【課題】モールド成形時に押型からセンサチップに加わるモーメントを低減できる半導体センサの製造方法を提供する。
【解決手段】２個分のセンサチップがそれらの一端同士でつながり、それらの他端が両端に位置する状態の仮の半導体チップ１００の両端部を樹脂流入用の型２１０、２２０の内部に位置させ、仮の半導体チップ１００の中央部を押型２３０、２４０で上下方向から挟んだ状態として、仮の半導体チップ１００の両端部に対してモールド成形する。その後、仮の半導体チップ１００を２個のセンサチップに分割する。これによると、仮の半導体チップ１００が両持ち状態でマウント部３ｂに支持されているので、センサチップが片持ち状態でマウント部３ｂに支持される場合と比較して、センサチップにかかるモーメントを低減できる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で圧力の検出を行うことを目的とする。
【解決手段】圧力検出装置１であって、吸気口３と排気口４とを有する筐体２と、前記吸
気口または前記排気口の一方に設けられた羽根３０と、前記羽根を回転させるモーター１
０と、前記モーターの回転数又は前記モーターに流れる電流を測定する測定部１２，１１
と、前記回転数又は前記電流を用いて前記筐体内の圧力損失の大きさを判定する制御部６
０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】突起を形成するための追加の工程を必要としない容量型ＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】可動部を構成するダイアフラム膜１３上に、犠牲層１４と固定電極１５を積層形成する。固定電極には貫通孔１７を形成し、この貫通孔から等方性のエッチングを行う。その結果、貫通孔から最も遠い位置のダイアフラム膜上に、犠牲層の一部を残すことができる。この犠牲層の一部を突起２１として利用し、可動部と固定電極とが貼り付くことを防止する。 （もっと読む）

【課題】力学量を正確に検出しつつ、センサ面積が大型化しない構造の力学量センサを提供する。
【解決手段】第１力学量検出手段（例えば容量式加速度センサ２０）を有する第１基板２１（シリコン製センサ基板）と、第２力学量検出手段（例えばピエゾ式圧力センサ３０）を有するとともに、第１基板に当接する第２基板（シリコン製センサ基板）とを備え、第１基板に、第２基板が対向して当接することにより封止空間３７が形成され、この封止空間内に第１力学量検出手段を封止することで、第１力学量検出手段を保護する。 （もっと読む）

【課題】ガラス台座を設けることなく、センサチップの検出精度が低下することを抑制することができるセンサチップの実装構造およびその実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】センサチップ６０の裏面６１ｂに当該裏面６１ｂに対して交差する方向に突出すると共に凹部６２を取り囲む凸部６４と、裏面６１ｂのうち凸部６４を挟んで凹部６２側と反対側に位置する接合領域とを備え、接合材７０を接着剤７１と、接着剤７１に混入された間隔保持材７２とを有するものとし、被実装部材４０におけるセンサチップ６０の接合領域と対向する領域に塗布領域４１を備え、センサチップ６０と被実装部材４０との間に、センサチップ６０のうち接合領域と被実装部材４０とに接触する間隔保持材７２により、所定の間隔を形成する。 （もっと読む）

