【課題】耐食性が確保でき且つ製造コストが低減できる圧力測定装置を実現する。
【解決手段】測定装置本体の一方端に接続され耐食材よりなるニップルを具備する圧力測定装置において、前記測定装置本体の一方端に設けられた凸部と、この凸部に対向して前記ニップルの一方の面に設けられ前記凸部が嵌合される凹部と、この凹部の底面を覆って設けられ前記凸部の頂部と受圧室を構成し耐食材よりなる接液ダイアフラムとを具備したことを特徴とする圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】端板と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、さらに気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供する。
【解決手段】端板である底板部材１２と、底板部材１２に接合される側壁部材３０とを備え、内部に圧電素子を収納可能な圧電素子収納容器１１であって、底板部材１２には、側壁部材３０の内周面に嵌入する嵌入部７０と、側壁部材３０における接合側端面に当接する当接部７２とが設けられ、嵌入部７０と当接部７２との間には、少なくとも１つの段差部としての凹状溝７４が形成されており、 側壁部材３０には、接合状態において嵌入部７０と当接部７２との間に位置し、底面部分８３との間に段差を設けると共に底板部材１２における凹状溝７４との間に空隙を形成する凸状部８０を設け、前記空隙には接着剤９０が充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 間隙水圧と地盤振動とを合理的なコストで同時に計測する。
【解決手段】本発明に係る岩盤計測用管体構造１は、外管２と該外管の内側に配置された内管３とからなる二重管４をボーリング孔５に立て込んで構成してあり、外管２の外周面には、その周囲を環状に取り囲むようにかつその材軸に沿って互いに離間配置されるように複数のパッカー６を設けてある。岩盤計測用管体構造１は、パッカー６の内部充填空間にそれぞれ連通するように連通接続されたパッカー用パイプ７と、隣り合うパッカー６，６の間に拡がる外管２の外側空間９に連通するように配置された間隙水圧計測用パイプ１０とを備えるが、パッカー用パイプ７及び間隙水圧計測用パイプ１０は、内管３の外周面と外管２の内周面との間に拡がる隙間空間１２に挿通配置してある。 （もっと読む）

【課題】蓋部材と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供する。
【解決手段】蓋部材２２と、内部に圧電素子を収納すると共に前記蓋部材の周囲を取り囲む側壁部材３０を備える容器本体を有する圧電素子収納容器１１であって、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面を跨いで配置された中間部材５０を有し、蓋部材２２と側壁部材３０、および中間部材５０の対向面間に接着剤６０を介在させて接合したことを特徴とする。このような特徴を有する圧電素子収納容器１１において、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面に凹状溝５２を設け、中間部材５０は、凹状溝５２内に配置する構成とすると良い。 （もっと読む）

【課題】力伝達部の構造を簡素化し、小型、低コスト、高精度で温度変化に強い圧力感知
ユニットを得る。
【解決手段】圧力感知ユニット１は、第１のダイアフラム１０及び底板６と、第２のダイ
アフラム１２及び天板７と、外周側壁８と、を有するハウジング５と、ハウジング５内部
に配置されて力の検出方向を検出軸とする感圧部とからなる。感圧部は、第１、第２ダイ
アフラム１０、１２を夫々の中央領域で連結して一体化し、力の伝達を可能としたセンタ
ーシャフト１４と、該センターシャフト１４に固定された可動受け台１６と、底板６に設
けた第１固定受け台６ａと、に両端部が取り付けられ、検出軸を前記センターシャフトと
平行に設定された第１の感圧素子１８と、を有する。そして、可動受け台１６と天板７に
設けた第２固定受け台７ａとに両端部が取り付けられ検出軸をセンターシャフト１４と平
行に設定された第２の感圧素子と、を有する。 （もっと読む）

表面と十分に機械的に結合する可撓性基板上に配置したコンフォーマルな検知素子（例えば、圧力センサ、加速度計）を介して、任意の形状の表面に近接した位置で力及び動作変化の少なくとも一方を検知する。検知素子のコンフォーマリティにより、表面への密接な近接が促され、正確な検知を確実に行えるようになる。任意の形状の表面の例には人間の身体部分（例えば頭部）を含む。検知素子から１つ以上の信号を受信したプロセッサは、検知した力及び動作変化の少なくとも一方が原因で生じる身体部分への損傷（例えば、頭部外傷）の可能性に関する情報を提供する。このような情報は、発生した可能性のある損傷／外傷の程度の指標を提供する１つ以上の出力装置によって伝達可能である。コンフォーマルな検知装置は、ヘルメットのような保護用衣類又は装備品と一体化でき、検知装置のコンフォーマリティにより、装着者への十分な快適性も確実に得られる。
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【課題】製造および動作信頼性の改善と共に必要とされる性能特性をもたらす、シングルチップ上に製造された１つまたは複数のセンサを提供すること。
【解決手段】センサ製造方法が開示され、一実施形態では、ダブルシリコンオンインシュレータのウェーハを備えるエッチング済み半導体基板ウェーハ（１３０）を、エッチング済みデバイスウェーハ（１４２）に接着して懸垂構造体を作製し、同構造体の撓みが、埋め込まれた圧電抵抗センサ素子（１５０）によって検知される。一実施形態では、センサは加速度を測定する。他の実施形態では、センサは圧力を測定する。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

