【課題】接続部材の耐久性が損なわれることが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】チップ（１０）と台座（３０）とが接続部材（５０）を介して機械的に接続された半導体装置であって、チップ（１０）と台座（３０）との間に接続部材（５０）が介在され、チップ（１０）の上面（１０ｃ）の全面、及び、側面（１０ｂ）の全面の少なくとも一方に、応力緩和部材（７０）が機械的に接続されており、台座（３０）は、接続部材（５０）よりも線膨張係数が高く、台座（３０）、接続部材（５０）、及び、応力緩和部材（７０）は、チップ（１０）よりも線膨張係数が高い。 （もっと読む）

【課題】圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部と大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部の温度を均一化して圧力測定誤差を小さくする。
【解決手段】ダイヤフラムシール形圧力伝送器は、大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部２ａ及び圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部２ｂを高熱伝導性部材からなる１つのブロック９に取り付けて一体にする。 （もっと読む）

【課題】リフロー等の高温処理による圧力検出値のドリフトが生じるのを低減する物理量検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサー１のダイアフラム層２０の支持枠部２０６と固定部とは第１接合材４０を用いて接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０を用いて接合されている。 （もっと読む）

【課題】
ダイヤフラム式圧力センサにおいて、容器及び圧電感応素子との熱膨張係数差のため発生する感度低下を抑制し、尚且つ高い圧力耐性を持つ圧力センサを提供すること
【解決手段】
ダイヤフラム式圧力センサにおいて、上側部材１及び下側部材３と水晶振動子２の接合面に、非晶質の炭化シリコン層１１、３１及びエピタキシャルＳｉＯ_２層１２，３２を成長させ、表面化活性化法によって接合することにより、接着剤等の異種材料を接合部に挟み込むために生ずる熱膨張係数差により、水晶振動子２に応力が発生し、検出感度が低下することを防ぐことができ、容器にシリコン材料を用いることで高い圧力耐性を持たせることができる。 （もっと読む）

【課題】検出精度を低下させることなく複数の圧力検出部からの信号に基づいて圧力媒体の圧力に応じた圧力信号を出力するセンサチップおよび圧力センサを提供する。
【解決手段】センサチップ４０の処理回路４３が設けられる基部４１とダイアフラム２４との間に介在する複数の脚部４２ａ〜４２ｄには、ダイアフラム側に配置されてダイアフラム２４の変形に応じた信号を出力するゲージ抵抗４４ａ〜４４ｄと、これらのゲージ抵抗４４ａ〜４４ｄからの信号を処理回路４３に出力するための貫通電極４５ａ〜４５ｄと、がそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力を正確に測定可能な圧力測定器を提供する。
【解決手段】ガラス台座２０１と、ガラス台座１上に配置された半導体台座２と、半導体台座２上に配置された半導体圧力センサ３と、を備え、ガラス台座２０１の高さｈ₁及び半導体台座２の高さｈ₂の和に対する、ガラス台座２０１の高さｈ₁の比が、０．５乃至０．９である、圧力測定器。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出室１９に、温度が高くなるにつれて体積が減少する、または、温度が高くなるにつれてヤング率が減少するスペーサ２０を固定する。これによれば、外部温度が高温に変化した際に、オイルが熱膨張してもスペーサ２０の体積が減少する、またはスペーサ２０のヤング率が減少するため、オイルの体積変化をスペーサ２０にて吸収することができる。したがって、圧力検出室１９内の全体の体積増加を小さくすることができ、圧力検出室１９に内圧変動が発生することを抑制することができる。また、スペーサ２０は、圧力検出室１９内に固定されているため、スペーサ２０がセンサ部４と衝突することもなく、センサ部４が正常に作動しなくなることもない。 （もっと読む）

【課題】圧力変換器内の、改良された電極と、電極のための取り付け具とを提供する。
【解決手段】圧力変換器アッセンブリは、第１の本体と、第２の本体と、ダイアフラムと、電極とを有する。第１の本体とダイアフラムとは、第１のチャンバを、また、第２の本体とダイアフラムとは、第２のチャンバを形成している。電極は、第１のチャンバ内に配置されている。電極とダイアフラムとの間のキャパシタンスは、チャンバの間の圧力差を表す。電極は、ハブから吊り下げられ、スポーク取り付けされている。幾つかの実施形態では、電極は、完全に金属である。電極は、導電性フィルムが形成されたセラミック製ディスクを有しても良い。このディスクは、セラミック製のロッドを備えたハウジングに結合されている。変換器はまた、温度の変化に応じたねじりを減少するために、ハウジングに接続された、熱係数の低い膨張部材を有する。 （もっと読む）

