【課題】省スペース化を図ることが可能な圧力検出ユニット及びガスメータを提供する。
【解決手段】圧力検出ユニット４７は、圧力センサＳと、圧力センサＳからの信号に基づいて圧力を計測する通常圧力検出回路４７ａと、圧力センサＳからの信号に基づいて圧力変化を検出する圧力変化検出回路４７ｂと、圧力センサＳからの信号の出力先を通常圧力検出回路４７ａと圧力変化検出回路４７ｂとで切り替える切替回路４７ｃと、を備え、切替回路４７ｃは、圧力変化検出回路４７ｂにより圧力変化が検出されない場合、信号出力先を圧力変化検出回路４７ｂとし、圧力変化検出回路４７ｂにより圧力変化が検出された場合、信号出力先を通常圧力検出回路４７ａに切り替える。 （もっと読む）

【課題】省スペース化、軽量化、低コスト化を図ることができる圧力センサの取り付け構造を提供する。
【解決手段】圧力センサ１を検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサ１の取り付け構造であって、機器のハウジング２と該ハウジング２の外面２０に取り付けられる他の部材３との間に、ダイアフラム１０を有する圧力検出部１２を収容するための収容スペースが設けられるとともに、収容スペースとハウジング２の内部空間とを連通する連通孔２３が設けられ、ダイアフラム１０の感圧面１０ｂが連通孔２３を介してハウジング２内部の圧力を受けられるように、圧力検出部１２が収容スペースに収容され、圧力検出部１２の出力信号を外部に取り出すための配線１３が、収容スペースからハウジング２の外部まで引き出されることを特徴とする。 （もっと読む）

統合された流体圧検出システムは、プリント回路基板(20)、圧力源(22)を有する圧力マニホールド(18)、及びセンサ(4)を含む。プリント回路基板は、圧力マニホールドに接続される。プリント回路基板と圧力マニホールドとは、圧力キャビティ(16)を定める。圧力源は、圧力キャビティの中へ流体を逃がすように構成される。センサは、圧力キャビティの中でプリント回路基板に取り付けられる。シールメンバ(28, 29, 31, 33)は、プリント回路基板と圧力マニホールドとの間に配置される。ガスケットは、圧力キャビティをシールするように構成される。
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【課題】圧力センサにおいて２枚の単結晶シリコン基板を張り合わせたものやＳＯＩ基板を適用せずに、圧力センサにおいて十分な性能（感度等）を確保すると共に、そのコストをより抑制する。
【解決手段】シリコン基板１の一端面側に形成された酸化膜（またはシリコン窒化膜）２表面に対し膜成長によってポリシリコン膜３が形成される。また、ポリシリコン膜３中には、拡散領域５と、その拡散領域５と接触するようにピエゾ抵抗素子７が形成される。そして、前記シリコン基板１他端面側からエッチングされて形成され前記酸化膜におけるピエゾ抵抗素子７の位置に対して、ダイアフラム１０１が形成される。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低くしつつ、傷から保護されるセンサデバイスを提供すること、およびこのようなセンサデバイスを製造する方法を提供すること。
【解決手段】成形体と成形体上に被着されているピエゾ抵抗センサ層とを有しており、ピエゾ抵抗センサ層は少なくとも１つの金属並びに炭素または炭化水素を含んでおり、ピエゾ抵抗センサ層上で薄膜パッシベーション層およびコンタクト層が省かれる、センサデバイス。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置の特性向上および製造工程の簡略化を図る。
【解決手段】微小電気機械装置を、半導体層(1)と、前記半導体層中のチャネル領域の両側に形成されたソース、ドレイン領域(13)と、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜(19)と、前記ゲート絶縁膜上に形成された空洞(15a)と、前記空洞上に形成されたゲート電極(17)と、を有し、前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜と接触するよう可動に構成され、前記ゲート電極上に加わる力を、前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜との接触面積により検出するように構成する。このように、上記接触面積によりゲート電極上に加わる力を検出することができる。また、一時的なＦＥＴ構造を利用することにより、装置および製造工程の簡略化を図ることができる。 （もっと読む）

