【課題】エアバルブへの接続口を有するヘッド部の小型化を図りつつ、舌金を接続口に対して適切な位置にすることができるエアチャックを提供する。
【解決手段】ゲージ側接続口と、第１および第２の接続口と、を有するヘッド本体と、第１の接続口内に第１の接続口へのバルブ装着方向軸において移動可能に配置される第１の弁部材と、第２の接続口内に第２の接続口へのバルブ装着方向軸において移動可能に配置される第２の弁部材と、中間通気路内における、第１の弁部材の移動方向軸と第２の弁部材の移動方向軸との交点と常に重なる位置に配置される弾性球体と、を備え、弾性球体は、第１および第２の弁部材のいずれか一方がバルブへの接続に伴い中間通気路側に移動した際に、該一方の弁部材の中間通気路側の通気口を通気可能にしつつ、他方の弁部材の中間通気路側の通気口を塞ぐエアチャックヘッド。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で歩留まりが高く、かつ機械的強度に優れた圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２にセンサーチップ３を搭載してなる。センサーチップ３は、平面視形状が矩形をなし、下面３２には、互いに離間した第１の接合部３２１、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３が設定されている。第１の接合部３２１は、下面３２が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、第２の接合部３２２は、第１の接合部３２１が設定された角部とＹ軸方向に隣り合う角部に設定され、第３の接合部３２３は、Ｘ軸方向の第１、第２の接合部３２１、３２２と反対側の端部でかつＹ軸方向の中央部に設定されている。また、下面３２のＸ軸方向の長さをＬｘとし、Ｙ軸方向の長さをＬｙとしたとき、Ｌｙ／Ｌｘが、０．６以上１．０以下である。 （もっと読む）

【課題】センサー素子の感度を向上させる。また、センサー素子の小型化を促進する。
【解決手段】振動片９０は、第１基部１００ａと、第１基部１００ａから第１方向に延在される振動腕２００と、を含み、振動腕２００は、第１方向に第１基部１００ａ側から順に並ぶ第１領域ＺＡ、第２領域ＺＢおよび第３領域ＺＣを含み、第１領域ＺＡ〜第３領域ＺＣは、第１方向に平面視で垂直な第２方向に電界を生じさせ、且つ互いに電気的に独立している第１電極Ｎａ１〜Ｎａ３および第２電極Ｎｂ１〜Ｎｂ３と、を含み、第１領域ＺＡおよび第３領域ＺＣの電界方向Ｅ５，Ｅ７と第２領域の電界方向Ｅ６とは互いに反対方向であり、第２方向の電界によって、振動腕２００に第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２００を、第１方向および第２方向の各々に垂直な方向である第３方向に振動させる。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単でかつ歩留まりの高い圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２にセンサーチップ３を搭載してなる。センサーチップ３は、平面視形状が長方形の板状をなし、下面３２には、互いに離間しかつ円形状をなす第１の接合部３２１、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３が設定されている。第１の接合部３２１は、下面３２が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、第２の接合部３２２は、下面３２が有する４つの角部のうちの第１の接合部３２１が設定された角部とＹ軸方向に隣り合う角部に設定され、第３の接合部３２３は、下面３２のＸ軸方向の長さをＬｘとしたとき、下面３２の重心ＧからＸ軸方向の第１、第２の接合部３２１、３２２に接近する側に０．０５Ｌｘ以上０．３５Ｌｘ以下離間した位置に中心が位置するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で歩留まりが高く、かつ機械的強度に優れた圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２にセンサーチップ３を搭載してなる。センサーチップ３は、平面視形状が長方形の板状をなし、下面３２には、互いに離間しかつ円形状をなす第１の接合部３２１、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３が設定されている。第１の接合部３２１は、下面３２のＸ軸方向の一端部であってＹ軸方向の中央に中心が位置するように設定され、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３は、互いに離間しかつ下面３２の重心Ｇと交わりＸ軸方向に平行な線分を介して対称的に設定されているとともに、重心ＧからＸ軸方向の第１の接合部３２１と離間する側に０．０１Ｌｘ以上０．４０Ｌｘ以下離間した位置に中心が位置するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 振動子の小型化に伴う、電極や配線を形成する際の負担を軽減すること。
【解決手段】 音叉型振動片は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出すると共に、所定面内で第１方向に垂直な第２方向に所定幅を有し、かつ、第１方向および第２方向の各々に垂直な方向であって所定面に垂直な第３方向に所定厚みを有する振動腕２０と、振動腕の第１面および第１面に対向する第２面の少なくとも一方に設けられ、第１方向の電界を生じさせる電極４１ａ，４１ｂと、第１方向の電界によって、振動腕に前記第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２０を第３方向に振動させ、かつ、振動腕２０における第２方向の所定幅をｗとし、第３方向の所定厚みをｔとしたとき、ｗ＞ｔが成立する。 （もっと読む）