ＭＥＭＳデバイス（１００）が集積回路チップ（１０１）と、リードフレームベースのプラスチック成形本体（１２０）を含むパッケージとを有し、パッケージは本体の厚み（１２１）を通る開口（１２２）を備える。可動フォイル部品（１３０）が本体（１２０）に固定され、開口（１２２）を少なくとも部分的に横切って延びうる。チップ（１０１）は、フォイルを横切って拡がるようにリード（１１０）にフリップ実装され、フォイル（１３０）からギャップにより隔てられうる。リードは、予め製造された個別部品のリードフレーム上にあってもよく、或いは犠牲キャリア上に金属を堆積し、その金属層をパターニングするプロセスフローによって製造されてもよい。その結果のリードフレームは平坦であってもよく、或いは積層型のパッケージ・オン・パッケージデバイスに有用なオフセット構造を有してもよい。
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【課題】ガスケットの規格サイズに左右されない設計の自由度を有し、測定精度，温度特性が向上されたダイアフラムシール型差圧測定装置を実現する。
【解決手段】接液シールダイアフラムを有するダイアフラムシールユニットと、前記接液シールダイアフラムに一方の面が接し他方の面が測定対象の取り付けフランジに接するガスケットとを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、前記ガスケットと前記受圧ダイアフラムとの間に設けられたリング状の保護プレートと、前記ガスケットと前記受圧ダイアフラムとの間に設けられ前記保護プレートの内径に外径が固定され内径が前記ガスケットと同じあるいは小さい内径を有する保護リングとを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置である。 （もっと読む）

【課題】製造ばらつきの少ない半導体圧力センサを得る。
【解決手段】シリコン基板１０は貫通孔１２を有する。シリコン基板１０上にポリシリコン膜２０が形成されている。ポリシリコン膜２０は、貫通孔１２の上方にダイヤフラム２４を有する。ポリシリコン膜２０上に絶縁膜２２が形成されている。ピエゾ抵抗効果を有するポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４が絶縁膜２２上に形成されている。ポリシリコン配線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４は、ポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４をブリッジ状に接続する。ポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２は、ダイヤフラム２４の中央部に配置され、それぞれ並列接続された複数の抵抗を有し、構造及び向きが同じである。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高いセンサーユニットと、このようなセンサーユニットを簡便に製造するための製造方法を提供する。
【解決手段】センサーユニット１は、ピエゾ抵抗素子を用いたセンサー２と、このセンサーに接合した能動素子モジュール５とを備え、センサー２は、ピエゾ抵抗素子２９Ｘ，２９Ｙ，２９Ｚに電気的に接続し可動機能領域２Ａの外側に位置する端子３１を有するセンサー本体３と、センサー本体３の枠部２３に接合された保護用蓋部材４と、を有し、能動素子モジュール５は、複数の貫通電極５３と、センサー２の可動機能領域２Ａを囲むように配設された絶縁性樹脂部材５４と、所望の貫通電極５３に接続し、かつ、絶縁性樹脂部材５４上まで達しているコンタクト電極５５とを有し、コンタクト電極５５がセンサー本体３の端子３１と接触した状態で、絶縁性樹脂部材５４がセンサー２と能動素子モジュール５とを接合している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で部品点数が少なく、確実に真空状態の検出を行うことが可能な安価な真空検出器を提供する。
【解決手段】レバー７の操作によりボール弁５を操作することで透孔２を閉止状態から開放状態に切替えて鞘管１６内とキャップ装着部３を連通させたとき、鞘管１６内が所期の真空状態であると、コマ１１がキャップ装着部３の端面に吸着されて軸部１２の変位状態が保たれ、これにより真空状態が保たれていることが検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ低コストで加工でき、使用するユーザーが自由に長さを決定できるロングドレンプラグを有する差圧測定装置を実現する。
【解決手段】ドレインソケットとプラグとを有し差圧測定装置本体に取り付けられるドレインプラグユニットを具備する差圧測定装置において、柱状の中継ドレインソケット本体と、この中継ドレインソケット本体の一端側に設けられ前記ドレインソケットの雄ねじがねじ合わせ可能な雌ねじと、前記中継ドレインソケット本体の他端側に設けられ前記ドレインソケットの雄ねじと同じ雄ねじと、前記中継ドレインソケット本体の中心軸を貫通しドレインを抜くドレイン抜き孔とを具備し、前記ドレインプラグユニットと前記差圧測定装置本体との間に挿入配置される複数の中継ドレインソケットを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。 （もっと読む）