【課題】水衝撃のような急激な圧力変動に対して信頼性が高く、温度特性が安定で、ローコスト化が可能な、圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の絶縁基板の一方の面に形成された凹状の第１の測定室と、前記第１の絶縁基板に設けられ前記第１の測定室に連通する第１の導圧孔と、前記第１の絶縁基板の一方の面に一方の面が接合され前記測定ダイアフラムを形成する半導体基板と、この半導体基板の他方の面に前記第１の測定室に対応した位置に設けられた半導体歪ゲージと、前記半導体基板の他方の面に一方の面が接合された第２の絶縁基板と、この第２の絶縁基板の前記一方の面に前記第１の測定室に対向して対称形状をなして設けられた凹状の第２の測定室と、前記第２の絶縁基板に設けられ前記第２の測定室に連通する第２の導圧孔と、を具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】第１部材と第２部材との機械的な接続強度が向上された構造体を提供する。
【解決手段】第１部材（１０）と第２部材（３０）とが接着固定された構造体。第２部材（３０）には、第１凹部（３２）、第１凹部（３２）の底面から突出した凸部（３３）、第２凹部（３４）が形成され、凸部（３３）と第１凹部（３２）によって構成された環状の溝部（３５）と第２凹部（３４）が連通され、第１部材（１０）が凸部（３３）に搭載され、第１部材（１０）の底面（１２ｄ）が溝部（３５）に貯留された液状の接着剤（５１）に接触した際、表面張力によって第２凹部（３４）に貯留された液状の接着剤（５１）が溝部（３５）に流入し、第１部材（１０）の側面（１２ａ）と第１凹部（３２）の側面（３２ａ）との間に濡れ広がることで、接着剤（５０）が側面（１２ａ）と側面（３２ａ）との間に介在されている。 （もっと読む）

