【課題】被測定圧力を測定に適した圧力に調整して圧力測定装置に伝達でき且つ安全性も向上させた圧力調整装置および圧力測定装置の簡易な構造による提供。
【解決手段】シリンダユニット２と、ピストンユニット３とを備え、シリンダユニット２は、細管体２１と太管体２２を備えており、ピストンユニット３は、プランジャ３２と、細管体２１内に密嵌される第１の水密手段３０と太管体２２内に密嵌される第２の水密手段３１を備えており、第１の水密手段３０から細管体２１の自由端までの空間を第１圧力チャンバ２３として、第２の水密手段３１から太管体２２の自由端までの空間を第２圧力チャンバ２５としてそれぞれ画成し、第１圧力チャンバ２３または第２圧力チャンバ２５のいずれか１つから導入した圧力を測定に適した圧力に調整して他の１つの圧力チャンバに伝達できる圧力調整装置。 （もっと読む）

【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】長期に亘って性能を維持できる検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置１００は、測定レンジが相互に異なる低圧用圧力センサ３１および高圧用圧力センサ３２と、潤滑装置２００の油圧回路が低圧用圧力センサ３１および高圧用圧力センサ３２のうちのいずれか１つと接続されるように、油圧回路と複数のセンサ３１，３２との接続を、温度センサ１０により検出した油圧回路内の油の温度に基づいて選択的に切り替える検出対象側接続切替手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つの異なる大きさの圧力を正確に測定しその小型化を図り得る圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ２０は、ケース２１と、このケース２１に収容されるシリコン基板からなる第１センサチップ３０および第２センサチップ４０とを備えている。比較的小さな圧力（第１の圧力）を検出するための第１センサチップ３０と、比較的大きな圧力（第２の圧力）を検出するためにその圧力検出範囲が第１センサチップ３０よりも広い第２のセンサチップ４０と、は重ねて配置されている。そして、信号処理回路５０は、第１センサチップ３０に集積されている。 （もっと読む）

【課題】振動式圧力トランスデューサにおいて、圧力計測範囲を拡大する。
【解決手段】振動子１０１と、振動子を覆うシェル１０２とを備えたシリコン基板１００と、シリコンよりもヤング率の大きい部材で形成され、シリコン基板１０１に接合された補助基板２００とを備えた振動式圧力トランスデューサ。補助基板は、ヤング率の大きい材料の結晶方位が最大となる方向が、前振動子の長さ方向と平行となるように接合し、シリコン基板よりも厚い。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】真空室３３内に設けられ基板３１に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第１，第２のシリコン単結晶の振動梁３２ａ、３２ｂと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の一端に接続される板状の第１の電極板３４ａと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の間に設けられた第２の電極板３４ｂと、第１，第２の振動梁の両側に第１，第２の振動梁を挟んで且つ第１，第２の振動梁と第１，第２の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第３，第４の電極板３４ｃ、３４ｄと、振動梁と第２、第３，第４の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部３７とを具備した。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】シリコン単結晶の基板に設けられた振動梁と、振動梁の周辺に隙間が維持されるように振動梁を囲み基板と共に真空室を構成するシリコン材よりなるシェルと、振動梁を励振する励振手段と、振動梁の振動を検出する振動検出手段とを具備する振動式トランスデューサにおいて、真空室内に設けられ基板に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有するシリコン単結晶の振動梁と、基板面に平行に設けられ振動梁に一端が接続される板状の第１の電極板と、基板面に平行に振動梁に対向して設けられ振動梁と第１の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第２電極板と、振動梁と第２の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部と、を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置用パッケージの圧力の測定範囲を拡げる。
【解決手段】 基部１１および基部１１の上部に位置する枠状部１２を有する絶縁基体１と、枠状部１２の内側であって、基部１１の上面に設けられた第１電極層３と、第１電極層３の上面との間に気密封止された空間を形成するように枠状部１２上に接合された、内面が上方に反っているダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の内面であって平面視して第１電極層３と重なる領域に設けられた第２電極層４とを備えている圧力検出装置用パッケージ１０である。撓むことのできる範囲を拡げることが可能になるので、圧力の測定範囲を拡げることができる。 （もっと読む）