【課題】寸法が小型であるばかりでなく、実効的に大量に製造され得る高感度圧力センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】センサ及びセンサを製造する方法が開示され、このセンサは一実施形態では、エッチングされた半導体基材ウェーハ（３００）を、シリコン積載絶縁体型ウェーハを含むエッチングされたデバイス・ウェーハ（１００）に接着して懸吊構造を形成し、この構造の曲げが、埋め込まれた感知素子（１４０）によって決定されて絶対圧を測定する。センサに埋め込まれた相互接続路（４００）によって、他のデバイスとの相互接続性を確保しつつデバイスの滑らかなパッケージ形状を容易にする。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】寸法が小型であるばかりでなく、実効的に大量に製造され得る高感度圧力センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】センサ、及びセンサを製造する方法が開示され、この方法は一実施形態では、エッチングされた半導体基材ウェーハ（３００）を、シリコン積載絶縁体型ウェーハを含むエッチングされた第一のデバイス・ウェーハに接着し、次いでこの接着体をシリコン積載絶縁体型ウェーハを含む第二のデバイス・ウェーハに接着して通気孔付き懸吊構造を形成し、この構造の曲げが、埋め込まれた感知素子（１４０）によって感知されて差圧を測定する。一実施形態では、センサに埋め込まれた相互接続路（４００）によって、他のデバイスとの相互接続性を確保しつつデバイスの滑らかなパッケージ形状を容易にする。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載される流体ユニット内の充填流体の圧力を、簡単且つ安価な構成で確実に検出し得る圧力検出装置を提供する。
【解決手段】流体ユニット１のハウジング１０内に、加圧流体の流路１１が形成されており、この流路に連通すると共に、流体ユニット外に開放する圧力検出筒部１２が形成され、これに液密的摺動自在に収容され、流路内の加圧流体の圧力によって外方に押圧されるピストン２０と、ピストンの流体ユニット外方への移動距離を規制するホルダ３０と、流路内の加圧流体の圧力による外方への押圧力に抗してピストンを付勢するスプリング４０を備える。スプリングの付勢力に抗してピストンが外方へ所定距離以上移動したときには、ロックナット６０によってピストンがホルダに固定される。 （もっと読む）

【課題】製造が比較的容易である頑丈な密封流体圧力感知装置を提供する。
【解決手段】支持構造１２ａと当該支持構造に取り付けられたダイアフラム１２ｂを有する圧力感知変換器１２を含み、ダイアフラムは、流体接触面を有する。ハウジング１６は、底壁と当該底壁から上方に延在するハウジング側壁１６ｆによって規定された変換器受け取り空洞を有する。底壁には、流体圧力受け取り窪みが形成され。流体圧力ポート１６ｃは、流体圧力受け取り窪みに連通するようにハウジング内に形成される。ダイアフラムは、支持構造と流体圧力受け取り窪みとの間に位置決めされ、支持構造の側壁の周囲のシール１８の材料は、圧力感知変換器をハウジング内に固定し、かつ密閉シールを提供する。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形品のシール面を良好に成形する。
【解決手段】外周面がシール面となる断面円形状の円柱部１０１を有するモールド部材（樹脂成形品）をその軸を中心として回転させながら流動性のある樹脂１０２をシール面に流下しながら塗布し、その塗布した樹脂を熱または紫外線照射することで硬化させることにより、シール面を連続性のある欠陥のないシール面に整形する。 （もっと読む）

【課題】安定に作製ができ、特性も安定で良好である振動式圧力センサおよびその製造方法を実現すること。
【解決手段】 半導体基板に形成された梁状の振動子を真空室内に配置し、前記振動子に加わる歪みの大きさを前記振動子の共振周波数の変化として検出する振動式圧力センサにおいて、前記振動子を覆うように前記半導体基板の一方の面上に配置されて空隙部を形成するシェル部と、このシェル部を覆うように前記半導体基板の一方の面上に減圧化学気相成長法により形成されて、前記空隙部が真空となった前記真空室を形成する封止め部を備え、前記半導体基板は、前記一方の面が略平面状に形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤセンサの着脱にかかる作業性を高く維持するとともに、回転運動に伴う力が作用してもタイヤセンサの位置を好適に維持することのできるタイヤバルブユニットを提供する。
【解決手段】タイヤバルブユニットＵは、そのバルブステム１２に装着されたタイヤの状態を検出するタイヤセンサ２が、車両用ホイールのリムＲに装着された態様でリムＲの内側に配置される。タイヤセンサ２をバルブステム１２に固定する被連結部１３Ａには、バルブステム１２の軸に交差する方向へ延びる貫通孔１５が形成されている。被連結部１３Ａに嵌合する形状に形成された該被連結部１３Ａに固定される連結部２３には、被連結部１３Ａの貫通孔１５に連通するナット部材２６のねじ穴が形成されている。そしてタイヤバルブユニットＵは、被連結部１３Ａに嵌合された連結部２３のナット部材２６のねじ穴に、被連結部１３Ａの貫通孔１５に挿通されたボルト３が螺合される。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部２１と、本体部２１に形成された電極固定孔２１１に挿入される固定電極２２と、小径部２３ａ及び大径部２３ｃを有するガード電極２３と、ガード電極２３の大径部２３ｃ及び固定電極２２を連結する第１封止ガラス２４と、ガード電極２３の小径部２３ａ及び本体部２１を連結する第２封止ガラス２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーを大事に使うタイヤ電子管理システムを提供する。
【解決手段】装置のパラメータを測定するために、タイヤ電子維持システムが提供され、装置のパラメータを測定し且つこの測定パラメータを表すデータ信号を発生させるための感知器１８を含んでいる。装置のパラメータを測定するために第一の周期的基準で感知器を作動させるために、この感知器に結合されているマイクロプロセッサ及び記憶装置１６も含んでいる。送信機及び受信機３０がマイクロプロセッサに結合されている。マイクロプロセッサは、受信された送信が有効な呼掛信号であるか否かを第二の周期的基準で決定するために周期的且つ部分的に覚醒し、受信された送信が有効な呼掛信号であれば、完全に覚醒し、最後に記憶された測定パラメータを少なくとも送信することによって、送信機を経由して、有効な呼掛信号に応答する。装置はタイヤの内側に装着されるタイヤタグ１４である。 （もっと読む）

