【課題】傾き角度を任意の角度に変更した場合でも正確な測定ができ、メモリ容量も少なく、新たなスタイラスの使用でもユーザに対する作業負担を軽減できる表面性状測定機。
【解決手段】質量の異なる第２測定アーム２４Ｂが取り付けられた測定アーム２４の種類毎に、測定アーム全体の質量Ｍ、支点（回転軸２３）からスタイラス２６Ｂまでのアーム長Ｌ、測定アームが水平姿勢時において測定アームの水平方向重心位置Ｇｘおよび上下方向重心位置Ｇｚを記憶した測定アームテーブルと、測定アーム指定手段と、検出手段の傾斜角度θ１を検出する傾斜角度検出器と、指定された測定アームのＭ、Ｌ、ＧｘおよびＧｚを測定アームテーブルから読み出し、これらと傾斜角度検出器で検出された傾斜角度θ１とから、測定アームの水平姿勢時の測定力と測定アームの傾斜姿勢時の測定力との差を演算し、この差を補正値として測定力を調整する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】高価な測定機を用いることなく、湾曲した被測定物の湾曲寸法や円柱や球などの被測定物の外径寸法などを高精度に測定することができる外側寸法測定機を提供する。
【解決手段】ベース１と、このベースに設けられ固定基準面１１を有する測定テーブル１０と、ベースにガイド機構２０を介して固定基準面に対して接離方向へ移動可能に設けられた可動ブロック３０と、この可動ブロックに配置され測定テーブルの固定基準面に対して対向する可動基準面４２を有する可動測定子４０と、この可動測定子の移動量を測定する測定手段８０とを備えた外側寸法測定機。可動ブロックには、可動測定子の可動基準面を測定テーブルの固定基準面に対して平行に調整するための姿勢調整手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミス値を取得してしまったとしても、ミス値を用いることなく幾何誤差の同定を行うことにより、ミス値を用いることによる幾何誤差の同定精度の低下を防止することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】計測値（たとえばターゲット球の直径の計測値）と（Ｓ４）、設定値（予め設定されている直径）とを比較することにより（Ｓ５）、計測値が正しい計測値であるか否かを判断し、たとえミス値を取得したとしても当該ミス値を用いることなく、正しい計測にもとづく計測値のみを用いて幾何誤差の同定を行うため（Ｓ１０）、幾何誤差の同定精度を従来と比較して向上することができる。 （もっと読む）

【課題】上向スタイラスと下向スタイラスとの相互位置関係を正確に把握できる表面性状測定機の校正方法を提供する。
【解決手段】基準球の上側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸上側形状測定データを取得するとともに、基準球の下側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸下側形状測定データを取得するＸ軸形状測定データ取得工程と、この形状取得工程からから得られる中心座標Ｏ３，Ｏ４から、上向スタイラスおよび下向スタイラスのオフセット量ΔＸ，ΔＺを算出するオフセット量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】平板状に形成される検査対象の反り方向を簡易な構成にて検査し得る反り検査装置および反り検査方法を提供を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１２により平面部１１ａ上に載置された平板状のセラミック基板２０の外縁部２２が押圧されて、フォトセンサ１３により上記押圧力の解除後におけるセラミック基板２０の回転が検知される場合に、当該セラミック基板２０の反り方向が、外縁部２２に対して中央部２１が平面部１１ａ側に凸となる反り方向（下側に凸となる反り方向）であることが検知される。 （もっと読む）