工業プロセストランスミッタ装置（２０、２０’、２０”）は、第１の金属材料のハウジングシャーシ（５０、５０’、５０”）と、第２の金属材料のハウジング外板（５２、５２’、５２”）とを備える。ハウジングシャーシは、略円筒形の本体部（５４）と、ハウジングシャーシの本体部の第１の端部（５６）またはその付近に位置する第１の周方向に延びる支持部材（６０）と、ハウジングシャーシの本体部の、第１の端部と反対側の第２の端部（５８）またはその付近に位置する第２の周方向に延びる支持部材（６２）とを備える。第１の周方向に延びる支持部材は、本体部から半径方向外側に延び、第２の周方向に延びる支持部材は、本体部から半径方向外側に延びる。ハウジング外板は、ハウジングシャーシに嵌合し、第１および第２の周方向に延びる支持部材の両方に物理的に接触する。ハウジング外板は、第１および第２の周方向に延びる支持部材間でハウジングシャーシから離間している。
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【課題】気密室の内圧のばらつきを抑制しながらも、小型化が可能な気密構造体の製造方法および気密構造体を提供することにある。
【解決手段】気密構造体の製造方法は、シリコン基板により形成され且つ厚み方向の一面側に凹部１ａが形成された第１の基板１と、ガラス基板からなり且つ一表面２ｃに固着ベース３が形成された第２の基板２と、第１の基板１と第２の基板２との間に形成され且つ内部が気密に保たれた気密室Ｃとを備える気密構造体の製造方法であり、第２の基板２に排気孔２ａを形成し固着ベース３に貫通孔３ａを形成した後に、第２の基板２が第１の基板１の前記一面側を覆う形で第２の基板２と第１の基板１における凹部１ａの外周部とを減圧下の真空中で陽極接合により接合し、その後、第２の基板２の排気孔２ａおよび貫通孔３ａを封止するための封止用部材４を真空中で固着ベース３に固着する。 （もっと読む）

【課題】測定レンジが広く、応用性にも富む面圧力計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の面圧力計測装置は、圧力による面外変位が独立して発生する粘弾性ゲルの領域１２を平面状に多数備えた圧力センサ・マトリックス１０と、前記領域の面外変位を光学的に計測する光計測手段２０とを備えている。圧力センサ・マトリックス１０の各領域１２での面外変位は、その領域の圧力により生じるから、各領域１２の面外変位を計測することで２次元的な圧力分布を求めることができる。この装置では、ｋＰａ以下の低い面圧力を高精度に測定することが可能であり、また、面圧力の時間変化に迅速に応答することができる。 （もっと読む）

【課題】リード線カバーの利用に伴う不具合の可能性を低減できる技術を提供する。
【解決手段】ガスセンサのコネクタ部材は第１嵌合部を有し、ガスセンサのリード線カバーは第２嵌合部を有する。コネクタ部材に対するリード線カバーの、パイプ部材の周方向の位置は、第２嵌合部が第１嵌合部に嵌合することによって制限される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で精度の調整を行うことができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０の周縁部は継手本体１０と上側本体３０とにより挟持されている。ダイヤフラム２０には、永久磁石２６が設けられた受圧板２４が取り付けられており、上側本体３０に取り付けられたリニアホールＩＣ３４により、前記永久磁石２６すなわちダイヤフラム２０の変位を検出する。リニアホールＩＣ３４の外側には、角孔が設けられた鉄板を有するプレート４０が装着されており、鉄板の位置が異なるプレート又は角孔の縦寸法が異なるプレートを選択すること、あるいは、プレートを取り外すことにより、圧力センサの精度が要求精度となるように調整する。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができるＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサの一例であるシリコンマイク１は、開口５が貫通して形成されたシリコン基板２と、開口５に対向して設けられ、その対向方向に振動可能な振動膜６と、振動膜６に形成された圧電素子９とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の振動とハウジングとの固有振動とのカップリングを抑制した圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジング１２が支持する受圧手段（第１ダイアフラム３２、第２ダイアフラム３４）と、前記受圧手段により立設する力伝達手段（力伝達シャフト３６）と、接着手段（接着剤４０）により前記力伝達手段に固定された可動部３８と、感圧部（振動腕４２ｃ）と、前記感圧部の両端に接続された一対の基部（第１基部４２ａ、第２基部４２ｂ）を有する感圧素子４２と、を備えた圧力センサー１０であって、前記基部の一方（第１基部４２ａ）は、前記ハウジング１２に固定され、前記基部の他方（第２基部４２ｂ）は、前記可動部３８に固定されるとともに、前記接着手段（接着剤４０）は、前記力伝達手段（力伝達シャフト３６）と前記可動部３８との間に介在し、前記接着手段（接着剤４０）の硬度は、前記力伝達手段（力伝達シャフト３６）及び前記可動部３８の硬度より低いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、シリコン基板とガラス台座とシリコン台座との三層の陽極接合が可能な陽極接合装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る陽極接合装置は、シリコンチューブ１とシリコンチップ３との間にガラス台座２を配置して、各接合面を陽極接合する陽極接合装置であって、シリコンチューブ１とガラス台座２とシリコンチップ３とを重ねて、シリコンチューブ１が当接するように載置する陽極電極ステージ１３と、シリコンチップ３に当接される陽極電極１４と、ガラス台座２に当接される陰極電極１５と、陽極電極ステージ１３と陰極電極１５との間に所定の電圧を印加する一次電源１１と、陽極電極１４と陰極電極１５との間に所定の電圧を印加する二次電源１２と、シリコンチューブ１とガラス台座２の接合面及びガラス台座２とシリコンチップ３の接合面を加熱する加熱手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧力測定装置に内蔵されるモールド部品の組み付け位置精度向上が出来る圧力測定装置を実現する。
【解決手段】支持台に固定された圧力センサチップと、この圧力センサチップに対向して配置された磁界発生部と、この磁界発生部がインサート成形されたモールド体と、このモールド体を保持するヨークホルダーと、このヨークホルダーを前記支持台に固定する金属キャップとを具備する圧力測定装置において、前記ヨークホルダーの外側面に一端が接続され前記圧力センサチップと前記磁界発生部の水平位置決め中心点を中心に放射状に設けられた棒状体と前記ヨークホルダーに設けられ前記棒状体が挿入されるガイド部とを有する位置決め手段を具備したことを特徴とする圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】特性不良の発生をより効果的に抑制することができるとともに、ガラス台座と金属ベースとの接合強度を向上することができる圧力センサ及び製造方法を提供すること。
【解決手段】差圧用ダイアフラム４を備える半導体基板１０と、半導体基板１０の下側に設けられるガラス台座１８と、を備え、半導体基板１０の下面とガラス台座１８の上面とが接合され、ガラス台座１８には、ガラス台座１８の上下面に亘ってガラス台座１８を貫通するように圧力導入孔１８Ａが形成されており、圧力導入孔１８Ａは、ガラス台座の下面における圧力導入孔１８Ａの第１の孔径でガラス台座１８の下面から第１の位置まで形成されており、かつ、ガラス台座１８の上面における圧力導入孔１８Ａの第２の孔径は、第１の孔径よりも大きく、前記ガラス台座の下面には、金属薄膜層が成膜した。 （もっと読む）