【課題】効果的に外装ケースの小型化を図ることができ、かつ圧力センサのレイアウト性を高めることが可能なセンサ付電子機器を提供する。また、外装ケースのシール性を確実に確保することができるセンサ付電子機器を提供する。
【解決手段】外装ケース２と、この外装ケース２内に設けられ、圧力を検出するセンサユニット４と、これら外装ケース２とセンサユニット４との間に設けられ、外装ケース２にセンサユニット４を取り付けるためのセンサ保持枠５とを備え、このセンサ保持枠５は、センサユニット４を収納し、かつセンサユニット４のセンサ本体２４の前面２４ａに圧力を取り込む圧力室３２が設けられているセンサ収納部２８と、外装ケース２の外側から圧力室３２へと圧力を導く圧力導入路３１とを有し、センサ収納部２８の中心軸Ｐ２と、圧力導入路３１の中心軸Ｐ１とがずれている。 （もっと読む）

【課題】 使用するセンサ数を少なくすることができ、信号処理についても装置の負担を軽減し、高速な処理が可能で自動用オンボード制御パネル等にも使用することができる複数シリンダの作動状態の弁別測定技術を提供すること。
【解決手段】 運転状態にある容積型機械における複数のシリンダを含むシリンダ構造物２の挙動を検出する挙動センサ７をシリンダ内の燃焼ガスとは非接触に前記シリンダ構造物２に取り付け、前記センサからの信号から弁別手段によりそれぞれのシリンダに対応したシリンダ毎の個別の信号を弁別し、前記個別の信号を用いてそれぞれのシリンダの作動状態を表わす信号を導出する。 （もっと読む）

【課題】基準圧室としての空洞を基板の内部に設けることにより、低コスト化かつ小型化を実現可能な圧力センサを提供すること。
【解決手段】この圧力センサ１は、シリコン基板２を備えている。シリコン基板２の内部には、シリコン基板２の主面に平行な方向に平たい扁平空間４が形成されており、この扁平空間４とシリコン基板２の表面２１との間には貫通孔６が形成されている。貫通孔６にアルミニウム充填体８が充填されて埋め込まれることにより、扁平空間４は、基準圧室として密閉されている。そして、扁平空間４に対してシリコン基板２の表面２１側には、シリコン基板２におけるその表面２１と扁平空間４との間の部分（ダイヤフラム５）の歪み変形により電気抵抗が変化するピエゾ抵抗Ｒ１〜Ｒ４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 演算器に導入される信号からノイズを除去して、データ数を減少させた場合にも誤差のない容積型機械の作動状態を測定する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 運転状態にある容積型機械における行程サイクルに関連した信号の成分を求め、それらを演算器１７で合成して作動状態を表わす信号を求める容積型機械の作動状態測定方法であって、前記行程サイクルに関連した信号はＬＰＦ（ロ−パスフィルタ）１４によるフィルタリング処理と燃焼のＴＤＣを基準とするゲート幅の中でサンプリングするサンプリング処理との２つの処理を受けた信号であること。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価でコンパクトな構成でありながら、複数気筒であっても内燃機関の筒内圧に関連する情報を精度良く取得することができる筒内圧センサを提供する。
【解決手段】 本発明に係る内燃機関の筒内圧センサは、内燃機関の筒内圧力に関連する情報を取得する内燃機関の筒内圧センサであって、光ファイバ１０のコア１２に格子間隔に応じた特定波長の光を反射するブラッグ格子部１３が設けられたＦＢＧ光ファイバセンサ１の当該ブラッグ格子部１３を内燃機関の気筒付近に配設すると共に、前記ブラッグ格子部１３において反射された特定波長の光の波長変化に基づいて筒内圧力に関連する情報を取得することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサキャップをプレス加工によって形成するに際し、ダイアフラムと接触するフランジ部の接触面の平坦度を高めることができるセンサキャップの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイアフラム型圧力センサのセンサキャップ１０であり、有底筒状のキャップ部１１と、キャップ部１１の開口端から突出するフランジ部１２と、フランジ部１２の表面の外周側の面によって構成されたダイアフラムの接触面１３と、接触面１３の内側に設けられたダイアフラムの逃がし部１４とを有するセンサキャップ１０、の製造方法であって、プレス加工によって平板状の金属板１からキャップ部１１とフランジ部１２とを有する中間成形品２を形成した後に、単一のプレス加工によって、逃がし部１４を形成すると同時に、フランジ部１２の接触面１３の裏側に規則的に配設された多数のディンプル１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。
【解決手段】複合型圧力計の製造方法は、静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を含む複合型圧力計の製造方法であって、エッチングにより、シリコン基板の第一面側に第一溝部と第二溝部を形成する溝形成工程と、シリコン基板の第一面側で第一溝部と第二溝部を覆うように、シリコン基板にガラス基板を接合する接合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】出力異常が防止でき、別部品を必要とせず安価にでき、作業性が良好な差圧測定装置を実現する。
【解決手段】ダイアフラムシールブロックの一方の面を覆って設けられダイアフラムシールブロックと受圧室を構成する受圧ダイアフラムと、前記受圧室が差圧測定装置本体の測定室の一方に連通された差圧測定装置において、前記ダイアフラムシールブロックの一方の面に設けられた凹部と、この凹部の底面を覆って設けられこの凹部の底面と受圧室を構成する受圧ダイアフラムと、前記凹部の側面に直交して前記ダイアフラムシールブロックに設けられた複数のねじ孔と、このねじ孔に取り付けられたベントプラグあるいはドレインプラグとを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。 （もっと読む）