【課題】弾性を有するチューブの高精度な内径測定方法を実現する。
【解決手段】弾性を有するチューブ５０を外径方向から圧縮軸２１を用いて圧縮すること、チューブ５０の圧縮変位量を、変位センサー２５を用いて測定すること、チューブ５０の圧縮荷重を荷重検出器２０を用いて測定すること、圧縮変位量の変化に対する圧縮荷重の変化の変曲点を解析処理装置３０で検出することを含み、変曲点における圧縮変位量を内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ころ軸受用のころの外周面を円周方向に測定する際、簡単にころの着脱及びセンタリングが出来、作業性を向上させ、測定を効率化することが出来る治具を提供する。
【解決手段】本発明に係るころ外周面測定治具は、ころを押し込む為の空洞が設けられており、前記ころを押し込む部分が弾性体からなることを特徴とする。また、ころ外周面測定治具には、エアー抜き穴を設けることが好ましい。また、前記空洞の奥の面には、凸部を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被検物を傷めることなくより短時間で表面形状測定を行うことができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物１００の表面形状を測定するための形状測定センサ１は、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、プローブを、その摺動範囲内における中間部の所望の位置に位置決めして保持する第一の状態と、プローブの摺動に干渉しない第二の状態とに切り替え可能なストッパ部６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】予め算出した補正テーブルを変更することなく回転軸の位置補正を簡便に行うことができる、載置台、形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】被検物を載置する載置面が少なくとも１軸を中心として回転可能な載置部と、載置部を支持するベース部と、ベース部に固定されており、載置面の位置を規定する基準部と、を備える載置台である。 （もっと読む）

【課題】簡易でかつ安価な校正用治具を用いて直角度誤差を簡易にかつ高精度に算出可能な表面性状測定機の直角度誤差算出方法および校正用治具を提供する。
【解決手段】３つの基準球６２Ａ〜６２Ｃを校正プレート６１に直角に配置した校正用治具６０を、テーブル１６上に配置し、接触式検出器２０によって３つの基準球の中心座標を求め（第１測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ１を算出する（第１角度算出工程）。次に、校正用治具を、同一面内で９０度回転させてテーブル上に配置し、接触式検出器によって３つの基準球の中心座標を求め（第２測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ２を算出する（第２角度算出工程）。最後に、交差角度θ１，θ２とからＹ軸駆動機構１７の移動方向とＸ軸駆動機構４８の移動方向との直角度誤差を算出する（直角度誤差算出工程）。 （もっと読む）

【課題】対象物のチャッキングとチャッキング解除動作が不要となって、作業性の向上を図ることが可能な外径測定装置及びころ軸受の製造方法を提供する。
【解決手段】被測定物１０を横倒し状として下方から受体１１にて受けられ、軸心方向の移動及び軸心廻りの回転を許容する。駆動手段１２にて、受体１１にて受けられている被測定物１０をその軸心廻りに回転させてその軸心方向の一方に移動させる。被測定物１０は、軸方向の移動が受部材１３にて規制される。外径寸法測定手段１４にて、受部材１３にて軸心方向の移動が規制されている被測定物１０がその軸心廻りに回転している状態で被測定物１０の外径寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】より高精度、より簡便に構成可能な三次元座標測定機ゲージを提供するとともに、当該三次元座標測定機ゲージを用いた精度評価方法を提供する。
【解決手段】 基板３の表面に固定された第１の球体４及び第２の球体５と、前記基板３の表面から突出して設けられた第１の柱７上に固定された第３の球体６と、を備えることにより三次元座標測定機を精度評価するための三次元座標測定機ゲージ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡易にレンズ計上を測定することのできる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レンズ基板を載置固定するステージと、レンズ基板の表面を検出する変位センサを備え、同一直線上に並んで配列された複数のプローブと、を含むレンズ形状測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】薄いガラスシートのような可撓性物体(１４０)に無重力下形状を推定するための方法及び装置(１００，２００)を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態において、ベッドオブネイル(ＢＯＮ)ゲージ(１００)を用いて推定無重力下形状が生成され、次いで第２のゲージ(２００)を用いてさらに高い空間分解能で形状が測定されて、ＢＯＮゲージのピン(１１０)の間の理論サグが第２のゲージで測定された形状から差し引かれる。別の実施形態において、物体(１４０)の両面で形状測定が実施され、推定無重力下形状の信頼度を評定するために用いられる。別の実施形態において、ベッドオブネイルゲージ(１００)はピン(１１０)の高さ調節に最小二乗法最小化手順を用いる。 （もっと読む）