【課題】低コストのダイヤフラム式マノメータを提供する。
【解決手段】マノメータは、上表面及び上表面よりも高く伸張する側壁を有するモノリシック基部１０２と、基部の上表面によって支持される複数の導電性素子１１２と、基部の側壁と接続され、基部の上表面に対して導電性素子の上部に位置するダイヤフラム１０８と、ダイヤフラムの上部から基部を覆うカバー１０４とを含む。また、基部と接続するガラス被膜１１０と、導電性素子と接続され、圧力の変化に応じて動くダイヤフラムに反応する導電性素子の間の寄生容量結合における変化を感知するよう構成される電子回路を備えている。 （もっと読む）

【課題】内部に受圧媒体としてオイルを使用せず、力伝達部材の構造を簡素化することにより小型化し、圧力検出の測定精度を高めた感度の良い力検出器の製造方法及び力検出器を提供する。
【解決手段】本発明の力検出器の製造方法は、感圧素子２８の両端の基部４２を支持する支持面を有する第１及び第２の固定台座７０，８０と、第１の固定台座２０と第２の固定台座８０との並ぶ方向に延びた力伝達手段とを備え、第１の固定台座７０の貫通孔に、ケースに支持された受圧手段に立設する力伝達手段を挿通した力検出器の製造方法であり、第１及び第２の固定台座の支持面に平板９０を載置して第１及び第２の固定台座の支持面に対する各々の法線が互いに平行となるように平板９０を仮固定する工程と、第１の固定台座７０を力伝達手段に接着固定する工程と、第２の固定台座８０をケースに固定する工程と、支持面に仮固定した平板９０を取り除いて感圧素子２８の両端の基部４２を夫々第１及び第２の固定台座の支持面に固定する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能であるとともに、放電開始後に安定した放電が行われる冷陰極電離真空計、放電開始補助電極板及び真空処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、陽極２と、該陽極２と共に放電空間９を形成するように配置された陰極としての測定子容器１と、陽極２と測定子容器１とに電圧が印加される場合に、測定子容器１における電界よりも電界が集中するように構成された突起部２１とを備え、突起部２１がフローティングとなるように該突起部２１が放電空間９内に設けられている。 （もっと読む）