【課題】 動作中の温度を安定させることで、転送レートを低下させることなく、所定の物理量を正確に測定するセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】 センサーモジュール１０であって、所定の物理量を検出して検出信号として出力する物理量センサー２０と、使用されることで発熱する発熱部品３０と、を含み、発熱部品は、検出信号に基づいて演算処理を行う演算処理部３４と、複数の動作モードを切り替える切り替え制御部４６と、を含み、切り替え制御部は、物理量センサーに所定の物理量を検出させる第１の動作モードと、第１の動作モードに続く動作モードであって、演算処理部に演算処理を行わせる第２の動作モードと、を切り替え、第２の動作モード時において、物理量センサーおよび発熱部品に基づく発熱量が、第１の動作モード時における発熱量と同じになるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 部品を増やすことなく、ウォームアップ時間を短くして、測定開始までの時間を早める、使い勝手のよいセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】 センサーモジュール１０であって、所定の物理量を検出して検出信号として出力する物理量センサー２０と、使用されることで発熱する発熱部品３０と、を含み、発熱部品は、複数の動作モードを切り替える切り替え制御部４６を含み、切り替え制御部は、物理量センサーに所定の物理量を検出させ、検出信号に基づく出力データを出力させる通常動作モードと、物理量センサーの温度をターゲット温度に変化させるウォームアップモードと、を切り替え、所与の条件を満たした場合に、ウォームアップモードが通常動作モードの前に実行されるように制御を行い、通常動作モード時における飽和温度をターゲット温度とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤ空気圧監視システムの受信機において、より適切なタイミングで警告を行うことにある。
【解決手段】情報信号の受信時に、その信号に含まれるタイヤの温度及び空気圧に基づき基準点Ｋ１が設定される。具体的には、情報信号に含まれるタイヤの空気圧から一定割合（２０％）だけ減少させた値と、同信号に含まれるタイヤの温度との交点Ａ１に基準点Ｋ１が設定される。そして、この基準点Ｋ１を通過するとともに前記情報信号に含まれるタイヤの温度とタイヤの空気圧から導き出されるボイルシャルルの法則に従った傾きを有する閾値直線Ｌ１を設定する。その後に受信した情報信号に含まれるタイヤの温度に応じて、閾値直線Ｌ１上に補正低空気圧閾値Ｔｈ２が設定される。従って、タイヤに温度変化があった場合でも、タイヤの空気圧が一定割合以上減少した場合には警告を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】センサが高温となるように構成される圧力センサ装置において、センサと回路部とを接続する構造体の耐熱性、機械的強度、電磁シールド性を高める。
【解決手段】外部から導入されるガスの圧力を検出するセンサ３０と、センサ３０を加熱するヒータと、センサ３０及びヒータを収容するパッケージ１０と、センサ３０で検出した検出出力に基づいてガスの圧力を表す出力信号を発生する回路部７０と、回路部７０を収容する回路収容部７１と、を備える圧力センサ装置１である。パッケージ１０と回路収容部７１とを別々の筐体で構成するとともに接続構造体９０を介して離隔配置する。接続構造体９０は、パッケージ１０内のセンサ３０と回路収容部７１内の回路部７０とを接続する電極リードピン４１と、電極リードピン４１の外周を覆う絶縁パイプ８１と、絶縁パイプ８１の外周を覆うコイルばね８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤ空気圧監視システムの受信機において、より適切なタイミングで警告を行うことにある。
【解決手段】情報信号の受信時に、その信号に含まれるタイヤの温度であって空気圧が最小低空気圧閾値Ｔｈ１となる基準点Ｋ１を設定する。そして、この基準点Ｋ１を通過するとともに情報信号に含まれるタイヤの温度とタイヤの空気圧から導き出されるボイルシャルルの法則に従った傾きを有する閾値直線Ｌ１を認識する。その後に受信した情報信号に含まれるタイヤの温度が、例えば前回の情報信号の受信時の温度より高い場合には、閾値直線Ｌ１上において最小低空気圧閾値Ｔｈ１より大きい補正低空気圧閾値Ｔｈ２に設定される。従って、タイヤに温度変化があった場合でも、より適切なタイミングで警告を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】温度依存性を小さくできるとともに、製造が容易なピエゾ抵抗体等を提供する。
【解決手段】半導体材料に外力が作用したときの抵抗値の変化を利用するピエゾ抵抗体である。半導体材料として、表面の終端の少なくとも一部が水素終端とされたｐ型半導体特性を持つダイヤモンドを用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の流速センサー１０は、筐体の収容空間の第１の開口部を封止する第１のダイアフラム２０ａと、収容空間の第２の開口部を封止する第２のダイアフラム２０ｂと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子４０と、を有し、感圧素子４０は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第１のダイアフラム２０ａは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第２のダイアフラム２０ｂは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第１及び第２のダイアフラム２０ａ，２０ｂの受圧面側に断熱部６０が設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】溶接後の受圧面に及ぶ残留応力を抑制し、経年劣化を改善した圧力センサー用のダイアフラム、およびこれを搭載した圧力センサーを提供する。
【解決手段】外面が外部圧力を受けて変形し、内面がハウジング１２内部の感圧素子３８に力を伝達する中央部（ダイアフラム本体）４０と、前記中央部（ダイアフラム本体）４０の外側であって、ハウジング１２に形成された口金２２の外周と溶接される周縁部（フランジ）４４と、を一体として同心円状に有し、前記口金２２を封止する圧力センサー１０用のダイアフラム３２であって、前記中央部（ダイアフラム本体）４０と前記周縁部（フランジ）４４との間に段差を形成する緩衝部４２を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】独立した２つの圧力センサを備える差圧センサにおける故障判定と修復を可能とする。
【解決手段】流体が流れる流路の第１及び第２の測定点にそれぞれ配置される第１及び第２の圧力センサと、第１及び第２の圧力センサの各出力から差圧出力を得る差圧計算手段と、第１及び第２の圧力センサと差圧計算手段との間に設けられて各圧力センサの出力を予め定められた補正特性でレベル補正する補正手段と、第１及び第２の圧力センサの正常又は異常を判別する判別データを予め保持するデータ記憶手段と、第１及び第２の圧力センサの補正された各出力及び差圧出力と判別データを比較して各圧力センサの正常又は異常の判別を行う判別手段と、異常と判別されたとき、異常に該当する圧力センサの出力の補正に使用された補正特性を前記補正手段に再設定する補正特性設定手段と、を備える。 （もっと読む）