【課題】スピンドル内にエアーバランス機構を備えた構成において、外観を損なうことなく、スピンドルの上下動や測定精度にも影響を与えることが少ない三次元測定機を提供。
【解決手段】エアーバランス機構１９を備えた三次元測定機。エアーバランス機構は、Ｚ軸スピンドル１２内に設けられたシリンダ２０と、このシリンダ内に摺動可能に収納されたピストン２９と、このピストンをガイド筒２２等に支持する支持軸２８と、ピストンで区画されたシリンダ内の押上力発生室２０１とを備える。プローブ１３からの配線１３Ａを、シリンダの外面に接触させることなく、スピンドルの内面とシリンダの外面との間を通してスピンドルの外部へ導く誘導路４３がＺ軸スピンドル１２の内部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】薄肉リング状である被測定物の内径及び外径を、被測定物を拘束することなしに、精度良く、高い再現性で測定可能とする。
【解決手段】被測定物を載置する定盤と、定盤に固定された加振手段からなる被測定物載置台に、被測定物を水平に載置し、加振手段で定盤に振動を与えることで、被測定物と定盤とが密着するのを防止し、被測定物が外力により被測定物載置台の上で弾性変形した場合でも、被測定物と定盤との密着により弾性変形が残留するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】軸方向バックラッシを安定して正確に測定できるスプライン嵌合部品の軸方向バックラッシ測定装置を提供する。
【解決手段】内筒部材２１の外周部に外筒部材２２の内周部を軸方向に移動可能にスプライン嵌合させてなるスプライン嵌合部品２０を一端を下方に向けて載置するワーク受け装置２と、ワーク受け装置２に内筒部材２１を押し付けるワーク押さえ装置３と、外筒部材２２の周方向の一部を持ち上げるべくワーク受け装置２と外筒部材２２の間に挿入される楔４を有すると共に楔４を挿抜方向に駆動する楔用アクチュエータ５を有する持上装置６と、持上装置６で持ち上げられた外筒部材２２の移動量を測定する測定部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】歯車の全体に亘り、歯車形状の測定を容易に行なえる歯車形状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第１回転軸芯Ｘ１の周りに被検査歯車１を回転駆動可能に支持する支持台３と、被検査歯車１に係合しつつ第２回転軸芯Ｘ２の周りで回転可能なゲージ歯車２と、第１回転軸芯Ｘ１に対する第２回転軸芯Ｘ２の相対傾斜角度を調節設定し、且つ、第１回転軸芯Ｘ１に対する第２回転軸芯Ｘ２の距離を変更可能な軸間角度設定部９と、被検査歯車１に対してゲージ歯車２を付勢する付勢部材１５と、第１回転軸芯Ｘ１と第２回転軸芯Ｘ２との距離を測定する軸間距離測定部１７と、測定したデータを演算処理する計測データ処理部１９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】一端に大径部を有し他端に小径部を有する円筒状ワークにおけるこれら大径部及び小径部の外径寸法を、コストを抑えながら迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供する。
【解決手段】一端に大径部２を有し他端に小径部３を有する円筒状ワークＷの寸法測定装置１００において、円筒状ワークＷの大径部２の外周面に当接するように一対が設けられ、それぞれ大径部２の外周面の接線ｌ，ｌに沿って延びる位置決めバー５１，５１と、接線ｌ，ｌの交点を通り円筒状ワークＷの中心軸線Ｏと平行をなす軸線を基準軸Ｐとして、該基準軸Ｐから大径部２の外周面までの距離を測定する第一測定部と、Ｐ基準軸から小径部３の外周面までの距離を測定する第二測定部とを設ける。 （もっと読む）