【課題】光干渉を利用して温度を適切に測定することができる温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測システム１は、光源１０、分光器１４、光伝達機構１１，１２、光路長算出部１６及び温度算出部２０を備える。光源１０は、測定光を発生させる。光伝達機構１１，１２は、測定対象物１３の表面１３ａ及び裏面１３ｂからの反射光を分光器１４へ出射する。分光器１４は、反射光の強度分布である干渉強度分布を測定する。光路長算出部１６は、フーリエ変換し光路長を算出する。温度算出部２０は、光路長と温度との関係に基づいて測定対象物１３の温度を算出する。光源１０は、分光器１４の波長スパンΔｗに基づいた条件を満たす半値半幅Δλの光源スペクトルを有する。分光器１４は、波長スパンΔｗと計測最大厚さｄとに基づいた条件を満たすサンプリング数Ｎ_ｃで強度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の処理チャンバー内の温度測定対象物の温度を同時に測定することのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を複数の測定用の光に分けるための第１光分離手段と、複数の測定用の光を夫々測定光と参照光に分けるための複数の第２光分離手段と、測定光をｎ個の第１〜第ｎ測定光に分けるための第３光分離手段と、複数の参照光を夫々反射するための参照光反射手段と、参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための１つの光路長変化手段と、温度測定対象物から反射する第１〜第ｎ測定光と、参照光反射手段から反射する複数の参照光との干渉を測定するための複数の光検出器とを備えた温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置の載置台や上部電極に孔を設けることなく、低コヒーレンス干渉計を利用して処理室内の温度測定対象物の温度を測定することができ、より精度良くかつ均一に基板のプラズマ処理を行うことのできるプラズマ処理装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源側窓の外側に光源側コリメータを配置するとともに受光側窓の外側に受光側コリメータを配置し、光源側コリメータから射出された測定光が光源側窓を透過し、温度測定対象物の表面に斜めに照射され、反射された測定光が受光側窓を透過し、受光側コリメータに入射するようにして処理室内の温度測定対象物の温度を低コヒーレンス干渉計を利用して測定可能とされたプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象物上に薄膜が形成されている場合でも、測定対象物の温度を従来に比べて正確に測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を、基板上に薄膜が形成された測定対象物の測定ポイントまで伝送する工程と、基板の表面での反射光による第１の干渉波と、基板と薄膜との界面及び薄膜の裏面での反射光による第２の干渉波を測定する工程と、第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を算出する工程と、第２の干渉波の強度に基づいて、薄膜の膜厚を算出する工程と、算出した薄膜の膜厚に基づいて、基板の光路長と算出した光路長との光路差を算出する工程と、算出した光路差に基づいて算出した第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を補正する工程と、補正された光路長から測定ポイントにおける測定対象物の温度を算出する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定物の厚さや温度測定を、非接触により高精度で行うこと。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２の位置を調整する位置調整装置１３と、測定光と参照光との干渉強度の波長スペクトルを測定する受光装置１４と、干渉強度のスペクトルを空間座標に逆フーリエ変換して、干渉強度の空間分布を求め、その空間分布から測定物の厚さや温度を測定する干渉波形解析装置１５と、によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】光路長を設定するための煩雑な操作が不要で、且つ温度測定対象物の制約が少なく、適用範囲の広い温度測定用プローブを提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光の干渉を利用した温度測定用プローブであって、温度測定対象物の表面に当接されて温度測定対象物と熱的に同化する当接部材７１と、当接部材７１に低コヒーレンス光からなる測定光７４を照射し、当接部材７１の表面からの反射光７５ａ及び裏面からの反射光７５ｂをそれぞれ受光するコリメータ７２と、当接部材７１及びコリメータ７２との間隔を所定の長さに規定すると共に、測定光７４及び反射光７５ａ、７５ｂの光路を測定対象物が置かれた雰囲気から隔離する筒状部材７３とを有する温度測定用プローブ。 （もっと読む）