【課題】圧力センサ装置において、低コスト化するとともに、長期的な信頼性を高め、かつ測定信号の精度および信頼性を高くすること。
【解決手段】ダイアフラム４５、ピエゾ抵抗素子、増幅回路および各種調整回路を内蔵した圧力センサチップ４１を、ダイアフラム４５が台座部材４２の貫通孔４６に臨むように台座部材４２に接合する。台座部材４２と金属板部材２４３とを、それらの貫通孔４６，２４８がつながるように接合する。樹脂ケース２４４に金属パイプ部材２４３を接着し、樹脂ケース２４４の信号端子２５８と圧力センサチップ４１とをワイヤボンディング５９により電気的に接続し、圧力センサセル１０２とする。 （もっと読む）

【課題】光学式圧力センサなどの光学装置の検出精度および製造効率を高める。
【解決手段】光学式圧力センサ１は、シリコン基板２の一方の基板面に形成された光導波路３と、他方の基板面に形成された受圧室５と、この受圧室５の底部に形成されたダイアフラム６とを備える。つまり、１つのシリコン基板に光導波路３、受圧室５およびダイアフラム６が一体形成されている。これにより、受圧室５に流入した流体の圧力により、ダイアフラム６が上下方向などに変位すると、その変位が正確かつ直接的にブラッググレーティング４に伝達される。従って、流体の圧力を高精度に、かつ、応答性良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体圧力センサ及びその製造方法に係り、Ｓｉ基板の開口部のダイヤフラム側壁すべてをその基板面に対して垂直な面とすることにある。
【解決手段】半導体圧力センサは、単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板を裏面側からエッチングすることによって形成されたダイヤフラム及び４面のダイヤフラム側壁と、前記単結晶シリコン基板の表面側に形成されたリード導体及び歪ゲージ抵抗からなるブリッジ回路と、を備え、前記ダイヤフラムは、面方位が（１１０）面であり、かつ、平面形状が平行四辺形であり、前記ダイヤフラム側壁は、４面とも面方位が（１１１）面であり、かつ、２面ずつ互いに平行に向かい合っており、圧力印加に伴う前記ダイヤフラムの撓み量に応じて前記ブリッジ回路の出力値が変動することを利用して、前記ダイヤフラムに印加される被検出対象の圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】車載計算機の計算資源を増やすことなく、空気圧低下警報システムの性能を改善できるタイヤ空気圧低下検出装置を提供する。
【解決手段】タイヤの回転速度情報を検出する手段と、回転速度情報の周波数特性を推定する周波数特性推定手段と、推定された周波数特性に基づいて前記タイヤの空気圧の低下を判定する判定手段とを備えている。前記周波数特性推定手段は、３次以上の線形モデルのパラメータをカルマンフィルタにより決定するパラメータ決定手段、パラメータが決定された前記線形モデルと前記回転速度情報とから、当該線形モデルに対する入力信号をカルマンフィルタを用いて逐次的に推定する入力信号推定手段、推定された入力信号と、前記回転速度情報とからカルマンフィルタにより２次に低次元化した線形モデルのパラメータを決定するパラメータ決定手段、パラメータからタイヤのねじり方向の共振周波数を推定する共振周波数推定手段を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】基板接合強度及びダイアフラムの耐圧限界を高める半導体圧力センサの製造方法を得る。
【解決手段】半導体基板のキャビティ側の面に、縦横２列で隣接する４つのキャビティの中央にそれぞれ位置させて所定深さの内基準穴を形成してから鏡面加工を施すことによって、その表面高さが最大かつ均一となった接合面を形成する。そして、この接合面を介して半導体基板とベース基板を接合し、これら基板をチップ単位にダイシングして個々の半導体圧力センサを得る。 （もっと読む）

【課題】省スペース化、軽量化、低コスト化を図ることができる圧力センサの取り付け構造を提供する。
【解決手段】圧力センサ１を検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサ１の取り付け構造であって、機器のハウジング２と該ハウジング２の外面２０に取り付けられる他の部材３との間に、ダイアフラム１０を有する圧力検出部１２を収容するための収容スペースが設けられるとともに、収容スペースとハウジング２の内部空間とを連通する連通孔２３が設けられ、ダイアフラム１０の感圧面１０ｂが連通孔２３を介してハウジング２内部の圧力を受けられるように、圧力検出部１２が収容スペースに収容され、圧力検出部１２の出力信号を外部に取り出すための配線１３が、収容スペースからハウジング２の外部まで引き出されることを特徴とする。 （もっと読む）