【課題】測定する圧力が小さい段階では速やかに撓み変形する一方で、高圧力の状態では徐々に撓むようにダイヤフラムを構成することによって圧力感度特性の直線性を向上させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】基台３の面上に順次積層された下部電極膜４及び誘電体膜５と、誘電体膜と対向する位置に薄肉部１１を備えるとともに基台の面上に固定された検出片１０と、薄肉部の少なくとも一部に形成され且つ下部電極膜と対向する位置関係にある上部電極膜１３と、を備え、検出片の下面と該誘電体膜との間に微小ギャップの気密空間Ｓを備えた圧力センサーにおいて、検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でない。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計で測定が不連続になること無く、広い範囲の圧力を測定可能な真空計を提供する。
【解決手段】振動体と、振動体を静電力により駆動する加振電極部と、振動体を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、駆動信号を加振電極部に印加して振動体を共振状態に保持し、振動体の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えてなり、前記振動体を共通の雰囲気内に複数個備え、各振動体により測定可能な圧力範囲をそれぞれ異ならせ，かつ，前記圧力範囲を一部オーバーラップさせて構成し、各振動体に対応させて前記圧力測定部を複数個設け、各圧力測定部の圧力測定信号同士を組合せて演算する演算部を有する演算処理ユニットを備え、常時各圧力測定部による各圧力測定を行なうとともに、演算部による組合せ演算値に基づく演算処理ユニットの出力信号を真空計の圧力測定信号とする。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度や密度、気体の圧力や真空度を広い測定範囲で高感度、高精度にリアルタイムで測定できる圧電センサーを提供する。
【解決手段】圧電センサー素子１１は、被測定流体を外部から導入しかつ流通可能に連通孔１７を設けたパッケージ１３内に音叉型圧電振動片１２を備える。圧電振動片は基部１８において片持ちに固定支持され、振動腕１９の下側主面１９ａが平坦なキャビティ底面１６ａと平行をなしかつそれらの間に所定寸法ｓ１の狭い隙間２２を画定するように配置する。振動腕を屈曲振動させると、その下側主面が移動壁として固定壁であるキャビティ底面に対して所定の速度で往復移動し、隙間内で被測定流体が定常的な速度分布の流れを生じる。このとき振動腕が被測定流体から受ける粘性抵抗の変化を圧電振動片のＣＩ値の変化として検出し、被測定流体の圧力等の測定対象の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、圧力測定部の測定出力信号による測定圧力レベルを基準圧力レベルと比較する圧力レベル判定部を有するとともに、圧力レベル判定部の判定出力信号に応じて振動体４と検出電極６との間の電位差を可変する電位差変更手段を備えてなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の振動検出信号への混信を低減するとともに振動体と検出電極との静電引力による接触を防止した上で、従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、駆動信号生成部は、前記駆動信号として、交流信号に直流の駆動信号バイアス電圧が加算された信号を生成する構成としている。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。
【解決手段】複合型圧力計の製造方法は、静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を含む複合型圧力計の製造方法であって、エッチングにより、シリコン基板の第一面側に第一溝部と第二溝部を形成する溝形成工程と、シリコン基板の第一面側で第一溝部と第二溝部を覆うように、シリコン基板にガラス基板を接合する接合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基準圧力の両側の二つの圧力領域において異なる態様で表示可能な圧力計において、従来よりも圧力指示特性を向上させる。
【解決手段】本発明の圧力計１０は、基部１５ａが基台１４に取り付けられるとともに先端が自由端部１５ｂとされ、全体として湾曲形状に形成されたブルドン管１５と、ブルドン管の自由端部に連結されたリンク機構１６と、リンク機構により駆動される指針１３と、基台に取り付けられ、ブルドン管と間隔を有して並行して延在する補強板ばね３０と、補強板ばねの先端部３０ｂとブルドン管の自由端部との間を連結し、基準圧力の一側の第１の圧力領域ではブルドン管の自由端部に対して補強板ばねによる拘束力を与えないとともに、基準圧力の他側の第２の圧力領域ではブルドン管の自由端部に対して補強板ばねによる拘束力を与える接続連結部３１、３２と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ポンプ装置の圧力センサでは低圧力域時のフェライトコアとコイル間にギャップが存在し低圧力域での検知性能に障害となっていた。
【解決手段】ポンプ装置に設けられた圧力センサにおいて、前記圧力センサ内部には、円筒状のコイルが設けられ、該コイル下側には、前記コイル内径より小さく設定した外径を有するフェライトコアが設けられ、前記フェライトコアの下側には前記ポンプ装置の内圧を感受するダイヤフラムを設けており、前記フェライトコアは、前記ダイヤフラムの変移に応じて変移し前記コイル内径を移動し、前記圧力センサは、前記フェライトコアと前記コイルとの重なり代に応じて変化した前記コイルの誘導インダクタンスをポンプ装置に備えられた制御基板により圧力値に読みかえ検知し、前記ダイヤフラムが受ける圧力が低い低圧力域時に前記フェライトコア上面と前記コイル底面が一致、または、重ねる。 （もっと読む）

【課題】水素雰囲気下で使用しても、水素脆化現象による圧力計の破壊がなく、１００ＭＰａ以上の高圧下でも測定が可能な水素圧力測定方法、及びそのためのセンサを提供する。
【解決手段】水素ガスの静水圧を、水素ガス雰囲気に配置された誘電体単結晶材料からなるセンサの静電容量により測定することにより、１００ＭＰａ以上の高圧下でのガス圧の測定を可能とするものであり、好ましくは、該誘電体単結晶として、キュリー温度が室温以下であるものが用いられる。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計でより広い範囲の気体の圧力測定ができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】駆動用信号源10から出力された信号は駆動電圧調整回路11によって増幅もしくは減衰され、さらにその位相が反転回路12で反転され、反転回路12の出力および駆動電圧調整回路11の出力がそれぞれ加振電極5および6に印加される。振動体4が振動することによる振動体4と振動検出電極7および8との間の静電容量の変化を容量電圧変換回路13および14で電圧に変換し、容量電圧変換回路13および14の出力電圧を差分回路15で差分することで振動体の振幅に応じた最終的な出力電圧を得る。この出力電圧を駆動電圧調整回路11にフィードバックして振動体の振幅が振幅指令値として設定された一定値となるようにゲインを制御するとともに、気体の圧力領域に応じた振幅指令値の切り替えを行う。 （もっと読む）