【課題】光の干渉を利用した干渉測定装置において、測定精度を向上させること。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光（ＳＣ光）を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、分散補償素子１２と、分散補償素子１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、によって構成されている。測定対象である測定物１５は、厚さ８００μｍのＳｉ基板である。分散補償素子１２は、厚さ７８０μｍのＳｉ基板である。つまり、分散補償素子１２は、測定物１５と同一の材料であり、測定物１５よりも２０μｍ薄い。測定物１５裏面と分散補償素子１２裏面での反射による干渉は、波長分散がほぼ打ち消されるためピーク幅が狭く、ピーク位置の測定精度が向上する。その結果、温度等の測定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】エバネッセント光学センサが、光ファイバまたは光マイクロファイバのいずれかのコイルとして形成されること。
【解決手段】ファイバ／マイクロファイバをコイル状に巻くことによって、「直線経路」の従来技術のファイバ・センサに比較すると、センサの全体的な大きさは著しく抑えられ、さらには同程度の感度を示す。動作中、光信号が、解析すべき周囲内に浸漬されたファイバ・コイルに結合される。コイル構成の使用は、コイルを形成する湾曲したファイバ／マイクロファイバの表面から反射することによって、コイルに沿って伝搬することになる複数のウィスパリング・ギャラリ・モード（ＷＧＭ）の生成を結果的にもたらす。これらのモード間の干渉は、コイルがその中に浸漬される周囲環境の特性の関数として修正されることになる。環境的変化が、様々なモードによって「見られる」コイルの光路長の変動をもたらし、モードの干渉は、コイルの出力における透過スペクトルを考察することによって解析される。 （もっと読む）

【課題】
極めて小型な温度センサ部を備え、測定精度が高く、且つ、５００〜６００℃の高温域でも測定可能な光ファイバ温度測定器を実現する。
【解決手段】
対向するテーパファイバ対（１１）と、非テーパ部（１２）と、反射器（１３）と、当該テーパファイバ対の表面が周囲の気体、液体と接しないための保護手段を具備した温度センサ部（１）に光を入射し、反射光を受光する。温度センサ部（１）から反射された光は周期的強度変調をうけており、周期の位相が温度によりシフトするので、位相を測定して温度を検知する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ひずみや温度変化が生じた光ファイバ位置を高い空間分解能で特定できる光ファイバセンサとその測定方法と光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバのコアに形成したＦＢＧをセンサとし、該センサからのブラッグ反射光と参照用の反射端からの反射光の干渉強度の周期的変化から、前記センサの位置を特定するとともに、前記センサからのブラッグ反射光の波長の変化量から検知部のひずみや温度変化を計測する光周波数領域反射測定（ＯＦＤＲ）方式に用いられる光ファイバセンサであって、ＦＢＧからなるひずみや温度変化を計測するための複数のセンシング部１と、これら複数のセンシング部の間に設けられ、ひずみや温度変化をセンシングした光ファイバ位置を特定するための光学マーキング部３を具備してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてより精度良く温度を測定することができ、より精度良くかつ効率良く基板処理等を行うことのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源１１０からの光を測定光と参照光とに分けるための第１スプリッタ１２０と、参照光を反射するための参照光反射手段１４０と、参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段１５０と、参照光反射手段１４０からの反射参照光を分けるための第２スプリッタ１２１と、温度測定対象物１０からの反射測定光と反射参照光との干渉を測定するための第１光検出器１６０と、反射参照光のみの強度を測定するための第２光検出器１６１と、第１光検出器１６０の出力から第２光検出器１６１の出力を減算した後、干渉位置を算出し温度を算出するコンとローラ１７０とを具備した温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】高温環境で使用可能な光センサを提供する。
【解決手段】 光センサ（１０）は、誘電体によって形成され、１つ又は複数の物理環境条件に応答する光キャビティと、光キャビティから離間した末端を有し、この末端から光キャビティへと光学的に光が結合されるように構成された導波手段（７０）とを備える。
使用時において、光キャビティへの光学的結合を損なうほどの第二の温度に誘電体が維持されている時、光キャビティへの光学的結合を損なわない温度に維持されるよう構成されている。 （もっと読む）