【課題】受圧膜を簡易な作業で適切に固定することができる睡眠指標測定装置用の圧力検出装置を提供する。
【解決手段】第１筐体部２０の内周面にはネジ溝が形成される。支持部５０の外周面にはネジ溝５６が形成される。ネジ溝とネジ溝５６との噛合で第１筐体部２０と支持部５０とが相互に固定される。受圧膜３０は、第１筐体部２０が形成する第１流体室Ｒ1と支持部５０が形成する第２流体室Ｒ2とを仕切るように第１筐体部２０と支持部５０との間に挟持され、第１流体室Ｒ1内の圧力変化を第２流体室Ｒ2に伝達する。圧力検出体６０は、第２流体室Ｒ2内の圧力に応じた検出信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】単一の電子基板、改良された環境保護、およびより簡単に量産される安価な圧力センサを提供する。
【解決手段】感知素子ポート１１４と、支持リング１１０と、感知素子ポートと支持リングとの間に柔軟な干渉フィット１１２を提供し、実質的な同一平面のラップ結合を形成するための複数の干渉フィットスリット１３２とを含む。また、支持リング内で、安定した搭載を提供する平坦な搭載タブ１２４ａに取り付けられた電子基板１２２を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力容器に封入されている流体の圧力を、簡易的な構成で高精度に測定可能とする圧力容器内の流体圧力の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】アキュムレータ１００の内部に隔壁を介して隔てられる液室とガス室が設けられており、液室内に液体を一定流量で供給しつつ、液室内に供給される液体の圧力を測定する工程と、経過時間と測定値との関係を記憶させる工程と、記憶された前記関係のうち、経過時間に対する液体の圧力の上昇勾配が急激に変化する変曲点に達する前の一定範囲の複数のデータを用いて、第１近似式を導出する工程と、変曲点に達した後の一定範囲の複数のデータを用いて、第２近似式を導出する工程と、第１近似式と第２近似式との交点を算出し、該交点の圧力を、液体の非供給時の気体の圧力として決定する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被印加物に短時間で精度よく圧力を印加でき、かつ、装置の構成を簡素化することが可能な圧力印加方法および圧力印加装置を提供すること。
【解決手段】被検体１００に検査時に必要な所定の第２圧力を印加する際には、まず、圧力センサ３０が検出する検出圧力に係わらず、ピストン２２を変位させて被検体１００に第１圧力を印加し、次に、圧力センサ３０が検出する検出圧力に応じてピストン２２を変位させて、ピストン装置２０で被検体１００に印加する圧力を所定の第２圧力に調整する。 （もっと読む）