に近接する貫通孔３４が形成されている。そして、リード３２は、その一部が貫通孔３４内に露出することで、当該貫通孔３４に充填されるとともに接点部４１に導通される導電性の充填部材３５により、接点部４１に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】圧力を測定するための燃焼エンジン用のピエゾ抵抗圧力測定プラグが開示される。
【解決手段】圧力測定プラグは、プラグボディ（２）と感知構造（４）とを含む。プラグボディは、プラグボディを燃焼エンジンのシリンダーにネジ止めするための外側のネジを有するネジ付きプラグボディ部（２ａ）と、プラグの先端を形成しかつプラグボディと燃焼エンジンとの間に封止を提供するよう構成された封止プラグボディ部（２ｄ）とを含む。プラグボディ部はさらに、ネジ付きプラグボディ部と封止プラグボディ部との間に位置決めされた感知ボディ部（２ｃ）を含む。感知ボディ部は、一体形成でありかつ円筒状ボディ部（２ｃ１）と、移動部（２ｃ２）と、感知構造とを含む。感知構造は、円筒状ボディ部と移動部との間の接続を形成し、かつ移動部が円筒状ボディ部のシリンダー軸（６）に沿って円筒状ボディ部に相対的に移動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサを提供する。
【解決手段】第１ハウジングと、第２ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサであって、第２ハウジングは筒状を成し、その中空がメタルダイヤフラムによって区切られており、第１ハウジングは柱状を成し、メタルダイヤフラム側の端部に、センサ素子とターミナルの一部とを設けるための第１の溝と、Ｏリングを設けるための第２の溝とが形成され、第１の溝及びメタルダイヤフラムによって構成された圧力検出室が、圧力媒体によって満たされている。そして、第１の溝が、圧力検出室内に設けられたセンサ部とターミナルの一部それぞれの形状と配置とに合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の実施形態によれば、感度よく検知できる歪検知素子、および圧力セン
サを提供することができる。
【解決手段】 磁化方向が変化可能で外部歪が印加されていない状態では磁化が膜面垂
直方向を向いている磁化自由層と、磁化を有する参照層と、前記磁化自由層と前記参照層
との間に設けられたスペーサー層と、を備えた積層膜と、前記積層膜の積層面に対して垂
直方向に通電する一対の電極と、前記一対の電極の何れか一方に設けられた基板と、前記
基板が歪むと、前記磁化自由層の磁化の回転角度と前記参照層の磁化の回転角度が異なる
ことを特徴とする歪検知素子。 （もっと読む）

【課題】ＨＰＬＣ／ＳＦＣ／ＳＦＥのポンプ・自動圧力調整弁等に取付けられる圧力計の溶媒置換性の改善、及び測定精度を改善する。
【解決手段】配管継手に類似した形状の六角材２６０に内径１．０ｍｍの貫通穴２６６を開ける。その一片を削り、貫通穴外周との距離が０．５ｍｍとなるようにし、その表面を研磨して歪測定用歪ゲージ貼付面２７０とする。貫通穴両端には配管接続用の孔２６４を作成する。歪ゲージは、点線で囲まれた歪測定用歪ゲージ貼付面２７０の中央に１枚と、温度補正用として平面内もしくは六角材外面の温度測定要歪ゲージ貼付面２７２に別に２枚とを貼り付ける。それぞれの歪ゲージにてブリッジ回路を組み、信号を出力するようにする。 （もっと読む）