光センサは、少なくとも１つの光結合器と、少なくとも１つの光結合器に光学的に連通する光導波路とを含む。光導波路は、当該少なくとも１つの光結合器から第１の光信号を受取るように構成される。第１の光信号は、光導波路の少なくとも一部分を伝播する間、ある群速度およびある位相速度を有し、群速度は位相速度未満である。第１の光信号と第２の光信号との間の干渉は、回転、歪みまたは温度のような、光センサの少なくとも一部分への摂動によって影響される。
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照射光を片持ち梁に投射して、片持ち梁から反射又は透過した干渉縞を検出し、干渉縞の少なくとも一部分における強度変動を測定することにより片持ち梁の変形を算出することによって、固定型又は非固定型片持ち梁の変形を測定するための装置及び方法。
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【課題】光ファイバ分布計測システムに使用される光ファイバブラッググレーティング（以下FBG）は中心波長が変化しても反射光量の変化はほんのわずかであるため波長検波器内の受光素子への外来電磁ノイズにより前記中心波長の測定値は大きく変動し、充分な信号対雑音比を得ようとするとシステムに接続可能なセンサ数を減らさなければならなかった。
【解決手段】狭帯域なＦＷＨＭの第一のリング共振器と、リング共振器の中に前記FWHMよりも広いFWHMのFBGを内蔵する第二のリング共振器を光方向性結合器で接続し、第一のリング共振器と信号伝送ラインの光ファイバとは別の光方向性結合器で接続することにより1本の狭帯域反射スペクトルを反射し、前記FBGの反射帯域以外の波長域では平坦なスペクトルを出射するセンサを用いることによりセンサ数を減らすことなく充分な信号対雑音比の光ファイバ分布計測システムを実現できる。 （もっと読む）

【課題】
従来の分布型温度センシングシステムの性能をはるかに凌ぐダイナミックレンジ5000以上、センサからの波長が0.1pmの変化で受光素子での光量変化が0.5nW以上、システムに接続可能センサ数がCバンドの帯域幅50nmで100以上の性能を持った分布型温度センシングシステムの実現を課題とする。
【解決手段】
ダブルリング共振器のドロップポートにブラッググレーティングを接続しセンサを構成する。センサの入出射ポートは該共振器入出射ポートとする。これを複数接続したセンサ群に広帯域光源からの光を入射させ反射光をファブリペロー干渉計のような共振波長が電気信号により可変の干渉計を用いた波長検波器により検波しもってダイナミックレンジ、多重数（システムに接続可能センサ数）の両面から従来の分布型センシングシステムの性能を遥かに凌ぐ。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてより精度良く複数の測定ポイントの温度を同時に測定することができ、より精度良くかつ効率良く基板処理等を行うことのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源１１０からの光は、第１スプリッタ１２０によって測定用の光と参照光とに分けられ、測定用の光は、第２スプリッタによりさらに第１〜第ｎ測定光に分けられる。第１スプリッタ１２０と、参照光を反射するための参照光反射手段１４０との間には、参照光の強度を減衰させて、温度測定対象物１０から反射する第１〜第ｎ測定光の強度に適合させるためのアッテネータ１８０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定ポイント数が多い場合であっても、各測定ポイントからの干渉波形を同定して確実に温度検出を行うことができ、より精度良くかつ効率良く基板処理等を行うことのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】コントローラ１７０は、温度測定対象物１０の第１〜第ｎ測定ポイントに第１〜第ｎ測定光を照射した際の干渉ピークの位置を、第１〜第ｎ測定ポイント毎に予め個別に測定した結果をイニシャルピーク位置データとして記憶し、温度測定時に得られた干渉ピークの位置と、イニシャルピーク位置データとを比較して、第１〜第ｎ測定ポイント毎に温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】波長検波器内の受光素子への外来電磁ノイズにより中心波長の測定値は大きくばらついてしまう。
【解決手段】同一の反射波長帯域をもつ二つの高反射率の光ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）を光ファイバで接続しこれを第一のファイバファブリペロー干渉型センサとし、該干渉型センサの反射波長帯域とは異なるＦＢＧを第二のファイバファブリペロー干渉型センサとし、以下同様に構成された複数個のファイバファブリペロー干渉型センサを直列に光ファイバで接続し１本の光ファイバを実現する。この光ファイバの一端に反射ミラーを構成し、他端には光分岐結合器または光サーキュレータ経由で広帯域光源からの光を入射させ、出射光を前記光分岐結合器または光サーキュレータ経由で光波長検波器に入射させる。該光波長検波器では前記複数のセンサ個々の温度あるいは歪みなどの物理量にリンクした反射波長を非常にＳＮよく検出される。 （もっと読む）