【課題】差圧を簡易に測定可能な圧力測定システムを提供する。
【解決手段】第１の波長帯域の蛍光及び第１の波長帯域とは異なる第２の波長帯域の蛍光を発する少なくとも一つの蛍光体２と、第１の圧力Ｐ_O1を受け、少なくとも第１の波長帯域の蛍光に第１の変調を与える第１の受圧素子３と、第２の圧力Ｐ_O2を受け、少なくとも第２の波長帯域の蛍光に第２の変調を与える第２の受圧素子４と、第１の変調を与えられた第１の波長帯域の蛍光及び第２の変調を与えられた第２の波長帯域の蛍光の結合光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、第１及び第２の圧力の差圧ΔＰを算出する差圧算出部３０２と、を備える圧力測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】製造方法の簡易化と信頼性が両立された圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、薄肉部２１を有するダイヤフラム２を備えるパッケージ４と、ダイヤフラム２に設けられ、パッケージ４の内部から外部に引き出された一対の配線５１、５２と、パッケージ４内に収容され、圧電振動片本体６１と一対の電極６２、６３とを有する圧電振動片６と、圧電振動片６とダイヤフラム２との間に介在し、これらを接合する一対の導電性のバンプ７１、７２とを有している。バンプ７１は、電極６２と配線５１とを電気的に接続し、バンプ７２は、電極６３と配線５２とを電気的に接続するよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に対する信号処理回路の専有面積の削減と性能向上を図る。
【解決手段】従来例ではｐ型の半導体基板の主表面側にｎ型の導電型領謔ェ形成され、当該ｎ型導電型領域にピエゾ抵抗素子並びにCMOS集積回路が形成されていた。このため、ｎチャネル型MOS構造の専有面積が増えてしまうという問題や、ｎ型導電型領域にｐウェル領域を形成するとｐウェルの濃度が高くなり過ぎてｎチャネル型MOS構造の性能が低下するといった問題があった。これに対して本実施形態ではｐ型の半導体基板１の主表面側にｐ型導電型領域（ｐウェル領域）２０が形成され、当該ｐウェル領域２０にピエゾ抵抗素子並びにCMOS集積回路が形成されているため、特許文献１の従来例における上記問題を解決し、半導体基板１に対する信号処理回路Ｂの専有面積の削減と性能向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ製造が容易な圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、ダイヤフラム２１を有し、内部に空間Ｓを有するパッケージ２と、パッケージ２の空間Ｓに収容されダイヤフラム２１に固定された振動片本体３６と、振動片本体３６に形成された電極３４、３５とを備える圧電振動片３とを有し、パッケージ２には、パッケージ２の内外を電気的に接続する導電部２３、２４が形成されており、導電部２３、２４および電極３４、３５が導電性を有するワイヤ４１、４２を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）